JPH10223547A - 縦型ウエハボート及びその縦型ボートの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 組立工程を不要とし組立て精度の向上を図る
とと共に、パ−ティクルの発生を防止し、ウエハの面内
温度差を均一にすることができる縦型ウエハボ−ト及び
その製造方法を提供する。 【解決手段】 半導体製造における熱処理工程に使用さ
れるウエハを面支持する縦型ウエハボート１において、
支柱２の上下両端部には天盤３と底盤４とが配置されて
おり、またこれらの間にはウエハを載置する複数の支持
盤５が所定の挿入空間６をもって配置されると共に、こ
れら支柱２、天盤３、底盤４、支持盤５は、円柱状のイ
ンゴットＡを切り出すことによって、一体物として形成
されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程の
熱処理工程で使用される縦型ウエハボート及びその縦型
ボートの製造方法に関し、特に面支持方式の縦型ボート
及びその縦型ボートの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体の高集積化が進みディバイ
ス特性の高信頼性が求められ、半導体製造工程の熱処理
工程において、支柱に複数の溝が形成されることにより
ウエハを支持できるような縦型ウエハボ−トが用いられ
ている。しかしながら、ウエハが大口径になると、前記
ウエハボートではウエハのチッピング（破損）が発生
し、これに起因するダストが発生する。更に前記ウエハ
ボートでは、加熱処理時にウエハの自重に起因するウエ
ハの反り現象等による結晶構造上のスリップが発生す
る。そしてこれらが原因でＩＣの製造歩留りを低下させ
るという技術的課題を有していた。

【０００３】これらの問題を解決するために、例えば特
開平５−１０２０５６号公報に示されるように、数本の
支柱にウエハを載置する支持盤を多数溶接または接合す
る面支持方式の一体型ボートが提案されている。前記公
報に記載されたウエハボ−トを図１２に基づいて説明す
る。図１２に示す縦型ウエハボ−トにあっては、支柱２
１の上下両端部には天盤２２と底盤２３とが位置してお
り、これらの間には複数の支持盤２４が所定の挿入空間
をもって配置されている。そして、天盤２２、底盤２３
及び各支持盤２４は保持部材としての支柱２１に溶接あ
るいは接合によって固定されている。また、前記支持盤
２４には切り欠き部としてのスリット２５が形成されて
おり、このようなスリット２５が形成されている支持盤
２４には加工対象となるウエハ２６が置かれる。

【０００４】このように構成されたウエハボ−ト２０の
各挿入空間にウエハ２６が一枚づつ挿入され支持盤２４
に載せられる。そして、前記ウエハボ−ト２０を縦型加
熱炉に納め、所定の拡散処理が行われる。そして、この
拡散工程によって不純物はウエハ２６内に拡散し、生成
された拡散層により集積回路用のＩＣ構成部品が形成さ
れる。所定の拡散処理の後、支持具は加熱炉から取り出
され、各ウエハ２６は次の作業工程へと移送される。

【０００５】このように上記提案のウエハボ−トにあっ
ては、支持盤によってウエハを面支持しているため、安
定した状態でウエハを支持することができ、ウエハの自
重によってウエハが湾曲してしまうことはなく、ウエハ
にそりが発生するのを回避することができる。また、ウ
エハは支持盤に載せられて位置しているため、下方のウ
エハの加工表面に、このパ−ティクルが落下することも
ない。そのためウエハのパ−ティクル付着に伴う品質の
低下を防止することができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、特開平５−
１０２０５６号公報に示されるような支持盤を溶接また
は接合した面支持方式の一体型ボートにあっては、上述
したような効果を得ることができるが、各部材間を溶接
あるいは接合しなければならず、組立て精度を高めるこ
とは困難であった。また組立工程が必要なため、縦型ウ
エハボートを安価に製造することはできなかった。

【０００７】またウエハを熱処理する従来の拡散炉等は
炉の外部にヒ−タを配置した外部加熱方式あるため、少
なからずウエハ面内の温度差が生ずる。特に、昇温や降
温する時に温度差が大きくなっていた。このように温度
差が生ずるとウエハにはスリップと呼ばれる結晶欠陥が
発生するためＩＣ製造における歩留り低下の原因となっ
ていた。この温度差を少なくする為に、従来のウエハボ
−トでは、そのボート形状としてウエハを挿入する支持
盤のピッチ間隔を３ｍｍ以上あけていた。しかしなが
ら、この構成を採用してもウエハの面内温度分布は均一
なものとすることができないという技術的課題があっ
た。

【０００８】本発明は、上記技術的課題を解決するため
になされたものであり、精度の必要な組立工程や溶接工
程を不要とする共に、ウエハの面内温度分布を均一にす
ることができる、更に改良された縦型ボート及びその製
造方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するためになされたものであり、本発明にかかる縦型ウ
エハボートは、半導体製造工程の熱処理工程で使用され
るウエハを面支持する縦型ウエハボートにおいて、支柱
の上下両端部には天盤と底盤とが位置しており、これら
の間にはウエハを載置する複数の支持盤が所定の挿入空
間をもって配置されると共に、これら支柱、天盤、底
盤、支持盤は、円柱状もしくは円筒状のインゴットを切
り出すことによって、一体物として形成されていること
を特徴としている。

【００１０】また前記支持盤にその両側から平行に複数
のスリットを形成すると共に前記支持盤の表面に絶縁膜
を形成し、２本の支柱の上端部あるいは下端部に電源接
続される端子部を形成し、前記支持盤が発熱するように
形成されているのが望ましい。

【００１１】また本発明にかかる縦型ウエハボートの製
造方法は、シリコンまたはカ−ボンからなる円柱状もし
くは円筒状のインゴットをカッターでインゴットの中心
軸に対し垂直にインゴットの中心軸より先まで切り込み
を入れ、かつ途中で切り込みを中止することによって未
切断部分を１箇所形成する工程と、前記インゴットの縦
方向に所定の間隔を持って、前記工程の切り込みを複数
回行うことにより、ウエハを載置する支持盤を複数形成
する工程とを備えることを特徴としている。

【００１２】また本発明にかかる縦型ウエハボートの製
造方法は、シリコンまたはカ−ボンからなる円柱状もし
くは円筒状のインゴットをカッターでインゴットの中心
軸に対し垂直に切り込みを入れる第１の工程と、更に、
前記切り込みの方向とは反対の方向から回転式外周刃カ
ッターで前記切断面と段差を生じることなく垂直に切り
込みを入れ、かつ未切断部分を２個所設ける第２の工程
と、前記インゴットの縦方向に所定の間隔を持って、前
記第１及び第２工程を複数回行うことにより、ウエハを
載置する支持盤を複数形成し、かつ未切断部分を２か所
残すことにより２本の支柱を形成する第３の工程とを備
えることを特徴としている。

【００１３】また支持盤を複数形成した後、少なくとも
前記支持盤の両側から平行に複数のスリットを形成する
工程と、前記スリットを形成した前記支持盤の表面に絶
縁膜を形成する工程と、支柱の上端部あるいは下端部に
電源接続の端子部を形成する工程とを備えるのが望まし
い。

【００１４】以上のように、本発明にかかる縦型ウエハ
ボートは、ボ−トを構成する支柱、天盤、底盤、支持盤
は、円柱状もしくは円筒状のインゴットを切り出すこと
によって、一体物として形成されているために、各部材
間を溶接あるいは接合する必要がなく、組立工程が不要
であるばかりでなく、支持盤の面精度を良好なものにす
ることができる。しかも縦型ボートを安価に製造するこ
とができる。

【００１５】また、前記支持盤にその両側から平行に複
数のスリットを形成すると共に前記支持盤の表面に絶縁
膜を形成し、支柱の上端部あるいは下端部に電源に接続
される端子部を形成し、前記支持盤が発熱するように形
成されているため、効率がよく、しかもウエハ各部を均
一に加熱することができる。その結果、ウエハに発生す
るスリップの低減を図ることができる。更に、上記した
製造方法によれば、前述の縦型ウエハボ−トを容易に得
ることができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の第１の発明の実施の形態
を図１乃至図２に基づいて説明する。ここで、図１は縦
型ウエハボ−トを示す斜視図であり、図２は、図１に示
された縦型ウエハボ−トを示す製造方法を説明するため
の断面図であって、（ａ）は回転式外周刃カッターを用
いて製造する方法を示す断面図、（ｂ）は回転式内周刃
カッターを用いて製造する方法を示す断面図、（ｃ）は
バンドソ−あるいはワイヤ−ソ−を用いて製造する方法
を示す断面図である。

【００１７】図１に示すようにこの縦型ウエハボ−ト１
は、支柱２の上下両端部には天盤３と底盤４とが配置さ
れ、これらの間には複数の支持盤５が挿入空間６をもっ
て配置されている。そして、支柱２は、天盤３、底盤
４、支持盤５の両端に形成され、これら部材は円柱状の
インゴットＡから挿入空間６を切り出すことによって、
一体物として形成される。なお、縦型ウエハボートの重
量を減少させるために、好ましくは支柱２のウエハ挿入
反対側部分は垂直に切断され、平坦部７が形成される。
一方、前記平坦部７を形成しない場合には切り込み深さ
を深くすることができるため、ウエハの支持面積を広く
することができる。

【００１８】次に図１に示した縦型ウエハボ−ト１の製
造方法について図２（ａ）に基づいて説明する。まず、
シリコンまたはカ−ボンからなるインゴットＡを素材と
し、このインゴットＡの径より大きい径を有する回転式
外周刃カッターＢで、インゴットＡの中心軸に対し垂直
に、インゴットＡの中心軸より先まで切り込みを入れ、
かつ途中で切り込みを中止することによって未切断部分
Ｃを形成する。更に同様に、前記外周刃カッターＢでイ
ンゴットＡの縦方向に所定の間隔をもって、複数の切り
込みを入れ、未切断部分Ｃを形成する。

【００１９】前記未切断部分Ｃは三日月状に形成され、
この部分は図１に示す縦型ウエハボ−ト１の支柱２とな
るものであって、また外周刃カッターＢによって切り込
まれた部分は、図１の挿入空間６となり、切り込まれな
い部分は図１の支持盤５となる。そして好ましくは、縦
型ウエハボート１の重量を減少させるために、ウエハ挿
入反対側部分を垂直に切断し、平坦部７を形成する。こ
の平坦部７は素材（インゴット）の段階で形成するのが
加工手順として望ましい。

【００２０】以上のように、この縦型ウエハボ−ト１
は、支柱２、天盤３、底盤４、支持盤５が一体物として
構成されているために、各部材間を溶接あるいは接合す
る必要がなく、組立工程が不要であるばかりでなく、支
持盤の面精度を良好なものにすることができる。しかも
縦型ウエハボート１を安価に製造することができる。更
に、未切断部分Ｃ（支柱２）が三日月状をなし、その先
端がウエハ挿入側に位置しているため、支持盤５の曲げ
を防止することができ、縦型ウエハボ−トの精度を維持
することができる。

【００２１】同様に、図２（ｂ）に示すように、シリコ
ンまたはカ−ボンの円柱状インゴットＡを素材とし、回
転式内周刃カッターＤでインゴットＡ中心軸に対し垂直
に、インゴットＡの中心軸より先まで切り込みを入れ、
かつ途中で切り込みを中止することによって未切断部分
Ｃを形成することによっても、縦型ウエハボ−ト１を形
成することができる。この場合には、回転式外周刃カッ
ターを用いる場合と比べ切断面の平坦度を向上させるこ
とができるため、支持盤の面精度が良い縦型ボ−トを製
造することができる。

【００２２】同様に、図２（ｃ）に示すように、シリコ
ンまたはカ−ボンの円柱状インゴットＡを素材とし、バ
ンドソ−もしくはワイヤ−ソ−ＥでインゴットＡ中心軸
に対し垂直に、インゴットＡの中心軸より先まで切り込
みを入れ、かつ途中で切り込みを中止することによって
未切断部分Ｃを形成することによっても、縦型ウエハボ
−ト１を形成することができる。この場合には、切断速
度を向上させることができるため、より短時間に縦型ボ
−トを製造することができる。特に、マルチワイヤ−ソ
−は同時に切り込みを入れることができるため、効率よ
く縦型ボ−トを製造することができる。

【００２３】尚、上記実施形態において、支持盤の上に
ウエハを載置するために用いられるフォ−クが挿通する
スリットを、支持盤の未切断部分Ｃの反対側から形成し
てもよい。

【００２４】次に、本発明の第２の実施形態を図３乃至
図５に基づいて説明する。ここで、図３は第２の実施形
態にかかる縦型ウエハボ−トを示す斜視図であり、図４
は、図４に示された縦型ウエハボ−トの製造方法を説明
するための断面図であって、図５は図４に示された他の
製造方法を説明するための断面図である。尚、図中、図
１乃至図２に示された部材と同一あるいは相当する部材
は同一の符号を付する。

【００２５】図３に示すようにこの縦型ウエハボ−ト１
は、支柱２の上下両端部には天盤３と底盤４とが配置さ
れており、またこれらの間には複数の支持盤５が、所定
の挿入空間６をもって配置されている。そして、支柱２
は、天盤３、底盤４、支持盤５の両端に形成され、これ
ら部材は円柱状のインゴットＡから挿入空間６を切り出
すことによって、一体物として形成される。なお、この
実施形態にあっては、第１の実施形態において形成され
た平坦部７は形成されない。この実施形態は、第１の実
施形態と比べて、支柱２を小さく形成することができ、
縦型ウエハボ−ト１を軽量に形成することができるとい
う特徴を有している。

【００２６】次に図３に示した縦型ウエハボ−ト１の製
造方法について、図４に基づいて説明する。図４に示す
ように、シリコンまたはカ−ボンの円柱状インゴットＡ
を素材とし、このインゴットＡの半径より大きい回転式
外刃カッターＢでインゴットＡの中心軸に対し垂直にイ
ンゴットＡの中心より先まで切り込みを入れる。その
後、前記切り込みを入れた方向と反対の方向から、前記
切断面と段差を生じないように、同様のカッターＢで切
り込みを入れ、未切断部分Ｃを２個所（両端）に形成す
る。

【００２７】前記第１の実施形態で説明した縦型ウエハ
ボ−トと同様、前記未切断部分Ｃは三角状に形成され、
この部分は図３に示す縦型ウエハボ−ト１の支柱２とな
る。また外周刃カッターＢによって切り込まれた部分
は、図３の挿入空間６となり、切り込まれない部分は図
３の支持盤５となる。

【００２８】次に図５に基づいて製造方法の変形例につ
いて説明する。図５（ａ）に示すように、シリコンまた
はカ−ボンのインゴットＡの半径より大きい径を有する
回転式外周刃カッターＢ₁ でインゴットＡの中心軸に対
し垂直にインゴットＡの中心より先まで切り込みを入れ
る。更に、前記切り込み方向とは、反対の方向からイン
ゴットＡよりも小径の回転式外周刃カッターＢ₂ で同様
に切り込みを入れ、未切断部分Ｃ（支柱２）を２個所設
ける。この製造方法による場合には、支柱２は、前述の
製造方法と比べてウエハ挿入側の後方に位置させること
ができるため、図４に示す場合に比べて口径の大きなウ
エハを載置することができる。

【００２９】また図５（ｂ）に示すように、インゴット
Ａの半径より大きい径を有する回転式外周刃カッターＢ
₁ でインゴットＡの中心軸に対し垂直にインゴットＡの
中心より先まで切り込みを入れ、前記切り込み方向と
は、反対の方向からインゴットＡよりも大径の回転式外
周刃カッターＢ₂ で同様に切り込みを入れ、未切断部分
Ｃ（支柱２）を２個所設けても良い。また図５（ｃ）に
示すように、インゴットＡの半径より大きい径を有する
回転式内周刃カッターＤでインゴットＡの中心軸に対し
垂直にインゴットＡの中心より先まで切り込みを入れ、
前記切り込み方向とは、反対の方向からインゴットＡよ
りも小径の回転式外周刃カッターＢで同様に切り込みを
入れ、未切断部分Ｃ（支柱２）を２個所設けても良い。

【００３０】更に、図５（ｄ）に示すように、インゴッ
トＡの半径より大きい径を有する回転式内周刃カッター
ＤでインゴットＡの中心軸に対し垂直にインゴットＡの
中心より先まで切り込みを入れ、前記切り込み方向と
は、反対の方向からインゴットＡよりも大径の回転式外
周刃カッターＢで同様に切り込みを入れ、未切断部分Ｃ
（支柱２）を２個所設けても良い。また、図５（ｅ）
（ｆ）に示すように、バンドソ−あるいはワイヤ−ソ−
ＥでインゴットＡの中心軸に対し垂直にインゴットＡの
中心より先まで切り込みを入れ、前記切り込み方向と
は、反対の方向からインゴットＡよりも大径あるいは小
径の回転式外周刃カッターＢで同様に切り込みを入れ、
未切断部分Ｃ（支柱２）を２個所設けても良い。

【００３１】以上のように、この第２実施形態において
も、縦型ウエハボ−ト１は、支柱２、天盤３、底盤４、
支持盤５が一体物として構成されているために、各部材
間を溶接あるいは接合する必要がなく、組立工程が不要
であるばかりでなく、支持盤の面精度を良好なものにす
ることができる。しかも縦型ウエハボート１を安価に製
造することはできる。

【００３２】なお、上記実施形態において、支持盤の上
にウエハを載置するために用いられるフォ−クが挿通す
るスリットを形成してもよい。特に図６に示すように、
支持盤５の両側から平行に、フォ−ク８が挿通する複数
のスリット９を一定の間隔をもって形成し、前記フォ−
ク８を用いてウエハを支持盤の上に載置するようにする
のが好ましい。この場合には、スリット９が支持盤の両
側に形成されているため、支持盤の両側からフォ−ク８
を用いて、ウエハを支持盤に載置したりあるいは取出す
ことが容易にできる。

【００３３】また、上記実施形態において、シリコンま
たはカ−ボンからなる円柱状のインゴットを用いた場合
について説明したが、図７（ａ）、（ｂ）に示すよう
に、円筒状のインゴットを用いてもよい。図７中、図
１、図３に示された部材と同一部材は同一符号を付す
る。このシリコンまたはカ−ボンからなる円柱状のイン
ゴットの中心部分に開孔部１０を形成し、その後、前記
した方法手段により、支柱２、天盤３、底盤４、支持盤
５を形成する。

【００３４】このように、支持盤５を開孔部１０を有す
る縦型ウエハボ−トにあっては、ウエハの取り出し工程
において、前記開孔部１０を利用して図示しない押上げ
手段によって、ウエハを支持盤５の下方から前記ウエハ
を押上げ、ウエハと支持盤５との間の隙間にフォ−クを
差し込むことによって、ウエハを取り出すことができ
る。そのため、図６に示すようなスリット９を支持盤５
に設けなくとも、容易にウエハを取り出すことができ
る。

【００３５】次に、本発明の第３の実施形態を図８乃至
図１１に基づいて説明する。ここで、図８は第３の実施
形態にかかる縦型ウエハボ−トの斜視図であり、図９は
図８の支持盤の平面図であり、図１０は図８に示された
縦型ウエハボ−トの等価回路を示す図であり、図１１は
支持盤の変形例を示す平面図である。尚、図中、図１乃
至図６に示された部材と同一あるいは相当する部材は同
一の符号を付する。

【００３６】この第３の実施形態にあっても、第２の実
施形態の場合と同様に、シリコンまたはカ−ボンのイン
ゴットＡを素材とし、このインゴットＡの半径より大き
いカッターＢでインゴットの中心軸に対し垂直にインゴ
ットの中心より先まで切り込みを入れた後に、前記切り
込みの反対方向から同様にカッターＢで互いの切断面が
段差を生じることなく垂直に切り込みを入れ、未切断部
分を２個所設る。これをボートの支柱２とし、図７に示
すようにウエハを載置するピッチ間隔ごとに、上記工程
の切り込みをインゴットの縦方向に複数回行うことによ
り、ウエハを載置する複数の支持盤５を形成する。

【００３７】そして、この第３の実施形態の場合には、
更に図９に示すように支持盤５おいて左右対称に一定の
間隔をもって短冊状のスリット９を設け、その表面にシ
リカ膜や窒化珪素膜等の絶縁膜を設ける。またボート下
部は支持盤５よりも厚めにした２分割底盤４ａ、４ｂ
に、それぞれにリード線を接続し、電源と接続するよう
に構成されている。したがって、各支持盤５は支柱２を
介して、電気的に接続されしかも一定の抵抗（Ｒ₁ 〜Ｒ
_n ）を有しているため、この縦型ウエハボ−ト１は図１
０に示す等価回路と同等の電気的特性を有している。

【００３８】以上のように、この縦型ウエハボ−ト１に
あっては、各支持盤５及び天盤３が抵抗体（Ｒ₁ 〜Ｒ
_n ）になるために、電流が流れると各支持盤５及び天盤
３は発熱し、各支持盤５の上に載置されているウエハを
加熱する。即ち、従来の外部加熱方式に比べて、熱効率
がよく、しかもウエハ各部を均一に加熱することができ
る。その結果、ウエハに発生するスリップの低減を図る
ことができる。

【００３９】尚、この第３の実施形態の場合には、イン
ゴットの中心軸と２本の支柱の中心軸は同一平面にある
のが望ましい。即ち、カッタ−の切り込み量を同じに
し、縦型ウエハボ−トを対称形にすることによって、均
一にウエハを加熱することができる。

【００４０】また、天盤３についても、支持盤５と同様
なスリット９を形成するのが望ましい。天盤３の形状が
支持盤５の形状と異なると発熱量が異なるため、縦型ウ
エハボ−トの上下方向に温度ムラが生ずる。これを防止
するため、天盤３と支持盤５の形状を同一とするのが好
ましい。更に、上記実施形態では支持盤５よりも厚めの
２分割の底盤を用いた場合について説明したが、この底
盤４についても、縦型ウエハボ−トの上下方向に温度ム
ラが生ずるのを防止するために、支持盤５の形状と同一
にするのが好ましい。

【００４１】また、図８に示すようにスリット９を支柱
２に対して略直角に形成すると、支柱２は両端部に形成
された短冊部５ａの中央に位置することとなり、両端部
に形成された短冊部５ａを均一に発熱させることができ
ない。これを解決するめるために、図１１に示すよう
に、スリット９を支柱２に対して斜めに形成し、支柱２
が両端部に形成された短冊部５ａの端部に位置するよう
に形成するとよい。

【００４２】

【発明の効果】以上のように、本発明にかかる縦型ウエ
ハボートは、ボ−トを構成する支柱、天盤、底盤、支持
盤は、円柱状のインゴットを切り出すことによって、一
体物として形成されているために、各部材間を溶接ある
いは接合する必要がなく、組立工程が不要であるばかり
でなく、支持盤の面精度を良好なものにすることができ
る。しかも縦型ボートを安価に製造することができる。

【００４３】また、本発明にかかる縦型ウエハボート
は、前記支持盤にその両側から平行に複数のスリットを
形成すると共に前記支持盤の表面に絶縁膜を形成し、支
柱の上端部あるいは下端部に電源接続される端子部を形
成し、前記支持盤が発熱するように形成されているた
め、効率がよく、しかもウエハ各部の均一に加熱するこ
とができる。その結果、ウエハに発生するスリップの低
減を図ることができる。

【００４４】本発明にかかる縦型ウエハボートの製造方
法によれば、前述の縦型ウエハボートを容易にしかも安
価に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる第１の実施形態を示す縦型ウエ
ハボ−トを示す斜視図である。

【図２】図１に示された縦型ウエハボ−トの製造方法を
説明するための断面図であって、（ａ）は回転式外周刃
カッターを用いて製造する方法を示す断面図、（ｂ）は
回転式内周刃カッターを用いて製造する方法を示す断面
図、（ｃ）はバンドソ−あるいはワイヤ−ソ−を用いて
製造する方法を示す断面図である。

【図３】本発明にかかる第２の実施形態を示す縦型ウエ
ハボ−トを示す斜視図である。

【図４】図３に示された縦型ウエハボ−トの製造方法を
説明するための断面図である。

【図５】図４に示された縦型ウエハボ−トの他の製造方
法を説明するための断面図である。

【図６】支持盤の変形例を示す平面図である。

【図７】支持盤の他の変形例を示す平面図である。

【図８】第３の実施形態にかかる縦型ウエハボ−トの斜
視図である。

【図９】図８の支持盤の平面図である。

【図１０】図８に示された縦型ウエハボ−トの等価回路
を示す図である。

【図１１】支持盤の変形例を示す平面図である。

【図１２】従来の縦型ウエハボ−トを示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１ 縦型ウエハボ−ト ２ 支柱 ３ 天盤 ４ 底盤 ４ａ、４ｂ ２分割底盤 ５ 支持盤 ６ 挿入空間 ７ 平坦部 ８ フォ−ク ９ スリット １０ 開孔部 Ａ インゴット Ｂ 回転式外周刃カッタ− Ｃ 未切断部 Ｄ 回転式内周刃カッタ− Ｅ バンドソ−、ワイヤ−ソ−

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体製造工程の熱処理工程で使用され
   るウエハを面支持する縦型ウエハボートにおいて、 支柱の上下両端部には天盤と底盤とが位置しており、こ
   れらの間にはウエハを載置する複数の支持盤が所定の挿
   入空間をもって配置されると共に、これら支柱、天盤、
   底盤、支持盤は、円柱状もしくは円筒状のインゴットを
   切り出すことによって、一体物として形成されているこ
   とを特徴とする縦型ウエハボート。
2. 【請求項２】 前記支持盤にその両側から平行に複数の
   スリットを形成すると共に前記支持盤の表面に絶縁膜を
   形成し、２本の支柱の上端部あるいは下端部に電源接続
   される端子部を形成し、前記支持盤が発熱するように形
   成されていることを特徴とする請求項１に記載された縦
   型ウエハボート。
3. 【請求項３】 シリコンまたはカ−ボンからなる円柱状
   もしくは円筒状のインゴットをカッターでインゴットの
   中心軸に対し垂直にインゴットの中心軸より先まで切り
   込みを入れ、かつ途中で切り込みを中止することによっ
   て未切断部分を１箇所形成する工程と、前記インゴット
   の縦方向に所定の間隔を持って、前記工程の切り込みを
   複数回行うことにより、ウエハを載置する支持盤を複数
   形成する工程とを備えることを特徴とする縦型ウエハボ
   ートの製造方法。
4. 【請求項４】 シリコンまたはカ−ボンからなる円柱状
   もしくは円筒状のインゴットをカッターでインゴットの
   中心軸に対し垂直に切り込みを入れる第１の工程と、 更に、前記切り込みの方向とは反対の方向から回転式外
   周刃カッターで前記切断面と段差を生じることなく垂直
   に切り込みを入れ、かつ未切断部分を２個所設ける第２
   の工程と、 前記インゴットの縦方向に所定の間隔を持って、前記第
   １及び第２工程を複数回行うことにより、ウエハを載置
   する支持盤を複数形成し、かつ未切断部分を２か所残す
   ことにより２本の支柱を形成する第３の工程とを備える
   ことを特徴とする縦型ウエハボートの製造方法。
5. 【請求項５】 支持盤を複数形成した後、前記支持盤の
   両側から平行に複数のスリットを形成する工程と、 前記スリットを形成した後、少なくとも前記支持盤の表
   面に絶縁膜を形成する工程と、 支柱の上端部あるいは下端部に電源接続の端子部を形成
   する工程とを備えていることを特徴とする請求項４に記
   載された縦型ウエハボートの製造方法。