JPH10197016A - 中空糸膜型加湿器 - Google Patents
中空糸膜型加湿器Info
- Publication number
- JPH10197016A JPH10197016A JP161597A JP161597A JPH10197016A JP H10197016 A JPH10197016 A JP H10197016A JP 161597 A JP161597 A JP 161597A JP 161597 A JP161597 A JP 161597A JP H10197016 A JPH10197016 A JP H10197016A
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- Japan
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- hollow fiber
- fiber membrane
- water
- fiber membranes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、中空糸膜型加湿器に関し、小型の
装置で無菌状態の加湿ができる中空糸膜型加湿器を実現
することを目的とする。 【解決手段】 多数本の中空糸膜を間隔をあけて縦に並
列させ、その上下に通水用の箱を設け、前記各中空糸膜
をその端部が前記箱内に開口するように挿入固定して蒸
発ユニットを構成し、該蒸発ユニットを１乃至複数個並
べて使用して成るように構成する。
装置で無菌状態の加湿ができる中空糸膜型加湿器を実現
することを目的とする。 【解決手段】 多数本の中空糸膜を間隔をあけて縦に並
列させ、その上下に通水用の箱を設け、前記各中空糸膜
をその端部が前記箱内に開口するように挿入固定して蒸
発ユニットを構成し、該蒸発ユニットを１乃至複数個並
べて使用して成るように構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は中空糸膜型加湿器に
関する。詳しくは、中空糸膜を用いて無菌状態の蒸気を
放出することができる中空糸膜型加湿器に関する。
関する。詳しくは、中空糸膜を用いて無菌状態の蒸気を
放出することができる中空糸膜型加湿器に関する。
【０００２】半導体装置の製造には静電気の帯電による
害を防ぐため無菌状態の適度の湿気を有する環境が要求
される。また病院等には無菌状態の加湿ができる加湿器
が要求される。
害を防ぐため無菌状態の適度の湿気を有する環境が要求
される。また病院等には無菌状態の加湿ができる加湿器
が要求される。
【０００３】
【従来の技術】従来用いられている加湿器には、超音
波加湿器、高圧スプレー式加湿器、電熱式加湿器、
自然蒸発式加湿器、等がある。そして各加湿器におけ
る加湿方法は、の超音波加湿器では水槽内の超音波振
動子により粒径１μほどに霧化させた水滴を空気中で蒸
発させて加湿する。また、の高圧スプレー式加湿器で
は、ノズルから多量の水を噴霧して加湿する。また、
の電熱式加湿器では、水を電熱により加熱して水蒸気を
発生させ加湿する。また、の自然蒸発式加湿器では水
槽中に親水性の織布を立て、毛細管力により濡れた織布
から空気中に蒸発させて加湿する。
波加湿器、高圧スプレー式加湿器、電熱式加湿器、
自然蒸発式加湿器、等がある。そして各加湿器におけ
る加湿方法は、の超音波加湿器では水槽内の超音波振
動子により粒径１μほどに霧化させた水滴を空気中で蒸
発させて加湿する。また、の高圧スプレー式加湿器で
は、ノズルから多量の水を噴霧して加湿する。また、
の電熱式加湿器では、水を電熱により加熱して水蒸気を
発生させ加湿する。また、の自然蒸発式加湿器では水
槽中に親水性の織布を立て、毛細管力により濡れた織布
から空気中に蒸発させて加湿する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の加湿器にお
いて、の超音波加湿器およびの高圧スプレー加湿器
においては加湿性能が悪く、装置を大型化する必要があ
る。又これら加湿器は直接水を霧化するため雑菌も一緒
に飛散する。また、の電熱式加湿器およびの自然蒸
発式加湿器においても加湿効率が悪く、更にその溜り水
に雑菌が繁殖する。従って、これら加湿器は無菌状態の
環境が要求される半導体装置の製造および病院等に用い
ることは好ましくない。
いて、の超音波加湿器およびの高圧スプレー加湿器
においては加湿性能が悪く、装置を大型化する必要があ
る。又これら加湿器は直接水を霧化するため雑菌も一緒
に飛散する。また、の電熱式加湿器およびの自然蒸
発式加湿器においても加湿効率が悪く、更にその溜り水
に雑菌が繁殖する。従って、これら加湿器は無菌状態の
環境が要求される半導体装置の製造および病院等に用い
ることは好ましくない。
【０００５】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、小型
の装置で加湿ができる中空糸膜型加湿器を実現すること
を目的とする。
の装置で加湿ができる中空糸膜型加湿器を実現すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の中空糸膜型加湿
器に於いては、多数本の中空糸膜を間隔をあけて縦に並
列させ、その上下に通水用の箱を設け、前記中空糸膜を
その端部が前記箱内に開口するように挿入固定して蒸発
ユニットを構成し、該蒸発ユニットを１乃至複数個並べ
て使用したことを特徴とする。
器に於いては、多数本の中空糸膜を間隔をあけて縦に並
列させ、その上下に通水用の箱を設け、前記中空糸膜を
その端部が前記箱内に開口するように挿入固定して蒸発
ユニットを構成し、該蒸発ユニットを１乃至複数個並べ
て使用したことを特徴とする。
【０００７】また、それに加えて、蒸発ユニットの前方
または後方に送気用のファンを設けたことを特徴とす
る。
または後方に送気用のファンを設けたことを特徴とす
る。
【０００８】この構成により、小型の装置で効率よく加
湿ができる中空糸膜型加湿器を実現するこどが可能とな
る。
湿ができる中空糸膜型加湿器を実現するこどが可能とな
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施の形態
における蒸発ユニットの一部断面を示す斜視図である。
この蒸発ユニット１は上部の通水用箱２と、下部の通水
用箱３と、両通水用箱２，３を支持する側板４，４′
と、両通水用箱２，３間に展設された中空糸膜５とより
なる。
における蒸発ユニットの一部断面を示す斜視図である。
この蒸発ユニット１は上部の通水用箱２と、下部の通水
用箱３と、両通水用箱２，３を支持する側板４，４′
と、両通水用箱２，３間に展設された中空糸膜５とより
なる。
【００１０】そして、上部通水用箱２と下部通水用箱３
とは同一形状をしており、矩形断面の筒形をしている。
そして空中糸膜５を挿入固定するためのスリット６と、
給水入口用の孔７または給水出口用の孔８が設けられて
いる。
とは同一形状をしており、矩形断面の筒形をしている。
そして空中糸膜５を挿入固定するためのスリット６と、
給水入口用の孔７または給水出口用の孔８が設けられて
いる。
【００１１】中空糸膜５は中心孔から外部に通ずる０．
０５〜０．１μ程度の多数の微小孔を有する中空糸膜で
あり、その中空糸膜５の多数本が隙間をあけて縦に並列
され、その上端が上部通水用箱２に、下端が下部通水用
箱３のそれぞれのスリット６に挿入され、樹脂９により
固定されている。
０５〜０．１μ程度の多数の微小孔を有する中空糸膜で
あり、その中空糸膜５の多数本が隙間をあけて縦に並列
され、その上端が上部通水用箱２に、下端が下部通水用
箱３のそれぞれのスリット６に挿入され、樹脂９により
固定されている。
【００１２】なお、固定時に中空糸膜５の中心孔が樹脂
により閉鎖される場合があるので、この閉鎖された部分
は固定後、樹脂表面を削り取って中空糸膜を開口させ
る。また、該中空糸膜５には例えばポリエチレン，ポリ
プロピレン等の親水性、又は疎水性中空糸膜が用いられ
る。
により閉鎖される場合があるので、この閉鎖された部分
は固定後、樹脂表面を削り取って中空糸膜を開口させ
る。また、該中空糸膜５には例えばポリエチレン，ポリ
プロピレン等の親水性、又は疎水性中空糸膜が用いられ
る。
【００１３】このように構成された蒸発ユニットは１個
または複数個を並べて使用される。この構成により加湿
を行うには、上部通水用箱２から温水を供給することに
より温水は中空糸膜５の中心孔を通って下部通水用箱３
にいたる。中空糸膜５に疎水性中空糸膜を用いると水蒸
気のみを中空糸膜外に通過させ中空糸膜の外表面は乾燥
状態に保たれる。中空糸膜５を通過する温水はその途中
で微小孔から水蒸気となって空気中に放出され加湿を行
うことになる。
または複数個を並べて使用される。この構成により加湿
を行うには、上部通水用箱２から温水を供給することに
より温水は中空糸膜５の中心孔を通って下部通水用箱３
にいたる。中空糸膜５に疎水性中空糸膜を用いると水蒸
気のみを中空糸膜外に通過させ中空糸膜の外表面は乾燥
状態に保たれる。中空糸膜５を通過する温水はその途中
で微小孔から水蒸気となって空気中に放出され加湿を行
うことになる。
【００１４】この場合、給水中に存在する雑菌は中空糸
膜５の微小孔を通過できず、空気中に放出されるのは水
蒸気のみであるため、完全な無菌状態の加湿が可能とな
る。また、給水中に溶存する無機物は水蒸気中には移行
しないため白粉の発生も防止される。
膜５の微小孔を通過できず、空気中に放出されるのは水
蒸気のみであるため、完全な無菌状態の加湿が可能とな
る。また、給水中に溶存する無機物は水蒸気中には移行
しないため白粉の発生も防止される。
【００１５】図２は本発明の第２の実施の形態を示す斜
視図である。同図において、符号１０は筐体であり仮想
線で示した。該筐体１０の後面には通風口１１が形成さ
れ、前部には図１で説明した蒸発ユニット１が配置され
ている。図において蒸発ユニットは、前後に２個、左右
に２個ずつ合計４個が配置されているが、その数は必要
に応じて適宜に決定することが好ましい。
視図である。同図において、符号１０は筐体であり仮想
線で示した。該筐体１０の後面には通風口１１が形成さ
れ、前部には図１で説明した蒸発ユニット１が配置され
ている。図において蒸発ユニットは、前後に２個、左右
に２個ずつ合計４個が配置されているが、その数は必要
に応じて適宜に決定することが好ましい。
【００１６】また、筐体１０の後部にはファン１２が設
けられている。なお、図示は無いが各蒸発ユニット１−
1 〜１−4 は給水入口孔および給水出口孔を利用してパ
イブで接続され、該パイプは給水槽および給水ポンプに
接続される。
けられている。なお、図示は無いが各蒸発ユニット１−
1 〜１−4 は給水入口孔および給水出口孔を利用してパ
イブで接続され、該パイプは給水槽および給水ポンプに
接続される。
【００１７】このように構成された本実施の形態は、前
実施の形態と同様な作用・効果を有する上、ファン１２
による強制通風ができるため蒸発速度を高め、高効率
化、およびコンパクト化が可能となる。
実施の形態と同様な作用・効果を有する上、ファン１２
による強制通風ができるため蒸発速度を高め、高効率
化、およびコンパクト化が可能となる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、蒸発ユニットに中空糸
膜を用いたので、小型の装置で効率よく加湿を行うこと
ができる。また、中空糸膜に疎水性中空糸膜を用いると
その微小孔から液体の水分子は通過させず、水蒸気のみ
を通過させることにより、給水中に存在する雑菌の空気
中への放出を抑えることができ、完全な無菌状態の加湿
が可能となる。また中空糸膜を多数本用いることにより
蒸発面積を大とすることができ装置のコンパクト化が可
能となる。
膜を用いたので、小型の装置で効率よく加湿を行うこと
ができる。また、中空糸膜に疎水性中空糸膜を用いると
その微小孔から液体の水分子は通過させず、水蒸気のみ
を通過させることにより、給水中に存在する雑菌の空気
中への放出を抑えることができ、完全な無菌状態の加湿
が可能となる。また中空糸膜を多数本用いることにより
蒸発面積を大とすることができ装置のコンパクト化が可
能となる。
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示す斜視図であ
る。
る。
１…蒸発ユニット ２…上部通水用箱 ３…下部通水用箱 ４，４′…側板 ５…中空糸膜 ６…スリット ７…給水入口用孔 ８…給水出口用孔 ９…樹脂 １０…筐体 １１…通風口 １２…ファン
Claims (4)
- 【請求項１】 多数本の中空糸膜を間隔をあけて縦に並
列させ、その上下に通水用の箱を設け、前記各中空糸膜
をその端部が前記箱内に開口するように挿入固定して蒸
発ユニットを構成し、該蒸発ユニットを１乃至複数個並
べて使用したことを特徴とする中空糸膜型加湿器。 - 【請求項２】 前記蒸発ユニットの前方または後方に送
気用のファンを設けたことを特徴とする請求項１の中空
糸膜型加湿器。 - 【請求項３】 中空糸膜に親水性中空糸膜を用いたこと
を特徴とする請求項１の中空糸膜型加湿器。 - 【請求項４】 中空糸膜に疎水性中空糸膜を用いたこと
を特徴とする請求項１の中空糸膜型加湿器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP161597A JPH10197016A (ja) | 1997-01-08 | 1997-01-08 | 中空糸膜型加湿器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP161597A JPH10197016A (ja) | 1997-01-08 | 1997-01-08 | 中空糸膜型加湿器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10197016A true JPH10197016A (ja) | 1998-07-31 |
Family
ID=11506429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP161597A Pending JPH10197016A (ja) | 1997-01-08 | 1997-01-08 | 中空糸膜型加湿器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10197016A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008185328A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-14 | Asml Netherlands Bv | 加湿装置、リソグラフィ装置、および加湿方法 |
| WO2012167000A2 (en) * | 2011-06-03 | 2012-12-06 | Celgard Llc | Flat panel contactors and methods |
| WO2021245477A1 (en) * | 2020-06-02 | 2021-12-09 | 3M Innovative Properties Company | Contactor system and method of operating contactor system |
-
1997
- 1997-01-08 JP JP161597A patent/JPH10197016A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008185328A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-14 | Asml Netherlands Bv | 加湿装置、リソグラフィ装置、および加湿方法 |
| US7866637B2 (en) | 2007-01-26 | 2011-01-11 | Asml Netherlands B.V. | Humidifying apparatus, lithographic apparatus and humidifying method |
| JP2011199305A (ja) * | 2007-01-26 | 2011-10-06 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置 |
| US9004459B2 (en) | 2007-01-26 | 2015-04-14 | Asml Netherlands B.V. | Humidifying apparatus, lithographic apparatus and humidifying method |
| WO2012167000A2 (en) * | 2011-06-03 | 2012-12-06 | Celgard Llc | Flat panel contactors and methods |
| WO2012167000A3 (en) * | 2011-06-03 | 2013-02-21 | Celgard Llc | Flat panel contactors and methods |
| CN103635250A (zh) * | 2011-06-03 | 2014-03-12 | 塞尔格有限责任公司 | 平板接触器和方法 |
| JP2014522307A (ja) * | 2011-06-03 | 2014-09-04 | セルガード エルエルシー | フラットパネルコンタクタ並びにその製造方法及び使用方法 |
| CN106040003A (zh) * | 2011-06-03 | 2016-10-26 | 3M创新有限公司 | 平板接触器和方法 |
| US9541302B2 (en) | 2011-06-03 | 2017-01-10 | 3M Innovative Properties Company | Flat panel contactors and methods |
| WO2021245477A1 (en) * | 2020-06-02 | 2021-12-09 | 3M Innovative Properties Company | Contactor system and method of operating contactor system |
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