JPH10209583A

JPH10209583A - フレキシブル金属箔ポリイミド積層板

Info

Publication number: JPH10209583A
Application number: JP9012524A
Authority: JP
Inventors: Kazunori Kojima; 一記小島; Nobuyuki Sudo; 信行須藤; Koichi Aizawa; 相沢　　浩一; Masanao Kobayashi; 正尚小林; Shigeyuki Shishido; 重之宍戸; Takaaki Tsushima; 敬章津嶋
Original assignee: Mitsui Chemicals Inc
Current assignee: Mitsui Chemicals Inc
Priority date: 1997-01-27
Filing date: 1997-01-27
Publication date: 1998-08-07

Abstract

(57)【要約】【課題】反りのない金属箔ポリイミド積層板の製造方
法を提供することを目的とする。【解決手段】片面もしくは両面金属箔とポリイミドフ
ィルムを、熱可塑性ポリイミドを介して貼り合わせ、平
坦性、接着性を高めるために、回転する少なくとも二本
の加熱圧着ロールに温度変化をつけて、接触時間を保持
し、ラミネートを行う。【効果】本発明によれば、加熱圧着ロールに温度変化
をつけて、接触時間を保持することにより、平坦性があ
り接着性のある金属箔ポリイミド積層板の長尺品を容易
に得ることができ、所要の寸法に整幅剪断後に必要に応
じてプレス工程を行うことで、平坦性や接着性は更に向
上できるという効果を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも一面に
金属箔とポリイミド層とからなるフレキシブル金属箔ポ
リイミド積層板及びその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ポリイミドフィルムを熱可塑性ポリイミ
ド層を介して、片面もしくは両面に金属箔をラミネート
された金属箔ポリイミド積層板は公知であり、フレキシ
ブルであり薄く軽量である上、強靭であるため広く用い
られている。この金属箔ポリイミド積層板の使用例とし
ては、電子機器、電気機器、コンピューター、通信機器
等の印刷回路基板、面状発熱体、電磁シールド材料、サ
スペンション材料、フラットケーブル、包装材料等が挙
げられる。

【０００３】従来のこの金属箔ポリイミド積層板を加熱
圧着ロールで製造する場合、ポリイミドとそれを介する
金属、もしくは異種金属の線膨張係数や弾性率をはじめ
諸物性が異なっているため、ラミネート後に常温に戻し
た際に反りやカールが生じ、以降の回路加工に適用でき
なかったり、加工時の取扱い性が悪いという問題があっ
た。（特願平８−８４１３０号など）また、ラミネートライン速度を増加させると、熱可塑性
ポリイミドと金属箔が十分に加熱されないために、ラミ
ネート界面の接着性が十分に発現しないという問題があ
った。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題を
解決するためになされたものであり、その目的とすると
ころは、反りやカールがなく、かつ、接着力が十分な金
属箔とポリイミドが積層されたフレキシブルプリント回
路基板の製造方法を提供することを目的とする。上記の
目的は、二枚の長尺の金属箔とポリイミドフィルムを熱
可塑性ポリイミド層を介して、又は、一枚の長尺の金属
箔とポリイミドフィルムを熱可塑性ポリイミド層を介し
て、加熱圧着ロールを用いて、ラミネートを行う際に、
回転する少なくとも二本の加熱圧着ロールの温度を、各
々単独に制御をすることにより、温度変化をつけ、平坦
性を高めることにより達成される。

【０００５】また、上記の目的は、ラミネートを行う際
に、長尺の金属箔とポリイミドフィルムを熱可塑性ポリ
イミド層を介して、又は、一枚の長尺の金属箔とポリイ
ミドフィルムを熱可塑性ポリイミド層を介して、加熱圧
着ロールに直接抱かせ、抱き角によって接触時間を保持
し、ポリイミド層と金属箔とを加熱圧着ロール温度付近
の温度でラミネートすることにより、熱可塑性ポリイミ
ドと金属箔のラミネート界面の接着性が発現することに
より達成される。

【０００６】更に、所要の寸法に切断し後に、必要に応
じて、平坦性や接着性を向上させるために、プレスを行
うことにより、反りのない、ラミネート界面の接着性が
十分な金属箔ポリイミド積層板が得ることができる。ま
た、ラミネートを行い、接着面の仮接着力を強化するこ
とにより、穏和な条件でプレスでき、更に、プレス時間
を短縮することができる。

【０００７】

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、
（１）金属箔またはポリイミドフィルムの両面または片
面に熱可塑性ポリイミド、その前駆体又はそれらの混合
物を塗布、キュアして熱可塑性ポリイミド層を形成した
後に、他の金属箔または他の熱可塑性ポリイミドと金属
箔の積層板とを当該熱可塑性ポリイミド層を介して重ね
合わせ、回転する少なくとも二本の加熱圧着ロールに１
〜８０℃の温度差をつけて、ラミネートすることにより
得られるフレキシブル金属箔ポリイミド積層板、（２）
少なくとも二本の加熱圧着ロールを使用し、ロールと金
属箔又は熱可塑性ポリイミドフィルムの接触時間を１秒
から７００秒保持することにより、連続的に加熱圧着し
積層する（１）に記載の製造方法、および（３）上記
（１）〜（２）に記載の方法によって連続積層したフレ
キシブル金属箔ポリイミド積層板コイルを、所要寸法に
整幅剪断し、プレスを行うことを特徴とする反りのない
平坦な金属箔ポリイミド積層板シートの製造方法であ
る。

【０００８】

【発明実施の形態】本発明は、加熱圧着ロールに温度変
化をつけ、接触時間を保持することにより、平坦性があ
り、接着性のある金属箔ポリイミド積層板の長尺品を容
易に得ることができ、更に、所要寸法に整幅剪断後に必
要に応じてプレス工程を行うことで、平坦性や接着性は
更に向上することができるという効果を有する。以下に
本発明の詳細を説明する。本発明に関わる熱可塑性ポリ
イミドは、接着面層が熱可塑性ポリイミドであれば良
く、単一の層でも、異なる多層のポリイミドから成って
いてもよい。接着面層ポリイミド以外は、熱可塑性ポリ
イミドである必要は必ずしもない。熱可塑性ポリイミド
及びその前駆体として適した酸無水物には、例えば、以
下の構造式（１）（化１）で表されるものを挙げること
ができる。

【０００９】

【化１】式中において、Ｘは主に下記の構造式（化２）からなる
群から選ばれる少なくとも一つの成分が挙げられるが、
これに限定されるものではない。

【００１０】

【化２】ジアミンとしては、例えば、以下の構造式（２）（化
３）で表されるものを挙げることができる。

【００１１】

【化３】式中において、Ｙは主に下記の構造式（化４）からなる
群から選ばれる少なくとも一つの成分が挙げられるが、
これに限定されるものではない。

【００１２】

【化４】（式中、Ｒは直接結合、Ｓ、ＳＯ₂、ＣＯ、Ｃ₃Ｈ₆、Ｃ₃
Ｆ₆を表わす）ポリイミドフィルムとしては、市販の汎用品を用いるこ
とができる。具体的には、例えば、宇部興産（株）製Ｕ
ＰＩＬＥＸ、東レ・デュポン（株）製Ｋａｐｔｏｎ及び
鐘淵化学工業（株）製Ａｐｉｃａｌなどを挙げることが
できる。

【００１３】金属箔の材料としては、銅、アルミニウ
ム、ニッケル、ベリリウム、クロム、、亜鉛、鉛、金、
銀、白金、マグネシウム、鉄、モリブテン、コバルト及
びその合金が挙げられる。通常、銅箔が用いられ、特
に、フレキシブル回路基板を形成するための金属箔とし
ては銅箔が多く用いられる。銅箔については、圧延銅
箔、電解銅箔のいずれも使用できる。金属箔の厚さ９μ
ｍから１５０μｍであり、好ましくは１２μｍから７０
μｍである。熱可塑性ポリイミド層の厚さは２μｍから
１００μｍであり、好ましくは４μｍから７０μｍであ
る。熱可塑性ポリイミド層が２μｍ以下では絶縁性の問
題が生じ、金属箔が１５０μｍを越えると剛性が強くな
りラミネートが不可能になる。熱可塑性ポリイミド層及
び金属箔とも上記の範囲外では、各々の線膨張係数の違
いにより反りの発生が大きくなるという問題が生じる。

【００１４】ポリイミド層及び金属箔の連続積層方法と
しては、例えばロールラミネート法等が挙げられる。ロ
ールラミネート法としては、ロールプレス方式によるロ
ールトゥロールの連続ラミネーター等が用いられる。そ
の他、連続積層方法としては、移動型プレス方式、マル
チロール方式、ダブルベルト方式等の積層方法を挙げる
ことができ、特に限定するものではない。

【００１５】ロールラミネートのロールとしては、少な
くとも二本の加熱圧着ロールを使用し、対をなすロール
の片側もしくは両側の表面は耐熱性のゴムが使用され
る。熱可塑性ポリイミドと金属箔の界面接着をロールプ
レスで連続的に積層するためには、ラミネートロールの
幅と周方向に均一に加圧が重要である。加圧圧力として
は線圧で１０ｋｇｆ／ｃｍから８０ｋｇｆ／ｃｍであ
り、好ましくは２０ｋｇｆ／ｃｍから５０ｋｇｆ／ｃｍ
である。８０ｋｇｆ／ｃｍを越えるとラミネートロール
のゴムロールの剥がれが生じ、１０ｋｇｆ／ｃｍ以下で
はラミネート品の接着が不十分である。

【００１６】このロール表面に用いられるゴムには特に
限定はなく、天然ゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴ
ム、スチレン−ブタジエンゴム、ニトリルゴム、アクリ
ルゴム、ウレタンゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム
等のゴムで、これら単独あるいは２種類以上混合した
り、いわゆる加硫化処理したものが使用される。さら
に、ロールプレス時にはゴムも加熱されるため、耐熱性
の高いゴム、即ちシリコンゴム、フッ素等が特に好まし
い。

【００１７】ロール接触時間を保持する場合、ラミネー
トを行う際に、金属箔もしくはポリイミドフィルムを直
接加熱圧着ロールに抱かせ、抱き角によって接触時間を
保持しているが、抱き角として２０度から１８０度であ
り、好ましくは９０度から１８０度の抱き角を取り、接
触時間を１秒から７００秒、好ましくは５秒から５００
秒保持し、熱可塑性ポリイミド層と金属箔とを加熱圧着
ロール温度設定付近の温度で回転する少なくとも二本の
加熱圧着ロールに１〜８０℃の温度差をつけて、ラミネ
ートすることにより熱可塑性ポリイミドと金属箔のラミ
ネート界面の接着性が向上する。抱き角とは、対の加熱
圧着ロールのラミネート面に対しての角度のことであ
り、ガイドロール位置によって抱き角は任意変更でき
る。通常ラミネートを行う場合の抱き角は２０度から１
８０度であり、好ましくは９０度から１８０度である
が、特に限定されるものではない。ラミネートロール接
触時間は１秒から７００秒、好ましくは５秒から５００
秒保持することが望ましい。接触時間はラミネートのラ
イン速度と加熱圧着ロール径により容易に算出できる。

【００１８】金属箔及びポリイミドフィルム等の基材を
予備加熱する方法として、加熱炉を使用することも可能
である。加熱炉としては基材のみを加熱する方法でも良
いし、ロール全体を覆う方法でも良い。加熱方法として
は、熱風方式や遠赤ヒーター方式等挙げられるが、特に
限定されるものではない。また、必要に応じて接着面と
なる熱可塑性ポリイミド表面に、コロナ処理、プラズマ
処理、スパッタ処理等の放電による表面改質処理を合わ
せて用いることができる。

【００１９】ロールラミネート後の金属箔ポリイミド積
層板仮接着品のプレス方法としては、例えばバッチプレ
ス法等が挙げられる。バッチプレス法としては加熱加圧
下で圧着するが、加熱加圧条件としては２００℃、５０
０ｋｇｆ／ｃｍ²の範囲で行われる。上記ラミネートに
よって仮接着した金属箔ポリイミド積層板のラミネート
界面の接着性を高めることができるもので、シート状で
積層できるものであれば良く、通常のハイドロプレス、
真空タイプのハイドロプレス、オートクレーブ加圧式真
空プレス等を使用できる。プレス温度としては、接着層
である熱可塑性ポリイミドのガラス転移点（Ｔｇ）以上
にすることが望ましい。従来このフレキシブル金属箔ポ
リイミド積層板を加熱圧着ロールで製造する場合、ポリ
イミドとそれを介する金属、もしくは異種金属の線膨張
係数や弾性率をはじめ諸物性が異なっているため、ラミ
ネート後に常温に戻した際に反りやカールが生じ、以降
の回路加工に適用できなかったり、加工時の取扱い性が
悪いという問題が発生していたため、加熱圧着ロールの
温度差変更ラミネートを考えた。反りは接触する各々の
金属箔やポリイミドの厚みや、線膨張係数、比熱、熱伝
導度等の諸物性の違いに影響され、加熱圧着ロール温度
差は１℃から８０℃、好ましくは５℃から６０℃の範囲
内でカールのない目的とするフレキシブル金属箔ポリイ
ミド積層板を得ることができる。圧着ロールの温度差が
８０℃を越え、あるいは１℃未満においても積層板のカ
ールは大きくなり、その選択はポリイミドと金属箔の熱
物性により左右されるが本発明に於いては上記１〜８０
℃の範囲に於て発明の目的を達成することができる。

【００２０】

【実施例】以下に、本発明を具体的な実施例に基づいて
説明する。しかし、本発明はこれらに限定されるもので
はない。実施例１塗工機を用いて、市販の厚さ１８μｍの銅ニッケル合金
箔に、ジアミンとして１，３−ビス（−アミノフェノキ
シ）ベンゼン１モル当たり、酸無水物としてネ０．８モ
ルの３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸二無水物と、０．２モルの３，３’，４，４’−ビ
フェニルテトラカルボン酸二無水物とをＮ−メチル−２
−ピロリドンを溶媒として、固形分２０％で調整したポ
リアミド酸溶液（以下の実施例、比較例も同じものを使
用した。）を均一かつ連続的に直接流延塗布し、加熱し
てポリアミド酸溶液の溶媒除去すると共にイミド化し、
熱可塑性ポリイミド塗布銅ニッケル合金箔を得、それを
巻き取ってコイルとした。この熱可塑性ポリイミド塗布
銅ニッケル合金箔の厚さは２８μｍであった。

【００２１】この熱可塑性ポリイミド塗布銅ニッケル合
金箔コイルと、厚さ２０μｍのＳＵＳ３０４箔（新日鐵
社製）コイルとを使用し、熱可塑性ポリイミド塗布銅ニ
ッケル合金箔の熱可塑性ポリイミド側にＳＵＳ３０４箔
が接するようにして、上記の方法によって、加熱圧着ロ
ールを用い、ＳＵＳ３０４箔側のロールの温度２２０
℃、熱可塑性ポリイミド塗布銅ニッケル合金箔の合金箔
側のロールの温度２１０℃に設定し、各々の金属箔面が
加熱圧着ローラーに接触するように抱かせることによ
り、１００秒のロール接触時間を取り、線圧力３０ｋｇ
ｆ／ｃｍ²、でラミネートを行い、金属箔ポリイミド積
層板の仮接着品を得た。

【００２２】この金属箔ポリイミド積層板仮接着品のピ
ール強度は、ＳＵＳ３０４箔とポリイミド層の間で０．
６ｋｇｆ／ｃｍ、銅ニッケル合金箔とポリイミド層の間
で１．２ｋｇ／ｃｍであり、コイル状でのカール、ねじ
れ、しわ、傷やごみ等の欠陥は認められず、幅４００ｍ
ｍ、長さ７００ｍｍの寸法に整幅剪断後の金属箔ポリイ
ミド積層板シートの反りはほとんど見られず、最大で銅
箔面を内側にして１ｍｍであった。

【００２３】その後、２４５℃、７５ｋｇ／ｃｍ²の条
件で１時間プレスし、金属箔ポリイミド積層板シートを
得た。この金属箔ポリイミド積層板のピール強度は、Ｓ
ＵＳ３０４箔とポリイミド層の間で１．２ｋｇｆ／ｃ
ｍ、銅ニッケル合金箔とポリイミド層の間で１．５ｋｇ
／ｃｍであり、上記寸法での反りがなく平坦な金属箔ポ
リイミド積層板シートが得られた。また、２８８℃、６
０秒間の半田浴浸漬後もフクレやハガレは全く見られな
かった。

【００２４】比較例１実施例１と同様の金属箔ポリイミド積層板を、ＳＵＳ３
０４とポリイミド塗布銅ニッケル合金箔に接触する両方
のロールを、２２０℃の同一温度設定条件でラミネート
することにより得た。得られた金属箔ポリイミド積層板
の長尺のコイルは、銅ニッケル合金箔側を内側にカール
しており、幅４００ｍｍ、長さ７００ｍｍの寸法整幅剪
断後の金属ポリイミド積層板シートにも、銅ニッケル合
金側を内側に反りが見られ、反り量の最大値は銅箔面を
内側にして２０ｍｍであった。

【００２５】比較例２両面に熱可塑性ポリイミドを塗布したポリイミドフィル
ムを、厚さ２０μｍで、密度７８００ｋｇ／ｍ³、線膨
張係数２３ｐｐｍ／ｋ、比熱０．１２ｃａｌ／ｋｇ℃、
熱伝導度１６ｃａｌ／ｍｈ℃の物性のｓｕｓ３０４箔コ
イルと、厚さ１８μｍで、密度８６００ｋｇ／ｍ³、線
膨張係数２８ｐｐｍ／ｋ、比熱０．０９ｃａｌ／ｋｇ
℃、熱伝導度８５ｃａｌ／ｍｈ℃の銅ニッケル合金箔コ
イルが、熱可塑性ポリイミドを介して重なるようにし
て、両方の金属箔に接触する加熱圧着ロールの温度を２
３０℃でラミネートを行い、幅４００ｍｍ、長さ７００
ｍｍの寸法に調幅剪断後のフレキシブル金属箔ポリイミ
ド積層板シートの反りは、銅ニッケル合金箔側を内側に
して１１ｍｍであった。

【００２６】実施例２上記同様の基材を用い、ＳＵＳ３０４箔コイル側に接触
する加熱圧着ロールの温度を２３０℃、銅ニッケル合金
箔コイルが接触する加熱圧着ロールの温度を２２０℃で
同様にラミネートを行い、所定の調幅剪断後にフレキシ
ブル金属箔ポリイミド積層板シートの反りを測定する
と、銅ニッケル合金箔側を内側にして反り量は５ｍｍで
あった。

【００２７】実施例３上記同様の基材を用い、ＳＵＳ３０４箔コイル側に接触
する加熱圧着ロールの温度を２３０℃、銅ニッケル合金
箔コイルが接触する加熱圧着ロールの温度を２１０℃で
同様にラミネートを行い、所定の調幅剪断後にフレキシ
ブル金属箔ポリイミド積層板シートの反りを測定する
と、銅ニッケル合金箔側を内側にして反り量は１ｍｍで
あった。

【００２８】実施例４上記同様の基材を用い、ＳＵＳ３０４箔コイル側に接触
する加熱圧着ロールの温度を２３０℃、銅ニッケル合金
箔コイルが接触する加熱圧着ロールの温度を２００℃で
同様にラミネートを行い、所定の調幅剪断後にフレキシ
ブル金属箔ポリイミド積層板シートの反りを測定する
と、ＳＵＳ３０４箔側を内側にして反り量は４ｍｍであ
った。

【００２９】実施例５塗工機を用いて市販の厚さ１８μｍの圧延銅箔（ジャパ
ンエナジー社製商品名：ＢＨＹ−０２Ｂ−Ｔ）に、ジ
アミンとして１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベ
ンゼン１モル当たり、酸無水物として、０．８モルの
３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物と、０．２モルの３，３’，４，４’−ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物とをＮ−メチル−２−ピ
ロリドンを溶媒として、固形分２０％で調整したポリア
ミド酸溶液を均一かつ連続的に直接流延塗布し、加熱し
てポリアミド酸溶液の溶媒除去すると共にイミド化し、
ポリイミド塗布圧延銅箔を得、それを巻き取ってコイル
とした。このポリイミド塗布圧延銅箔の厚さは４３μｍ
であった。

【００３０】このポリイミ塗布圧延銅箔コイルと未塗工
の上記の圧延銅箔をポリイミド塗布圧延銅箔のポリイミ
ド側が接するようにして、上記の方法によって、加熱圧
着ロールを用い、ポリイミド塗布圧延銅箔コイル側のロ
ールの温度を２２０℃、圧延銅箔コイル側のロールの温
度２３０℃で、各々の圧延銅箔面が加熱圧着ロールに接
触し、９０度抱かせることにより、１５０秒のロール接
触時間を取り、線圧力３０ｋｇｆ／ｃｍ²でラミネート
を行い、圧延銅箔ポリイミド積層板の仮接着品を得た。
この銅箔ポリイミド積層板仮接着品のピール強度は、ラ
ミネート面である圧延銅箔とポリイミド層の間で０．８
ｋｇｆ／ｃｍ、コイル状でのカール、ねじれ、しわ、傷
やごみ等の欠陥は認められず、幅４００ｍｍ、長さ７０
０ｍｍの寸法に調幅剪断後の圧延銅箔ポリイミド積層板
シートにも反りはほとんど見られず、最大で１ｍｍであ
った。その後、２５０℃、７５ｋｇ／ｃｍ²の条件で１
時間プレスし、圧延銅箔ポリイミド積層板シートを得
た。この圧延銅箔ポリイミド積層板のピール強度は、圧
延銅箔とポリイミド層の相だで１．５ｋｇｆ／ｃｍ、ポ
リイミド層同士の間で２．０ｋｇｆ／ｃｍであり、反り
がなく平坦な圧延銅箔ポリイミド積層板シートが得られ
た。また、２８８℃、６０秒間の半田浴浸漬後もフクレ
や剥れは全く見られなかった。

【００３１】比較例３実施例２と同様の圧延銅箔ポリイミド積層板を、各々の
ポリイミド塗布圧延銅箔の銅箔側に接触する加熱圧着ロ
ールの抱き角を１０度して、５秒のロール接触時間を取
り、ラミネートを行うことで得た。得られた圧延銅箔ポ
リイミド積層板の仮接着品のピール強度は圧延銅箔箔と
ポリイミド層の間で１．２ｋｇｆ／ｃｍ、ポリイミド層
同士の間で０．１ｋｇ／ｃｍであった。更に、２５０
℃、７５ｋｇ／ｃｍ²の条件で１時間プレスした後の金
属箔ポリイミド積層板のピール強度は、圧延銅箔層とポ
リイミド層の間で１．３ｋｇｆ／ｃｍ、ポリイミド層同
士の間で１．４ｋｇ／ｃｍであった。また、２８８℃で
６０秒間半田浴に浸漬すると一部膨れを生じた。

【００３２】実施例６両面塗工機を用いて、市販の厚さ１２．５μｍのポリイ
ミドフィルム（鐘淵化学社製商品名：アピカルＮＰ
Ｉ）の両面に、ポリアミド酸溶液を均一かつ連続的に直
接流延塗布し、加熱してポリアミド酸溶液の溶媒除去す
ると共にイミド化し、両面ポリイミド塗布フィルムを
得、それを巻き取ってコイルとした。この両面ポリイミ
ド塗布フィルムの厚さは１８μｍであった。この両面ポ
リイミド塗布フィルムコイルと、厚さ２０μｍのＳＵＳ
３０４箔コイルと厚さ１８μｍの銅ニッケル合金箔を使
用し、ＳＵＳ３０４箔と銅ニッケル合金箔が、加工ポリ
イミドフィルムを介して重なるようにし、ロール全体を
覆った加熱炉内を２１０度に保持したまま、上記の方法
によって、加熱圧着ロールを用い、ＳＵＳ３０４箔側の
ロールの温度２３０℃、銅ニッケル合金箔のロールの温
度２１０℃に設定し、各々の金属箔面が加熱圧着ロール
に接触するように抱かせることにより、１５０秒のロー
ル接触時間を取り、線圧力３０ｋｇｆ／ｃｍ²、でラミ
ネートを行い、金属箔ポリイミド積層板の仮接着品を得
た。

【００３３】この金属箔ポリイミド積層板仮接着品のピ
ール強度は、ＳＵＳ３０４箔とポリイミド層の間で０．
７ｋｇｆ／ｃｍ、銅ニッケル合金箔とポリイミド層の間
で０．５ｋｇ／ｃｍであり、コイル状でのカール、ねじ
れ、しわ、傷やごみ等の欠陥は認められず、幅４００ｍ
ｍ、長さ７００ｍｍの寸法に整幅剪断後の金属箔ポリイ
ミド積層板シートにも反りはほとんど見られず、最大で
銅箔面を内側にして１ｍｍであった。その後、２４０
℃、７５ｋｇ／ｃｍ²の条件で３０分プレスし、金属箔
ポリイミド積層板シートを得た。この金属箔ポリイミド
積層板のピール強度は、ＳＵＳ３０４箔とポリイミド層
の間で１．３ｋｇｆ／ｃｍ、銅ニッケル合金箔とポリイ
ミド層の間で１．６ｋｇ／ｃｍであり、上記寸法で反り
がなく平坦な金属箔ポリイミド積層板シートが得られ
た。また、２８８℃、６０秒間の半田浴浸漬後もフクレ
やハガレは全く見られなかった。

【００３４】比較例４実施例３と同様の両面熱可塑性ポリイミド塗布フィルム
を熱可塑性ポリイミドを介して、ＳＵＳ３０４と銅ニッ
ケル合金箔の所定寸法のシートを重ね合わせ、２６０
℃、９０ｋｇ／ｃｍ²の条件で１時間プレスを行った。
その後、この金属箔ポリイミド積層板のピール強度は、
ＳＵＳ３０４箔とポリイミド層の間で０．９ｋｇｆ／ｃ
ｍ、銅ニッケル合金箔とポリイミド層の間で１．２ｋｇ
／ｃｍであった。また、２８８℃で６０秒間半田浴に浸
漬すると一部膨れを生じた。

【００３５】実施例７塗工機を用いて、市販の厚さ２５μｍのポリイミドフィ
ルム（東レ・デュポン社製商品名：カプトンＥＮ）の
片面に、ポリアミド酸溶液を均一かつ連続的に直接流延
塗布し、加熱してポリアミド酸溶液の溶媒除去すると共
にイミド化し、片面ポリイミド塗布フィルムを得、それ
を巻き取ってコイルとした。この片面ポリイミド塗布フ
ィルムの厚さは３０μｍであった。

【００３６】この片面ポリイミド塗布フィルムコイル
と、厚さ１８μｍの電解銅箔（日本電解社製商品名：
ＳＬＰ）を使用し、電解銅箔がポリイミドフィルムの塗
布面とが重なるようにして、上記の方法によって、ロー
ル全体を覆った加熱炉内を２１０度に保持したまま、加
熱圧着ロールを用い、電解銅箔側のロールの温度２４０
℃、ポリイミドフィルム側のロールの温度１８０℃に設
定し、各々の電解銅箔面とポリイミド面が加熱圧着ロー
ルに接触するように抱かせることにより、１５０秒のロ
ール接触時間を取り、線圧力３０ｋｇｆ／ｃｍ²、でラ
ミネートを行い、金属箔ポリイミド積層板仮接着品を得
た。

【００３７】この金属箔ポリイミド積層板仮接着品のピ
ール強度は、電解銅箔とポリイミド層の間で１．２ｋｇ
／ｃｍであり、コイル状でのカール、ねじれ、しわ、傷
やごみ等の欠陥は認められず、幅４００ｍｍ、長さ７０
０ｍｍの寸法に整幅剪断後の金属箔ポリイミド積層板シ
ートにも反りはほとんど見られず、反りはポリイミドフ
ィルム面を内側にして最大２ｍｍであった。その後、２
５５℃、７５ｋｇ／ｃｍ²の条件で１時間プレスし、電
解銅箔ポリイミド積層板シートを得た。この電解銅箔ポ
リイミド積層板のピール強度は、電解銅箔とポリイミド
層の間で１．７ｋｇ／ｃｍであり、上記寸法での反りは
ポリイミドフィルム面を内側にして最大１ｍｍであっ
た。また、２８８℃、６０秒間の半田浴浸漬後もフクレ
やハガレは全く見られなかった。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
加熱圧着ロールに１０℃から８０℃の温度変化をつけ、
接触時間を保持することにより、平坦性があり、接着性
のある金属箔ポリイミド積層板の長尺品を容易に得るこ
とができ、更に、所要寸法に整幅剪断後に必要に応じて
プレス工程を行うことで、平坦性や接着性は更に向上す
ることができた。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者小林正尚神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地三井東圧化学株式会社内 (72)発明者宍戸重之神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地三井東圧化学株式会社内 (72)発明者津嶋敬章神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地三井東圧化学株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】金属箔またはポリイミドフィルムの両面
または片面に熱可塑性ポリイミド、その前駆体又はそれ
らの混合物を塗布、キュアして熱可塑性ポリイミド層を
形成した後に、他の金属箔または他の熱可塑性ポリイミ
ドと金属箔の積層板とを当該熱可塑性ポリイミド層を介
して重ね合わせ、回転する少なくとも二本の加熱圧着ロ
ールに１〜８０℃の温度差をつけて、ラミネートするこ
とにより得られるフレキシブル金属箔ポリイミド積層
板。
【請求項２】少なくとも二本の加熱圧着ロールを使用
し、ロールと金属箔又は熱可塑性ポリイミドフィルムの
接触時間を１秒から７００秒保持することにより、連続
的に加熱圧着し積層する請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】請求項１〜２に記載の方法によって連続
積層したフレキシブル金属箔ポリイミド積層板コイル
を、所要寸法に整幅剪断し、プレスを行うことを特徴と
する反りのない平坦な金属箔ポリイミド積層板シートの
製造方法。