JPH10221022A - 寸法、形状測定誤差補正方法 - Google Patents
寸法、形状測定誤差補正方法Info
- Publication number
- JPH10221022A JPH10221022A JP3548497A JP3548497A JPH10221022A JP H10221022 A JPH10221022 A JP H10221022A JP 3548497 A JP3548497 A JP 3548497A JP 3548497 A JP3548497 A JP 3548497A JP H10221022 A JPH10221022 A JP H10221022A
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- JP
- Japan
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- measured
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- size
- data
- measurement
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被測定物を回転させるための回転テーブルが
偏芯をもって回転している場合でもその影響を受けずに
正確な測定結果を得ることができる偏芯回転誤差補正方
法を提供する。 【解決手段】 ＣＣＤセンサ（２）を用いて被測定物
（４）を回転させながら計測する計測方法であって、偏
心補正リング（３）を被測定物（４）と共に回転テーブ
ル（１）上に載置して、被測定物（４）を測定する時に
その偏心補正リング（３）のデータを同時に測定し、こ
こで得られたデータに対し、同時に得られた偏心補正リ
ング（３）の寸法、形状データを比較することで回転テ
ーブル（１）の偏心量を得さしめ、前記回転テーブル
（１）の偏心量の情報を被測定物（４）の測定データに
付加して演算実施することで回転テーブル（１）の偏心
量を除いた正確な被測定物（４）の寸法、形状データを
得る。これにより回転テーブルの偏芯補正をするための
みの測定をなす必要が無くなる。
偏芯をもって回転している場合でもその影響を受けずに
正確な測定結果を得ることができる偏芯回転誤差補正方
法を提供する。 【解決手段】 ＣＣＤセンサ（２）を用いて被測定物
（４）を回転させながら計測する計測方法であって、偏
心補正リング（３）を被測定物（４）と共に回転テーブ
ル（１）上に載置して、被測定物（４）を測定する時に
その偏心補正リング（３）のデータを同時に測定し、こ
こで得られたデータに対し、同時に得られた偏心補正リ
ング（３）の寸法、形状データを比較することで回転テ
ーブル（１）の偏心量を得さしめ、前記回転テーブル
（１）の偏心量の情報を被測定物（４）の測定データに
付加して演算実施することで回転テーブル（１）の偏心
量を除いた正確な被測定物（４）の寸法、形状データを
得る。これにより回転テーブルの偏芯補正をするための
みの測定をなす必要が無くなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＣＤリニアイメ
ージセンサを用いて被測定物の形状、寸法等を計測する
方法に関し、詳しくはその測定精度を向上させる測定誤
差補正方法に関する。
ージセンサを用いて被測定物の形状、寸法等を計測する
方法に関し、詳しくはその測定精度を向上させる測定誤
差補正方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来システムの概略構成図を示
す。このシステムの測定原理を以下に示す。まず、回転
テーブル（１）上に置かれた被測定物（４）に光源
（５）より平行光を照射し、その回転テーブル（１）を
ＣＣＤセンサ（２）のリセットパルスと同期させたパル
スモータ（６）により回転させる。この間、ＣＣＤセン
サ（２）は、パルスモータ（６）の決まった送り角度毎
に、被測定物（４）の影が投影されて変化したアナログ
電圧信号を出力する。このアナログ電圧信号より必要な
情報のみをパソコン（７）のメモリに転送しながら測定
を実施し、測定完了後そのデータをパソコン（７）で演
算することで内外径、内外径偏心量、真円度等必要な情
報を得るものである。この測定システムでは、回転テー
ブル（１）の回転中心からＣＣＤセンサ（２）の１画素
目までの距離が回転中一定であることが前提条件であ
る。
す。このシステムの測定原理を以下に示す。まず、回転
テーブル（１）上に置かれた被測定物（４）に光源
（５）より平行光を照射し、その回転テーブル（１）を
ＣＣＤセンサ（２）のリセットパルスと同期させたパル
スモータ（６）により回転させる。この間、ＣＣＤセン
サ（２）は、パルスモータ（６）の決まった送り角度毎
に、被測定物（４）の影が投影されて変化したアナログ
電圧信号を出力する。このアナログ電圧信号より必要な
情報のみをパソコン（７）のメモリに転送しながら測定
を実施し、測定完了後そのデータをパソコン（７）で演
算することで内外径、内外径偏心量、真円度等必要な情
報を得るものである。この測定システムでは、回転テー
ブル（１）の回転中心からＣＣＤセンサ（２）の１画素
目までの距離が回転中一定であることが前提条件であ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＣＣＤセンサ（２）を
用いて被測定物（４）を回転させながらその形状、寸法
等を計測する計測方法にあっては、被測定物（４）を回
転させて測定を実施するため、回転テーブル（１）が偏
心を持って回転している場合、上記回転テーブル（１）
の回転中心からＣＣＤセンサ（２）１画素目までの距離
が回転中その偏心量分変化してしまう。その結果、被測
定物（４）の寸法、形状データにこの偏心量分が加えら
れてしまい正確な測定が行われない。
用いて被測定物（４）を回転させながらその形状、寸法
等を計測する計測方法にあっては、被測定物（４）を回
転させて測定を実施するため、回転テーブル（１）が偏
心を持って回転している場合、上記回転テーブル（１）
の回転中心からＣＣＤセンサ（２）１画素目までの距離
が回転中その偏心量分変化してしまう。その結果、被測
定物（４）の寸法、形状データにこの偏心量分が加えら
れてしまい正確な測定が行われない。
【０００４】この現象を回避するには、回転精度の高い
モータを使用して回転テーブル（１９を回転させ測定精
度を向上させる方法が考えられる。しかし、高精度回転
が可能なモータは高額でありそれを導入することで測定
システム全体のコストが上がってしまう。また、予め回
転テーブル（１）の各角度での偏心量を測定しておいて
そのデータをパソコン（７）での演算に利用する方法が
考えられるが、この方法では測定実施中に、例えば振動
等の影響で不測の偏心量が生じた場合には、上記同様正
確な測定ができない。本発明は上記の欠点に鑑み、被測
定物（４）を回転させるための回転テーブル（１）が偏
心を持って回転している場合でもその影響を受けずに正
確な測定結果を得ることが可能な偏心回転誤差補正方法
の開発を目的とする。
モータを使用して回転テーブル（１９を回転させ測定精
度を向上させる方法が考えられる。しかし、高精度回転
が可能なモータは高額でありそれを導入することで測定
システム全体のコストが上がってしまう。また、予め回
転テーブル（１）の各角度での偏心量を測定しておいて
そのデータをパソコン（７）での演算に利用する方法が
考えられるが、この方法では測定実施中に、例えば振動
等の影響で不測の偏心量が生じた場合には、上記同様正
確な測定ができない。本発明は上記の欠点に鑑み、被測
定物（４）を回転させるための回転テーブル（１）が偏
心を持って回転している場合でもその影響を受けずに正
確な測定結果を得ることが可能な偏心回転誤差補正方法
の開発を目的とする。
【０００５】
【課題を解決しようとする手段】本発明は、ＣＣＤリニ
アイメージセンサ（２、以下ＣＣＤセンサと称す）を用
いて被測定物（４）を回転させながらその形状、寸法等
を計測する計測方法であって、内径（外径）値、真円度
が保証されている偏心補正リング（３）を被測定物
（４）と共に回転テーブル（１）上に載置して被測定物
（４）の測定時にその偏心補正リング（３）の内径（外
径）、真円度のデータを同時に測定し、ここで得られた
回転テーブル（１）の偏心量が含まれているデータに対
し、同時に得られた予め保証されている偏心補正リング
（３）の寸法、形状データを比較することで回転テーブ
ル（１）の偏心量を得さしめ、前記回転テーブル（１）
の偏心量の情報を被測定物（４）の測定データに付加し
て演算実施することで回転テーブル（１）の偏心量を除
いた正確な被測定物（４）の寸法、形状データを得るこ
とを特徴としている。
アイメージセンサ（２、以下ＣＣＤセンサと称す）を用
いて被測定物（４）を回転させながらその形状、寸法等
を計測する計測方法であって、内径（外径）値、真円度
が保証されている偏心補正リング（３）を被測定物
（４）と共に回転テーブル（１）上に載置して被測定物
（４）の測定時にその偏心補正リング（３）の内径（外
径）、真円度のデータを同時に測定し、ここで得られた
回転テーブル（１）の偏心量が含まれているデータに対
し、同時に得られた予め保証されている偏心補正リング
（３）の寸法、形状データを比較することで回転テーブ
ル（１）の偏心量を得さしめ、前記回転テーブル（１）
の偏心量の情報を被測定物（４）の測定データに付加し
て演算実施することで回転テーブル（１）の偏心量を除
いた正確な被測定物（４）の寸法、形状データを得るこ
とを特徴としている。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１に本誤差補正方法の概念図を
示す。図１のように、本来ならば回転テーブル（１）の
回転中心点ＯとＣＣＤセンサ（２）の１画素目までの距
離はＬ１であり、ＣＣＤセンサ（２）の画素は回転テー
ブル（１）のＸ軸上に並んでいるものである。しかし、
回転テーブル（１）が偏心量を持つ回転をした場合回転
中心は点Ｏ′に移動し、そこからＣＣＤセンサ（２）の
１画素目までのＸ方向の距離はＬｘになってしまう。こ
こで、このＬｘの大きさは不特定でありこの大きさが測
定しようとする寸法、形状データに加えられてしまい正
確な測定ができない。
示す。図１のように、本来ならば回転テーブル（１）の
回転中心点ＯとＣＣＤセンサ（２）の１画素目までの距
離はＬ１であり、ＣＣＤセンサ（２）の画素は回転テー
ブル（１）のＸ軸上に並んでいるものである。しかし、
回転テーブル（１）が偏心量を持つ回転をした場合回転
中心は点Ｏ′に移動し、そこからＣＣＤセンサ（２）の
１画素目までのＸ方向の距離はＬｘになってしまう。こ
こで、このＬｘの大きさは不特定でありこの大きさが測
定しようとする寸法、形状データに加えられてしまい正
確な測定ができない。
【０００７】
【実施例】図２に偏心補正リング（３）を被測定物
（４）の内側に置いた測定例を示す。本方法では偏心補
正リング（３）を置く位置は回転テーブル（１）上でＣ
ＣＤセンサ（２）の視野内ならば被測定物（４）の内
側、外側何れでも任意の位置で良い。また、そのリング
の寸法、形状が保証されている部分はその内径、外径何
れか一方で良い。従って、リングではなくその外径部の
寸法、形状が保証された円盤状のものでも良い。
（４）の内側に置いた測定例を示す。本方法では偏心補
正リング（３）を置く位置は回転テーブル（１）上でＣ
ＣＤセンサ（２）の視野内ならば被測定物（４）の内
側、外側何れでも任意の位置で良い。また、そのリング
の寸法、形状が保証されている部分はその内径、外径何
れか一方で良い。従って、リングではなくその外径部の
寸法、形状が保証された円盤状のものでも良い。
【０００８】このように被測定物（４）の大きさ、形状
に合った偏心補正リング（３）を何種類か用意すること
で様々な測定パターンに対応可能である。また、回転テ
ーブル（１）のガラス部分に本偏心測定リング（３）を
埋め込むことも可能である。更に、上記ガラスに径の保
証された真円を書き込むことでも同様の効果を得られ
る。
に合った偏心補正リング（３）を何種類か用意すること
で様々な測定パターンに対応可能である。また、回転テ
ーブル（１）のガラス部分に本偏心測定リング（３）を
埋め込むことも可能である。更に、上記ガラスに径の保
証された真円を書き込むことでも同様の効果を得られ
る。
【０００９】
【発明の効果】上記のような構成によって、以下に示す
優れた効果が得られる。本発明では被測定物（４）と偏
心補正リング（３）を同時に測定するので、回転テーブ
ル（１）の偏心補正をするためのみの測定を実施する必
要が無い。また測定一回毎に偏心補正リング（３）を測
定するので、測定中に振動等の力が加わって偏心が生じ
た場合でも問題無く偏心量の補正が行える。更に本方法
では、偏心量測定を寸法、形状測定用のＣＣＤセンサ
（２）で行うため新たに別のセンサを用意する必要が無
い。従って低コストであり、かつシステムの校正が容易
である。
優れた効果が得られる。本発明では被測定物（４）と偏
心補正リング（３）を同時に測定するので、回転テーブ
ル（１）の偏心補正をするためのみの測定を実施する必
要が無い。また測定一回毎に偏心補正リング（３）を測
定するので、測定中に振動等の力が加わって偏心が生じ
た場合でも問題無く偏心量の補正が行える。更に本方法
では、偏心量測定を寸法、形状測定用のＣＣＤセンサ
（２）で行うため新たに別のセンサを用意する必要が無
い。従って低コストであり、かつシステムの校正が容易
である。
【図１】本発明の一実施例を示す平面図である。
【図２】本発明の別の実施例を示す平面図である。
【図３】本発明を用いない従来の測定装置を示す略面図
である。
である。
１ 回転テーブル ２ ＣＣＤリニアイメージセンサ（ＣＣＤセンサ） ３ 偏心補正リング ４ 被測定物 ５ 光源 ６ パルスモータ ７ パソコン
Claims (1)
- 【請求項１】 内径（外径）値、真円度が保証されてい
る偏心補正リングを被測定物と共に回転テーブル上に載
置して被測定物の測定時にその偏心補正リングの内径
（外径）、真円度のデータを同時に測定し、 得られた回転テーブルの偏心量が含まれているデータに
対し、同時に得られた予め保証されている偏心補正リン
グの寸法、形状データを比較して回転テーブルの偏心量
を求め、 前記回転テーブルの偏心量の情報を被測定物の測定デー
タに付加して演算実施せしめ回転テーブルの偏心量を除
いた正確な被測定物の寸法、形状データを得ることを特
徴とする寸法、形状測定誤差補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3548497A JPH10221022A (ja) | 1997-02-03 | 1997-02-03 | 寸法、形状測定誤差補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3548497A JPH10221022A (ja) | 1997-02-03 | 1997-02-03 | 寸法、形状測定誤差補正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10221022A true JPH10221022A (ja) | 1998-08-21 |
Family
ID=12443033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3548497A Pending JPH10221022A (ja) | 1997-02-03 | 1997-02-03 | 寸法、形状測定誤差補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10221022A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012145492A (ja) * | 2011-01-13 | 2012-08-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法 |
| CN105066887A (zh) * | 2015-09-09 | 2015-11-18 | 浙江中烟工业有限责任公司 | 一种卷烟和滤棒长度测量时偏心角度影响的验证方法 |
| CN105136043A (zh) * | 2015-09-09 | 2015-12-09 | 浙江中烟工业有限责任公司 | 一种卷烟和滤棒长度测量多点测量影响的验证方法 |
| CN105136051A (zh) * | 2015-09-09 | 2015-12-09 | 浙江中烟工业有限责任公司 | 一种卷烟和滤棒圆周测量多点测量影响的验证方法 |
| CN105241388A (zh) * | 2015-09-09 | 2016-01-13 | 浙江中烟工业有限责任公司 | 一种卷烟和滤棒长度测量时偏心距离影响的验证方法 |
| CN105423933A (zh) * | 2015-09-09 | 2016-03-23 | 浙江中烟工业有限责任公司 | 一种卷烟和滤棒圆周测量时偏心距离影响的验证方法 |
| CN105606029A (zh) * | 2015-09-09 | 2016-05-25 | 浙江中烟工业有限责任公司 | 一种卷烟和滤棒长度测量标准装置 |
| JP2018169266A (ja) * | 2017-03-29 | 2018-11-01 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定装置の角度補正方法及び角度補正装置 |
-
1997
- 1997-02-03 JP JP3548497A patent/JPH10221022A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012145492A (ja) * | 2011-01-13 | 2012-08-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法 |
| CN105066887A (zh) * | 2015-09-09 | 2015-11-18 | 浙江中烟工业有限责任公司 | 一种卷烟和滤棒长度测量时偏心角度影响的验证方法 |
| CN105136043A (zh) * | 2015-09-09 | 2015-12-09 | 浙江中烟工业有限责任公司 | 一种卷烟和滤棒长度测量多点测量影响的验证方法 |
| CN105136051A (zh) * | 2015-09-09 | 2015-12-09 | 浙江中烟工业有限责任公司 | 一种卷烟和滤棒圆周测量多点测量影响的验证方法 |
| CN105241388A (zh) * | 2015-09-09 | 2016-01-13 | 浙江中烟工业有限责任公司 | 一种卷烟和滤棒长度测量时偏心距离影响的验证方法 |
| CN105423933A (zh) * | 2015-09-09 | 2016-03-23 | 浙江中烟工业有限责任公司 | 一种卷烟和滤棒圆周测量时偏心距离影响的验证方法 |
| CN105606029A (zh) * | 2015-09-09 | 2016-05-25 | 浙江中烟工业有限责任公司 | 一种卷烟和滤棒长度测量标准装置 |
| JP2018169266A (ja) * | 2017-03-29 | 2018-11-01 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定装置の角度補正方法及び角度補正装置 |
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