JPH10208846A - ガス充填放電管を組み込んだガラス気密シールとその調製方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は過電圧に対して繊細な回路要素等を
保護する装置であって、頑丈で高度の安定性を備え、既
存の装置に組み込むことが出来る等広範囲の適用が可能
な過電圧保護装置とその製造方法とを提供する。 【解決手段】 本発明による装置は耐久性のある材料か
らなる円筒形本体に、電極受入れ孔を備えた一対の絶縁
性スリーブを挿入し、前記スリーブの間にイオン性ガス
を充填した放電室を形成する。１個以上の電極が前記室
と連通する。静電帯電等の過電圧の発生により前記室に
所定以上の電位差が発生すると前記ガスはイオン化して
導電性となり過電圧を解放する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は一般に、ガス充填し
た放電管を組み込んでおり、改良されたガラス気密シー
ルで密封された過電圧阻止装置に関し、特に電子要素や
システムを保護するように設計された装置であって、シ
ール装置が多数の電極あるいはピンを収容し、過電圧阻
止装置が過電圧に敏感なチップ等に対して近傍で、かつ
保護関係で配置されているような装置に関する。このタ
イプの装置においては、各電極は典型的には、１個以上
の回路および（または）要素に結合された個別の導体を
代表し、多数のそのような電極が過渡性過電圧阻止装置
の存在を必要とする。これらの過電圧阻止装置は、帯電
の増大あるいはその他の理由で発生した過電圧を排除あ
るいは低減するために利用され、前述のように、回路組
み立て体を含む組み立て体中へ導入する間とか、通常の
使用の間、特に高圧を使用する間チップ、ＩＣ素子等を
保護するように配置される。詳しくは、本発明による過
電圧阻止装置は、複数の信号および（または）電力伝送
電極であって、１個以上が過電圧阻止装置あるいはその
他の放電能力の形態の過電圧保護性を備えている電極を
収納するように設計された装置に関する。これらの装置
は、繊細な回路要素がときには高度の静水圧に対して露
出される可能性のある用途において使用される繊細な回
路と組み合わされた用途に理想的に適合している作動特
性を有している。本発明の装置は、花火式始動を行うシ
ステムと組み合わせて使用することが出来るが、本発明
の装置はまた、油管等の操作を含むプロセス制御操作に
利用される状況応答センサでの使用にも十分適合する。

【０００２】明白な例として、本発明の装置は、例えば
化学プロセスシステム等において採用されている状況応
答センサと組み合わせて使用するようなその他の用途に
おいても効用がある。本発明による阻止装置の作動特性
は、半導体チップや状況応答センサと組み合わせて使用
される回路のその他の要素を保護するために静電帯電を
排除するべく過渡性過電圧を効果的、かつ安定して解放
するよう機能する。これらの阻止装置の効果的な作動に
よりそのような回路の安定性を高め、かつ、諸々の状況
下で形成および（または）発生する静電帯電の増大から
起因される過渡性過電圧に曝されると損傷する可能性の
ある繊細な要素を使用している回路を保護する。

【０００３】本発明のガス充填放電管過電圧阻止装置
は、多数の回路あるいは回路要素のいずれに対しても過
渡性過電圧を接地させるための漏洩通路すなわち電圧阻
止装置を効果的に提供するべく使用することが出来る。
これらの装置は半導体チップあるいはその他の繊細な要
素に近接して位置され、細いリード線を介して結合され
ており、かつ（または）さもなければ増大した過渡性過
電圧に露出するよう位置されている１個以上の電極を提
供する。過電圧放電電極のいずれかが高まった静電帯電
に露出されたため増大した過電圧を受けると、その電極
はガス放電を介して漏洩通路をきちんと開始および（ま
たは）形成し、ガス放電は電極が有する電位に露出され
るとその絶縁状態から導電状態に変換されるような配備
とされている。本発明の装置は、繊細な要素等を含む回
路の保護の他に、過渡性過電圧の介在によって発生する
偶発的な始動により爆発の潜在性を有する装置の生産、
使用および保全の間に人並びに設備を保護するよう作用
する。本装置の頑丈な構造と高度の安定性のため、本装
置には広い範囲に亘ってその他の用途が存在している。

【０００４】本発明の装置の形状から、従来のソケット
を受け入れる従来のピン配置を採用することが可能であ
って、接地に対する消散あるいは漏洩が望ましくないよ
うな場合には電極は、例えば、ガラス、ガラス／セラミ
ック、あるいはセラミックスリーブまたはデイスク構造
体のような絶縁シース内に密閉されるようにして位置さ
せればよい。すなわち、本発明による阻止特性を装備す
るピンの数はいかようにも選定できる。更に、本装置の
形状は、ガラスあるいはセラミック成分に露出されてる
外側領域が限定されるため、高い圧力に出会う可能性の
ある用途あるいは環境における使用を可能とするような
ものである。また、本発明の装置の形態は、既存の回路
パラメータ内で本装置を受け入れるために著しく設計を
し直す努力を必要とすることなく既存の組み立て体の改
造設計に都合よく採用しうるようなものである。

【０００５】

【従来の技術】過去、静電気帯電の増大による過渡的過
電圧を排除あるいは低減して回路要素あるいは回路を保
護するための適用あるいはその他の適用に対して多数の
放電装置が設計されてきた。これらの従来技術による装
置は屡、例えばガス充填密閉体のような間欠的な導電性
の要素として製作されてきたので、衝撃性の負荷が加わ
るシステムとか高圧あるいは衝撃を吸収したり、それら
に耐える能力を必要とするシステムにおいて必要な適用
に要求される頑丈さや安定性を欠いていた。本発明によ
る装置は、鋼あるいはその他の導電性の剛性で耐久性の
ある材料からなる円筒体のような本体を使用し、前記円
筒体の内部には複数の電極受入れ孔を備え、選定された
電極が過電圧保護性を含んでいる。前記孔内の過電圧電
極は典型的には、電極を該孔の内周壁に対して半径方向
に離隔関係で接触し、かつ位置させるために形成されて
中央孔を有する一対の軸線方向に離隔した環状のガラス
あるいはガラス／セラミック製スリーブを備えている。
環状ガラスあるいはセラミック製スリーブの各々は次い
で、電極と内周壁とに対して密封され、前記スリーブの
間の軸線方向に離隔したゾーンが本体の中央部分に沿っ
て位置し、例えばアルゴンのようなイオン性ガスを受入
れ保持するための室を形成することが好ましい。

【０００６】従来技術による装置の中のあるものは、広
範囲の用途において使用するには寿命上の要件を欠如し
ており、過渡性過電圧阻止装置が故障することにより回
路要素や回路の安全性、安定性、および寿命を低下させ
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】所期の用途に対して、
製造コストの増加は最小であって、安定性と長寿命とを
組み合わせて提供する生産技術を開発する必要がある。
本発明は極最小数の要素を必要とし、本体に形成した段
付き孔を含めこれらの要素を各種の形状に適合させるこ
とにより、生産コストを著しく増加させることなく従来
の低コストの生産技術を本発明の装置に採用出来るよう
にする。

【０００８】適切な製造技術により、イオン性ガスから
なる雰囲気が制御されているコンベヤ炉の使用が適して
いることが判明している。イオン性ガス雰囲気は、その
滞留時間が、内部空洞を含む組み立て体内の周囲ガスが
炉の雰囲気からのイオン性ガスの充填分と均等に置き換
わりうるようにする要領で提供される。このガスは密封
されると前記組み立て体内に形成された室内に捕捉され
保持される。このようにして、追加の費用のかさむ作業
を必要とすることなく、ガスの保持ならびに気密シール
が達成される。コンベヤ炉に対する代案として、適当な
雰囲気を有し、適当な高温まで加熱された密閉加熱室を
使用すればよい。そのようなバッチ処理技術は、使用さ
れるイオン性ガスの容積およびその他の要件を低減、あ
るいは更に制御するためにも採用しうるものである。

【０００９】前述のように、その他の用途に加えて、本
発明の装置の主要な用途は、主として静電帯電のために
発生する過渡性過電圧の介在による損傷を受ける状況応
答装置あるいはセンサと組み合わされるものである。そ
の他の用途には花火式始動回路と組み合わせた使用が含
まれる。典型的には、これらの回路は、花火式装置の場
合は偶発的な始動、あるいは状況応答式センサに対応す
る場合には誤った読み取りを排除および（または）低減
するために静電充電あるいはその他の過電圧の発生に対
する保護を必要とする。本発明の装置は、回路や回路要
素の寿命や性能を向上させる回路制御のための安全で、
頑丈で、安定したシステムを提供する。

【００１０】複数の電極を使用した本発明の装置の種々
の用途の中には、産業、鉱業、および軍用に使用されて
いる花火式始動装置がある。例として、花火式始動装置
は、特に人間および環境に対する安全性が問題となる、
放射線あるいはその他の危険な材料を収容した室を急速
に遮断するための障害を介装するために使用しうる。そ
のような用途においては、始動装置は指令があれば適正
に機能することが必要で、一方これらの始動装置は静電
帯電の増大あるいはその他の類似の事象により過渡性過
電圧が介在するとしても誤作動しないことが同等に重要
である。繰り返していえば、そのようは過電圧の何らか
の増大を減少および（または）排除することは相応し
て、そのような作動あるいは始動装置を採用しているシ
ステムの偶発的な作動の発生を低減する。

【００１１】

【課題を解決するための手段】要約すると、本発明によ
れば、ガス充填放電管を内臓した１個以上のガラス対金
属の気密シールを組み込んでいる装置が提供される。本
装置は、好ましくは段付きの直径が延びている複数の軸
線方向に平行の電極受入れ孔を備えた円筒体の形態の本
体部材を含む。前記孔の内面と電極の外面との間で対向
し、密封関係で一対の軸線方向に離隔した電気絶縁性の
環状のガラス円筒体すなわちデイスクが配置されてい
る。前記の対向する環状のスリーブの間の前記孔のゾー
ンは電極の長手方向軸線に対して横方向に延びている、
イオン性ガス充填の密封室を画成し、形成している。複
数の前記電極が前記装置の本体を通して延びており、静
電帯電あるいはその他の過渡性過電圧帯電から保護され
るか、該帯電を排除する必要があるこれら電極の各々
は、接地に対する導電通路を急速に形成するため、イオ
ン性ガス充填密封室に露出されている。同様の保護を必
要とする全ての類似の電極は、該電極のセグメントをイ
オン性ガス充填室に露出させて同様に位置され、ガスの
イオン化／導電が開始すると効果的に接地に結合され
る。

【００１２】本発明の実施例においては、個々の電極は
環状のガラススリーブと密封係合し、該スリーブを貫通
して密封されたイオン性ガス充填室中へ、あるいはそれ
を通して延びている本体部分を備えている。回路におい
て作動位置に配置され、過電圧解放電極の１個と導電性
円筒体との間の電位がイオン性ガスのイオン化すなわち
分解を開始するに十分高温となると、電極と円筒体との
間で予測可能で安定した低抵抗通路が急に設定される。
本装置は、寸法的な公差、繰り返し可能な形状の創生、
密封可能に保持されたガス充填分の安定性と均一性のた
め、合理的に十分画定された電圧差すなわち電位差に予
測可能に応答することが判明した。あるシステムに対す
る明白な用途を例にすれば、イオン性ガスのイオン化す
なわち分解は、ある選定した、所定の限界電位、例えば
約５００ボルト以上であるが第２の所定の限界電位、例
えば約１５００ボルトを上回らない、作動ウインドウに
おける電圧、すなわち電位差に応答して発生するはずで
ある。いずれかの所定の用途に対して、限界電位のその
他のウインドウが有用で、望ましいことが判明してい
る。

【００１３】本発明の配備により組み立て体を従来の処
理技術の使用に対して適合しやすくする。例えば、環状
のスリーブ部材を形成するガラスが融解するにつれて、
融解ゾーンは内側および外側の金属接触面の双方から前
進し、介装されたスリーブ間の予め形成したくぼみ内で
イオン性ガスを捕捉するよう作用する。ガラススリーブ
のセグメントにより金属面が湿潤されると、室はしっか
りと密封され、それ以上周囲に対して露出されたり、内
部漏洩が無いようにされる。

【００１４】単一の過電圧解放電極を使用してよいが、
そのような電極をいかなる数も設けてよいような代案と
しての構造も可能である。そのような多数の電極を有す
る構造においては、ガス密封体は前述したものと同じで
よいが、その差はガス分解の引き金を制御するパラメー
タとして作用するよう電極対導電性の周壁の間隔が選択
的に可変であるということである。そのようは状態にお
いては、電極の長さに亘って肩セグメントを設け環状ガ
ラスを前記肩の一方の側に位置させればよい。

【００１５】従って、本発明の主要な目的は、イオン性
ガス充填放電管を内蔵したガラス気密シールの改良であ
って、１個以上の電極を内部配置のガラス密封室内に配
置させた、円筒形のハウジングの形態の本体部材を採用
しており、１個以上のイオン性ガス充填の密封室を円筒
形本体に含み、ガスが高度の電位の電界が介在するとイ
オン化し電極と接地あるいはその他の基準電圧との間に
過電圧が存在するとそれに応答して電極と導電性円筒体
との間で導電通路を形成するような、改良されたガラス
気密シールを提供することである。

【００１６】本発明の別の目的は、前述のガス充填放電
管を内蔵したガラス気密シール組み立て体であって、該
ガス充填放電管が複数の軸線方向に平行の電極を内側に
位置させ、その内部で電極をシールするための一対の離
隔したガラススリーブを備えた外側の円筒形本体を含む
ガラス気密シール組み立て体を提供することである。

【００１７】本発明の更に別の目的は、多数の電極を備
えた気密シールされたガス充填放電管を調製し、その内
部の電極に対して過電圧を解放する方法であって、頑丈
で安定した特性を備えたガス放電管を提供し、一方従来
のガラス／金属組み立て体を処理し、製作する設備を採
用した方法を提供することである。

【００１８】本発明のその他の、更に別の目的は以下の
説明、特許請求の範囲、並びに添付図面を参照すれば、
当該技術分野の専門家には明らかとなる。

【００１９】

【発明の実施の形態】第１の好適実施例 本発明の好適実施例の一つによれば、かつ図１から図３
までに注目すれば、全体的に１０で指示するガス充填放
電管を内蔵したガラス気密シール装置は、例えば鋼、等
のような導電性金属から構成され、孔１２−１２を含
む、複数の軸線方向に整合した孔を内部に形成している
円筒形の本体部材１１を含む。図示のように、本体１１
は１５で示すような長手方向の軸線を有している。全体
的に１６−１６で指示する電気絶縁性のガラスデイス
ク、すなわちスリーブが孔１２の芯１７内に位置され、
ガラスデイスク間の空間すなわちギャップがさらに２０
で示すように室を形成している。ガラスデイスク１６−
１６の内部で密封配置され、室ゾーンを貫通した電極１
９が設けられている。

【００２０】本実施例は、ある特性や利点を考慮した場
合、特に性能が電極からの概ね直ちに急速な放電を必要
とする場合、通常好ましいとされる実施例である。この
点に関して、本実施例に合わせて製作された装置は、こ
の性能特性を検討した場合極めて良好に機能を発揮する
ことが判明している。

【００２１】第１の代替好適実施例 図４を注目すれば、ガス充填放電管のための修正された
電極受入れ孔の形態が示されている。図４において、ガ
ス充填放電管装置は図１、図２および図３に示すものと
類似であるが、例外は電極受け入れ孔２５の形態にあ
る。前記孔２５は円筒形の形態であるよりはむしろ、肩
部分すなわち肩ゾーン２６を該孔に沿って形成してお
り、前記肩部２６は分解に必要な電圧を制御および（ま
たは）修正するよう作用する。このような特徴を利用す
ることにより、肩の直径が可変の電極受入れ孔を利用し
て、単一のガス充填放電管装置を製作し個々の電極に対
する分解を達成するに要する過電圧の大きさを制御可能
に調整することが出来る。このように、回路のパラメー
タおよび当該環境に応じて分解電圧を制御可能に調整す
ることが出来る。

【００２２】本発明の実施例は従来のソケット形状を利
用出来るように、特に、電極の少なくとも１個が静電帯
電、漂遊帯電、あるいはその他の偶発的に発生した過電
圧状態からの解放を必要とする場合に利用できるように
設計されている。例えば電極２７−２７のような残りの
電極は同様な形態とされ、従って室２８内のイオン性ガ
ス充填分と連通することが認められる。

【００２３】第２の代替好適実施例 図５を注目すれば、ガス充填放電管装置のための更に別
の修正された電極受入孔形態が示されている。図５にお
いて、ガス充填放電管装置は図１から図３までに示すも
のと類似であるが、差は電極受入孔３０の形態にある。
孔３０は形態が円筒形というのではなく、環状の円錐形
の肩部分すなわち肩ゾーン３１をそれに沿って形成して
おり、該肩部分は分解に必要な電圧を制御および（また
は）修正するよう作用する。この特徴を用いれば、前記
円錐形の肩部分のピークすなわち頂点が分解を開始する
ための集中された点を提供する。この特徴を用いること
により、単一のガス充填放電管装置は可変の環状で円錐
形のリングを備えた電極受入孔を用いて製作することが
出来、そのため初期の電極のための分解を達成するに要
する過電圧の大きさを制御可能に調整することが出来
る。このように、回路パラメータと当該環境とに応じ
て、分解電圧を制御可能に調整することが出来るが、例
えば３２−３２のような残りの電極も同様な形態とさ
れ、従って、室３３内のイオン性ガス充填分と連通する
ことが認められる。

【００２４】第３の代替実施例 図６を注目すれば、ガス充填放電管装置のための修正さ
れた電極の形態が示されている。図６において、ガス充
填放電管装置４０は図１から図３までに示すものと類似
であるが、差は電極４１の形態にある。電極４１はその
形態が円筒形というのではなくて、拡大した肩部分すな
わち肩ゾーン４２がそれに沿って形成されており、該肩
部分は分解に必要な電圧を制御および（または）修正す
るよう作用する。この特徴を用いることにより、単一の
ガス充填放電管装置は、肩の直径が可変の多数の電極を
用いて製作することが出来、そのため個々の電極に対し
て分解を達成するに要する過電圧の大きさを制御可能に
調整することが出来る。このように、回路パラメータお
よび当該環境に応答して、破壊電圧を制御可能に調整す
ることが出来るが、例えばその他の電極４１−４１のよ
うな残りの電極も同様な形態とされ、従って室４３内の
イオン性ガス充填分と連通することが認められる。

【００２５】

【代替的な室の配置】図７を注目すれば、イオン性ガス
充填分を入れた室の修正された形態が提供されている。
図７において、全体的に５０で指示するガス充填放電管
装置は図１から図３までに示すものと類似であるが、差
は、例えば全体的に５１で示すような、イオン性ガス充
填分を受け入れる室の形態にある。室５１は単一の電極
のために配置されているのではなくて、例えば電極５２
および５３を含む複数の電極を受け入れるよう作用す
る。この特徴を利用することによって、複数の電極を受
け入れるよう配置された単一のガス充填室は複数の電極
に対して同時に過電圧から保護するように設計されてお
り、この過電圧に対する保護は前記室に受け入れられた
電極の中の１個が過電圧状態に達すると開始される。こ
のように、回路パラメータと当該環境とに応じて、多数
の電極に対して同時に放電を達成することが出来る。

【００２６】本装置を製作する場合、インサート５５が
金属製の本体５７に形成された孔５６に溶接されるか、
あるいは他の方法で受け入れられることが認められる。
代替的に、金属製スリーブ内に挿入するよう２個の多数
の孔を有するガラスデイスクを設け、デイスクを離隔さ
せて金属製の円筒形のスリーブ本体内にガス充填室を形
成することが出来る。放電室の形状および（または）形
態を保ってガラスデイスクの代わりにセラミック充填の
ガラスデイスクを採用してもよい。

【００２７】図８を注目すれば、組み立て体６０は、圧
力の変化に応答して変化する、例えば容量値あるいは抵
抗値のようなインピーダンス特性を備えた感圧シリコン
ウエファを組み込んでいる。そのようなタイプのシリコ
ンウエファは市販されていることは勿論である。環状の
接着リングの形態のパッドが、ウエファ６２を組み立て
体中へ結合させ、圧力基準室を形成するために、例えば
６１において設けられている。個々の電極６３−６３の
各々は溶接されたリード線６５−６５によりウエファ６
２の面に形成された導電性パッドに結合されている。

【００２８】組み立て体６０は作動するために、６８で
示すような薄い金属製の膜が設けられており、該膜は６
９で示すような環状の接着リングに沿って本体６７に接
着されている。前記膜６８は環境に露出されており、環
境の圧力状態がモニターされ、モニタされたゾーン内で
の圧力の変化が前記膜６８の形状に反映される。これら
の装置において典型的なことであるが、圧力が増大する
と、前記膜６８は撓むため室７０内の圧力を変化させ、
それが感圧シリコンウエファ６２によって検出される。
前記室７０は油あるいはその他の流体で充填されてお
り、この充填は流体を室７０中へ導入すると、それに引
続き典型的にはピンチオフにより油充填チューブ７１を
介して達成される。

【００２９】図８に示すガス充填放電管装置は図１から
図３までに示すものと類似であるが、その差は充填管７
１を組み込んだことにあり、当然ながら状況応答装置と
組み合わせてガス充填放電装置を示している。本体６７
内で密封係合したガラスデイスクすなわちガラススリー
ブ７４−７４と共に７３で示すようなガス充填室を含ん
でいることは勿論である。

【００３０】図１から図８までに示す装置を製作するた
めに採用しうる処理技術は基本的に同じであるが、相違
する所がたとえあったとしても、当該装置の形態に対応
して行われた程度の相違である。これらの相違点は、個
々の形態や形状を検討すれば、当該技術分野の専門家に
は直ちに明らかとなる。

【００３１】

【処理方法の検討】処理方法を検討すれば、本発明によ
る放電装置構造体は従来のガラス対金属のシール製作技
術を利用することにより調製可能である。送入および送
出エアロックを備えた連続して送られてくるコンベヤ炉
を、組み立て体を処理するために採用しうる。代替的
に、閉鎖した加熱室あるいは炉を採用してもよい。製造
設備の選定は処理装置の利用可能性ならびに処理装置の
生産およびその他の能力並びに要件によって決まる。そ
れぞれの場合に、熱処理作業が進行している間に組み立
て体から大気を置き換え所望のガス充填を提供するため
に、アルゴンを含有することが好ましいイオン性ガスが
採用される。

【００３２】典型的な処理作業において、１個以上のロ
ッド状セグメントあるいは円筒体のいずれかの形態で採
用されている、例えばペンシルバニア州、マンモスのエ
レクトロガラス社(Electro-Glass Corporation of Mamm
oth ，PA) から市販されている２１６４ガラスのような
電気絶縁性ガラスを備えた本体部材として鉄金属スリー
ブが選定される。

【００３３】図１から図３までに示す実施例を注目すれ
ば、デイスクすなわちスリーブ部材１６は円筒形本体１
１内に位置している。例えば、電極１９−１９のような
電極は前記円筒形本体１１内に前もって形成されている
孔内に配置されている。これらの電極はガラスデイスク
１６−１６によって形成された、例えば室２０のような
個々の室中へ延びている。次いで、組み立て体全体を、
熱およびイオン性ガスの雰囲気に対して露出するよう炉
を通すために、従来から利用されているグラファイトの
治具のような治具内に位置され、かつ保持される。気密
シールのガス充填放電装置を形成する組み立て体がイオ
ン性ガスに露出され、雰囲気を完全に置き換え、炉の雰
囲気と組み立て体の構成要素の間で均衡状態が設定され
ることにより、孔によって画成される室２０を、通常は
アルゴンを含有する雰囲気である雰囲気からなるイオン
性ガスで適当に充填するに十分な時間置き換えがなされ
るようにイオン性ガス雰囲気と温度の制御が行われる。
ここでいう、雰囲気を形成するイオン性ガスとは窒素と
アルゴンとの混合物を含んでよく、個々のガス、あるい
はこれらのガスの混合物は雰囲気中への窒素ガスの初期
排出を通して炉中へ導入され、続いて加熱された室内の
雰囲気中へアルゴンガスを排出することが好ましい。雰
囲気のための窒素およびアルゴン成分の双方は、ガス性
の雰囲気が組み立て体内の他のガスに置き換わりうるよ
うにするためにガラスの融解の前の時点で導入される。
例えば、コンベヤ炉においては、窒素雰囲気は、組み立
て体の温度が増加しつつある炉の前方部分におけるゾー
ンあるいは点において、但し、組み立て体がガラスの融
点よりはるか下の温度にある間に導入される。アルゴン
は、組み立て体の温度が約６００℃まで上昇している
が、依然として融点より下の温度である、熱処理工程の
後半の点において構成部材を囲み、洗浄する雰囲気を形
成するように導入される。個々のガスの導入速度は、そ
れらの流量が、平均して窒素が３分の２、アルゴンが３
分の１である雰囲気を提供するようなものである。殆ど
の処理に対して適当な圧力は大気圧か、或いはその僅か
上下である。当該装置コンベヤ炉内でサイクルを完全に
終わるようにするに適当な滞留時間は約２時間であるこ
とが判明している。そのような滞留時間を提供する工程
は、加熱／作業長さが約６メートル（２０フィート）で
あるコンベヤ炉において実行することが出来る。

【００３４】圧縮タイプあるいは整合タイプのいずれか
のガラス気密シールに対して適当な殆どの市販のガラス
はそれらの融点を上回る温度において処理することが出
来る。本発明と関連して使用するのに適した一つのガラ
スはペンシルバニア州、マンモスのエレクトロガラス社
（Electro-Glass Corporation of Mammoth, PA）から市
販されている２１６４ガラスである。約１０００℃の処
理温度が満足のいくものである。直径が約１．２７ミリ
（０．０５０インチ）から５０．８ミリ（２インチ）ま
での間の仕上がり装置に対して、未仕上がりの組み立て
体は、ガラス要素が概ね完全に融解することによって、
ガラスロッドのセグメントが円筒形スリーブの内面なら
びに各電極の面に対して接着あるいはシールされうるよ
うにするに十分な時間、典型的には前記の高温に露出さ
れる。

【００３５】ガラスデイスクの一部に電極を埋設する方
法の代案として、セラミックあるいは装荷ガラスデイス
クの使用が実行される。そのようなデイスクは１個以上
の電極の面において使用することが出来る。前記デイス
クは電極と軸線方向に整合していることが好ましい。

【００３６】図１から図３までに示す実施例において、
雰囲気中に介在するイオン性ガスが、装置全体に本来介
在していた雰囲気と置き換わり、ガラスデイスクあるい
はスリーブの内面および外面が融解温度に達すると、ロ
ッドの表面に沿って効果的なシールが形成され、イオン
性ガスを予め形成した室内に保持する。換言すれば、中
央あるいは中間に位置した室は、通常、捕捉されたガス
雰囲気が介在した完全で、限定された状態に留まる。前
記室の直近の領域における圧力は、室を画成する金属の
孔の内面は湿っていなく、すなわちガラスで被覆されて
おり、そのため外側の円筒体と電極の表面並びに他の電
極との間で前記室を通して電気的な連続性を保つような
ものである。これらの処理の考慮は代替的な形態に対し
ても適用可能であって、適当に採用することが出来る。

【００３７】図４および図５に示す実施例において、孔
の肩部分、そして図６において、電極の肩部分はデイス
クの内周と外周とが融解されるにつれて、該デイスクを
支持するよう作用する。しかしながら、前述のように、
殆どの用途に対して室内にガスが介在することは、室の
周囲に隣接した金属面を湿潤することと共に、概ねガス
密の室を形成するよう作用し、ガス圧が処理の間上側の
デイスクに対する支持を提供する。

【００３８】図８に示すタイプの圧力感知装置におい
て、これらの組み立て体は典型的には、シリコンウエフ
ァの一方の面が特定圧力を基準にした空洞に露出される
ような形態で配置されている。前記空洞が大気圧である
とき、本装置はゲージ圧に応答するような基準とされて
いる。環状リング６１によって画成される室７０におい
てその他の基準圧力あるいは真空を利用してよいことは
明らかである。このように、たとえば圧縮されてシリコ
ンウエファが撓むことは容量および（または）抵抗に変
化があったことが明らかとされる。

【００３９】構造材料については、円筒形本体部材の外
側並びに電極は鋼またはステンレス鋼から作ることが適
当であることが判明しており、この用途に対して広範囲
のステンレス鋼が適当であることが判明している。特
に、ステンレス鋼の特性とは相違する特性を有する金属
の使用を必要とする用途の場合、スリーブを作るのにそ
の他の金属を採用してもよい。典型的なその他の適用可
能な、すなわち使用可能な金属は、アルミニュームおよ
びチタニウムであるが、ある用途においてはその他のも
のも有用である。

【００４０】例えば、配管等のように高圧下で作動する
環境に対して露出されるような用途を含む高圧用途に対
して、強度並びにその他の機械的特性を向上させるため
にピンの直径に対する孔の直径の比が３であることが望
ましい。このように、直径が４０ミルである電極を組み
込んだシステムにおいては孔の直径が例えば、３．１７
５ミリ（０．１２５インチ）であることが望ましい。ピ
ン間の間隔はコネクタの形状やその他の特徴によって決
まり、実行されることは勿論である。

【００４１】

【性能】性能の基準については例えば、電極とスリーブ
の壁との間の間隔、すなわち寸法は約１．２７ミリ
（０．０５０インチ）であり、主として窒素とアルゴン
とからなるガスの混合物は大気圧で介在している。その
ような実施例においては、ガスんｐ分解および（また
は）イオン化は約３００ボルトＤＣおよび１５００ボル
トＤＣとの間の電圧差において発生するが、そのような
分解はこれらの装置においては約７５０ボルトＤＣの電
位差において通常発生する。前述のように、本装置を保
護するために、適当な最小の電位差が容易に規定され
る。他方、最大分解電圧も容易に設定される。

【００４２】第４の好適実施例 本発明の好適実施例の一つによれば、そして特に図９か
ら図１５までを注目すれば、ガス充填放電管１１０を組
み込んだガラス気密シールは、それぞれ内面１１２と外
面１１３とを有しているスリーブ本体部材１１１を含
む。前記スリーブ１１１は長手方向の軸線１１５を有し
ていることが明らかである。電気絶縁性のガラスロッド
セグメント１１６が前記スリーブ１１１の芯１１７内に
位置しており、該ガラスロッドは更に、１１８で示すよ
うに第２のセグメントを含み、１個以上のセラミックあ
るいはガラス充填のセラミックウエファ１１９が前記セ
グメント１１６および１１８の対向する内端の間に介装
されている。ウエファ１１９には更に、該ウエファ１１
９を直径方向に延びる溝１２０が形成されている。１２
１および１２２で示すような一対の電極が設けられてお
り、該電極１２１および１２２はガラスロッド／セラミ
ックウエファの集合体内に密封配置され、前記溝１２０
によって画成されたゾーン中へ延びている。

【００４３】第４の好適実施例として指示されているこ
の実施例は、ある特性、特に性能の一貫性を考慮した場
合通常好ましい実施例である。この点に関して、本実施
例に合わせて製作した装置は性能特性の均一性を考えた
場合、極めて良く性能を発揮することが判明した。

【００４４】第５の代替実施例 代替好適実施例において、単一の電極が使用されてお
り、スリーブ１１１の内面１１２が第２の電極として採
用されている。いずれの場合においても、放電管構造体
の残りの部分や特徴は同じように配されており、直径方
向に配置された溝１２０はイオン性ガスを捕捉し、保持
し、充填するために利用される。

【００４５】本実施例はサイズや製造コストを考慮する
場合通常好ましい実施例である。この代替好適実施例に
従って製作された装置は、第４の好適実施例として指示
された実施例に従って製作したものよりサイズが若干小
さいものとしうる。

【００４６】

【代替形態】図１３を注目すれば、全体的に１３０で指
示する円筒体すなわちスリーブは１３２および１３３で
示すような皿穴と共に１３１で示すような中央穴を含む
ことが注目される。この穴は１３４−１３４で示すよう
な支持肩部分を提供し、端部の中間で穴部分１３１内で
絞った、すなわち直径を小さくした部分を提供する。１
３８で示すようなセラミックのスリーブと共に１３６お
よび１３７で示すようなガラスウエファが設けられてい
る。１３９および１４０で示すように一対の電極が設け
られ、構造体および組み立て体を完成する。

【００４７】図１３に示す形態の装置は、前述した代替
好適実施例に関して採用されたものと同じ技術によって
製作されることは勿論である。この点に関して、１３４
−１３４で示すような肩部分がガラスウエファを指示す
るようなスリーブ１３０の形状とすることにより室１３
１が構造体内に形成される。セラミックスリーブ１３８
が、処理の間ガラスウエファ１３６および１３７に対す
る更に別の支持を提供し、また個々の電極１３９と１４
０並びに金属製円筒体すなわちスリーブとの間の電気絶
縁を提供する。ある実施例においては、セラミックスリ
ーブ１３８は組み立て体から外して、ピンと円筒体とを
導電させることが出来る。このように、そのような用途
においては、円筒体１３０と共軸線関係で位置された、
例えば電極１３９のような単一の電極を採用し、単一の
電極の形態を提供することが望ましい。通常本装置の最
終的な用途によって選定される電極形態が決まる。

【００４８】図１４に示す形態を参照すれば、本実施例
は前述してきた形態と類似であって、円筒体あるいはス
リーブ１４２には、１４４および１４５で示すように頂
点に向かって集合しているテーパ付き皿穴と共に１４３
で示すような中央穴を備えている。１４８で示す軸線方
向に配置された電極と共に１４６および１４７で示すよ
うに一対のガラスウエファが設けられている。前記穴１
４３の形状は、円筒体すなわちスリーブ１４２の半径が
増加するとテーパが付いて環状のテーパが形成されるよ
うなものである。１５０で形成されている環状の点が、
電極１４８とスリーブ１４２の円筒体にわたって電荷が
加えられると電界を増大させることが判明した。１５１
で示すような気密密封された室が構造体内に形成され
る。図１３と図１４とに示す装置の場合、ガス充填室
に、窒素とアルゴンとの混合物を含め、例えばアルゴン
のようなイオン性ガスで充填されることは勿論である。

【００４９】図１３および図１４に示す装置を製作する
ために採用しうる処理技術は、本発明の装置のその他の
形態と関連して説明してきたものと同じである。

【００５０】

【処理上の考慮】処理上の考慮から、本発明の放電管構
造体は、従来のガラス対金属のシールを製造する技術を
利用して調製することが出来る。送入および送出エアロ
ックを備えた連続して送られてくるコンベヤ炉を採用す
ることが出来、あるいは代替的に閉鎖した加熱室あるい
は炉を採用することが出来る。設備の選択は処理装置の
利用可能性並びにその製造およびその他の要件によって
決まる。それぞれの場合に、アルゴンを含有することが
好ましいイオン性ガスを使用して、処理作業が行われて
いる間に周囲の空気と取り替えて所望のガス充填を行
う。

【００５１】典型的な処理作業においては、本体部材に
は、一対のロッド状セグメントあるいは円筒体の形態で
採用されている、ペンシルバニア州マンモスのエレクト
ロガラス社（Electro-Glass Corporation of Mammoth,
PA）から市販されている例えば２１６４ガラスのような
電気絶縁性ガラスを備えた金属製スリーブが選定されて
いる。例えば、セグメント１１６および１１８のような
ガラスロッドセグメントがウエファ１１９の対向する面
に接触して配置されている。組み立て体の必要に応じ
て、電極がガラスロッドセグメントとウエファの組み立
て体に予め形成された穴中へ挿入され、ウエファ１１９
に形成された溝１２０の中へ延びる。次いで、組み立て
体全体が、熱およびイオン性ガスの雰囲気に露出するよ
うに、従来から使用されてきたグラファイト治具のよう
な治具内に位置され、かつ保持される。イオン性ガス雰
囲気と温度との制御は、気密密封されたガス充填放電装
置を形成する組み立て体が、雰囲気を完全に置き換え、
炉の雰囲気と組み立て体の構成要素との間で均衡がとら
れ、それにより溝１２０によって画成される室を通常は
アルゴンを含有する雰囲気からなるイオン性ガスで充填
するように十分な時間イオン性ガス雰囲気に曝され、か
つフラッシュされるようにするものである。前述のよう
に雰囲気を形成するイオン性ガスは窒素とアルゴンとの
混合物を含有してよく、個々のガスおよびこれらのガス
の混合物は好ましくは窒素ガスの雰囲気中への初期排出
を通して炉中へ導入され、続いて加熱された室内の雰囲
気中へアルゴンガスが排出される。雰囲気に対する窒素
とアルゴンの成分の双方はガス雰囲気が組み立て体内の
他のガスと置き換わりうるようにガラスの融解の前の点
において導入される。例として、窒素雰囲気は、組み立
て体の温度は増加しているが、該組み立て体がガラスの
融解点を十分下回った温度にある間に炉の前方部分にあ
るゾーンあるいは点において導入される。アルゴンは組
み立て体の温度が約６００℃以上の温度まで上昇してい
る処理過程における後半の点において構成部材を囲み、
洗浄する雰囲気を形成するべく導入される。個々のガス
の導入速度は、それらの流量が、平均で約３分の２が窒
素、３分の１がアルゴンであるような雰囲気を提供する
ようなものである。殆どの処理に対して適当な圧力は大
気圧か、あるいはその僅かに上下である。装置がコンベ
ヤ炉内のサイクルを完全に実行するためのガスの滞留時
間は約２時間であることが判明している。そのような滞
留時間を提供する処理は、加熱／作業長さが約６メート
ル（３０フィート）であるコンベヤ炉内で実行すること
が出来る。

【００５２】圧縮タイプあるいは整合タイプのガラス気
密シールに適した最も市販されているガラスはその融解
点を上回った温度で処理出来るものである。本発明に関
連して使用するのに適した一つのガラスはペンシルバニ
ア州、マンモスのエレクトロガラス社(Elecro-Glass Co
rporation of Mammoth, PA）から市販されている２１６
４ガラスである。約１０００℃の処理温度が通常満足の
いくものである。直径が約１．２７ミリ（０．０５０イ
ンチ）から５０．８ミリ（２インチ）までの仕上がり装
置に対して、未仕上がりの組み立て体は、典型的にガラ
ス成分を概ね完全に融解させることによりガラスロッド
セグメントを円筒形のスリーブの内面並びに各電極の表
面に接着、すなわちシールするように出来るに十分な時
間前記の高温に露出される。

【００５３】第６の好適実施例 セラミックウエファあるいは装荷されたガラスウエファ
を使用することの代案として、内側の当接面の直径方向
に溝を形成したガラスロッドセグメントが使用できる。
そのような溝は一方のセグメントに、あるいは希望に応
じて双方のセグメントに形成することが出来る。前記溝
は相互に対して軸線方向に整合して位置させてよいが、
そのように整合させることが必須ではなくて、対角方向
に位置した軸線に沿って配置した溝を採用してもよい。
このように実施例において、雰囲気中に介在するイオン
性ガスは装置全体の雰囲気と置き換わり、ガラスロッド
の外面が融解温度に達すると、ロッドセグメントの長さ
に亘り効果的なシールが形成され、イオン性ガスを予め
形成した室内に保持する。すなわち、中央あるいは中間
に位置した室は通常ガス雰囲気が介在しても完全で、限
定された状態に留まる。前記室の直近の領域内の圧力は
該室を画成する金属製スリーブの内面が湿潤されない、
すなわちガラスで被覆されており、従って、外側の円筒
体と電極の表面との間の室を通して電気的な連続性を保
つ。これらの処理上の考慮は図１３および図１４に示す
代替的な形態に対しても適用可能であることは明らかで
ある。

【００５４】この点に関して、図１３および図１４に示
す形態は、完成した装置のその他の形状や性能特性を考
慮すればセラミックウエファおよび（または）ガラス充
填ウエファを含めてよい。

【００５５】図９から図１５までに示す実施例の構造材
料に関して、スリーブ並びに電極を鋼、あるいはステン
レス鋼で作ることが適当であることが判明しており、こ
の用途に対して広範囲のステンレス鋼が適していること
が判明している。特にステンレス鋼のそれとは異なる特
性を有する金属の使用を必要とする場合、スリーブを作
るためにその他の金属を採用することも可能である。そ
の他の適用可能あるいは使用可能な金属の典型としては
アルミニュームおよびチタニウムがあるが、その他のも
のもある用途においては有用であることが判明してい
る。

【００５６】介装されたセラミックあるいはガス充填セ
ラミックウエファを含む組み立て体が使用されている場
合、アルミナセラミックと前述の２１６４ガラスのよう
なガラスとの混合物から作られることが好ましい。前記
ガラスはペンシルバニア州、マンモスのエレクトロガラ
ス社（Electro-Glass Corporation of Mammoth, PA）か
ら市販されている。しかしながら、前述のように、有用
な装置は介装された高度に流動性のウエファ、あるいは
融点ウエファを使用する必要なく調製することが可能で
ある。但し、ある用途ではそのようなウエファの使用を
提案している。

【００５７】

【性能】性能基準としては、電極とスリーブの壁との間
に距離、あるいは電極間の距離は約１ ．２７ミリ
（０．０５０インチ）であって、主として窒素とアルゴ
ンとからなるガスの混合物ｈは大気圧である。そのよう
な実施例において、ガスの分解および（または）イオン
化は約４５０ボルトＤＣと１５００ボルトＤＣとの間の
電圧差において発生し、そのような分解は通常これらの
装置においては約７５０ボルトＤＣの電位差において発
生する。前述のように、始動装置が偶発的に作動しない
ように保護するためには、殆どの自動車向け用途に対し
て約１５ボルトの最小電位差が望ましく、１５００ボル
ト以下の最大分解電圧が一般的に必要であることが判明
している。

【００５８】本発明を特許法令に対応し、かつ当該技術
分野の専門家に本発明の新規な原理を適用し、その原理
を構成し、かつ使用するに必要な情報を提供するために
本発明を可成詳しく説明してきた。しかしながら、本発
明は明らかに相違する設備や装置によって実施すること
も可能であり、かつ本発明の範囲そのものから逸脱する
ことなく設備の細部や作動手順の双方に関して種々の修
正が達成可能であることを理解すべきである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一好適実施例に従って調製した気密密
封のガス充填放電管の斜視図。

【図２】図１に示す放電管の上面図。

【図３】図２の矢印３−３の方向に、３−３の線に沿っ
て見た垂直断面図。

【図４】図３に類似の垂直断面図であって、電極受入れ
孔に関して修正した構造の実施例を指向し、本発明の代
替好適実施例を示す図。

【図５】図４と類似の垂直断面図であって、電極受入れ
孔に対する代替的な形態を示す図。

【図６】図３と類似の図であるが、修正された電極の形
態を指向している図。

【図７】図３と類似の図であって、インサートが本体内
に位置されており、ある電極がイオン性ガスを充填した
共通の空洞すなわち室内に配置されている、電極と電極
受入れ孔に対する修正された本体形態を示す図。

【図８】図３と類似の図であって、本発明による気密シ
ールのガス充填放電管を含む組み立て体であって、圧力
感知のために状況応答装置を密閉するべく前記組み立て
体の頂部に固定された膜を組み込んでいる組み立て体を
示す図。

【図９】本発明により調製した機密シールのガス充填放
電管の斜視図。

【図１０】図９に示す放電管の上面図。

【図１１】図１０の線３−３に沿って矢印３−３の方向
に見た垂直断面図。

【図１２】図９の線４−４に沿って矢印４−４の方向に
見た、図１１と類似の垂直断面図であって、図１１と図
１２とは相互に対して９０度ずらして配置している図。

【図１３】図１１と類似の垂直断面図であるが、本発明
の装置のための修正した構造の実施例を指向している
図。

【図１４】図１１と類似の垂直断面図であるが、本発明
の装置のための修正された構造の実施例を指向している
図。

【図１５】自動車の膨らませ可能拘束装置あるいはエア
バッグと組み合わせた本発明によるガス充填放電管の典
型的な適用を示す概略線図。

【符号の説明】

１０、４０、５０、６０、１１０、１３０、１４２ 放
電管 １１、５７、６７、１１１、 本体 １２、２５、３０、 電極受入れ穴 １６、７４、１１６、１１８、ガラススリーブ １９、２７、３２、４１、６３、１２１、１２２、１３
９、１４０、１４８電極 ２０、２８、３３、４３、５１、７０、１３１ 室 ６２、１１９、１３６、１３７、１４６、１４７ ウエ
ファ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ダグラス ピー．マッキャロン アメリカ合衆国ミネソタ州ミネアポリス, ピルスベリー アベニュー サウス 4715

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （ａ）内面と外面、並びに長手方向軸線
   とを備えた導電性の円筒形スリーブから構成される本体
   と、 （ｂ） 外面が前記円筒形スリーブの内面と密封関係で
   配置され、中にガス充填密封室を有する電気絶縁性ガラ
   スロッドであって、前記室の一部が前記ガラスロッドの
   長さの全体的に中間で該ロッドの外面まで前記長手方向
   軸線に対して全体的に横方向に延びており、前記円筒形
   スリーブの内面が前記密封室と連通している電気絶縁性
   ガラスロッドと、 （ｃ） 平行に配置された軸線が前記ガラスロッドを通
   して延びている複数の導電性の細長い円筒形の電極であ
   って、少なくともその１個が前記のガス充填密封室を通
   して延びている電極とを含み、 （ｄ） 前記充填ガスが基本的に概ね大気圧のイオン性
   ガスからなることを特徴とするガス充填放電管。
2. 【請求項２】 前記イオン性ガスが窒素とアルゴンとの
   混合物であることを特徴とする請求項１に記載のガス充
   填放電管。
3. 【請求項３】 ガス充填放電管を組み入れたガラス気密
   シールであって、 （ａ） 内面と外面、並びに長手方向軸線とを備えた円
   筒形スリーブから構成される本体と、 （ｂ） 前記円筒形スリーブの内面と密封関係で配置さ
   れた電気絶縁性ガラスロッドであって、前記長手方向軸
   線に対して全体的に横方向に延びているガス充填密封室
   を有しており、前記スリーブの内面が前記密封室と連通
   している電気絶縁ガラスロッドと、 （ｃ） 前記ガラスロッドを通して延び、前記長手方向
   軸線に対して平行に配置され、前記ガス充填密封室を通
   して延びる少なくとも１個の導電性の細長い電極とを含
   み、 （ｄ） 前記充填ガスが基本的に、概ね大気圧のイオン
   性のガスから構成されることを特徴とするガラス気密シ
   ール。
4. 【請求項４】 前記イオン性ガスが窒素とアルゴンとの
   混合物であることを特徴とする請求項３に記載のガス充
   填放電管を組み込んだガラス気密シール。
5. 【請求項５】 前記ガラスロッドが一対のセグメントか
   らなり、該セグメントの少なくとも１個の対向するセグ
   メントがその直径にわたって形成された溝を有しその間
   で置かれたウエーハを形成して前記ガス充填密封室を画
   成し、前記ウエーハがセラミックとガラス充填セラミッ
   クとから構成される群から選択された高温流動性複合材
   料から作られることを特徴とする請求項３に記載のガス
   充填放電管を組み込んだガラス気密シール。
6. 【請求項６】 一対の細長い電極が離隔関係で設けら
   れ、各々の電極が前記円筒体の長手方向軸線に対して平
   行であることを特徴とする請求項３に記載のガス充填放
   電管を組み込んだガラス気密シール。
7. 【請求項７】 ガス充填放電装置を組み込んだガラス気
   密シールを調製する方法において、 （ａ） 細長くて、長手方向軸線が通っている金属製の
   スリーブ状本体部材を提供する段階と、 （ｂ） 前記の金属製スリーブ状本体内に端と端を合わ
   せた関係で挿入して各ガラスロッドのセグメントが前記
   金属製スリーブ本体内に各々が共軸線関係で配置された
   ガラスロッドの連続体を形成するよう一対の電気絶縁性
   ガラスロッドを提供する段階と、 （ｃ） 前記のガラスロッドセグメントの少なくとも１
   個の一端面の少なくとも一部を横切って横方向に延びて
   いる空洞を形成する段階と、 （ｄ） 前記ロッドセグメントの長さに亘って、少なく
   とも１個の電極受入れ孔であって、前記孔の軸線が前記
   ロッドセグメントの長手方向軸線に対して平行で、前記
   の横方向の室と交錯する電極受け取り孔を形成する段階
   と、 （ｅ） 前記ロッドセグメント内の各電極受け取り孔に
   導電性電極を位置させて電極組み立て体を形成する段階
   と、 （ｆ） 前記電極組み立て体を前記スリーブ内に位置さ
   せ放電装置組立て体を形成する段階と、 （ｇ） 前記放電装置組み立て体を、イオン性ガス雰囲
   気を有する加熱された室内に位置させ、前記放電装置組
   み立て体を、前記イオン性ガスが前記組み立て体内に介
   在する他のガスと置き換わるまで前記イオン性ガス雰囲
   気と接触した状態に保つ段階と、 （ｈ） 前記イオン性ガスを含有した組み立て体を、前
   記ガラスロッドセグメントが前記円筒形スリーブの内面
   と前記電極の外面とに溶着するに十分な時間高温に露出
   することにより、前記イオン性ガスを前記横方向室内に
   捕捉する段階とを含むことを特徴とするガラス気密シー
   ルを調製する方法。
8. 【請求項８】 前記イオン性ガスが窒素とアルゴンとの
   混合物であることを特徴とする請求項７に記載の方法。
9. 【請求項９】 一対の平行配置の細長い電極は前記ロッ
   ドセグメント内の個別の離隔された電極受け取り孔に位
   置されることを特徴とする請求項７に記載の方法。