JPH1015449A - 塗布液の塗布方法および塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、広い塗布幅と薄い膜厚で厳しい寸法
バラツキ精度を十分実現でき、かつコ−ティングロ−ル
だけの着脱が簡単で、再取付け後に再度の微調整をしな
くても取り外し前の位置精度を厳密に維持できるものを
目的とする。 【解決手段】 本発明は、一対の側板にガイド部材を介
して一対の移動部材を設け、両移動部材にコ−ティング
ロ−ルの両端部を保持し、かつ一対の側板にガイド部材
を介してバックアップロ−ルの両端部を保持し、両移動
部材を常時コ−ティングロ−ル側に付勢するとともに、
移動手段により移動部材およびコ−ティングロ−ルの両
端部を別々に移動させて、両ロ−ルの隙間量および平行
度を調整した後、被塗布材を両ロ−ル間に移動させて被
塗布材表面に塗布液を塗布する方法、およびその塗布装
置として、前記課題を解決した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス、セラミッ
ク、シリコン等の基板又はプリント基板等の表面に所要
の塗布液を塗布する方法、およびその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ガラス、セラミック、シリコン等
の基板表面に所要の塗布液を薄膜状に塗布するものとし
ては、例えば特公平５−３７７１３号公報および実開平
６−７２３６号公報に記載されているような装置、いわ
ゆるロ−ルコ−タが知られている。このロ−ルコ−タは
コ−ティングロ−ルとドクタ−間に塗布液（レジスト液
等）を供給し、それをコ−ティングロ−ルとバックアッ
プロ−ル間に挿入し移動した基板表面に転写塗布するも
のであった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、これら従来の
ものは一般的な基板や膜厚のもの、又は膜厚のバラツキ
精度がそれほど厳しくないものには十分使用できたが、
基板が幅６００ｍｍを越える広幅のものになったり、膜
厚が例えば１μｍ以下の薄いものになり、かつ膜厚のバ
ラツキ精度が１０％以内で均一に塗布することを要求さ
れたりすると、それらをクリヤ−して均一の塗布膜を塗
布するのは極めて困難であった。その解決策の１つとし
て、コ−ティングロ−ルとバックアップロ−ル間の隙間
を均一幅に保ってバラツキ精度を高めるため、コ−テイ
ングロ−ルの両軸受け部分に調整機構を設け、僅かに移
動させて両ロ−ル間の隙間量や平行度を微調整する提案
（例えば特公平５−３７７１３号公報）もされている
が、この微調整はかなり手間のかかる作業であった。

【０００４】その上、例えばロ−ル洗浄等でロ−ルを取
り外し、洗浄後に再取付けすることがしばしば起きる
が、そのときコ−ティングロ−ルとともに調整機構（ス
ライダ、昇降検知手段、パルスモ−タ等）も一緒に脱着
せねばならず、こうした精密な装置を付けたままの脱着
作業は現場の作業員が容易にできる仕事ではなかった。
また、これらの装置を取り外してコ−ティングロ−ルの
みを洗浄することもできるが、その場合はスライダの軸
受け部（ベアリング）に軸を脱着するのが難しく、かつ
各部材の脱着時における位置関係が僅かずつ変化するた
め、再取付け時におけるセットが取り外し前とは精度が
違ってしまい、最初にセットし微調整したときと同じこ
とを熟練者が時間をかけて再びやらざるを得ず、洗浄等
のコ−ティングロ−ラを取り外す度に作業効率を著しく
損ねる要因となっていた。

【０００５】本発明は、塗布幅が比較的広く、塗布の膜
厚がごく薄く、膜厚精度の寸法精度を厳しく求められる
ような塗布作業に対し、それらの要求に十分応えられる
とともに、ロ−ル洗浄のようなときもコ−ティングロ−
ルだけを簡単に脱着でき、かつ再取付け後に再度の微調
整をしなくても取り外し前の位置精度を厳密に維持でき
る塗布液の塗布方法および塗布装置の提供を目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は塗布液の塗布方
法を、一対の側板にガイド部材を介して一対の移動部材
を対向して移動自在に設け、両移動部材にホルダ−を介
してコ−ティングロ−ルの両端部を保持し、かつ一対の
側板にガイド部材を介してバックアップロ−ルの両端部
を保持してコ−ティングロ−ルと対向させ、両移動部材
を常時コ−ティングロ−ル側に付勢するとともに、両側
板又はフレ−ムの両側部に移動手段を設けて移動部材の
移動を両ロ−ルの軸心を結ぶ線方向とし、移動手段によ
り移動部材を経てコ−ティングロ−ルの両端部を別々に
移動させることによって、バックアップロ−ルとコ−テ
ィングロ−ルの隙間量および平行度を調整した後、被塗
布材を両ロ−ル間に移動させて被塗布材表面に塗布液を
塗布するものとして前記課題を解決した。

【０００７】また、本発明は塗布液の塗布装置を、一対
の側板にガイド部材を介して一対の移動部材を対向して
移動自在に設け、両移動部材にホルダ−を介してコ−テ
ィングロ−ルの両端部を保持し、かつ一対の側板にガイ
ド部材を介してバックアップロ−ルの両端部を保持して
コ−ティングロ−ルと対向させ、両移動部材を常時コ−
ティングロ−ル側に付勢するとともに、両側板又はフレ
−ムの両側部に移動手段を設けて移動部材の移動を両ロ
−ルの軸心を結ぶ線方向とし、移動手段により移動部材
を経てコ−ティングロ−ルの両端部を別々に移動させる
ことによって、バックアップロ−ルとコ−ティングロ−
ルの隙間量および平行度を調整してなる構成として、前
記課題を解決した。

【０００８】なお、前記移動手段を螺旋部材と螺旋部材
にかみ合って移動する受け部材で形成し、受け部材に設
けたストッパ−部を移動部材に設けた係止部にコ−ティ
ングロ−ル側から当接させ、両螺旋部材を別々に回転し
て受け部材、ストッパ−部、移動部材を介してコ−ティ
ングロ−ルの両端部を別々に移動させるようにすると前
記課題がより好適に解決できる。

【０００９】また、前記コ−ティングロ−ルをロ−ル部
とロ−ル部両側に設けたベアリング内に挿入し嵌合させ
るシャフトで形成し、シャフト両端部を両側板に設けた
一対のホルダ−に保持するとともに、ロ−ル部の一側に
設けた回転駆動部材を駆動源と連結させてロ−ル部のみ
回転させたり、前記ホルダ−を上方開口のＵ溝を有する
ホルダ−本体とＵ溝に被せる蓋部材で形成し、Ｕ溝の底
部に常時開口側に弾発させる押圧手段を設け、シャフト
両端部を押圧手段の弾発に抗しつつＵ溝内に挿入し蓋部
材を被せてホルダ−本体に蓋部材をピン固定して、シャ
フト両端部を蓋部材の内面に押圧してホルダ−に保持す
るようにすると、前記課題がより好適に解決できる。

【００１０】

【実施の態様】本発明の塗布液の塗布方法および塗布装
置で、タイミングベルト等で連結した移動手段である両
螺旋部材をそれぞれ所定量だけ回転させると、図３に示
すように螺旋部材にかみ合っている受け部材およびスト
ッパ−部は上下方向に移動し、常時上方に付勢されてい
る移動部材もストツパ−部の動きによりガイド部材を介
して上下方向に移動するので、両端部を移動部材に保持
してあるコ−ティングロ−ルは左右別々にバックアップ
ロ−ル方向に移動する。なお、移動手段は前述のような
螺旋部材と受け部材でもよいが、他の公知の移動手段を
用いてもよい。

【００１１】この調整手段は、あらかじめ両ロ−ルの隙
間量および左右両端部側の隙間量の差（平行度）を検知
手段（レ−ザ−等）で検知しておき、それを制御手段に
送って出した調整量をパルスモ−タ等に指示し、タイミ
ングベルト等を経て両側の螺旋部材を別々に回転させ、
その回転量を前述したようにコ−ティングロ−ルの移動
量に連動させて適正な隙間量と平行度を調整するように
しておく。この調整作業が終わった後、両ロ−ル間に被
塗布材を挿入し移動させると、幅が６００ｍｍを越える
広幅の基板であっても、その表面に０．２μｍ程度の薄
い塗膜を精度１０％以内に均一に塗布できる。

【００１２】また、本発明のコ−ティングロ−ルは、内
蔵したベアリングと駆動手段でロ−ル部のみ回転し、シ
ャフトはＵ溝に入れ下方から弾発を受けつつ上から被せ
てピン固定した蓋部材に押圧するものなので、コ−ティ
ングロ−ラが軸受け部を含む移動機構全体を着脱させな
くてもシャフトのみの着脱で済み簡単なロ−ル取り外し
が可能となる。また、蓋部材内面に押圧するシャフトの
上側位置が不変のため、再取付け時のロ−ル表面の位置
は取り外し前の位置精度を厳密に維持し変化しないの
で、再調整作業なしに高精度の塗布作業が再開できる。

【００１３】

【実施例】本発明の実施例を図により説明する。なお、
本発明は本実施例によって限定されるものではない。図
１は基板に塗布液を塗布する方法およびその装置（ロ−
ルコ−タ）を示す概略図である。被塗布部材である幅７
００mm、長さ１１００mm、厚さ２．８mmのガラスよりな
る基板１は、モ−タ２により回転する複数の送りロ−ル
３上を移動し、送りロ−ル３間にはコ−ティングロ−ル
４とバックアップロ−ル５が互いに回転自在に対向して
平行に設けてあり、その間を基板１が接触して移動する
ようにしてある。コ−ティングロ−ル４にはドクタ−バ
−６を接触させて塗布液７を供給し、コ−ティングロ−
ル４を介して基板１に塗布するようにしてある。

【００１４】図２は本実施例の正面図、図３は同実施例
の移動手段を示す断面図、図４は本実施例のコ−ティン
グロ−ル４の断面図である。フレ−ム８の上方両側部に
は一対の側板９，９を、その外側には他の一対の側板1
0，10をそれぞれ平行に対向して設けてある。側板９，
９の上端部にはホルダ−11を対向して設け、バックアッ
プロ−ル５の両シャフト部を保持してある。

【００１５】側板９の外側には移動手段である螺旋部材
12を回転自在に上下方向に軸支してあり、螺旋部材12に
はその回転により上下方向に直線移動するよう内ねじ状
とした円筒状の受け部材13をかみ合わせてあり、かつそ
の下端部にプ−リ−14を設けてタイミングベルト15によ
りパルスモ−タ（図示せず）と連結してある。受け部材
13にはストッパ−部16を垂設してあり、17は排気ダクト
である。

【００１６】側板10，10の内側にはガイドレ−ル18を介
して上下方向に直線移動自在な一対の移動部材19，19を
対向して設け、ばね20により常時上方へ付勢するように
してある。両移動部材19の上端部内面にはホルダ−21を
対向して設け、下端部内面には突片状の係止部22を設け
て前記ストッパ−部19の下端部が上方から当接するよう
にしてある。

【００１７】コ−ティングロ−ル４はロ−ル部23とシャ
フト24からなり、ロ−ル部23は両端部をステンレス、中
央部をアルミパイプとし、そのアルミパイプ表面にゴム
をライニングし、両端のステンレス部にロ−ル表面と同
心となるベアリング25を固定してあり、ゴムライニング
したロ−ル部23の外表面には深さ０．０２mmの螺旋状Ｖ
溝（図示せず）を設けてある。シャフト24はその両端部
を両ベアリング25，25内に嵌入し突出させ、かつロ−ル
部23の一側面に駆動部材であるギヤ26を固定して、ギヤ
26を回せばロ−ル部23がシャフト24とは別に回転するよ
うにしてある。

【００１８】図５および図６はコ−テイングロ−ル装着
時における図２のＡ−Ａ矢視拡大図とその断面図であ
り、図７および図８はコ−ティングロ−ル取り外し時に
おける図２のＡ−Ａ矢視拡大図とその断面図である。図
でホルダ−21は、上方開口のＵ溝27を有するホルダ−本
体28とＵ溝27に被せる内外側が円弧状をなす蓋部材29か
らなり、ホルダ−本体28はＵ溝27の底部に常時上方に弾
発する移動可能な押圧子30をＵ溝27内に突出させて設け
てあり、その一端部に蓋部材29の一端部を揺動自在に軸
支して蓋部材29が開閉するようにしてある。Ｕ溝27の上
方にはシャフト24より僅かに広幅の凹部32を設けてシャ
フト24を挿入し易くし、かつ装着時には左右にガタつか
ない嵌合となるよう形成してある。ホルダ−本体28の他
端部と蓋部材29の他端部にはピン31が嵌合する同内径の
孔を設けて蓋部材29を位置決め固定できるようにしてあ
り、蓋部材29を位置決め固定したときシャフト24の両端
部がＵ溝27と蓋部材29の内側面で左右ガタの無いよう挿
入でき、かつ上下方向に僅か移動できるような寸法とし
てある。

【００１９】次に、このロ−ルコ−タの作動を説明す
る。まず、塗布作業に入る前に、あらかじめ両ロ−ル
４，５の隙間量および左右両端部側の隙間量の差（平行
度）を検知手段（図示せず）で検知しておき、それを制
御手段（図示せず）に送って出した調整量をパルスモ−
タ（図示せず）に指示し、その調整量のみをタイミング
ベルト15でプ−リ−14を回し、両側の螺旋部材12，12を
別々に前記調整量だけ回転させた。この回転は螺旋部材
12にかみ合っている受け部材13およびストッパ−部16を
上下方向に直線移動させ、ストッパ−部16に当接しばね
20で常時上方に付勢されている移動部材19もガイドレ−
ル18を介して受け部材13と同量だけ上下方向に直線移動
した。さらに、ドクタ−バ−６を適量移動させてコ−テ
ィングロ−ル４に接触させ、塗布液７をノズル（図示せ
ず）で供給した。

【００２０】移動部材19に固定したホルダ−21は、コ−
ティングロ−ル４のシャフト24両端部を蓋部材29の内面
に下方から押圧しつつ保持固定して、回転するのはロ−
ル部23のみなので、シャフト24の位置は不変のまま安定
した回転が得られるとともに、コ−ティングロ−ラ４を
左右別々に所要の調整量だけ移動でき、バックアップロ
−ルとの適正な隙間量と平行度を厳しい精度で調整でき
る。

【００２１】この調整作業が終わった後、駆動源（図示
せず）を起動させてギヤ26を回転させると、保持固定さ
れているシャフト24はそのままでロ−ル部23のみが回転
し、両ロ−ル４，５間に被塗布材１を挿入し移動させる
と、コ−ティングロ−ラ４とドクタ−バ−６間に供給さ
れている塗布液７が回転するコ−ティングロ−ラ４の表
面から被塗布材１の表面に転写され、０．２μｍの塗膜
を精度１０％以内に均一に塗布できた。

【００２２】一定の塗布作業を継続した後、洗浄等でコ
−ティングロ−ルを取り外す必要が生じたとき、両側の
第２のホルダ−21のピン31を抜いて蓋部材29を揺動させ
て開き、シャフト24両端部を引き上げ、コ−ティングロ
−ルだけを簡単に取り外した。洗浄等をした後のコ−テ
ィングロ−ル４は逆にＵ溝27内にシャフト24両端部を挿
入し、蓋部材29を被せ、押圧子30の弾発に抗しつつピン
31を嵌合して位置決め固定した。ここで、シャフト24は
ピン31で位置決め固定してある蓋部材29の内側にその上
側部を常に押圧し当接されているので、再取付け時のロ
−ル表面の位置は取り外し前の位置と変化せず、したが
って、再調整作業なしで塗布作業を再開したが、取り外
し前のバラツキ精度（０．２μｍで精度１０％以内）を
維持した塗布ができた。なお、シャフト24の弾発は押圧
子30を用いずに直にばねによってもよい。

【００２３】

【発明の効果】本発明は、塗布幅が比較的広く、塗布の
膜厚がごく薄く、膜厚精度の寸法精度が厳しく求められ
るような塗布作業てあっても、それらの要求に十分応え
られるとともに、ロ−ル洗浄のようなときもコ−ティン
グロ−ルだけを簡単に脱着でき、かつ再取付け後に再度
の微調整をしなくても取り外し前の位置精度を厳密に維
持できる塗布液の塗布方法および塗布装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ロ−ルコ−タを示す概略図である。

【図２】本発明の実施例を示す正面図である。

【図３】同実施例の移動手段を示す断面図である。

【図４】同実施例のコ−ティングロ−ルの断面図であ
る。

【図５】同実施例のコ−ティングロ−ル装着時における
図２のＡ−Ａ矢視図である。

【図６】図５の断面図である。

【図７】同実施例のコ−ティングロ−ル取り外し時にお
ける図２のＡ−Ａ矢視図である。

【図８】図７の断面図である。

【符号の説明】

１ 被塗布材 ４ コ−ティングロ−ル ５ バックアップロ−ル ６ ドクタ−バ− ７ 塗布液 ９ 側板 １０ 側板 １１ ホルダ− １２ 移動手段（螺旋部材） １３ 移動手段（受け部材） １６ ストッパ−部 １８ ガイドレ−ル １９ 移動部材 ２１ ホルダ− ２２ 係止部 ２３ ロ−ル部 ２４ シャフト ２５ ベアリング ２６ 駆動手段（ギヤ） ２７ Ｕ溝 ２８ ホルダ−本体 ２９ 蓋部材 ３０ 押圧子 ３１ ピン

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一対の側板にガイド部材を介して一対の移
   動部材を対向して移動自在に設け、両移動部材にホルダ
   −を介してコ−ティングロ−ルの両端部を保持し、かつ
   一対の側板にガイド部材を介してコ−ティングロ−ルの
   両端部を保持してコ−ティングロ−ルと対向させ、両移
   動部材を常時バックアップロ−ル側に付勢するととも
   に、両側板又はフレ−ムの両側部に移動手段を設けて移
   動部材の移動を両ロ−ルの軸心を結ぶ線方向とし、移動
   手段により移動部材を経てコ−ティングロ−ルの両端部
   を別々に移動させることによって、バックアップロ−ル
   とコ−ティングロ−ルの隙間量および平行度を調整した
   後、被塗布材を両ロ−ル間に移動させて被塗布材表面に
   塗布液を塗布する、塗布液の塗布方法。
2. 【請求項２】前記移動手段が螺旋部材と螺旋部材にかみ
   合って移動する受け部材であり、受け部材に設けたスト
   ッパ−部を移動部材に設けた係止部にコ−ティングロ−
   ル側から当接させ、両螺旋部材を別々に回転して受け部
   材、ストッパ−部、移動部材を介してコ−ティングロ−
   ルの両端部を別々に移動させることを特徴とする、請求
   項１記載の塗布液の塗布方法。
3. 【請求項３】前記コ−ティングロ−ルがロ−ル部とロ−
   ル部両側に設けたベアリング内に挿入し嵌合させるシャ
   フトからなり、シャフト両端部を両側板に設けた一対の
   ホルダ−に保持するとともに、ロ−ル部の一側に設けた
   回転駆動部材を駆動源と連結させてロ−ル部のみ回転さ
   せることを特徴とする、請求項１又は２記載の塗布液の
   塗布方法。
4. 【請求項４】前記ホルダ−が上方開口のＵ溝を有するホ
   ルダ−本体とＵ溝に被せる蓋部材からなり、Ｕ溝の底部
   に常時開口側に弾発させる押圧手段を設け、シャフト両
   端部を押圧手段の弾発に抗しつつＵ溝内に挿入し蓋部材
   を被せてホルダ−本体に蓋部材をピン固定して、シャフ
   ト両端部を蓋部材の内面に押圧してホルダ−に保持する
   ことを特徴とする、請求項１，２又は３記載の塗布液の
   塗布方法。
5. 【請求項５】コ−ティングロ−ルとバックアップロ−ル
   間に被塗布材を移動させて塗布液を塗布する装置であっ
   て、一対の側板にガイド部材を介して一対の移動部材を
   対向して移動自在に設け、両移動部材にホルダ−を介し
   てコ−ティングロ−ルの両端部を保持し、かつ一対の側
   板にガイド部材を介してバックアップロ−ルの両端部を
   保持してコ−ティングロ−ルと対向させ、両移動部材を
   常時コ−ティングロ−ル側に付勢するとともに、両側板
   又はフレ−ムの両側部に移動手段を設けて移動部材の移
   動を両ロ−ルの軸心を結ぶ線方向とし、移動手段により
   移動部材を経てコ−ティングロ−ルの両端部を別々に移
   動させることによって、バックアップロ−ルとコ−ティ
   ングロ−ルの隙間量および平行度を調整してなることを
   特徴とする、塗布液の塗布装置。
6. 【請求項６】前記移動手段が螺旋部材と螺旋部材にかみ
   合って移動する受け部材であり、受け部材に設けたスト
   ッパ−部を移動部材に設けた係止部にコ−ティングロ−
   ル側から当接させ、両螺旋部材を別々に回転して受け部
   材、ストッパ−部、移動部材を介してコ−ティングロ−
   ルの両端部を別々に移動させることを特徴とする、請求
   項５記載の塗布液の塗布装置。
7. 【請求項７】前記コ−ティングロ−ルがロ−ル部とロ−
   ル部両側に設けたベアリング内に挿入し嵌合させるシャ
   フトからなり、シャフト両端部を両側板に設けた一対の
   ホルダ−に保持するとともに、ロ−ル部の一側に設けた
   回転駆動部材を駆動源と連結させてロ−ル部のみ回転さ
   せることを特徴とする、請求項５又は６記載の塗布液の
   塗布装置。
8. 【請求項８】前記ホルダ−が上方開口のＵ溝を有するホ
   ルダ−本体とＵ溝に被せる蓋部材からなり、Ｕ溝の底部
   に常時開口側に弾発させる押圧手段を設け、シャフト両
   端部を押圧手段の弾発に抗しつつＵ溝内に挿入し蓋部材
   を被せてホルダ−本体に蓋部材をピン固定して、シャフ
   ト両端部を蓋部材の内面に押圧してホルダ−に保持する
   ことを特徴とする、請求項５，６又は７記載の塗布液の
   塗布装置。