JPH10208635A - 蛍光面の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 陰極線管の蛍光面を形成する際の現像工程に
おいて、現像能力を向上させて、蛍光面の品質及び歩留
まりを向上させた蛍光面の製造方法を提案する。 【解決手段】 本発明にかかる蛍光面の製造方法は、現
像水を射出して露光パターンを現像する列状に配された
複数のノズルのうち、いずれか一方の端部近傍のノズル
による現像水の広がり方向を略中心部のノズルによる現
像水の広がり方向と略対称として現像を行う工程を有す
る。また、他の蛍光面の製造方法は、いずれか一方の端
部近傍のノズルによる現像水の単位時間当たりの射出量
が略中心部のノズルによる現像水の単位時間当たりの射
出量より大きくして現像を行う工程を有するようにして
も良く、いずれか一方の端部近傍のノズルによる現像水
の射出角度が略中心部のノズルによる現像水の射出角度
より小さくして現像を行う工程を有するようにしても良
い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、陰極線管に備えら
れる蛍光面の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来は、陰極線管に備えられる蛍光パネ
ルを製造する際は、先ず、レジストを基板に均一となる
ように塗布し、次に、露光、レジスト現像が行われる。

【０００３】このレジスト現像においては、蛍光面パネ
ルを縦方向、すなわち赤色、緑色、青色からなる蛍光面
ストライプを垂直方向にした状態で固定しておこなう。
そして、現像水射出機構によって、現像水が射出される
ことによって、現像水の力によって、現像が行われる。

【０００４】この現像水射出機構は、複数の凸状の現像
ノズルからなるノズル列が形成され、この現像ノズルか
ら現像水を蛍光面に向かって射出する。この現像水射出
機構は、現像を行う際には、ノズル列方向と蛍光面スト
ライプの方向とが垂直となるように配されて現像を行
う。そして、ノズル列を蛍光面ストライプに対して垂直
方向に移動させて、蛍光パネルの全面に現像水を射出さ
せる。

【０００５】この現像水射出機構１０は、図９に示すよ
うに、一方面に現像ノズル１１が一列状に配設されて、
ノズル列を構成している。そして、この現像水射出機構
１０は、パネルに対して現像水１２を均一に射出するた
めに、現像ノズル１１から扇状の広がりを有するように
現像水１２を射出させる。また、この現像水射出機構１
０は、現像水１２の広がり方向を現像水射出機構１０の
長軸方向Ａと所定の角度θを有するように、それぞれの
現像ノズル１１から射出される現像水１２の広がりがそ
れぞれ平行となるように射出を行う。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような現像水射出機構１０においては、蛍光パネルの
現像を行う際、蛍光面ストライプ方向とノズル列方向と
が垂直となるように配設させて現像を行う。また、この
現像水射出機構１０は、各現像ノズル１１から射出され
る現像水１２の広がり方向を平行として現像を行ってい
る。

【０００７】このため、蛍光パネルにおいては、図１０
に示すように、現像水１２が射出されることとなる。な
お、図１０において、矢印は、現像水１２の水流方向を
示したものである。すなわち、蛍光パネルの上面端部１
３においては、現像ノズル１１からの現像水１２が所定
の角度θを有して射出されていることから、現像水１２
の水流方向がパネルの上面端部方向となる領域が生じて
しまう。現像時において、このような領域が生じると、
パネルの形状、重力による現像水１２の水流等に起因し
てパネル上に水膜が生じ、パネルの上面端部近傍におい
て現像がされずに残ってしまうという問題点がある。

【０００８】すなわち、この現像水射出機構１０におい
ては、所定の角度θで現像水を射出させているので、図
１０に示すように、蛍光パネルの形状、重力によって、
現像水１２がパネルの上面端部に流れるようになる。こ
のように、パネルの上面端部においては、現像水１２が
流れ込むと、パネルの上面端部において現像水１２の滞
留が生ずる。このように、パネルの上面端部に現像水の
滞留が生じると、パネルに射出される現像水の力が弱く
なってしまい、現像能力が低下してしまう。

【０００９】このように、パネルにおいては、現像能力
が低下してしまう部分が生じると、レジストを現像する
場合においては、蛍光面ストライプの幅、ストライプエ
ッジの悪化等が生じてしまうという問題が生ずる。

【００１０】また、上述のように現像能力が低下する
と、カーボン現像においては、カーボンが完全に落とさ
れずに残ってしまうことや、ストライプエッジの悪化等
が生じてしまうという問題が生ずる。

【００１１】さらに、蛍光体現像においても、蛍光体の
残り等、蛍光面としての品質上の問題が生じ、さらに
は、蛍光面の歩留まり悪化の要因ともなってしまう。

【００１２】本発明は、上述のような問題に鑑みて提案
されたものであり、蛍光面を形成する際、レジストの現
像工程、カーボンの現像工程、蛍光面の現像工程におい
て、現像能力を向上させることによって、蛍光面の品質
及び歩留まりを向上させた蛍光面の製造方法について提
案することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決する本
発明にかかる蛍光面の製造方法は、電子ビームが照射さ
れることによって、画像を表示する蛍光面を製造する蛍
光面の製造方法において、現像水を射出して露光パター
ンを現像する列状に配された複数のノズルのうち、いず
れか一方の端部近傍のノズルによる現像水の広がり方向
を、略中心部のノズルによる現像水の広がり方向と略対
称として現像を行う工程を有することを特徴とする。

【００１４】このような蛍光面の製造方法は、いずれか
一方の端部近傍のノズルによる現像水の広がり方向を略
中心部のノズルによる現像水の広がり方向と略対称とし
て現像を行うので、蛍光面の上面端部において現像水の
滞留を生ずるようなことがなく、現像水を蛍光面に射出
して蛍光面を製造することが可能となる。

【００１５】また、本発明にかかる他の蛍光面の製造方
法は、電子ビームが照射されることによって、画像を表
示する蛍光面を製造する蛍光面の製造方法において、現
像水を射出して露光パターンを現像する列状に配された
複数のノズルのうち、いずれか一方の端部近傍のノズル
による現像水の単位時間当たりの射出量が略中心部のノ
ズルによる現像水の単位時間当たりの射出量より大きく
して現像を行う工程を有することを特徴とする。

【００１６】このような蛍光面の製造方法は、いずれか
一方の端部近傍のノズルによる現像水の単位時間当たり
の射出量が略中心部のノズルによる現像水の単位時間当
たりの射出量より大きいので、蛍光面の上面端部に現像
水の滞留が生じても現像能力を低下させるようなことが
なく、蛍光面を製造することが可能となる。

【００１７】また、本発明にかかる他の蛍光面の製造方
法は、電子ビームが照射されることによって、画像を表
示する蛍光面を製造する蛍光面の製造方法において、現
像水を射出して露光パターンを現像する列状に配された
複数のノズルのうち、いずれか一方の端部近傍のノズル
による現像水の射出角度が略中心部のノズルによる現像
水の射出角度より小さくして現像を行う工程を有するこ
とを特徴とする。

【００１８】このような蛍光面の製造方法は、いずれか
一方の端部近傍のノズルによる現像水の射出角度が略中
心部のノズルによる現像水の射出角度より小さいので、
蛍光面の単位面積当たりに射出される現像水の量が大き
くなり、蛍光面の上面端部に現像水の滞留が生じても現
像能力を低下させるようなことがなく、蛍光面を製造す
ることが可能となる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる蛍光面の製
造方法について図面を参照しながら詳細に説明する。

【００２０】本実施の形態にかかる蛍光面の製造方法に
よって製造される蛍光面は、例えばテレビジョン受像機
に電源が投入されると、色信号入力回路より出力された
色信号が電子銃に入力され、この電子銃から射出される
電子ビームが、偏向コイルの磁界により偏向されて、蛍
光面へと射出される。そして、電子銃から射出された電
子ビームは、アパーチャーグリルを透過し、蛍光面に照
射されることにより、蛍光面を構成する蛍光体ストライ
プが発光し、パネルに映像を映し出す。

【００２１】上記電子ビームが照射される蛍光面は、カ
ーボンストライプの形成工程と、例えば赤色、緑色、青
色の各蛍光体ストライプの形成工程とからなる蛍光面形
成工程を経て形成される。

【００２２】第１の実施の形態にかかる蛍光面の形成工
程は、図１に示すように、パネル上にフォトレジストを
塗布するフォトレジスト塗布工程Ｓ−１と、このフォト
レジストを乾燥させるフォトレジスト乾燥工程Ｓ−２
と、フォトレジストに対して光を照射することによって
露光パターンを形成するフォトレジスト露光工程Ｓ−３
と、この露光パターンを現像するフォトレジスト現像工
程Ｓ−４と、乾燥工程Ｓ−５と、カーボンスラリー塗布
工程Ｓ−６と、反転剤注入工程Ｓ−７と、カーボン現像
工程Ｓ−８と、乾燥工程Ｓ−９と、蛍光スラリー塗布・
乾燥・露光工程Ｓ−１０と、蛍光体スラリー現像工程Ｓ
−１１とを経て形成される。

【００２３】先ず、フォトレジスト塗布工程Ｓ−１で
は、パネルの一方面に、フォトレジストを均一に塗布す
る。ここで、フォトレジストは、光に反応して水に対す
る不溶性が付与される材料を使用している。

【００２４】次に、上記のフォトレジスト塗布工程Ｓ−
１でパネル上に形成されたフォトレジストは、フォトレ
ジスト乾燥工程Ｓ−２により、所定の環境内におかれ、
熱により乾燥され、水分が除去される。

【００２５】次に、フォトレジスト露光工程Ｓ−３にお
いては、フォトレジストが全面に形成されたパネル１に
アパーチャグリルを装着する。その後、露光装置によっ
て位置決めする。そして、フォトレジスト露光工程Ｓ−
３では、露光装置に備えられているランプからの光によ
って、この光をレンズ系に透過させ、所定の位置に露光
する。そして、パネル上に形成されたフォトレジストに
対して露光パターンを内面に焼き付ける。

【００２６】次に、フォトレジスト現像工程Ｓ−４にお
いては、図２に示すように、パネル１をパネル支持体２
によって支持することによって、パネル１を固定してフ
ォトレジストの現像を行う。ここで、現像水射出機構３
は、このパネル１と対向するように配設される。ここ
で、フォトレジストが形成されたパネル１と現像水射出
機構３とは、パネル１に形成される蛍光体ストライプと
後述する現像水射出機構３の長軸方向Ａとが略垂直とな
るように配設されている。なお、図２（ａ）は、パネル
１と現像水射出機構３とを側面からみた図であり、図２
（ｂ）は、パネル１と現像水射出機構３とを正面からみ
た図である。

【００２７】ここで、現像水射出機構３は、図３に示す
ように、パネル１との対向面に現像水を射出する複数の
現像ノズル３ａを有している。この現像ノズル３ａは、
長軸方向Ａに現像ノズル３ａが形成され、ノズル列を構
成している。

【００２８】この現像ノズル３ａは、現像水３ｂを射出
する際、図４に示すように、長軸方向Ａに対して所定の
角度θで現像水３ｂを射出する。また、この現像ノズル
３ａは、図５に示すように、扇状に現像水３ｂを射出す
る。すなわち、この現像ノズル３ａは、現像水射出機構
３の短軸方向Ｂに噴射角度φで現像水３ｂを射出するこ
ととなる。

【００２９】また、この現像ノズル３ａは、図４に示す
ように、現像水射出機構３の長軸方向Ａに対して所定の
角度θを有するように現像水３ｂを射出させる。そして
現像ノズル３ａは、略中心部において、それぞれから射
出させる現像水３ｂの広がり方向が略平行になるように
現像水３ｂを射出する。また、パネル１の端部近傍に対
して現像水３ｂを射出する現像ノズル３ａについては、
略中心に配設されている現像ノズル３ａが射出する現像
水３ｂとは略対称となるような角度で現像水３ｂを射出
させる。

【００３０】なお、本実施の形態においては、略直線上
に一列に現像ノズル３ａが形成されている現像水射出機
構３について説明したが、略直線上に一列に配設させな
くても良く、この限りではないことは勿論である。

【００３１】そして、この現像水射出機構３によってフ
ォトレジスト現像工程Ｓ−４を行う際には、図２に示す
ように、現像水射出機構３をパネル１に対して垂直方向
Ｃに移動するように動作させて行う。この場合におい
て、パネル１の上面端部１ａには、図６に示すように、
現像水射出機構３に形成されている端部近傍に現像ノズ
ル３ａから射出される現像水３ｂが当たっていることが
わかる。また、パネル１の上面端部１ａの矢印で示す現
像水３ｂの水流が、上面端部１ａ方向に向かっていな
く、現像水が滞留してないことがわかる。

【００３２】このようなフォトレジスト現像工程Ｓ−４
を行うことにより、上述したフォトレジスト露光工程Ｓ
−３で露光して硬化した部分を残し、露光していない部
分を除去する。このように、パネル１の表面に、ストラ
イプ状に現像されたフォトレジストストライプを形成す
る。

【００３３】次に、乾燥工程Ｓ−５においては、現像さ
せたパネル１に対して熱により乾燥処理を行う。

【００３４】次に、カーボンスラリー塗布・乾燥工程Ｓ
−６により、そのフォトレジストストライプが形成され
たパネル１に、カーボンスラリーを均一に塗布する。次
に、所定の温度下にカーボンスラリーが塗布されたパネ
ル１をおくことによって乾燥させる。

【００３５】次に、反転剤注入工程Ｓ−７において、フ
ォトレジストストライプを反転剤により分解させ、フォ
トレジストストライプ上のカーボンスラリーをフォトレ
ジストと共に剥離する。その結果、フォトレジストスト
ライプが形成されていない位置に塗布されたカーボンス
ラリーが残ることになる。

【００３６】そして、カーボンスラリー現像工程Ｓ−８
において、上述したフォトレジスト現像工程Ｓ−４と同
様に、図２に示すように、パネル１をパネル支持体２に
よって支持することにより固定してカーボンスラリーの
現像を行う。また、このパネル１と対向するように、上
述の現像水射出機構３を配設させる。これにより、カー
ボンストライプを形成する。

【００３７】また、この現像水射出機構３によってカー
ボンスラリー現像工程Ｓ−８を行う際には、フォトレジ
スト現像工程Ｓ−４と同様に、図２に示すように、現像
水射出機構３をパネル１に対して垂直方向Ｃに移動する
ように動作させることによって行う。そして、パネル１
上に、残ったカーボンスラリーが現像されることによっ
て、カーボンストライプ形成する。

【００３８】次に蛍光体スラリーを形成する工程につい
て説明する。

【００３９】蛍光体スラリーを形成する工程は、蛍光体
スラリー塗布・乾燥・露光工程Ｓ−１０と、蛍光体スラ
リー現像工程Ｓ−１１とを経て形成される。なお、この
蛍光体スラリーを形成する工程において、蛍光面を緑、
青、赤の蛍光体スラリーに区分して構成するときは、例
えば、緑色蛍光体スラリー、青色蛍光体スラリー、赤色
蛍光体スラリーの順に形成しても良い。

【００４０】蛍光体スラリーを塗布する工程において
は、先ず、カーボンストライプが形成されたパネル１上
に、蛍光体と感光剤を混合した蛍光体スラリーを均等に
塗布する。

【００４１】次に、蛍光体スラリーを乾燥させる工程に
おいて、パネル１上に均一に塗布された蛍光体スラリー
を、熱により乾燥させ、水分を除去する。

【００４２】次に、蛍光体スラリーを露光する工程にお
いて、先ず、蛍光体スラリーを形成したパネル１上にア
パーチャーグリルを装着する。そして、このアパーチャ
ーグリルが装着されたパネルを、フォトレジスト露光工
程Ｓ−３と同様に、位置決め載置する。そして、ランプ
によりパネル１上に形成した蛍光体スラリーの所定の位
置に光を照射する。そして、光を照射することにより、
蛍光体スラリーの露光パターンを焼き付ける。ここで、
蛍光体スラリーを露光する工程においては、カーボンス
トライプが形成されていない位置に蛍光体スラリーが形
成されるようにストライプ状に露光する。

【００４３】次に、蛍光体スラリー現像工程Ｓ−１１に
おいて、蛍光体スラリーを露光する工程を経たパネル１
に対して露光された部分を残すように露光パターンを現
像する。

【００４４】ここで、この蛍光体スラリー現像工程Ｓ−
１１において、上述したフォトレジスト現像工程Ｓ−４
と同様に、図２に示すように、パネル１をパネル支持体
２によって支持することによって、固定して蛍光体スラ
リーの現像を行う。また、このパネル１と対向するよう
に、上述の現像水射出機構３を配設させる。これによ
り、蛍光体ストライプを、パネル１上のカーボンストラ
イプを形成していない領域に形成する。

【００４５】また、この現像水射出機構３によって蛍光
体スラリー現像工程Ｓ−１１を行う際には、フォトレジ
スト現像工程Ｓ−４と同様に、図２に示すように、現像
水射出機構３をパネル１に対して垂直方向Ｃに移動する
ように動作させることによって行う。

【００４６】このような蛍光面の製造方法は、フォトレ
ジスト現像工程Ｓ−４、カーボンスラリー現像工程Ｓ−
８、蛍光体スラリー現像工程Ｓ−１１において、現像水
射出機構３を構成する現像ノズル３ａからなるノズル列
の端部近傍の現像ノズル３ａが射出する現像水３ｂの射
出角度θと、略中心に配設されている現像ノズル３ａが
射出する現像液３ｂの射出角度θとを略対称となるよう
な角度で現像水３ｂを射出させるので、パネル１の上面
端部１ａにおいても、現像水３ｂが滞留するようなこと
かない。したがって、この蛍光面の製造方法によれば、
パネル１の上面端部１ａにおいて現像能力が低下してし
まうようなことがなく現像を行うことが可能となり、品
質及び歩留まりを向上させることが可能となる。

【００４７】なお、上述の蛍光面の製造方法は、いわゆ
る外面露光法においても適用可能である。この外面露光
法は、図７に示すように、上述した蛍光面の製造方法に
おけるカーボン現像後のを乾燥工程の後に、フォトレジ
スト塗布工程Ｓ−１２、フォトレジスト乾燥工程Ｓ−１
３、フォトレジスト露光工程Ｓ−１４を行った後に、上
述と同様に、フォトレジスト現像工程Ｓ−４を行う。そ
して、このフォトレジスト現像工程Ｓ−４の後に、乾燥
工程Ｓ−１５、上述と同様に、蛍光体スラリー塗布・乾
燥・露光工程Ｓ−１０を行った後に、上述と同様に、蛍
光体スラリー現像工程Ｓ−１１を行うことにより、陰極
線管に備えられる蛍光面を製造する。

【００４８】つぎに、第２の実施の形態にかかる蛍光面
の製造方法について説明する。なお、上述した第１の実
施の形態と同一部分については、同一符合を付すること
により、その詳細な説明を省略する。

【００４９】第２の実施の形態にかかる蛍光面の製造方
法は、現像水射出機構３を、端部近傍の現像ノズル３ａ
から射出される現像水３ｂの単位時間当たりの射出量が
略中心部に配設された現像ノズル３ａと比較して大きく
してフォトレジスト現像工程Ｓ−４、カーボン現像工程
Ｓ−８、蛍光体スラリー現像工程Ｓ−１１を行うことを
特徴とする。

【００５０】第２の実施の形態にかかる蛍光面の製造方
法は、第１の実施の形態と同様に、パネル１上にフォト
レジストを塗布するフォトレジスト塗布工程Ｓ−１と、
このフォトレジストを乾燥させるフォトレジスト乾燥工
程Ｓ−２と、フォトレジストに対して光を照射すること
によって露光パターンを形成するフォトレジスト露光工
程Ｓ−３と、この露光パターンを現像するフォトレジス
ト現像工程Ｓ−４と、カーボンスラリー塗布・乾燥工程
Ｓ−６と、反転剤注入工程Ｓ−７と、カーボンスラリー
現像工程Ｓ−８と、カーボン乾燥工程Ｓ−９と、蛍光ス
ラリー塗布・乾燥・露光工程Ｓ−１０と、蛍光体スラリ
ー現像工程Ｓ−１１とからなる。

【００５１】ここで、フォトレジスト現像工程Ｓ−４、
カーボンスラリー現像工程Ｓ−８、蛍光体スラリー現像
工程Ｓ−１１においては、第１の実施の形態と同様に、
図２に示すように、パネル１をパネル支持体２によって
支持することによって、パネル１を固定して現像を行
う。また、このパネル１と対向するように、現像水射出
機構３を配設させる。ここで、パネル１と現像水射出機
構３とは、パネル１の蛍光体ストライプと現像ノズル３
ａとが略垂直となるように配設されている。

【００５２】この現像水射出装置３は、第１の実施の形
態と同様に、現像水を射出する際、図４に示すように、
長軸方向Ａに対して所定の角度θで現像水３ｂを射出す
る。また、この現像ノズル３ａは、図５に示すように、
扇状に噴射角度φを有するように現像水３ｂを射出す
る。すなわち、この現像ノズル３ａは、現像水射出装置
３の短軸方向Ｂに噴射角度φで現像水を射出することと
なる。

【００５３】ここで、第２の実施の形態において使用さ
れる現像水射出機構３は、第１の実施の形態と同様に、
略中心に配設されている現像ノズル３ａが射出する現像
液３ｂとは略対称となるような射出角度θで現像水３ｂ
を射出させるとともに、端部近傍の現像ノズル３ａから
射出される現像水３ｂの単位時間当たりの射出量を略中
心部に配設された現像ノズル３ａと比較して大きくして
いる。

【００５４】そして、この現像水射出機構３によってフ
ォトレジスト現像工程Ｓ−４、カーボンスラリー現像工
程Ｓ−８、蛍光体スラリー現像工程Ｓ−１１を行う際に
は、第１の実施の形態と同様に、図２に示すように、現
像水射出機構３をパネル１に対して垂直方向Ｃに移動す
るように動作させることによって行う。

【００５５】このような蛍光面の製造方法は、陰極線管
に備えられる蛍光面の製造に際し、フォトレジスト現像
工程Ｓ−４、カーボンスラリー現像工程Ｓ−８、蛍光体
スラリー現像工程Ｓ−１１において、現像水射出機構３
を構成する現像ノズル３ａの単位時間当たりの射出量
を、略中心部に配設されている現像ノズル３ａよりも端
部近傍に配設されている現像ノズル３ａのほうを大きく
して現像を行うので、強い力でパネル１に現像水３ｂを
当てる。したがって、この蛍光面の製造方法によれば、
パネル１の上面端部１ａを現像する際においても、現像
水３ｂが滞留するようなことかなく、パネル１の上面端
部１ａにおいて現像能力が低下してしまうようなことが
なく現像を行うことが可能となり、品質及び歩留まりを
向上させることが可能となる。

【００５６】なお、上述した第２の実施の形態にかかる
蛍光面の製造方法は、第１の実施の形態において説明し
た、いわゆる外面露光法についても適用可能であること
は勿論である。

【００５７】つぎに、第３の実施の形態にかかる蛍光面
の製造方法について説明する。なお、上述した第１の実
施の形態と同一工程については、同一工程名称で述べる
ことにより、その詳細な説明を省略する。

【００５８】第３の実施の形態にかかる蛍光面の製造方
法は、現像水射出機構３を、複数の現像ノズル３ａのう
ち、端部近傍の現像ノズル３ａから射出される現像水３
ｂの噴射角度φを狭くしてフォトレジスト現像工程Ｓ−
４、カーボンスラリー現像工程Ｓ−８、蛍光体スラリー
現像工程Ｓ−１１を行うことを特徴とする。

【００５９】この第３の実施の形態にかかる蛍光面の製
造方法は、第１の実施の形態と同様に、パネル１上にフ
ォトレジストを塗布するフォトレジスト塗布工程Ｓ−１
と、このフォトレジストを乾燥させるフォトレジスト乾
燥工程Ｓ−２と、フォトレジストに対して光を照射する
ことによって露光パターンを形成するフォトレジスト露
光工程Ｓ−３と、この露光パターンを現像するフォトレ
ジスト現像工程Ｓ−４と、カーボンスラリー塗布・乾燥
・工程Ｓ−６と、反転剤注入工程Ｓ−７と、カーボンス
ラリー現像工程Ｓ−８と、カーボンスラリー乾燥工程Ｓ
−９と、蛍光スラリー塗布・乾燥・露光工程Ｓ−１０
と、蛍光体スラリー現像工程Ｓ−１１とからなる。

【００６０】ここで、フォトレジスト現像工程Ｓ−４、
カーボンスラリー現像工程Ｓ−８、蛍光体スラリー現像
工程Ｓ−１１においては、第１の実施の形態と同様に、
図２に示すように、パネル１をパネル支持体２によって
支持することによって、パネル１を固定して現像を行
う。また、このパネル１と対向するように、現像水射出
機構３を配設させる。ここで、パネル１と現像水射出機
構３とは、パネル１に形成される蛍光ストライプと現像
ノズル３ａとが略垂直となるように配設されている。

【００６１】この現像水射出機構３は、図３に示すよう
に、第１の実施の形態と同様に、パネル１との対向面に
現像水３ｂを射出する複数の現像ノズル３ａを有してい
る。この現像ノズル３ａは、長軸方向Ａに現像ノズル３
ａが複数形成され、ノズル列を構成している。この現像
水射出機構３は、現像水３ｂを射出する際、図５に示す
ように、扇状に噴射角度φを有するように現像水３ｂを
射出する。また、この現像ノズル３ａは、図８に示すよ
うに、現像水射出機構３の長軸方向Ａに対して所定の角
度θを有するように現像水３ｂを射出させる。そして現
像ノズル３ａは、略中心部において、それぞれから射出
させる現像水３ｂが略平行になるように現像水３ｂを射
出する。また、パネル１の上面端部近傍に対して現像液
３ｂを射出する現像ノズル３ａについては、略中心に配
設されている現像ノズル３ａが射出する現像水３ｂとは
略対称となるような角度θで現像水３ｂを射出させる。

【００６２】ここで、第３の実施の形態において使用さ
れる現像水射出機構３は、上述した第１の実施の形態と
同様に、略中心に配設されている現像ノズル３ａが射出
する現像水３ｂとは略対称となるような射出角度θで現
像水３ｂを射出させるとともに、端部近傍の現像ノズル
３ａから射出される現像水３ｂの噴射角度φを略中心部
に配設された現像ノズル３ａから射出される現像水３ｂ
の噴射角度φと比較して小さくしている。すなわち、第
３の実施の形態にかかる蛍光面の製造方法は、現像水射
出機構３から射出する現像水を、図８に示すように、現
像射出装置３の端部近傍において、パネル１に当たる現
像水の面積を小さくしていることとなる。

【００６３】そして、この現像水射出機構３によってフ
ォトレジスト現像工程Ｓ−４、カーボンスラリー現像工
程Ｓ−８、蛍光体スラリー現像工程Ｓ−１１を行う際に
は、図２に示すように、現像水射出機構３をパネル１に
対して垂直方向Ｃに移動するように動作させることによ
って行う。

【００６４】このような蛍光面の製造方法は、陰極線管
に備えられる蛍光面の製造に際し、現像水射出機構３の
端部近傍の現像ノズル３ａから射出される現像水３ｂの
噴射角度φを狭くしてフォトレジスト現像工程Ｓ−４、
カーボンスラリー現像工程Ｓ−８、蛍光体スラリー現像
工程Ｓ−１１を行うので、現像ノズル３ａから射出され
てパネル１に当たる単位面積当たりの現像水３ｂを増大
させることができる。すなわち、この蛍光面の製造方法
によれば、強い力の現像水３ｂをパネル１に当てること
ができる。したがって、この蛍光面の製造方法によれ
ば、パネル１の上面端部１ａを現像する際においても、
現像水３ｂが滞留してしまうようなことがない。したが
って、この蛍光面の製造方法によれば、パネル１の上面
端部１ａにおいても現像水射出機構３の現像能力が低下
してしまうようなことがなく現像を行うことが可能とな
り、品質及び歩留まりを向上させることが可能となる。

【００６５】なお、上述した第３の実施の形態にかかる
蛍光面の製造方法は、第１の実施の形態において説明し
たいわゆる外面露光法についても適用可能であることは
勿論である。

【００６６】なお、上述の第２の実施の形態にかかる蛍
光面の製造方法、第３の実施の形態にかかる蛍光面の製
造方法は、上述したように、第１の実施の形態と組み合
わせることによって更にパネル１の上面端部１ａに対し
て、現像水射出機構３の現像能力を第１の実施の形態に
かかる蛍光面の製造方法と比較して向上させることが可
能である。

【００６７】また、第２の実施の形態にかかる蛍光面の
製造方法及び第３の実施の形態にかかる蛍光面の製造方
法は、上述したように、第１の実施の形態と組み合わせ
て現像を行わなくても良いことは勿論である。すなわ
ち、従来の蛍光面の製造方法のように、現像ノズルから
射出される現像水の射出角度θを、端部近傍に配設され
ている現像ノズルから射出される現像水と、略中心部に
配設されている現像ノズルから射出される現像水を同じ
にしても、第２の実施の形態にかかる蛍光面の製造方
法、第３の実施の形態にかかる製造方法を適用すること
により、従来と比較して現像水射出機構の現像能力を向
上させることが可能であるということである。

【００６８】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明にか
かる蛍光面の製造方法は、直線状に配された複数の凸部
状のノズル列によって、現像水を射出する現像工程を有
し、この現像工程において、いずれか一方の端部近傍の
ノズルによる現像水の広がり方向を中心部のノズルによ
る現像水の広がり方向と対称として現像を行うので、パ
ネルの上面端部においても、現像水が滞留するようなこ
とかない。したがって、この蛍光面の製造方法によれ
ば、パネルの上面端部において現像能力が低下してしま
うようなことがなく現像を行うことが可能となり、品質
及び歩留まりを向上させることが可能となる。

【００６９】また、本発明にかかる他の蛍光面の製造方
法は、現像工程において、いずれか一方の端部近傍のノ
ズルによる現像水の単位時間当たりの射出量が略中心部
のノズルによる現像水の単位時間当たりの射出量より大
きくして蛍光面を製造するので、強い力でパネルに現像
水が当たり、パネルの上面端部を現像する際において
も、パネルの上面において、現像水が滞留するようなこ
とかない。したがって、この蛍光面の製造方法によれ
ば、パネルの上面端部において現像能力が低下してしま
うようなことがなく現像を行うことが可能となり、品質
及び歩留まりを向上させることが可能となる。

【００７０】また、本発明にかかる他の蛍光面の製造方
法は、現像工程において、いずれか一方の端部近傍のノ
ズルによる現像水の射出角度が略中心部のノズルによる
現像水の射出角度より小さくして蛍光面を製造するの
で、ノズルから射出されてパネルに当たる単位面積当た
りの現像水を増大させることができる。すなわち、この
蛍光面の製造方法によれば、強い力の現像水をパネルに
当てることができる。したがって、この蛍光面の製造方
法によれば、上面端部を現像する際においても、現像水
が滞留するようなことかなく、パネルの上面端部におい
て現像能力が低下してしまうようなことがなく現像を行
うことが可能となり、品質及び歩留まりを向上させるこ
とが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる蛍光面の製造方法が適用可能な
蛍光面の製造方法の一例を示す図である。

【図２】現像水射出機構によって現像工程を行う様子の
一例を示す図である。

【図３】現像水射出機構の一例を示す正面図を示す図で
ある。

【図４】現像水射出機構が現像水を射出している様子の
一例を示す正面図である。

【図５】現像水射出機構から射出される現像水の噴出角
度を説明するための図である。

【図６】現像水射出機構によって現像水をパネル上面端
部に当てたときの水流を説明するための図である。

【図７】外面露光法による蛍光面の製造工程の一例を示
す図である。

【図８】第３の実施の形態にかかる蛍光面の製造方法に
おいて、現像水射出機構が現像水を射出している様子の
一例を示す正面図である。

【図９】従来の蛍光面の製造方法で使用される現像水射
出機構の一例を示す正面図である。

【図１０】従来の現像水射出機構によって現像水をパネ
ル上面端部に当てたときの水流を説明するための図であ
る。

【符号の説明】

１ パネル、２ パネル支持体、３ 現像水射出機構、
３ａ 現像ノズル、３ｂ現像水

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子ビームが照射されることによって、
   画像を表示する蛍光面を製造する蛍光面の製造方法にお
   いて、 現像水を射出して露光パターンを現像する列状に配され
   た複数のノズルのうち、いずれか一方の端部近傍のノズ
   ルによる現像水の広がり方向を、略中心部のノズルによ
   る現像水の広がり方向と略対称として現像を行う工程を
   有することを特徴とする蛍光面の製造方法。
2. 【請求項２】 電子ビームが照射されることによって、
   画像を表示する蛍光面を製造する蛍光面の製造方法にお
   いて、 現像水を射出して露光パターンを現像する列状に配され
   た複数のノズルのうち、いずれか一方の端部近傍のノズ
   ルによる現像水の単位時間当たりの射出量を、略中心部
   のノズルによる現像水の単位時間当たりの射出量より大
   きくして現像を行う工程を有することを特徴とする蛍光
   面の製造方法。
3. 【請求項３】 電子ビームが照射されることによって、
   画像を表示する蛍光面を製造する蛍光面の製造方法にお
   いて、 現像水を射出して露光パターンを現像する列状に配され
   た複数のノズルのうち、いずれか一方の端部近傍のノズ
   ルによる現像水の射出角度を、略中心部のノズルによる
   現像水の射出角度より小さくして現像を行う工程を有す
   ることを特徴とする蛍光面の製造方法。