JPH10223484A - アルミ電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法 - Google Patents

アルミ電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法

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JPH10223484A
JPH10223484A JP2492197A JP2492197A JPH10223484A JP H10223484 A JPH10223484 A JP H10223484A JP 2492197 A JP2492197 A JP 2492197A JP 2492197 A JP2492197 A JP 2492197A JP H10223484 A JPH10223484 A JP H10223484A
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JP
Japan
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etching
hydrochloric acid
pits
electrolytic etching
electrolytic
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JP2492197A
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English (en)
Inventor
Takehiko Nakahara
武彦 中原
Yoichi Harada
洋一 原田
Yoshihiro Watanabe
善博 渡辺
Koichi Kojima
浩一 小島
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 静電容量、強度ともすぐれたものが得られる
アルミ電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法を提供
することを目的とする。 【解決手段】 アルミ箔を交流電解エッチングする前
に、直流電解エッチングを行うエッチング方法におい
て、前記直流電解エッチングで使用するエッチング液に
おける硫酸と塩酸の濃度比(硫酸wt%/塩酸wt%)
を0.5〜15の範囲としたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はアルミ電解コンデン
サ用電極箔のエッチング方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般にアルミ電解コンデンサ用電極箔
は、電解エッチングによってアルミ箔の表面に凹凸をつ
けた後、化成を行うことにより製造している。そして電
解エッチングは、化成皮膜の厚みに応じたピット形状を
得るために、低圧用のアルミ電解コンデンサに使用する
電極箔には交流電解エッチングを行い、一方、高圧用の
アルミ電解コンデンサに使用する電極箔には直流電解エ
ッチングを行っている。
【0003】この場合、交流電解エッチングにおいて
は、微細なピットが発生するため、表面積を拡大させる
ためには有効であるが、エッチングの進行に伴ってアル
ミ箔表面の腐食が起こり、これにより、有効なピットの
破壊を起こしやすいものである。一方、直流電解エッチ
ングにおいては、トンネル状のピットが発生するため、
アルミ箔表面の腐食は起こりにくいが、ピットが内部に
進行するため、電極箔の強度が弱くなるものである。
【0004】このような両者の問題点を補うエッチング
方法として、例えば、特公昭54−40379号公報に
示されているように、前段で直流電解エッチングを行
い、次段で交流電解エッチングを行うエッチング方法が
知られている。このエッチング方法における直流電解エ
ッチングで使用するエッチング液としては、塩酸濃度
0.5〜2.5規定、硝酸濃度0.01〜0.3規定、
リン酸濃度0.005〜0.5規定、硫酸イオン濃度1
0〜2000ppmの液組成で塩酸濃度が他の酸、特に
硫酸濃度に比べて高いエッチング液を使用し、かつ交流
電解エッチングの電気量は直流電解エッチングの電気量
1に対し、3.1以上30以下となるようにしているも
のである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た特公昭54−40379号公報に示される直流電解エ
ッチングで使用するエッチング液は、塩酸濃度が他の
酸、特に硫酸濃度に比べて高いため、トンネル状のピッ
トの開始点が集中してしまい、これにより、次段の交流
電解エッチングで生成されるピットの破壊が起こりやす
くなって静電容量が大きくならないという問題点を有し
ていた。
【0006】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、静電容量、強度ともすぐれたものが得られるアルミ
電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法を提供するこ
とを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のアルミ電解コンデンサ用電極箔のエッチング
方法は、アルミ箔を交流電解エッチングする前に、直流
電解エッチングを行うエッチング方法において、前記直
流電解エッチングで使用するエッチング液における硫酸
と塩酸の濃度比(硫酸wt%/塩酸wt%)を0.5〜
15の範囲としたもので、このエッチング方法によれ
ば、静電容量、強度ともすぐれたものが得られるもので
ある。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、アルミ箔を交流電解エッチングする前に、直流電解
エッチングを行うエッチング方法において、前記直流電
解エッチングで使用するエッチング液における硫酸と塩
酸の濃度比(硫酸wt%/塩酸wt%)を0.5〜15
の範囲としたもので、前記硫酸と塩酸の濃度比が0.5
以下の場合は、トンネル状のピットの開始点が集中する
ため、次段の交流電解エッチングで生成されるピットの
破壊が起こりやすくなって静電容量は大きくならない
が、濃度比が0.5以上になって硫酸の割合が増加して
くるとトンネル状のピットの開始点が分散されて十分な
間隔が得られるため、次段の交流電解エッチングで生成
されるピットの破壊は起こりにくくなって静電容量は大
きくなる。しかし、濃度比が15以上になると、塩酸濃
度が低い場合は、トンネル状のピットの開始点は分散さ
れるがピット数が減少するため、ピットが内部深くに進
行して電極箔の強度を弱くする。塩酸濃度が高い場合
は、全酸濃度が高くなるため、化学溶解が急激に進行し
てピットの貫通が起こるものであり、したがって、直流
電解エッチングで使用するエッチング液における硫酸と
塩酸の濃度比は0.5〜15の範囲が好ましいものであ
る。
【0009】請求項2に記載の発明は、直流電解エッチ
ングにおける直流の電流密度を0.3〜0.6A/cm2
の範囲としたもので、電流密度が0.3A/cm2以下の
場合は、発生するとピットの数が少なく、かつピットの
開始点の分散も悪いが、電流密度が0.3A/cm2以上
に増加すると発生するピットの数も増加し、かつピット
の開始点の分散も良好となるため、静電容量は大きくな
る。しかし、電流密度が0.6A/cm2以上になると、
発生するピットの数が増加し過ぎてピットの間隔が狭く
なるため、次段の交流電解エッチングで生成されるピッ
トの破壊が起こりやすくなって静電容量は大きくならな
いものであり、したがって、直流電解エッチングにおけ
る直流の電流密度は0.3〜0.6A/cm2の範囲が好
ましいものである。
【0010】請求項3に記載の発明は、直流電解エッチ
ングにおける直流の印加時間を10〜50秒の範囲とし
たもので、直流電解エッチングにおける直流の印加時間
が10秒以下の場合は、トンネル状のピットが十分に成
長しないため、静電容量の効果が表われにくいが、印加
時間が10秒以上になってくるとトンネル状のピットが
成長してくるため、表面積も十分に拡大されることにな
り、これにより、次段の交流電解エッチングで生成され
るピットの破壊も起こりにくくなって静電容量は大きく
なる。しかし、印加時間が50秒以上になると、トンネ
ル状のピットが内部深くに進行して電極箔の強度を弱く
するものであり、したがって、直流電解エッチングにお
ける直流の印加時間は10〜50秒の範囲が好ましいも
のである。
【0011】以下、本発明の実施の形態について説明す
る。 (実施の形態1)厚さ100μm、純度99.98%の
アルミ箔を、塩酸濃度が10wt%の水溶液からなるエ
ッチング液中で交流を用いて電解エッチングする前に、
塩酸濃度が3wt%である液温80℃のエッチング液中
で電流密度が0.4A/cm2の直流を用い、この直流を
20秒印加して直流電解エッチングを行った。
【0012】(表1)は塩酸濃度が3wt%である液温
80℃のエッチング液における硫酸と塩酸の濃度比を
0,0.5,1,5,10,15,16という具合に変
えて直流電解エッチングを行い、そしてこれらのアルミ
箔について、特公昭54−40379号公報に示された
エッチング液で直流電解エッチングを行った時のアルミ
箔の静電容量、強度を1としたときの静電容量比、強度
比の相対比を測定した結果を示したものである。
【0013】
【表1】
【0014】(表1)から明らかなように、直流電解エ
ッチングで使用するエッチング液における硫酸と塩酸の
濃度比(硫酸wt%/塩酸wt%)は0.5〜15の範
囲内において静電容量比、強度比ともすぐれたものが得
られるものである。なお、硫酸と塩酸の濃度比が15を
越えて16になると、化学溶解が急速に進行して安定し
たエッチングができなくなるものである。
【0015】(実施の形態2)厚さ100μm、純度9
9.98%のアルミ箔を、塩酸濃度が10wt%の水溶
液からなるエッチング液中で交流を用いて電解エッチン
グする前に、塩酸濃度が3wt%で、硫酸と塩酸の濃度
比が10である液温80℃のエッチング液中で直流の電
気量を8C/cm2にして直流電解エッチングを行った。
【0016】(表2)は上記直流電解エッチングにおけ
る直流の電流密度(A/cm2)を0.2,0.3,0.
4,0.5,0.6,0.7という具合に変えて直流電
解エッチングを行い、そしてこれらのアルミ箔につい
て、特公昭54−40379号公報に示されたエッチン
グ液で直流電解エッチングを行った時のアルミ箔の静電
容量、強度を1としたときの静電容量比、強度比の相対
比を測定した結果を示したものである。
【0017】
【表2】
【0018】(表2)から明らかなように、直流電解エ
ッチングにおける直流の電流密度は0.3〜0.6A/
cm2の範囲内において静電容量比、強度比ともすぐれた
ものが得られるものである。なお、電流密度が0.7A
/cm2になると、強度比は問題ないが、静電容量比が1
以下となるものである。
【0019】(実施の形態3)厚さ100μm、純度9
9.98%のアルミ箔を、塩酸濃度が10wt%の水溶
液からなるエッチング液中で交流を用いて電解エッチン
グする前に、塩酸濃度が3wt%で、硫酸と塩酸の濃度
比が10である液温80℃のエッチング液中で電流密度
が0.4A/cm2の直流を印加して直流電解エッチング
を行った。
【0020】(表3)は上記直流電解エッチングにおけ
る直流の印加時間を5秒,10秒,20秒,50秒,6
0秒という具合に変えて直流電解エッチングを行い、そ
してこれらのアルミ箔について、特公昭54−4037
9号公報に示されたエッチング液で直流電解エッチング
を行った時のアルミ箔の静電容量、強度を1としたとき
の静電容量比、強度比の相対比を測定した結果を示した
ものである。
【0021】
【表3】
【0022】(表3)から明らかなように、直流電解エ
ッチングにおける直流の印加時間は10〜50秒の範囲
内において静電容量比、強度比ともすぐれたものが得ら
れるものである。なお、直流の印加時間が60秒になる
と、静電容量比は問題ないが、強度比が1以下となるも
のである。
【0023】
【発明の効果】以上のように本発明のアルミ電解コンデ
ンサ用電極箔のエッチング方法は、アルミ箔を交流電解
エッチングする前に、直流電解エッチングを行うエッチ
ング方法において、前記直流電解エッチングで使用する
エッチング液における硫酸と塩酸の濃度比(硫酸wt%
/塩酸wt%)を0.5〜15の範囲としたもので、前
記硫酸と塩酸の濃度比が0.5以下の場合は、トンネル
状のピットの開始点が集中するため、次段の交流電解エ
ッチングで生成されるピットの破壊が起こりやすくなっ
て静電容量は大きくならないが、濃度比が0.5以上に
なって硫酸の割合が増加してくるとトンネル状のピット
の開始点が分散されて十分な間隔が得られるため、次段
の交流電解エッチングで生成されるピットの破壊は起こ
りにくくなって静電容量は大きくなる。しかし、濃度比
が15以上になると、塩酸濃度が低い場合は、トンネル
状のピットの開始点は分散されるがピット数が減少する
ため、ピットが内部深くに進行して電極箔の強度を弱く
する。塩酸濃度が高い場合は、全酸濃度が高くなるた
め、化学溶解が急激に進行してピットの貫通が起こるも
のであり、したがって、直流電解エッチングで使用する
エッチング液における硫酸と塩酸の濃度比を0.5〜1
5の範囲とすることにより、静電容量、強度ともすぐれ
たアルミ電解コンデンサ用電極箔を得ることができるも
のである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小島 浩一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 アルミ箔を交流電解エッチングする前
    に、直流電解エッチングを行うエッチング方法におい
    て、前記直流電解エッチングで使用するエッチング液に
    おける硫酸と塩酸の濃度比(硫酸wt%/塩酸wt%)
    を0.5〜15の範囲としたことを特徴とするアルミ電
    解コンデンサ用電極箔のエッチング方法。
  2. 【請求項2】 直流電解エッチングにおける直流の電流
    密度を0.3〜0.6A/cm2の範囲とした請求項1に
    記載のアルミ電解コンデンサ用電極箔のエッチング方
    法。
  3. 【請求項3】 直流電解エッチングにおける直流の印加
    時間を10〜50秒の範囲とした請求項1に記載のアル
    ミ電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法。
JP2492197A 1997-02-07 1997-02-07 アルミ電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法 Pending JPH10223484A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008192647A (ja) * 2007-01-31 2008-08-21 Nichicon Corp 電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008192647A (ja) * 2007-01-31 2008-08-21 Nichicon Corp 電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法

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