JPH10230133A - 光触媒を含むアウトガス発生抑制体及びアウトガス発生の抑制方法 - Google Patents
光触媒を含むアウトガス発生抑制体及びアウトガス発生の抑制方法Info
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- JPH10230133A JPH10230133A JP9037931A JP3793197A JPH10230133A JP H10230133 A JPH10230133 A JP H10230133A JP 9037931 A JP9037931 A JP 9037931A JP 3793197 A JP3793197 A JP 3793197A JP H10230133 A JPH10230133 A JP H10230133A
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- 239000011941 photocatalyst Substances 0.000 title claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 title claims abstract 6
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 title abstract 3
- 239000003094 microcapsule Substances 0.000 claims abstract description 38
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 36
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 claims abstract description 17
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000003973 paint Substances 0.000 claims description 6
- 239000000378 calcium silicate Substances 0.000 claims description 5
- 229910052918 calcium silicate Inorganic materials 0.000 claims description 5
- OYACROKNLOSFPA-UHFFFAOYSA-N calcium;dioxido(oxo)silane Chemical compound [Ca+2].[O-][Si]([O-])=O OYACROKNLOSFPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 5
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 23
- 239000000470 constituent Substances 0.000 abstract description 7
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 238000010406 interfacial reaction Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 229910000428 cobalt oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N cobalt(ii) oxide Chemical compound [Co]=O IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000004255 ion exchange chromatography Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 235000021388 linseed oil Nutrition 0.000 description 1
- 239000000944 linseed oil Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- VUZPPFZMUPKLLV-UHFFFAOYSA-N methane;hydrate Chemical compound C.O VUZPPFZMUPKLLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- -1 nitrate ions Chemical class 0.000 description 1
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Exhaust Gas Treatment By Means Of Catalyst (AREA)
- Manufacturing Of Micro-Capsules (AREA)
- Catalysts (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】クリーンルームや建造物の構成材料から放出さ
れるアンモニアガス等のアウトガスの放出量を効果的に
抑制（削減）するアウトガス発生抑制体及びアウトガス
発生の抑制方法を提供する。 【解決手段】アウトガス抑制体は、光触媒を含むマイク
ロカプセルをアウトガス処理材に付着して構成する。光
触媒は、特にアナターゼ型二酸化チタンが好ましい。マ
イクロカプセルは、界面反応法により得られた壁材が無
機系（特に光透過性の良いシリカが好ましい）の多孔質
体であるものが好ましい。アウトガス発生の抑制方法
は、前記アウトガス発生抑制体にアウトガスを接触せし
めることで行われる。
れるアンモニアガス等のアウトガスの放出量を効果的に
抑制（削減）するアウトガス発生抑制体及びアウトガス
発生の抑制方法を提供する。 【解決手段】アウトガス抑制体は、光触媒を含むマイク
ロカプセルをアウトガス処理材に付着して構成する。光
触媒は、特にアナターゼ型二酸化チタンが好ましい。マ
イクロカプセルは、界面反応法により得られた壁材が無
機系（特に光透過性の良いシリカが好ましい）の多孔質
体であるものが好ましい。アウトガス発生の抑制方法
は、前記アウトガス発生抑制体にアウトガスを接触せし
めることで行われる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームや
建造物の構成材料から放出されるアンモニアガス等のア
ウトガスの放出量を抑制（削減）する技術に関する。
建造物の構成材料から放出されるアンモニアガス等のア
ウトガスの放出量を抑制（削減）する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】昨今、
半導体デバイスの集積度の高度化に伴い、その製造・処
理作業用のクリーンルームにおいては、作業雰囲気中に
浮遊する微細粒子のみでなくガス状汚染物質の低減が重
要となっている。ガス状汚染物室としては、例えば、有
機系ガスやアンモニアガスが挙げられるが、ある種の有
機系ガスはシリコンウェハー上に吸着しＳｉＣを生成
し、またアンモニアはフォトレジストと反応し、これら
によってデバイスの回路製造に悪影響を与える。さら
に、近年アンモニアガスが絵画を変色する（使用される
アマニ油がアンモニアによって黄変されるため）ことが
問題視され、美術館、収蔵庫等建造物のアンモニア対策
が要請されている。
半導体デバイスの集積度の高度化に伴い、その製造・処
理作業用のクリーンルームにおいては、作業雰囲気中に
浮遊する微細粒子のみでなくガス状汚染物質の低減が重
要となっている。ガス状汚染物室としては、例えば、有
機系ガスやアンモニアガスが挙げられるが、ある種の有
機系ガスはシリコンウェハー上に吸着しＳｉＣを生成
し、またアンモニアはフォトレジストと反応し、これら
によってデバイスの回路製造に悪影響を与える。さら
に、近年アンモニアガスが絵画を変色する（使用される
アマニ油がアンモニアによって黄変されるため）ことが
問題視され、美術館、収蔵庫等建造物のアンモニア対策
が要請されている。
【０００３】これらの有害ガスはクリーンルームや建造
物の構成材料からアウトガスとして放出されるが、最
近、その放出を抑制する試みが行われつつある。例え
ば、構成材料表面を緻密な膜でコーティングして密閉し
たり、構成材料表面をアウトガスを特異的に吸着するシ
ートで覆う等によって、アウトガスを封じ込める検討が
行われている。また、空調装置内にケミカルフィルター
を使用することも行われている。しかし前記手段には、
．本来封じ込め効果を狙う材料自体から、アウトガス
が発生すること、．アウトガスの吸着容量が限界まで
達すると、アウトガスの放出の抑制ができなくなるこ
と、などの問題がある。
物の構成材料からアウトガスとして放出されるが、最
近、その放出を抑制する試みが行われつつある。例え
ば、構成材料表面を緻密な膜でコーティングして密閉し
たり、構成材料表面をアウトガスを特異的に吸着するシ
ートで覆う等によって、アウトガスを封じ込める検討が
行われている。また、空調装置内にケミカルフィルター
を使用することも行われている。しかし前記手段には、
．本来封じ込め効果を狙う材料自体から、アウトガス
が発生すること、．アウトガスの吸着容量が限界まで
達すると、アウトガスの放出の抑制ができなくなるこ
と、などの問題がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
すべくなされたものであり、下記構成の発明である。 （１）光触媒を含むマイクロカプセルをアウトガス処理
材に付着してなることを特徴とする光触媒を含むアウト
ガス発生抑制体。 （２）光触媒が、アナターゼ型二酸化チタンであること
を特徴とする（１）項記載の光触媒を含むアウトガス発
生抑制体。 （３）アウトガス処理材が塗料であることを特徴とする
（１）項又は（２）項記載の光触媒を含むアウトガス発
生抑制体。 （４）マイクロカプセルの壁材が、シリカ又はケイ酸カ
ルシウムのごとき薄膜で光の透過性の良いものであるこ
とを特徴とする（１）項ないし（３）項のいずれかに記
載の光触媒を含むアウトガス発生抑制体。 （５）マイクロカプセルの壁材が、界面反応法により得
られた無機系の多孔質体であることを特徴とする（１）
項ないし（３）項のいずれかに記載の光触媒を含むアウ
トガス発生抑制体。 （６）光触媒を含むマイクロカプセルをアウトガス処理
材に付着してなる光触媒を含むアウトガス発生抑制体に
アウトガスを接触せしめることを特徴とするアウトガス
の発生抑制方法。 （７）アウトガス処理体が塗料であることを特徴とする
（６）項記載の光触媒を含むアウトガスの発生抑制方
法。 （８）マイクロカプセルの壁材が、シリカ又はケイ酸カ
ルシウムのごとき薄膜で光の透過性の良いものであるこ
とを特徴とする（３）項又は（７）項に記載のアウトガ
スの発生抑制方法。 （９）マイクロカプセルの壁材が、界面反応法により得
られた無機系の多孔質体であることを特徴とする（６）
項ないし（８）項のいずれかに記載のアウトガスの発生
抑制方法。
すべくなされたものであり、下記構成の発明である。 （１）光触媒を含むマイクロカプセルをアウトガス処理
材に付着してなることを特徴とする光触媒を含むアウト
ガス発生抑制体。 （２）光触媒が、アナターゼ型二酸化チタンであること
を特徴とする（１）項記載の光触媒を含むアウトガス発
生抑制体。 （３）アウトガス処理材が塗料であることを特徴とする
（１）項又は（２）項記載の光触媒を含むアウトガス発
生抑制体。 （４）マイクロカプセルの壁材が、シリカ又はケイ酸カ
ルシウムのごとき薄膜で光の透過性の良いものであるこ
とを特徴とする（１）項ないし（３）項のいずれかに記
載の光触媒を含むアウトガス発生抑制体。 （５）マイクロカプセルの壁材が、界面反応法により得
られた無機系の多孔質体であることを特徴とする（１）
項ないし（３）項のいずれかに記載の光触媒を含むアウ
トガス発生抑制体。 （６）光触媒を含むマイクロカプセルをアウトガス処理
材に付着してなる光触媒を含むアウトガス発生抑制体に
アウトガスを接触せしめることを特徴とするアウトガス
の発生抑制方法。 （７）アウトガス処理体が塗料であることを特徴とする
（６）項記載の光触媒を含むアウトガスの発生抑制方
法。 （８）マイクロカプセルの壁材が、シリカ又はケイ酸カ
ルシウムのごとき薄膜で光の透過性の良いものであるこ
とを特徴とする（３）項又は（７）項に記載のアウトガ
スの発生抑制方法。 （９）マイクロカプセルの壁材が、界面反応法により得
られた無機系の多孔質体であることを特徴とする（６）
項ないし（８）項のいずれかに記載のアウトガスの発生
抑制方法。
【０００５】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て説明する。本発明では、アンモニアガスや有機ガス等
のアウトガスを分解する光触媒（例えば、アナターゼ型
二酸化チタン）粉末を、アウトガス発生抑制材料中に添
加混合あるいは付着させておくことによって、上記の従
来技術の課題を解決しようとするものであり、特に、光
触媒粉末をそのまま添加混合するのではなく、微小なマ
イクロカプセルの形にして混合・付着させるものであ
る。アウトガスとしては、クリーンルームの壁等構成材
料から発生するアンモニアガス、ＮＯｘ、ＳＯｘ、有機
ガス等が挙げられる。それらアウトガスの発生抑制用の
光触媒としては、二酸化チタン（ＴｉＯ２）、特にアナ
ターゼ型二酸化チタン、酸化タングステン、酸化コバル
ト、酸化亜鉛等が挙げられる。マイクロカプセルの製造
方法としては、各種周知の方法が採用できるが、特に界
面反応法により製造されることが好ましく、該方法によ
ればマイクロカプセルの壁体が極めて多孔質（例えば、
表面積：５００ｍ２／ｇ程度）なものとなり、ガスの吸
着や透過に有効となり光触媒との接触が良好となる。特
に、マイクロカプセルの壁材としては、シリカやケイ酸
カルシウムのような薄膜で光の透過性の良いものがよ
い。
て説明する。本発明では、アンモニアガスや有機ガス等
のアウトガスを分解する光触媒（例えば、アナターゼ型
二酸化チタン）粉末を、アウトガス発生抑制材料中に添
加混合あるいは付着させておくことによって、上記の従
来技術の課題を解決しようとするものであり、特に、光
触媒粉末をそのまま添加混合するのではなく、微小なマ
イクロカプセルの形にして混合・付着させるものであ
る。アウトガスとしては、クリーンルームの壁等構成材
料から発生するアンモニアガス、ＮＯｘ、ＳＯｘ、有機
ガス等が挙げられる。それらアウトガスの発生抑制用の
光触媒としては、二酸化チタン（ＴｉＯ２）、特にアナ
ターゼ型二酸化チタン、酸化タングステン、酸化コバル
ト、酸化亜鉛等が挙げられる。マイクロカプセルの製造
方法としては、各種周知の方法が採用できるが、特に界
面反応法により製造されることが好ましく、該方法によ
ればマイクロカプセルの壁体が極めて多孔質（例えば、
表面積：５００ｍ２／ｇ程度）なものとなり、ガスの吸
着や透過に有効となり光触媒との接触が良好となる。特
に、マイクロカプセルの壁材としては、シリカやケイ酸
カルシウムのような薄膜で光の透過性の良いものがよ
い。
【０００６】本発明における光触媒を含むマイクロカプ
セルは、アウトガスの通路等の接触箇所の接触材料に混
入又は塗布される。例えば、アウトガスの発生材料の表
面に形成される塗料等のコーティング層に混入し又は塗
布することができる。あるいは、アウトガス発生材料表
面に本発明に係るマイクロカプセルを含む板状体、所々
に細孔を穿設した板状体、繊維質板状体等を積層するこ
とも好ましい。又は、空気の流通するダクト内壁面や空
調装置のフィルターやクーリングコイルに付着させるこ
とも有効である。こうして設けられた光触媒を含むマイ
クロカプセルにアンモニアガス等のアウトガスが接触す
ると、光触媒（例えば、二酸化チタン）は、クリーンル
ーム等において例えば蛍光灯からの光照射（３８０ｎｍ
以下の光が最適）の元で反応し、アンモニアガス等を分
解する。一般に、アンモニアガスは硝酸イオンを経て窒
素ガスと酸素に分解され、有機物質は二酸化炭素と水に
分解される。本発明の場合、マイクロカプセル表面に吸
着されるアンモニア等のガス分子、あるいはカプセル壁
を通過したガス分子は、マイクロカプセル内部又は壁材
に保持された二酸化チタンと接触反応する。
セルは、アウトガスの通路等の接触箇所の接触材料に混
入又は塗布される。例えば、アウトガスの発生材料の表
面に形成される塗料等のコーティング層に混入し又は塗
布することができる。あるいは、アウトガス発生材料表
面に本発明に係るマイクロカプセルを含む板状体、所々
に細孔を穿設した板状体、繊維質板状体等を積層するこ
とも好ましい。又は、空気の流通するダクト内壁面や空
調装置のフィルターやクーリングコイルに付着させるこ
とも有効である。こうして設けられた光触媒を含むマイ
クロカプセルにアンモニアガス等のアウトガスが接触す
ると、光触媒（例えば、二酸化チタン）は、クリーンル
ーム等において例えば蛍光灯からの光照射（３８０ｎｍ
以下の光が最適）の元で反応し、アンモニアガス等を分
解する。一般に、アンモニアガスは硝酸イオンを経て窒
素ガスと酸素に分解され、有機物質は二酸化炭素と水に
分解される。本発明の場合、マイクロカプセル表面に吸
着されるアンモニア等のガス分子、あるいはカプセル壁
を通過したガス分子は、マイクロカプセル内部又は壁材
に保持された二酸化チタンと接触反応する。
【０００７】上記のように、光触媒はマイクロカプセル
の壁材で外部と区切られているため、塗膜あるいはその
封じ込め材料自体を分解することはない。本発明によれ
ば、クリーンルーム等の構成材料自体から発生するアウ
トガスや、吸着剤で処理しきれなくなったアウトガスを
効率的に分解・除去するので、高いアウトガスの封じ込
め効果が長時間持続できる。なお、マイクロカプセルは
微小な球状容器であり、塗料などに添加混合すると、そ
の塗布の作業性を向上することができる。マイクロカプ
セルの粒子の大きさは、常法により１〜１０００μｍ程
度に適当に調節できる。
の壁材で外部と区切られているため、塗膜あるいはその
封じ込め材料自体を分解することはない。本発明によれ
ば、クリーンルーム等の構成材料自体から発生するアウ
トガスや、吸着剤で処理しきれなくなったアウトガスを
効率的に分解・除去するので、高いアウトガスの封じ込
め効果が長時間持続できる。なお、マイクロカプセルは
微小な球状容器であり、塗料などに添加混合すると、そ
の塗布の作業性を向上することができる。マイクロカプ
セルの粒子の大きさは、常法により１〜１０００μｍ程
度に適当に調節できる。
【０００８】図１にマイクロカプセル型二酸化チタンの
形態を、図２（Ａ）、（Ｂ）には、その添加による効果
発現の概念図を示す。図３に、コンクリート表面にアウ
トガス吸着シートを装着した場合について、同吸着シー
トに本発明に係るマイクロカプセルを含浸添加した例
（実施例）と、無添加の例（比較例１）におけるアンモ
ニア発生の抑制効果を経時的に計測したグラフ図を示
す。なお、コンクリート表面に吸着シートを装着しない
例（比較例２）についても測定した。
形態を、図２（Ａ）、（Ｂ）には、その添加による効果
発現の概念図を示す。図３に、コンクリート表面にアウ
トガス吸着シートを装着した場合について、同吸着シー
トに本発明に係るマイクロカプセルを含浸添加した例
（実施例）と、無添加の例（比較例１）におけるアンモ
ニア発生の抑制効果を経時的に計測したグラフ図を示
す。なお、コンクリート表面に吸着シートを装着しない
例（比較例２）についても測定した。
【０００９】計測に当たり、（１）コンクリートブロッ
ク試験体の製造、（２）吸着シートの製造及びコンクリ
ート表面への適用方法、（３）空気流通方法及びその計
測方法は以下のごとくして行った。 （１）コンクリートブロック試験体の製造：表１に記載
の普通コンクリート用の組成配合物を混練し、成形型に
て打設し、養生硬化して１０×１０×１０ｃｍのコンク
リートブロック試験体を製作した。
ク試験体の製造、（２）吸着シートの製造及びコンクリ
ート表面への適用方法、（３）空気流通方法及びその計
測方法は以下のごとくして行った。 （１）コンクリートブロック試験体の製造：表１に記載
の普通コンクリート用の組成配合物を混練し、成形型に
て打設し、養生硬化して１０×１０×１０ｃｍのコンク
リートブロック試験体を製作した。
【００１０】
【表１】
【００１１】（２）吸着シートの製造及びコンクリート
ブロック試験体表面への適用： ．［実施例］ 前記（１）で製作したコンクリートブロック試験体表面
を本発明に係る吸着シートで包み込んだ。前記本発明に
係る吸着シートの製造は、市販のシート（例えば、株式
会社タクマ社製のイオン吸着シート）にＴｉＯ２マイク
ロカプセルのサスペンジョン溶液を含浸させることによ
って行った。 ．［比較例１］ 比較のため前記ＴｉＯ２マイクロカプセルを含浸させな
いシートで前記コンクリートブロック試験体表面を包み
込んだ。 ．［比較例２］ コンクリート試験体表面に吸着シートを装着しない例
（比較例２）についても測定した。 （３）空気流通方法及びアウトガス（アンモニアガス）
の計測方法。 すなわち、アンモニアガスの計測方法は、前記試験体を
入れたデシケータ内にその一端から清浄化された空気を
連続的に流入させ、かつ同時にその他端から試験体表面
に接触した前記空気を連続的に導出させ、その導出空気
をアンモニア捕集用インピンジャーの液中へ導入した
後、イオンクロマトグラフによって経時的に測定するこ
とによって行った。また、有機ガスの測定は、前記デシ
ケータからの導出空気を有機ガス吸着用のＴｅｎａｘ管
に導入し、それからの導出空気をガスクロマトグラフに
よって経時的に計測することによって行った。この計測
結果を示すグラフ図の図３からみて、アウトガス発生抑
制体に光触媒を含むマイクロカプセルを添加すると、長
時間にわたり、アンモニアの放出抑制効果が発現できる
ことがわかった。
ブロック試験体表面への適用： ．［実施例］ 前記（１）で製作したコンクリートブロック試験体表面
を本発明に係る吸着シートで包み込んだ。前記本発明に
係る吸着シートの製造は、市販のシート（例えば、株式
会社タクマ社製のイオン吸着シート）にＴｉＯ２マイク
ロカプセルのサスペンジョン溶液を含浸させることによ
って行った。 ．［比較例１］ 比較のため前記ＴｉＯ２マイクロカプセルを含浸させな
いシートで前記コンクリートブロック試験体表面を包み
込んだ。 ．［比較例２］ コンクリート試験体表面に吸着シートを装着しない例
（比較例２）についても測定した。 （３）空気流通方法及びアウトガス（アンモニアガス）
の計測方法。 すなわち、アンモニアガスの計測方法は、前記試験体を
入れたデシケータ内にその一端から清浄化された空気を
連続的に流入させ、かつ同時にその他端から試験体表面
に接触した前記空気を連続的に導出させ、その導出空気
をアンモニア捕集用インピンジャーの液中へ導入した
後、イオンクロマトグラフによって経時的に測定するこ
とによって行った。また、有機ガスの測定は、前記デシ
ケータからの導出空気を有機ガス吸着用のＴｅｎａｘ管
に導入し、それからの導出空気をガスクロマトグラフに
よって経時的に計測することによって行った。この計測
結果を示すグラフ図の図３からみて、アウトガス発生抑
制体に光触媒を含むマイクロカプセルを添加すると、長
時間にわたり、アンモニアの放出抑制効果が発現できる
ことがわかった。
【００１２】
【発明の効果】本発明の場合、上記のように、光触媒は
マイクロカプセルの壁材で外部と区切られているため、
塗膜あるいはその封じ込め材料自体を分解することはな
い。クリーンルーム等の構成材料自体から発生するアウ
トガスや、吸着剤で処理しきれなくなったアウトガスを
効率的に分解・除去するので、高いアウトガスの発生抑
制効果が長時間持続できる。
マイクロカプセルの壁材で外部と区切られているため、
塗膜あるいはその封じ込め材料自体を分解することはな
い。クリーンルーム等の構成材料自体から発生するアウ
トガスや、吸着剤で処理しきれなくなったアウトガスを
効率的に分解・除去するので、高いアウトガスの発生抑
制効果が長時間持続できる。
【図１】二酸化チタンを含むマイクロカプセルの形態の
概念図。
概念図。
【図２】本発明に係るマイクロカプセルの添加によるア
ウトガス発生抑制効果発現の概念図。
ウトガス発生抑制効果発現の概念図。
【図３】コンクリート表面の吸着シートに本発明に係る
マイクロカプセルを添加した場合と、無添加の場合にお
けるアンモニア発生抑制効果の計測グラフ図。
マイクロカプセルを添加した場合と、無添加の場合にお
けるアンモニア発生抑制効果の計測グラフ図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 良延 東京都港区芝浦一丁目２番３号 清水建設 株式会社内
Claims (9)
- 【請求項１】光触媒を含むマイクロカプセルをアウトガ
ス処理材に付着してなることを特徴とする光触媒を含む
アウトガス発生抑制体。 - 【請求項２】光触媒が、アナターゼ型二酸化チタンであ
ることを特徴とする請求項１記載の光触媒を含むアウト
ガス発生抑制体。 - 【請求項３】アウトガス処理材が塗料であることを特徴
とする請求項１又は２記載の光触媒を含むアウトガス発
生抑制体。 - 【請求項４】マイクロカプセルの壁材が、シリカ又はケ
イ酸カルシウムのごとき薄膜で光の透過性の良いもので
あることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記
載の光触媒を含むアウトガス発生抑制体。 - 【請求項５】マイクロカプセルの壁材が、界面反応法に
より得られた無機系の多孔質体であることを特徴とする
請求項１ないし３のいずれかに記載の光触媒を含むアウ
トガス発生抑制体。 - 【請求項６】光触媒を含むマイクロカプセルをアウトガ
ス処理材に付着してなる光触媒を含むアウトガス発生抑
制体にアウトガスを接触せしめることを特徴とするアウ
トガスの発生抑制方法。 - 【請求項７】アウトガス処理体が塗料であることを特徴
とする請求項６記載の光触媒を含むアウトガスの発生抑
制方法。 - 【請求項８】マイクロカプセルの壁材が、シリカ又はケ
イ酸カルシウムのごとき薄膜で光の透過性の良いもので
あることを特徴とする請求項６又は７に記載のアウトガ
スの発生抑制方法。 - 【請求項９】マイクロカプセルの壁材が、界面反応法に
より得られた無機系の多孔質体であることを特徴とする
請求項６ないし８のいずれかに記載のアウトガスの発生
抑制方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9037931A JPH10230133A (ja) | 1997-02-21 | 1997-02-21 | 光触媒を含むアウトガス発生抑制体及びアウトガス発生の抑制方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9037931A JPH10230133A (ja) | 1997-02-21 | 1997-02-21 | 光触媒を含むアウトガス発生抑制体及びアウトガス発生の抑制方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10230133A true JPH10230133A (ja) | 1998-09-02 |
Family
ID=12511309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9037931A Pending JPH10230133A (ja) | 1997-02-21 | 1997-02-21 | 光触媒を含むアウトガス発生抑制体及びアウトガス発生の抑制方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10230133A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002159865A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-04 | Tayca Corp | 塩基性ガス除去用酸化チタン光触媒 |
| JP2002242331A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-28 | Takenaka Komuten Co Ltd | コンクリートを発生源とする有害ガスの遮断方法 |
| WO2006025220A1 (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-09 | Sasano Densen Co., Ltd. | 光触媒粒状体 |
-
1997
- 1997-02-21 JP JP9037931A patent/JPH10230133A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002159865A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-04 | Tayca Corp | 塩基性ガス除去用酸化チタン光触媒 |
| JP2002242331A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-28 | Takenaka Komuten Co Ltd | コンクリートを発生源とする有害ガスの遮断方法 |
| JP4711276B2 (ja) * | 2001-02-16 | 2011-06-29 | 株式会社竹中工務店 | コンクリートを発生源とする有害ガスの遮断方法 |
| WO2006025220A1 (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-09 | Sasano Densen Co., Ltd. | 光触媒粒状体 |
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|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
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