JPH10170398A - Inspection equipment for liquid crystal panel - Google Patents

Inspection equipment for liquid crystal panel

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Publication number
JPH10170398A
JPH10170398A JP34447596A JP34447596A JPH10170398A JP H10170398 A JPH10170398 A JP H10170398A JP 34447596 A JP34447596 A JP 34447596A JP 34447596 A JP34447596 A JP 34447596A JP H10170398 A JPH10170398 A JP H10170398A
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JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
crystal panel
inspection
optical path
path changing
Prior art date
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Pending
Application number
JP34447596A
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Japanese (ja)
Inventor
Yukihiro Hirai
幸廣 平井
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Micronics Japan Co Ltd
Original Assignee
Micronics Japan Co Ltd
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Publication date
Application filed by Micronics Japan Co Ltd filed Critical Micronics Japan Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To perform visual inspection while sitting in a chair by providing an observing section for visually inspecting a liquid crystal panel arranged on an inspection stage, and means for directing a light from the liquid crystal panel arranged on the inspection stage toward a part to be observed. SOLUTION: The inspection equipment 10 comprises a body part 14 for inspecting a liquid crystal panel 12, a loader part 16 for loading and unloading the liquid crystal panel 12 to and from the body part 14, and a tester part for inspecting the liquid crystal panel 12 automatically. The body part 14 comprises a plurality of steel members, e.g. angles, and a body frame 20 fixed to the steel member by means of screw members. An inspection stage 22, an inspection probe unit 24, an optical path altering unit for directing the light from a liquid crystal horizontally toward an observation window 32, and a camera unit 30 are disposed in the body part 14. The observation window 32 is made in the center of front face of the body frame 20 so that the inspection stage 22 and the liquid crystal panel 12 can be viewed through the observation window 32.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルの検査
装置に関し、特に人手による目視検査が可能の検査装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus for a liquid crystal panel, and more particularly to an inspection apparatus capable of performing a manual visual inspection.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示パネルすなわち液晶パネルの欠
陥は、点欠陥、線欠陥、班欠陥、色度欠陥等、多種多様
に存在することが知られている。これらの欠陥は、液晶
パネルにその背面から光を照射した状態でその液晶パネ
ルを駆動させときの液晶パネルからの光を利用して検査
される。
2. Description of the Related Art It is known that defects of a liquid crystal display panel, that is, a liquid crystal panel, exist in various forms such as point defects, line defects, spot defects, and chromaticity defects. These defects are inspected by using light from the liquid crystal panel when the liquid crystal panel is driven while the liquid crystal panel is irradiated with light from the back.

【0003】この種の検査は、一般に、検査ステージ上
の駆動されている液晶パネルを作業者が目視する目視検
査、または、検査ステージ上の駆動されている液晶パネ
ルをテレビカメラで撮影すなわち撮像し、そのテレビカ
メラの出力信号をコンピュータで処理する自動検査によ
り行われる。
[0003] In general, this type of inspection is performed by a visual inspection in which an operator looks at a driven liquid crystal panel on an inspection stage, or by taking a picture of a driven liquid crystal panel on an inspection stage with a television camera. This is performed by an automatic inspection in which the output signal of the television camera is processed by a computer.

【0004】この種の検査装置として、目視検査専用の
検査装置、自動検査専用の検査装置、および、目視検査
と自動検査とを選択して行う兼用の検査装置とがある。
従来の目視検査専用の検査装置ならびに目視検査および
自動検査兼用の検査装置は、いずれも、検査すべき液晶
パネルを検査ステージに水平または斜めに支持してい
る。
As this kind of inspection apparatus, there are an inspection apparatus exclusively for visual inspection, an inspection apparatus exclusively for automatic inspection, and an inspection apparatus for dual use which selectively performs visual inspection and automatic inspection.
2. Description of the Related Art Conventional inspection apparatuses dedicated to visual inspection and inspection apparatuses for both visual inspection and automatic inspection support a liquid crystal panel to be inspected horizontally or obliquely on an inspection stage.

【0005】しかし、そのような従来の検査装置では、
作業者が検査ステージ上の液晶パネルを真上からまたは
斜め上方から見下ろす姿勢で目視検査をしなければなら
ないから、検査ステージの高さ寸法を小さくすることに
限度がある関係上、目視検査用の観察窓の高さ位置を下
げることに限度があり、したがって作業者は立った姿勢
で目視検査をしなければならず、作業者にとって重労働
であり、作業能率が低い。
However, in such a conventional inspection apparatus,
Since the operator must perform a visual inspection while looking down at the liquid crystal panel on the inspection stage from directly above or obliquely from above, there is a limit in reducing the height dimension of the inspection stage. There is a limit in lowering the height position of the observation window, and therefore, the worker must perform a visual inspection in a standing posture, which is heavy labor for the worker and lowers the work efficiency.

【0006】[0006]

【解決しようとする課題】本発明の目的は、椅子にかけ
た姿勢での目視検査を可能にすることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to enable visual inspection in a sitting posture.

【0007】[0007]

【解決手段、作用、効果】本発明の検査装置は、検査す
べき液晶パネルを配置する検査ステージと、作業者が前
記検査ステージに配置された液晶パネルの目視検査をす
ための観察窓のような観察部と、前記検査ステージに配
置された液晶パネルからの光を前記観察部位に向ける光
路変更手段とを含む。
An inspection apparatus according to the present invention comprises an inspection stage for arranging a liquid crystal panel to be inspected and an observation window for an operator to visually inspect the liquid crystal panel arranged on the inspection stage. And an optical path changing unit for directing light from a liquid crystal panel disposed on the inspection stage to the observation site.

【0008】目視検査時、検査ステージ上の液晶パネル
からの光が光路変更手段により観察部位に向けられる。
このため本発明によれば、作業者は光路変更手段を介し
て液晶パネルを目視することになり、観察部を椅子にか
けた作業者が液晶パネルを光路変更手段を介して目視す
ることができる高さ位置まで下げることができる。
At the time of visual inspection, light from the liquid crystal panel on the inspection stage is directed to the observation site by the optical path changing means.
For this reason, according to the present invention, the worker views the liquid crystal panel through the optical path changing means, and the worker who sits on the chair with the observation unit can view the liquid crystal panel through the optical path changing means. Lower position.

【0009】前記光路変更手段は、平面鏡、好ましくは
凹面鏡、より好ましくは放物面鏡とすることができる。
光路変更手段として凹面鏡を用いると、液晶パネルの拡
大像を目視することができる。また、光路変更手段とし
て放物面鏡を用いると、液晶パネルの拡大像を目視する
ことができるのみならず、歪みの少ない拡大像を得るこ
とができる。
[0009] The optical path changing means may be a plane mirror, preferably a concave mirror, more preferably a parabolic mirror.
When a concave mirror is used as the optical path changing means, an enlarged image of the liquid crystal panel can be viewed. When a parabolic mirror is used as the optical path changing means, not only can an enlarged image of the liquid crystal panel be visually observed, but also an enlarged image with less distortion can be obtained.

【0010】さらに、前記検査ステージに配置された液
晶パネルを撮像するテレビカメラと、前記光路変更手段
を所定の状態に解除可能に維持する維持手段とを含み、
前記維持手段は、前記光路変更手段が液晶パネルからの
光を前記観察部位に向ける第1の状態と、前記光路変更
手段が前記テレビカメラによる前記液晶パネルの撮像の
妨げにならない状態または前記液晶パネルからの光を前
記テレビカメラに向ける状態から選択される第2の状態
とに前記光路変更手段を維持することができる。これに
より、検査装置を目視検査と自動検査とに兼用すること
ができる。
The apparatus further includes a television camera for picking up an image of the liquid crystal panel disposed on the inspection stage, and a maintaining means for maintaining the optical path changing means in a predetermined state so as to be releasable,
The maintaining means includes: a first state in which the light path changing means directs light from the liquid crystal panel to the observation site; a state in which the light path changing means does not hinder the television camera from imaging the liquid crystal panel; The light path changing means can be maintained in a second state selected from a state in which light from the camera is directed to the television camera. Thus, the inspection device can be used for both the visual inspection and the automatic inspection.

【0011】好ましい実施例においては、前記支持手段
は、水平方向へ移動可能に本体フレームに支持されたス
ライダと、前記光路変更手段が取り付けられたブラケッ
トであって前記スライダにこれの移動方向と直角に伸び
る軸線の周りに角度的に回転可能に支持されたブラケッ
トとを備える。
In a preferred embodiment, the supporting means is a slider supported on a main body frame so as to be movable in a horizontal direction, and a bracket to which the optical path changing means is attached, and which is perpendicular to the moving direction of the slider. And a bracket supported so as to be angularly rotatable about an axis extending therethrough.

【0012】第1の実施例においては、前記検査ステー
ジは液晶パネルを水平状態に支持し、前記光路変更手段
は液晶パネルからの光を水平方向へ変更させる。これに
対し、第2の実施例においては、前記検査ステージは液
晶パネルを傾斜状態に支持し、前記光路変更手段は液晶
パネルからの光を斜め下方へ変更させる。しかし、光路
変更手段により光の変更方向は、検査ステージの高さ寸
法に応じて適宜な方向とすることができる。
In the first embodiment, the inspection stage supports the liquid crystal panel in a horizontal state, and the optical path changing means changes the light from the liquid crystal panel in the horizontal direction. On the other hand, in the second embodiment, the inspection stage supports the liquid crystal panel in an inclined state, and the optical path changing means changes the light from the liquid crystal panel obliquely downward. However, the direction in which light is changed by the light path changing means can be set to an appropriate direction according to the height dimension of the inspection stage.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】図1〜図3を参照するに、検査装
置10は、液晶表示パネルすなわち液晶パネル12を検
査する本体部14と、矩形の液晶パネル12を本体部1
4に配置しかつ本体部14から取り除くローダ部16
と、本体部14に配置された液晶パネル12を自動的に
検査するテスタ部18とを含む。図示の例では、ローダ
部16は本体部14の右側に配置されており、テスタ部
18は本体部14の後側に配置されている。しかし、本
体部14、ローダ部16およびテスタ部18の位置関係
は、適宜決定することができる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to FIGS. 1 to 3, an inspection apparatus 10 includes a main body section 14 for inspecting a liquid crystal display panel, that is, a liquid crystal panel 12, and a rectangular liquid crystal panel 12 having a main body section 1.
Loader section 16 disposed at the position 4 and removed from the body section 14
And a tester section 18 for automatically inspecting the liquid crystal panel 12 disposed on the main body section 14. In the illustrated example, the loader unit 16 is disposed on the right side of the main unit 14, and the tester unit 18 is disposed on the rear side of the main unit 14. However, the positional relationship among the main body 14, the loader 16, and the tester 18 can be determined as appropriate.

【0014】本体部14は、アングル材のような複数の
鋼材と、該鋼材に複数のねじ部材により取り付けられて
内部空間を外部空間から区画する複数のパネルとにより
形成された筐体すなわち本体フレーム20を備える。本
体部14内には、検査ステージ22と、検査用のプロー
ブユニット24と、液晶パネル12からの光26の光路
を変更する光路変更手段すなわち光路変更器28と、液
晶パネル12を撮像するカメラユニット30とが配置さ
れている。
The main body portion 14 is a housing, that is, a main body frame formed by a plurality of steel materials such as an angle material and a plurality of panels attached to the steel materials by a plurality of screw members to partition an internal space from an external space. 20. In the main body 14, an inspection stage 22, an inspection probe unit 24, an optical path changing unit or an optical path changing device 28 for changing an optical path of light 26 from the liquid crystal panel 12, and a camera unit for imaging the liquid crystal panel 12 30 are arranged.

【0015】本体フレーム20の前面中央部には、開口
すなわち観察窓32が形成されており、この観察窓32
から検査ステージ22および液晶パネル12を目視する
ことができる。観察窓32は、本体フレーム20に蝶着
された一対の扉34により両開き式に開放可能に閉鎖さ
れている。
An opening, that is, an observation window 32 is formed in the center of the front surface of the main body frame 20.
, The inspection stage 22 and the liquid crystal panel 12 can be visually observed. The observation window 32 is closed by a pair of doors 34 hinged to the main body frame 20 so as to be openable in a double-opening manner.

【0016】検査ステージ22は、液晶パネル12をほ
ぼ水平の状態に支持する上向きの受け部を有する。受け
部の位置は、三次元的に(図示の例では、前後、左右お
よび上下の3方向へ)調整可能である。受け部は、ま
た、受け部上の液晶パネル12に垂直な軸線(検査ステ
ージの軸線であり、図示の例では、上下方向へ伸びる軸
線)の周りの回転角度を調整可能である。受け部には、
液晶パネル12をその後方から照明するバックライトが
収納されている。
The inspection stage 22 has an upward receiving portion for supporting the liquid crystal panel 12 in a substantially horizontal state. The position of the receiving portion can be adjusted three-dimensionally (in the illustrated example, in three directions of front and rear, left and right, and up and down). The receiving portion is also capable of adjusting a rotation angle around an axis perpendicular to the liquid crystal panel 12 on the receiving portion (the axis of the inspection stage, which extends in the example shown in the drawing). In the receiving part,
A backlight for illuminating the liquid crystal panel 12 from behind is stored.

【0017】プローブユニット24は、検査ステージ2
2の受け部の上側に配置されており、本体フレーム20
に取り外し可能に取り付けられている。プローブユニッ
ト24は、また、液晶パネル12の端子に当接される検
査用の複数のプローブを備えており、検査ステージ22
上の液晶パネル12からの光26を通過させるための矩
形の開口を有する。
The probe unit 24 is connected to the inspection stage 2
2 and is disposed above the receiving portion of the main body frame 20.
It is detachably attached to. The probe unit 24 also includes a plurality of probes for inspection that are in contact with the terminals of the liquid crystal panel 12.
It has a rectangular opening through which light 26 from the upper liquid crystal panel 12 passes.

【0018】光路変更器28は、検査ステージ22上の
液晶パネル12からの光26を観察窓32に向けてほぼ
水平に指向させるように、維持手段すなわち維持機構3
6により本体フレーム20の内側に変位不能に組み付け
られている。図示の例では、光路変更器28は、平面鏡
であるが、プリズム、凹面鏡、凹状の反射面を有する放
物面鏡すなわち放物凹面鏡等、他の手段であってもよ
い。
The optical path changing device 28 is a maintenance means, that is, a maintenance mechanism 3 so that the light 26 from the liquid crystal panel 12 on the inspection stage 22 is directed substantially horizontally toward the observation window 32.
6, it is non-displaceably assembled inside the main body frame 20. In the illustrated example, the optical path changing device 28 is a plane mirror, but may be other means such as a prism, a concave mirror, a parabolic mirror having a concave reflecting surface, that is, a parabolic concave mirror.

【0019】図示の例では、検査ステージ22上の液晶
パネル12に垂直の軸線に対する光路変更器28の傾斜
角度が45度であるように示しているが、光路変更器2
8の角度は作業者により、目視検査に先だって45度を
含む適宜な角度に調整され、目視検査の間その姿勢に維
持機構36により維持される。
In the illustrated example, the inclination angle of the optical path changer 28 with respect to the axis perpendicular to the liquid crystal panel 12 on the inspection stage 22 is set to 45 degrees.
The angle of 8 is adjusted by the operator to an appropriate angle including 45 degrees prior to the visual inspection, and is maintained by the maintenance mechanism 36 during the visual inspection.

【0020】カメラユニット30は、検査ステージ22
上の液晶パネル12をプローブユニット24の開口を介
して撮像するテレビカメラ40を本体フレーム20に取
り付けられた位置調整機構42に支持させ、自動検査に
先だって上下方向におけるテレビカメラ40の位置を位
置調整機構42により調整し、自動検査の間その位置に
維持する。テレビカメラ40の出力信号は、テスタ部1
8に配置された電気回路に供給されて、該電気回路にお
いて液晶パネルの要否の判定に用いられる。位置調整機
構42は、テレビカメラ40の位置を三次元的(前後、
左右および上下の3方向へ)調整する機構であってもよ
い。
The camera unit 30 includes the inspection stage 22
A television camera 40 that captures an image of the upper liquid crystal panel 12 through the opening of the probe unit 24 is supported by a position adjustment mechanism 42 attached to the main body frame 20, and the position of the television camera 40 in the vertical direction is adjusted before the automatic inspection. Adjusted by mechanism 42 and maintained at that position during automatic inspection. The output signal of the TV camera 40 is
The liquid crystal panel is supplied to the electric circuit arranged in 8 and is used in the electric circuit to determine the necessity of the liquid crystal panel. The position adjusting mechanism 42 adjusts the position of the television camera 40 three-dimensionally (front and rear,
A mechanism for adjusting (in three directions, left, right, up and down) may be used.

【0021】光路変更器28用の維持機構36は、コ字
状の断面形状を有する長尺の一対のガイド44を本体フ
レーム20に水平に取り付け、平板状のスライダ46を
両ガイド44に移動可能に支持させ、ブラケット48を
スライダ46の先端部に角度的に回転可能に支持させて
いる。光路変更器28は、ブラケット48に取り付けら
れており、ブラケット48と一体に角度的に回転され
る。
A maintenance mechanism 36 for the optical path changing device 28 has a pair of long guides 44 having a U-shaped cross section mounted horizontally on the main body frame 20 and a flat slider 46 can be moved to both guides 44. , And the bracket 48 is supported at the tip of the slider 46 so as to be rotatable angularly. The optical path changing device 28 is mounted on a bracket 48 and is rotated angularly integrally with the bracket 48.

【0022】ブラケット48は、スライダ46の移動方
向と直角に水平方向へ伸びる軸線の周りに手動でまたは
動力で回転させることができる。このため、光路変更器
28は、これが液晶パネル12からプローブユニット2
4の開口を通る光26を観察窓32に向ける第1の状態
と、光路変更器28がテレビカメラ40による液晶パネ
ル12の撮像の妨げにならない第2の状態とに変位可能
である。
The bracket 48 can be rotated manually or by power about an axis extending horizontally, perpendicular to the direction of movement of the slider 46. For this reason, the optical path changing device 28 transmits the signal from the liquid crystal panel 12 to the probe unit 2.
4 can be displaced between a first state in which the light 26 passing through the opening 4 is directed to the observation window 32 and a second state in which the optical path changing device 28 does not hinder the television camera 40 from imaging the liquid crystal panel 12.

【0023】ローダ部16は、カセット設置台50と、
架台52と、該架台に左右方向へ移動可能に受けられた
ロボット54とを備える。カセット設置台50は、複数
の液晶パネルを収容した複数のカセット56を上面に受
ける。ロボット54は、検査のたびに、検査すべき液晶
パネルをカセット設置台50上の適宜なカセット56か
ら取り出して検査ステージ22に搬送し、検査の終了し
た液晶パネルを検査ステージ22から受け取ってカセッ
ト設置台50上の所定のカセット56に移すまたは戻
す。
The loader section 16 includes a cassette mounting table 50,
A gantry 52 and a robot 54 movably received in the gantry 52 in the left-right direction are provided. The cassette mounting table 50 receives a plurality of cassettes 56 accommodating a plurality of liquid crystal panels on an upper surface. The robot 54 takes out the liquid crystal panel to be inspected from the appropriate cassette 56 on the cassette mounting table 50 and transports the liquid crystal panel to be inspected to the inspection stage 22 every time the inspection is performed. Transfer or return to a predetermined cassette 56 on the table 50.

【0024】テスタ部18は、本体部14と同様に、複
数の鋼材と、該鋼材に取り付けられて内部空間を外部空
間から区画する複数のパネルとにより形成された筐体す
なわちフレームにより形成されている。テスタ部18内
には、電源回路、駆動回路、制御回路、信号処理回路
等、検査のための各種の電気回路が配置されている。制
御回路、信号処理回路等として、コンピュータを用いる
ことができ、この場合、コンピュータをテスタ部18の
外に配置してもよい。
The tester section 18 is formed of a housing or frame formed by a plurality of steel members and a plurality of panels attached to the steel members to partition an internal space from an external space, similarly to the main body portion 14. I have. In the tester section 18, various electric circuits for inspection, such as a power supply circuit, a drive circuit, a control circuit, and a signal processing circuit, are arranged. A computer can be used as the control circuit, the signal processing circuit, or the like. In this case, the computer may be arranged outside the tester unit 18.

【0025】自動検査時、光路変更器28が図3に示す
ようにその反射面がほぼ鉛直となる姿勢に変位されると
ともに後方へ移動され、次いで観察窓32が扉34によ
り閉鎖される。これにより、光路変更器28がテレビカ
メラ40による撮像の妨げにならない状態に変位される
とともに、本体フレーム20内が外部の光から遮断され
る。
At the time of the automatic inspection, the optical path changing device 28 is displaced to the position where the reflection surface is substantially vertical as shown in FIG. 3 and is moved backward, and then the observation window 32 is closed by the door 34. Accordingly, the optical path changing device 28 is displaced so as not to hinder the imaging by the TV camera 40, and the inside of the main body frame 20 is shielded from external light.

【0026】上記の状態で、検査ステージ22のバック
ライトが点灯されるとともに、検査ステージ22上の液
晶パネル12がプローブユニット24のコンタクトによ
り駆動される。これにより、駆動された液晶パネル12
からプローブユニット24の開口を通る光26はテレビ
カメラ40に指向され、液晶パネル12の像はテレビカ
メラ40により撮像される。テスタ部18は、駆動され
た液晶パネル12の良否をテレビカメラ40の出力信号
を用いて判定する。
In the above state, the backlight of the inspection stage 22 is turned on, and the liquid crystal panel 12 on the inspection stage 22 is driven by the contact of the probe unit 24. Thus, the driven liquid crystal panel 12
The light 26 passing through the opening of the probe unit 24 is directed to the television camera 40, and an image of the liquid crystal panel 12 is captured by the television camera 40. The tester unit 18 determines the quality of the driven liquid crystal panel 12 using the output signal of the television camera 40.

【0027】目視検査時、図4および図5に示すよう
に、観察窓32が開放され、光路変更器28が検査ステ
ージ22およびプローブユニット24の上方へ引き出さ
れるとともに検査ステージ22上の液晶パネル12から
プローブユニット24の開口を通る光26を観察窓32
に向けるように所定の角度に調整される。この調整作業
は、たとえば、作業者60が、椅子62にかけた状態
で、検査ステージ22上の液晶パネル12を光路変更器
28を介して正しく目視し得るように、調整し、維持す
ればよい。光路変更器28の角度は、目視検査に先だっ
て一回行えばよい。また、検査途中で修正してもよい。
At the time of the visual inspection, as shown in FIGS. 4 and 5, the observation window 32 is opened, the optical path changing device 28 is pulled out above the inspection stage 22 and the probe unit 24, and the liquid crystal panel 12 on the inspection stage 22 is opened. Of the light 26 passing through the opening of the probe unit 24 from the observation window 32
Is adjusted to a predetermined angle so that This adjustment operation may be adjusted and maintained, for example, so that the worker 60 can correctly view the liquid crystal panel 12 on the inspection stage 22 via the optical path changing device 28 while being put on the chair 62. The angle of the optical path changing device 28 may be set once before the visual inspection. The correction may be made during the inspection.

【0028】上記の状態で、検査ステージ22のバック
ライトが点灯されるとともに、検査ステージ22上の液
晶パネル12がプローブユニット24のコンタクトによ
り駆動される。これにより、駆動された液晶パネル12
からプローブユニット24の開口を通る光26は光路変
更器28により観察窓32に向けて指向されるから、作
業者は椅子62にかけた姿勢で、駆動された液晶パネル
12の点灯状態を光路変更器28を介して確認すること
ができ、それによりその液晶パネル12の目視検査をす
ることができる。したがって、目視検査作業が容易にな
り、目視検査による疲労が軽減し、作業能率が向上す
る。
In the above state, the backlight of the inspection stage 22 is turned on, and the liquid crystal panel 12 on the inspection stage 22 is driven by the contact of the probe unit 24. Thus, the driven liquid crystal panel 12
Since the light 26 passing through the opening of the probe unit 24 is directed toward the observation window 32 by the optical path changing device 28, the operator changes the lighting state of the driven liquid crystal panel 12 to an optical path changing device while sitting on the chair 62. Thus, the liquid crystal panel 12 can be visually inspected. Therefore, visual inspection work is facilitated, fatigue due to visual inspection is reduced, and work efficiency is improved.

【0029】図6に示すように、光路変更器28が凹面
鏡であると、作業者60は、検査ステージ22上の液晶
パネル12の拡大像を目視することができる。また、光
路変更器28が凹状の反射面が放物面である放物面鏡で
あると、作業者60は、検査ステージ22上の液晶パネ
ル12の拡大像を目視することができるのみならず、歪
みの少ない拡大像を目視することができる。
As shown in FIG. 6, when the optical path changing device 28 is a concave mirror, the operator 60 can visually observe an enlarged image of the liquid crystal panel 12 on the inspection stage 22. When the optical path changing device 28 is a parabolic mirror whose concave reflecting surface is a parabolic surface, the operator 60 can not only see the enlarged image of the liquid crystal panel 12 on the inspection stage 22 but also see the enlarged image. Thus, an enlarged image with little distortion can be visually observed.

【0030】検査装置10において、カメラユニット3
0を他の箇所、たとえばテスタ部18に配置してもよ
い。このようにするには、たとえば、自動検査時に検査
ステージ22上の液晶パネル22からプローブユニット
24の開口を通る光26を光路変更器28によりテスタ
部18の側へ向けるように、光路変更器28を調整し、
その状態に光路変更器28を維持機構36により維持す
るようにすればよい。
In the inspection apparatus 10, the camera unit 3
0 may be arranged at another place, for example, at the tester section 18. To do so, for example, the optical path changer 28 is directed by the optical path changer 28 to direct the light 26 passing through the opening of the probe unit 24 from the liquid crystal panel 22 on the inspection stage 22 to the tester section 18 during the automatic inspection. Adjust
In this state, the optical path changing device 28 may be maintained by the maintenance mechanism 36.

【0031】図7〜図9を参照するに、検査装置70
は、目視検査専用の検査装置であり、液晶パネル12を
傾斜した状態に検査ステージ22に支持する。本体部1
4の本体フレーム20は、前面上部に傾斜面72を有し
ており、その傾斜面72に観察窓74が形成されてい
る。
Referring to FIG. 7 to FIG.
Is an inspection device dedicated to visual inspection, and supports the liquid crystal panel 12 on the inspection stage 22 in an inclined state. Main unit 1
The body frame 20 of No. 4 has an inclined surface 72 on the upper front surface, and an observation window 74 is formed on the inclined surface 72.

【0032】検査ステージ22は、液晶パネル12を斜
めに支持するように軸線を傾斜させた状態に本体フレー
ム20内に配置されており、また液晶パネル12を支持
する受け部を観察窓74に対向させている。プローブユ
ニット24は、検査ステージ22の斜め上方に観察窓7
4に嵌め込まれている。
The inspection stage 22 is disposed in the main body frame 20 in a state where its axis is inclined so as to support the liquid crystal panel 12 at an angle, and a receiving portion for supporting the liquid crystal panel 12 faces the observation window 74. Let me. The probe unit 24 is provided obliquely above the inspection stage 22 with the observation window 7.
4

【0033】光路変更器76は、図示の例では反射鏡で
あるが、プリズム、凹面鏡、放物面鏡等であってもよ
い、光路変更器76は、その上端部において、傾斜面7
2と平行に水平方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転
可能に軸78により傾斜面72の上部に取り付けられて
いる。
The optical path changing device 76 is a reflecting mirror in the illustrated example, but may be a prism, a concave mirror, a parabolic mirror, or the like. The optical path changing device 76 has an inclined surface 7 at its upper end.
It is mounted on an upper part of the inclined surface 72 by a shaft 78 so as to be angularly rotatable about an axis extending in the horizontal direction in parallel with 2.

【0034】光路変更器76は、目視検査に先だって、
軸78の軸線の周りの回転角度を調整され、目視検査の
間維持機構80によりその回転角度に解除可能に維持さ
れる。光路変換器76の回転角度は、作業者60が椅子
62にかけた状態で、光路変更器76の液晶パネルの像
を最も目視しやすい角度に選択される。
Prior to the visual inspection, the optical path changing device 76
The angle of rotation about the axis of shaft 78 is adjusted and releasably maintained at that angle by maintenance mechanism 80 during visual inspection. The rotation angle of the optical path changing device 76 is selected so that the image of the liquid crystal panel of the optical path changing device 76 can be most easily viewed while the worker 60 is on the chair 62.

【0035】目視検査時、作業者60は、椅子62にか
けた状態で、光路変更器76に写った液晶パネルの点灯
状態を確認することにより、検査ステージ22上の液晶
パネルの良否を判定する。この際、検査ステージ22内
のバックライトと検査ステージ22上の液晶パネル12
とが駆動される。検査ステージ22上の液晶パネル12
をプローブユニット24の開口を介して目視してもよ
い。
At the time of the visual inspection, the operator 60 determines whether the liquid crystal panel on the inspection stage 22 is good or not by checking the lighting state of the liquid crystal panel reflected on the optical path changing device 76 while being put on the chair 62. At this time, the backlight in the inspection stage 22 and the liquid crystal panel 12 on the inspection stage 22
Are driven. Liquid crystal panel 12 on inspection stage 22
May be visually observed through the opening of the probe unit 24.

【0036】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、観察部は、窓を有していない検査装置の場合、
観察位置のような他の観察部位であってもよい。また、
目視検査と自動検査とに兼用する検査装置であっても、
液晶パネルを検査ステージに斜めに支持させるようにし
てもよい。この場合、たとえば、カメラユニットを検査
ステージ上の液晶パネルと平行にと水平方向へ離れた位
置に配置し、自動検査時に検査ステージ上の液晶パネル
からの光を光路変更器によりカメラユニットの側へ向け
るように、光路変更器を調整し、その状態に光路変更器
を維持機構により維持するようにすればよい。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, if the observation unit is an inspection device without a window,
Another observation site such as an observation position may be used. Also,
Even if the inspection device is used for both visual inspection and automatic inspection,
The liquid crystal panel may be supported diagonally on the inspection stage. In this case, for example, the camera unit is arranged at a position parallel to and horizontally separated from the liquid crystal panel on the inspection stage, and the light from the liquid crystal panel on the inspection stage is directed toward the camera unit by the optical path changing device during automatic inspection. The optical path changer may be adjusted so as to aim, and the optical path changer may be maintained in that state by the maintenance mechanism.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る検査装置の一実施例を示す正面図
であって自動検査時の状態を示す正面図である。
FIG. 1 is a front view showing an embodiment of an inspection apparatus according to the present invention, and is a front view showing a state at the time of an automatic inspection.

【図2】図1の検査装置の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the inspection device of FIG.

【図3】図1の検査装置の左側面図である。FIG. 3 is a left side view of the inspection device of FIG. 1;

【図4】図1の検査装置による目視検査時の左側面図で
ある。
FIG. 4 is a left side view at the time of visual inspection by the inspection device of FIG. 1;

【図5】図4の検査装置の正面図である。FIG. 5 is a front view of the inspection device of FIG. 4;

【図6】光路変更器として放物面鏡を用いた実施例を示
す図4と同様の左側面図である。
FIG. 6 is a left side view similar to FIG. 4, showing an embodiment using a parabolic mirror as an optical path changing device.

【図7】本発明に係る検査装置の他の実施例を示す正面
図である。
FIG. 7 is a front view showing another embodiment of the inspection apparatus according to the present invention.

【図8】図7の検査装置の平面図である。FIG. 8 is a plan view of the inspection device of FIG. 7;

【図9】図7の検査装置の左側面である。FIG. 9 is a left side view of the inspection device of FIG. 7;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10,70 検査装置 12 液晶パネル 14 本体部 16 ローダ部 18 テスタ部 20 本体フレーム 22 検査ステージ 24 検査用のプローブユニット 26 液晶パネルからの光 28,76 光路変更器 30 カメラユニット 32,74 観察窓 34 扉 36,80 維持機構 40 テレビカメラ 44 ガイド 46 スライダ 48 ブラケット 10, 70 Inspection device 12 Liquid crystal panel 14 Main unit 16 Loader unit 18 Tester unit 20 Main frame 22 Inspection stage 24 Inspection probe unit 26 Light from liquid crystal panel 28, 76 Optical path changer 30 Camera unit 32, 74 Observation window 34 Door 36,80 Maintenance mechanism 40 TV camera 44 Guide 46 Slider 48 Bracket

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 検査すべき液晶パネルを配置する検査ス
テージと、作業者が前記検査ステージに配置された液晶
パネルの目視検査をすための観察部と、前記検査ステー
ジに配置された液晶パネルからの光を前記観察部に向け
る光路変更手段とを含む、液晶パネルの検査装置。
An inspection stage for arranging a liquid crystal panel to be inspected, an observation unit for an operator to visually inspect the liquid crystal panel arranged on the inspection stage, and a liquid crystal panel arranged on the inspection stage. And an optical path changing unit for directing the light toward the observation unit.
【請求項2】 前記光路変更手段は凹面鏡である、請求
項1に記載の検査装置。
2. The inspection apparatus according to claim 1, wherein said optical path changing means is a concave mirror.
【請求項3】 さらに、前記検査ステージに配置された
液晶パネルを撮像するテレビカメラと、前記光路変更手
段を所定の状態に解除可能に維持する維持手段とを含
み、前記維持手段は、前記光路変更手段が液晶パネルか
らの光を前記観察部に向ける第1の状態と、前記光路変
更手段が前記テレビカメラによる前記液晶パネルの撮像
の妨げにならない状態または前記液晶パネルからの光を
前記テレビカメラに向ける状態から選択される第2の状
態とに前記光路変更手段を維持する、請求項1または2
に記載の検査装置。
3. A television camera for capturing an image of a liquid crystal panel disposed on the inspection stage, and maintaining means for maintaining the optical path changing means in a predetermined state so as to be releasable, wherein the maintaining means comprises the optical path changing means. A first state in which the change unit directs light from the liquid crystal panel to the observation unit; a state in which the optical path changing unit does not hinder the television camera from imaging the liquid crystal panel; or a state in which the light from the liquid crystal panel is transmitted to the television camera. 3. The optical path changing unit is maintained in a second state selected from a state directed to the optical path. 4.
The inspection device according to item 1.
【請求項4】 前記支持手段は、水平方向へ移動可能に
本体フレームに支持されたスライダと、前記光路変更手
段が取り付けられたブラケットであって前記スライダに
これの移動方向と直角に伸びる軸線の周りに角度的に回
転可能に支持されたブラケットとを備える、請求項3に
記載の検査装置。
4. The supporting means comprises a slider supported on a main body frame movably in a horizontal direction, and a bracket to which the optical path changing means is attached, wherein the slider has an axis extending perpendicular to the moving direction of the slider. The inspection apparatus according to claim 3, further comprising a bracket supported so as to be angularly rotatable therearound.
【請求項5】 前記検査ステージは液晶パネルを水平状
態に支持し、前記光路変更手段は液晶パネルからの光を
水平方向へ変更させる、請求項1,2,3または4に記
載の検査装置。
5. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection stage supports the liquid crystal panel in a horizontal state, and the optical path changing unit changes light from the liquid crystal panel in a horizontal direction.
【請求項6】 前記検査ステージは液晶パネルを傾斜状
態に支持し、前記光路変更手段は液晶パネルからの光を
斜め下方へ変更させる、請求項1,2,3または4に記
載の検査装置。
6. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection stage supports the liquid crystal panel in an inclined state, and the optical path changing unit changes light from the liquid crystal panel obliquely downward.
JP34447596A 1996-12-10 1996-12-10 Inspection equipment for liquid crystal panel Pending JPH10170398A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007114146A (en) * 2005-10-24 2007-05-10 Micronics Japan Co Ltd Lighting inspection device of display panel

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JP2007114146A (en) * 2005-10-24 2007-05-10 Micronics Japan Co Ltd Lighting inspection device of display panel

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