JPH10204668A

JPH10204668A - 配管、清掃方法及び清掃治具

Info

Publication number: JPH10204668A
Application number: JP9011396A
Authority: JP
Inventors: Masateru Hara; 昌輝原
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1997-01-24
Filing date: 1997-01-24
Publication date: 1998-08-04

Abstract

(57)【要約】【課題】反応生成物等が付着した排気配管を、安全に
かつ配管を取り外すことなく、容易に清掃できるように
する配管、清掃方法及び清掃治具を提供する。【解決手段】金属配管１の内壁に薬液４又は所要のガ
スにより除去され得る薄膜２が被着形成されてなる配管
５を構成する。また、金属配管１の内壁を清掃する際
に、薄膜２と共に、これの上の堆積物３を剥離させるこ
とにより清掃を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体分野
の成膜装置や加工装置の排気配管の清掃に用いて好適な
配管、清掃方法及び清掃治具に係わる。

【０００２】

【従来の技術】従来は、半導体分野の成膜装置、エッチ
ング装置等の加工装置において、その排気配管の清掃
は、配管を取り外して配管内壁に付着した堆積物例えば
成膜やエッチング時の反応生成物を物理的に剥がすこと
により行っていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな配管の清掃方法では、配管を取り外す必要があるた
めに清掃に時間がかかる上、取り外しが予想される箇所
には配管工事の際に溶接を行うことができない制約があ
った。

【０００４】また、配管内壁に付着した堆積物が人体に
有害であったり、安易に空気に触れさせると爆発する危
険がある等、安全面でも問題があった。

【０００５】上述した問題の解決のために、本発明にお
いては、反応生成物等が付着した排気配管を、安全にか
つ配管を取り外すことなく、容易に清掃できるようにす
る配管、清掃方法及び清掃治具を提供するものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の配管は、金属配
管の内壁に薬液又は所要のガスにより除去され得る薄膜
が被着形成されてなるものである。

【０００７】上述の本発明の構成によれば、金属配管の
内壁に薬液又は所要のガスにより除去され得る薄膜が被
着形成されてなることにより、薄膜上に堆積した反応生
成物等を、その後薄膜が除去され得る薬液又は所要のガ
スを流すことにより、薄膜と共に除去することができ
る。

【０００８】本発明の配管は、主たる金属配管の外側
に、金属配管内に連通する補管体が、金属配管の長手方
向に対して斜めに取り付けられてなるものである。

【０００９】上述の本発明の構成によれば、主たる金属
配管の外側に、金属配管内に連通する補管体が、金属配
管の長手方向に対して斜めに取り付けられてなることに
より、補管体から清掃治具を挿入して金属配管内壁の清
掃を行うことにより、金属配管を取り外さなくとも金属
配管内壁の清掃を行うことができる。

【００１０】本発明の清掃方法は、金属配管の内壁に薬
液又は所要のガスにより除去され得る薄膜を被着形成し
ておき、金属配管の内壁を清掃する際に、薄膜と共に、
これの上の堆積物を剥離させることにより清掃を行う。

【００１１】上述の本発明方法によれば、金属配管の内
壁に薬液又は所要のガスにより除去され得る薄膜を被着
形成しておき、金属配管の内壁を清掃する際に、薄膜と
共に、これの上の堆積物を剥離させることにより、薄膜
上の堆積物を容易に除去することができる。

【００１２】本発明の清掃治具は、管体の先端に回転し
得る複数の歯が取り付けられてなるものである。

【００１３】上述の本発明の構成によれば、管体の先端
に回転し得る複数の歯が取り付けられてなることによ
り、回転し得る複数の歯で配管の内壁の堆積物を削り落
とし、その後内壁から剥離した堆積物を、吸引するか又
は掃き出して配管から除去することができ、配管を取り
外さなくても配管の清掃を行うことができる。

【００１４】本発明の清掃治具は、管体の先端に管体の
軸方向に振動し得る配管内の堆積物を除去する歯が取り
付けられてなるものである。

【００１５】上述の本発明の構成によれば、管体の先端
に管体の軸方向に振動し得る配管内の堆積物を除去する
歯が取り付けられてなることにより、歯の振動により配
管の内壁の堆積物を削り落とし、その後内壁から剥離し
た堆積物を、吸引するか又は掃き出して配管から除去す
ることができ、配管を取り外さなくても配管の清掃を行
うことができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明は、金属配管の内壁に薬液
又は所要のガスにより除去され得る薄膜が被着形成され
てなる配管である。

【００１７】また本発明は、上記配管において、薄膜
が、有機物、炭素、アルミニウム、金のいずれかにより
形成されている構成とする。

【００１８】本発明は、主たる金属配管の外側に、金属
配管内に連通する補管体が、金属配管の長手方向に対し
て斜めに取り付けられてなる配管である。

【００１９】本発明は、金属配管の内壁に薬液又は所要
のガスにより除去され得る薄膜を被着形成しておき、金
属配管の内壁を清掃する際に、薄膜と共に、これの上の
堆積物を剥離させることにより清掃を行う清掃方法であ
る。

【００２０】また本発明は、上記清掃方法において、薄
膜が、有機物、炭素、アルミニウム、金のいずれかによ
り形成されているものである。

【００２１】また本発明は、上記清掃方法において、金
属配管の内壁の清掃を、金属配管内に薬液或いはガスを
流して行う。

【００２２】本発明は、管体の先端に回転し得る複数の
歯が取り付けられてなる清掃治具である。

【００２３】また本発明は、上記清掃治具において、高
圧ガス又は液体を噴出させて、歯を回転させる構成とす
る。

【００２４】また本発明は、上記清掃治具において、管
体が、真空吸引機能を有している構成とする。

【００２５】本発明は、管体の先端に管体の軸方向に振
動し得る配管内の堆積物を除去する歯が取り付けられて
なる清掃治具である。

【００２６】また本発明は、上記清掃治具において、管
体が、真空吸引機能を有している構成とする。

【００２７】以下、図面を参照して本発明の配管、清掃
方法及び清掃治具の実施例を説明する。図１は、本発明
の配管及び清掃方法の実施例として、配管の断面図を示
す。本例においては、金属配管の内壁に薬液又は所要の
ガスにより除去され得る薄膜が被着形成されてなる配管
を用いて、金属配管の内壁を清掃する際に、リフトオフ
法で、即ち薄膜と共に、これの上の堆積物を剥離させる
ことにより清掃を行う。

【００２８】まず、図１Ａに示すような、例えば内径１
００ｍｍのＳＵＳ製の金属配管１を用意する。

【００２９】次に、図１Ｂに示すように、この金属配管
１の内壁に、蒸着法によりＡｌ膜２を例えば５００ｎｍ
の厚さに成膜する。これにより、金属配管１の内壁にＡ
ｌ膜２を成膜した配管５が形成される。

【００３０】このように、金属配管１の内壁にＡｌ膜２
を成膜した配管５を形成することにより、配管５の内壁
へ付着する生成物をＡｌ膜２の上に堆積させて、後述す
るように、その後Ａｌ膜２を除去することにより、Ａｌ
膜２と共に生成物をも除去して、配管５を取り外さなく
とも配管５の清掃を行うことができる。

【００３１】この配管５を、半導体の成膜装置や加工装
置の排気配管として用いることにより、図１Ｃに示すよ
うに、反応生成物３がＡｌ膜２に堆積する。例えば、Ｓ
ｉＨ₄とＮＨ₃を用いたＳｉＮ_x膜の成膜装置の排気配
管として用いたところ、内壁にＳｉＮ_xＨ_yを主成分と
する反応生成物３が堆積した。

【００３２】次に、図１Ｄに示すように、配管５中に例
えば５％の希塩酸等のＡｌ膜２を溶解しうる薬液４を注
入する。このとき、常温で付着した反応生成物３は多孔
質状態にあるので、簡単に薬液４が浸透する。

【００３３】その結果、下地のＡｌ膜２が先に薬液４に
溶解するため、図１Ｅに示すように、反応生成物３はリ
フトオフされて容易に除去される。そして、図１Ｆに示
すように、図１Ａと同じ状態の付着物のない金属配管１
を得る。

【００３４】その後は、再び金属配管１の内壁にＡｌ膜
２を被着した配管５を形成して、以降の過程を繰り返
す。これにより、使用−清掃−使用を繰り返し、配管５
を長期間使用することができる。

【００３５】上述の実施例によれば、配管５の清掃の段
階では、配管５を取り外さなくとも薬液４を流すことに
より容易に反応生成物３を除去することができる。

【００３６】従って、人体に有害であったり、安易に空
気に触れさせると爆発する危険がある等の安全面で問題
がある反応生成物３を除去する場合でも、配管５を取り
外さなくとも除去できることから、人体に影響したり空
気に触れたりしないで反応生成物３を安全に除去して配
管５の清掃を行うことができる。配管５の取り外しは、
清掃後の付着物の無くなった金属配管１に再度Ａｌ膜２
を成膜する時だけですみ、安全に一連の作業を行うこと
ができる。

【００３７】上述の例では、金属配管１内に被着する薄
膜としてＡｌ膜２を用いたが、その他の材料、例えば金
や炭素、あるいはビニールやポリイミド或いはテフロン
等の有機物であってもよい。薄膜として用いる材料に応
じて、薄膜をリフトオフするための薬液４も適当なもの
を選定する。このとき、薄膜と金属配管１とのエッチン
グ比が取れるようにして金属配管１が薬液４により溶解
しないようにする。

【００３８】薄膜として例えば金を用いた場合には、金
薄膜は金属配管１内に弱い付着力（ただし配管１０を排
気配管として使用しているときには剥離しない程度の強
さ）で付着するだけであるため、薬液４を勢いよく流
す、即ち薬液４を物理的除去手段として用いることによ
って、金薄膜は容易に金属配管１の内壁から剥離し、同
時に反応生成物３を除去することができる。従って、こ
の場合には、薬液４は、金薄膜を溶解し、かつ金属配管
１とのエッチング比が取れるものでなくてもよい。

【００３９】上述の実施例では薬液４を用いて薄膜の除
去を行ったが、この下地の薄膜をエッチングできるので
あればガスでもよい。

【００４０】尚、使用する金属配管１のサイズや材質、
反応生成物３の種類等は、上述の実施例に限定されず、
本発明の主旨を逸脱しない範囲で変更できる。

【００４１】次に、図２に本発明の配管の他の実施例の
断面図を示す。この配管１０は、主たる金属配管６の外
側に、金属配管６内に連通する補管体７が、金属配管６
の長手方向に対して斜めに取り付けられて構成されてい
る。

【００４２】金属配管６は、例えば内径１００ｍｍのＳ
ＵＳ製金属管を用いる。また、補管体７は、例えば内径
６０ｍｍのＳＵＳ製金属管を用いる。

【００４３】本例では、図２に示すように、補管体７を
金属配管６の長手方向から４５°ずらした角度に取り付
けている。

【００４４】金属配管６を通常の排気配管として使用す
る際には、補管体７の先端は図示しないがメクラ蓋等に
より閉じておく。

【００４５】金属配管６を使用した後に清掃する際に
は、補管体７の先端より、適当な清掃治具を挿入するこ
とにより、金属配管６を取り外さなくても清掃を行うこ
とができる。そして、本例においては、特に補管体７が
金属配管６の長手方向から斜めに、例えば４５°ずらし
て取り付けられているので、清掃治具の挿入を容易に行
うことができる。

【００４６】好ましくは、金属配管６にその長手方向か
ら斜めに取り付ける補管体７を、複数取り付けることに
より、金属配管６が長いものや分岐・屈曲を有するもの
であっても、清掃治具を挿入して、容易に金属配管６の
清掃を行うことができる。

【００４７】尚、使用する金属配管６及び補管体７のサ
イズや材質、補管体７を取り付ける角度等は、上述の実
施例に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲で変
更できる。

【００４８】次に、本発明の清掃治具の実施例について
説明する。この例は、管体の先端に回転し得る複数の歯
が取り付けられた清掃治具の例である。

【００４９】図３及び図４は、本発明の清掃治具の実施
例を示す。図３は清掃治具の正面図、図４は清掃治具の
軸に沿った断面図である。この清掃治具２０は、例えば
外径６０ｍｍのＳＵＳ製の円筒１１の周囲に、例えばＳ
ＵＳ製の歯１２が８個取り付けられ、この歯１２の先端
は、図３中紙面に垂直な方向に向けて折り曲げられ、円
筒１１の中心には回転軸１３が配され、この円筒１１と
回転軸１３との間に十字形状にガス管１４が取り付けら
れている。歯１２の先端から隣り合う歯１２の先端まで
の距離Ｌは、例えば９０ｍｍとする。

【００５０】また、回転軸１３は、図４中矢印Ａで示す
ように、ガスチューブ１５によって高圧のガスを供給す
ることができるようになっており、このガスチューブ１
５と回転軸１３との間には、ベアリング１６ａと図示し
ないがＯリングが配されて、回転運動の伝達とガスのシ
ーリングとを同時に行うことができる。そして、ガスチ
ューブ１５から供給されたガスは、ガス管１４から円筒
１１を通じて歯１２に供給され、歯１２の先端にあるガ
ス噴出口１７から高速のガス流１８として放出される。
このようにガス噴出口１７から高速のガス流１８が噴出
されると、その反作用により、歯１２を付けた円筒１１
が回転軸１３を中心に回転する。このとき、ガスの圧力
によって歯１２の回転数が変化する。

【００５１】例えば前述のサイズの清掃治具２０に、例
えば３気圧のガスを流したときの回転数は約１０００ｒ
ｐｍであった。

【００５２】歯１２が取り付けられた円筒１１は、例え
ば直径５０ｍｍのＳＵＳ製の折り曲げ可能なフレキシブ
ル管１９の先端に、ベアリング１６ｂを介して取り付け
られ、ガスを円筒１１の歯１２に供給するガスチューブ
１５は、このフレキシブル管１９の内部を通っている。
このフレキシブル管１９は、円筒１１の取り付け位置と
反対側の口から排気がなされ、これにより、円筒１１の
開口面が吸入口となり、この開口面から図３中矢印Ｂで
示すように吸気がなされる。

【００５３】この清掃治具２０を用いて、ＳｉＨ₄とＮ
Ｈ₃を用いたＳｉＮ_x膜の成膜装置の排気配管として使
用した内径１００ｍｍの金属配管の清掃を行った。この
金属配管には、内壁にＳｉＮ_xＨ_yを主成分とする反応
生成物が付着していた。３気圧のＮ₂ガスを供給するこ
とにより、約１０００ｒｐｍの回転数で歯１２を回転さ
せながら、フレキシブル管１９を金属配管内に挿入し
た。回転する歯１２で金属配管内の反応生成物は削り落
とされ、削り落とされた反応生成物はフレキシブル管１
９内に吸引され、外部に排出された。

【００５４】本例においては、清掃治具２０にフレキシ
ブル管１９を使用しているため、清掃する金属配管が曲
がっていても、その先に清掃治具２０を挿入することが
できる。このようにして、清掃する金属配管を取り外す
ことなく簡便な方法で清掃することができる。

【００５５】さらに、フレキシブル管１９の挿入口のシ
ーリングを工夫することにより、清掃する金属配管内に
空気が漏れ込むことを防止できる。

【００５６】歯１２の折り曲げ部１２ａは固定されてい
てもよいが、好ましくは折り曲げ部１２ａを折り曲げ角
度が可変な関節として、歯が回転駆動する際の遠心力で
折り曲げ部１２ａより先端の歯１２が開くように構成す
る。このようにすれば、配管の内壁に確実に歯１２が当
たるようにすることができる。

【００５７】尚、使用する金属配管及び清掃治具２０の
サイズや材質、及び回転数等は、上述の実施例に限定さ
れず、本発明の主旨を逸脱しない範囲で変更できる。

【００５８】続いて、本発明による清掃治具の他の実施
例について説明する。この例は、管体の先端に管体の軸
方向に振動し得る配管内の堆積物を除去する歯が取り付
けられた清掃治具の例である。

【００５９】図５は、本発明の清掃治具の他の実施例の
側面図を示す。この清掃治具３０は、例えば外径６０ｍ
ｍのＳＵＳ製のフレキシブル管２１の先端に、このフレ
キシブル管２１に沿って３０ｍｍの範囲で左右に動け
る、例えば直径８５ｍｍのＳＵＳ製のリング２２が取り
付けられている。

【００６０】このリング２２には、例えば長さ１５ｍｍ
のＳＵＳ製の歯２３が取り付けられている。また、この
リング２２は、図示しないが、フレキシブル管２１の中
を通されたガスチューブによって高圧ガスが供給されて
いる。この高圧ガスを、リング２２のガス噴出口２４か
ら瞬間的なガス流２５として図５中左側に噴出すること
により、リング２２が右側に移動する。さらに、リング
２２には、リング２２を左側に引き戻すバネ２６が取り
付けられ、ガス流２５の噴出により右側に移動した後
に、その反作用として、リング２２が左側の定位置に戻
る。

【００６１】そして、瞬間的即ち断続的に繰り返しガス
流２５を発生させることにより、リング２２を左右方向
に繰り返し振動させることができる。また、フレキシブ
ル管２１はリング２２の取り付け端とは反対側の端部か
ら排気を行うことにより、リング２２の取り付け端から
は吸気がなされる。

【００６２】この清掃治具３０を用いて、ＳｉＨ₄とＮ
Ｈ₃を用いたＳｉＮ_x膜の成膜装置の排気配管として使
用した内径１００ｍｍの金属配管の清掃を行った。この
金属配管は、内壁にＳｉＮ_xＨ_yを主成分とする反応生
成物が付着していた。３気圧のＮ₂ガスを供給すること
により、約５００回／分の振動数で歯２３を振動させな
がら、フレキシブル管２１を金属配管内に挿入した。振
動する歯２３で金属配管内の反応生成物は削り落とさ
れ、削り落とされた反応生成物はフレキシブル管２１内
に吸引され、外部に排出された。

【００６３】本例においても、先の例と同様に、フレキ
シブル管２１を使用しているため、清掃する金属配管が
曲がっていてもその先に清掃治具３０を挿入することが
できる。このようにして、清掃する金属配管を取り外す
ことなく簡便な方法で清掃することができる。また、フ
レキシブル管２１の挿入口のシーリングを工夫すること
により、清掃する金属配管内に空気が漏れ込むことを防
止できる。

【００６４】上述の実施例では、リング２２に、このリ
ング２２を図５中左側に引き戻すバネ２６が取り付けら
れ、ガス流２５を図５中左側に噴出させた例であった。
一方、リング２２に、フレキシブル管２１の先端方向
（図５中右側）にリング２２を押し戻すバネを取り付け
て、ガス流をフレキシブル管２１の先端方向に噴出させ
る構成としても、同様にリング２２及びリング２２に取
り付けられた歯２３を振動させることができる。

【００６５】尚、使用する金属配管及び清掃治具３０の
サイズや材質、及び振動数等は、上述の実施例に限定さ
れず、本発明の主旨を逸脱しない範囲で変更できる。

【００６６】上述の２つの実施例の清掃治具２０及び３
０においては、回転する歯１２の回転又は振動する歯２
３の振動をガス流の圧力によって行っているが、その他
電気的・機械的手段により歯の回転又は歯の振動を行っ
てもよい。金属配管内の反応生成物の種類によっては、
モータを使用した場合に、モータのオン／オフの際に火
花が出て発火するおそれがある。従って、好ましくは上
述の実施例のように、歯の回転又は歯の振動をガス流に
よって行う。このとき、ガスとしては、例えばＮ₂等の
不活性ガスを用いる。

【００６７】また、上述の２つの実施例の清掃治具２０
及び３０においては、フレキシブル管１９，２１の後端
部から排気して、清掃治具２０，３０の先端部から吸気
を行って、回転する歯１２又は振動する歯２３によって
削り落とした金属配管内の反応生成物を吸引している
が、その他例えばガスの吹き出し等により削り落とした
反応生成物を吹き飛ばして下流側に掃き出す構成も採る
ことができる。上述の実施例のように削り落とした反応
生成物を吸引する方が、確実に反応生成物を収拾するこ
とができるので好ましい。より好ましくは、フレキシブ
ル管１９，２１の後端を真空ポンプ等で真空引きするこ
とにより、清掃治具２０，３０の先端で反応生成物を真
空吸引して、さらに確実に配管内から除去することがで
きる。

【００６８】本発明の配管、清掃方法及び清掃治具は、
上述の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸
脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。

【００６９】

【発明の効果】上述の本発明による配管によれば、金属
配管の内壁に薬液又は所要のガスにより除去され得る薄
膜が被着形成されてなることにより、薄膜上に堆積した
反応生成物等を、その後薄膜が除去され得る薬液又は所
要のガスを流すことにより、薄膜と共に除去することが
できる。従って、配管を取り外さなくとも、容易に配管
の清掃を行うことができ、反応生成物が人体や空気に触
れないので安全に清掃作業を行うことができる。

【００７０】また、上述の本発明による他の配管によれ
ば、主たる金属配管の外側に、金属配管内に連通する補
管体が、金属配管の長手方向に対して斜めに取り付けら
れてなることにより、補管体から清掃治具を挿入して金
属配管内壁の清掃を行うことにより、金属配管を取り外
さなくとも、容易に金属配管内壁の清掃を行うことがで
きる。

【００７１】上述の本発明の清掃方法によれば、前述の
薄膜を被着形成した配管を使用して、金属配管の内壁を
清掃する際に、薄膜と共に薄膜の上の堆積物を剥離させ
ることにより、薄膜上の堆積物を容易に除去することが
できる。また、配管を取り外さなくとも配管の清掃を行
うことができ、堆積物が人体や空気に触れないので安全
に清掃作業を行うことができる。

【００７２】上述の本発明の清掃治具によれば、管体の
先端に回転し得る複数の歯が取り付けられてなることに
より、回転し得る複数の歯で配管の内壁の堆積物を削り
落とし、その後内壁から剥離した堆積物を、吸引するか
又は掃き出して配管から除去することができ、配管を取
り外さなくても配管の清掃を行うことができる。

【００７３】また、上述の清掃治具において、管体の先
端に取り付けられた、回転し得る複数の歯が、高圧ガス
又は液体を噴出させて回転させる構成としたときには、
電気的・機械的手段により回転させる場合に例えばモー
ターから火花が発生する問題を生じないので、より安全
に歯の回転を行うことができる。

【００７４】上述の本発明の他の清掃治具によれば、管
体の先端に管体の軸方向に振動し得る配管内の堆積物を
除去する歯が取り付けられてなることにより、歯の振動
により配管の内壁の堆積物を削り落とし、その後内壁か
ら剥離した堆積物を、吸引するか又は掃き出して配管か
ら除去することができ、配管を取り外さなくても配管の
清掃を行うことができる。

【００７５】また、上述の清掃治具及び他の清掃治具に
おいて、管体が真空吸引機能を有した構成としたときに
は、管体の先端に取り付けられた歯によって削り取った
配管内の堆積物を、確実に収拾することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】Ａ〜Ｆ本発明の配管の実施例及び本発明の清
掃方法の実施例を説明する断面図である。

【図２】本発明の配管の他の実施例の概略構成図（断面
図）である。

【図３】本発明の清掃治具の実施例の概略構成図（正面
図）である。

【図４】図３の清掃治具の軸に沿った断面図である。

【図５】本発明の清掃治具の他の実施例の概略構成図
（断面図）である。

【符号の説明】

１，６金属配管、２Ａｌ膜、３反応生成物、４
薬液、５，１０配管、７補管体、１１円筒、１
２，２３歯、１３回転軸、１４ガス管、１５ガス
チューブ、１６ａ，１６ｂベアリング、１７，２４
ガス噴出口、１８，２５ガス流、１９，２１フレキ
シブル管、２０，３０清掃治具、２２リング、２６
バネ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】金属配管の内壁に薬液又は所要のガスに
より除去され得る薄膜が被着形成されてなることを特徴
とする配管。
【請求項２】上記薄膜が、有機物、炭素、アルミニウ
ム、金のいずれかにより形成されていることを特徴とす
る請求項１に記載の配管。
【請求項３】主たる金属配管の外側に、該金属配管内
に連通する補管体が、該金属配管の長手方向に対して斜
めに取り付けられてなることを特徴とする配管。
【請求項４】金属配管の内壁に薬液又は所要のガスに
より除去され得る薄膜を被着形成しておき、上記金属配管の内壁を清掃する際に、上記薄膜と共に、
これの上の堆積物を剥離させることにより清掃を行うこ
とを特徴とする清掃方法。
【請求項５】上記薄膜が、有機物、炭素、アルミニウ
ム、金のいずれかにより形成されていることを特徴とす
る請求項４に記載の清掃方法。
【請求項６】上記金属配管の内壁の清掃を、該金属配
管内に薬液或いはガスを流して行うことを特徴とする請
求項４に記載の清掃方法。
【請求項７】管体の先端に回転し得る複数の歯が取り
付けられてなることを特徴とする清掃治具。
【請求項８】高圧ガス又は液体を噴出させて、上記歯
を回転させることを特徴とする請求項７に記載の清掃治
具。
【請求項９】上記管体が、真空吸引機能を有している
ことを特徴とする請求項７に記載の清掃治具。
【請求項１０】管体の先端に該管体の軸方向に振動し
得る配管内の堆積物を除去する歯が取り付けられてなる
ことを特徴とする清掃治具。
【請求項１１】上記管体が、真空吸引機能を有してい
ることを特徴とする請求項１０に記載の清掃治具。