JPH1015403A - Ｉｃ試験用恒温槽 - Google Patents
Ｉｃ試験用恒温槽Info
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- JPH1015403A JPH1015403A JP8169290A JP16929096A JPH1015403A JP H1015403 A JPH1015403 A JP H1015403A JP 8169290 A JP8169290 A JP 8169290A JP 16929096 A JP16929096 A JP 16929096A JP H1015403 A JPH1015403 A JP H1015403A
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- Japan
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- test
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被試験ＩＣに熱ストレスを与える恒温槽のト
レー搬入口を開閉するシャッタ板の耐久性と信頼性を向
上させる。 【解決手段】 テストトレー搬入口の開口面に沿って平
行移動できるように支持されたシャッタ板と、このシャ
ッタ板に形成されシャッタ板が閉位置に向って移動する
場合の先端部分に恒温槽の壁面に向って漸次薄くなる方
向のテーパ面を形成し、閉位置においてテーパ面に係合
する係合子を設け、この係合子とテーパ面との係合によ
ってシャッタ板を恒温槽の壁面に圧接させる。
レー搬入口を開閉するシャッタ板の耐久性と信頼性を向
上させる。 【解決手段】 テストトレー搬入口の開口面に沿って平
行移動できるように支持されたシャッタ板と、このシャ
ッタ板に形成されシャッタ板が閉位置に向って移動する
場合の先端部分に恒温槽の壁面に向って漸次薄くなる方
向のテーパ面を形成し、閉位置においてテーパ面に係合
する係合子を設け、この係合子とテーパ面との係合によ
ってシャッタ板を恒温槽の壁面に圧接させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は被試験ＩＣを自動
搬送装置で搬送し、恒温槽で所定の熱ストレスを与えて
動作試験を行なう、一般にハンドラと呼ばれている分野
に使われるＩＣ試験用恒温槽に関する。
搬送装置で搬送し、恒温槽で所定の熱ストレスを与えて
動作試験を行なう、一般にハンドラと呼ばれている分野
に使われるＩＣ試験用恒温槽に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５及び図６を用いてハンドラと呼ばれ
るＩＣ試験装置の概要を説明する。図５はハンドラの略
線的平面図を示す。図中１００はテストヘッドを含むチ
ャンバ部、２００はこれから試験を行う被試験ＩＣを格
納し、また試験済のＩＣを分類して格納するＩＣ格納
部、３００は被試験ＩＣをチャンバ部１００に送り込む
ローダ部、４００はチャンバ部１００で試験が行われた
試験済のＩＣを分類して取り出すアンローダ部、ＴＳＴ
はローダ部３００で被試験ＩＣが積み込まれてチャンバ
部１００に送り込まれ、チャンバ部１００でＩＣを試験
し、試験済のＩＣをアンローダ部４００に運び出すＩＣ
搬送用のテストトレーを示す。
るＩＣ試験装置の概要を説明する。図５はハンドラの略
線的平面図を示す。図中１００はテストヘッドを含むチ
ャンバ部、２００はこれから試験を行う被試験ＩＣを格
納し、また試験済のＩＣを分類して格納するＩＣ格納
部、３００は被試験ＩＣをチャンバ部１００に送り込む
ローダ部、４００はチャンバ部１００で試験が行われた
試験済のＩＣを分類して取り出すアンローダ部、ＴＳＴ
はローダ部３００で被試験ＩＣが積み込まれてチャンバ
部１００に送り込まれ、チャンバ部１００でＩＣを試験
し、試験済のＩＣをアンローダ部４００に運び出すＩＣ
搬送用のテストトレーを示す。
【０００３】チャンバ部１００はテストトレーＴＳＴに
積み込まれた被試験ＩＣに目的とする高温または低温の
熱ストレスを与える恒温槽１０１と、この恒温槽１０１
で熱ストレスが与えられた状態にあるＩＣをテストヘッ
ドに接触させるテストチャンバ１０２と、テストチャン
バ１０２で試験されたＩＣから、与えられた熱ストレス
を除去する除熱槽１０３とによって構成される。つま
り、恒温槽１０１で高温を印加した場合は除熱槽１０３
では送風により冷却し、室温に戻してアンローダ部４０
０に搬出する。また恒温槽１０１で例えば−３０℃程度
の低温を印加した場合は温風乃至はヒータ等で槽内を加
熱し、結露が生じない程度の温度に戻してアンローダ部
４００に搬出する。
積み込まれた被試験ＩＣに目的とする高温または低温の
熱ストレスを与える恒温槽１０１と、この恒温槽１０１
で熱ストレスが与えられた状態にあるＩＣをテストヘッ
ドに接触させるテストチャンバ１０２と、テストチャン
バ１０２で試験されたＩＣから、与えられた熱ストレス
を除去する除熱槽１０３とによって構成される。つま
り、恒温槽１０１で高温を印加した場合は除熱槽１０３
では送風により冷却し、室温に戻してアンローダ部４０
０に搬出する。また恒温槽１０１で例えば−３０℃程度
の低温を印加した場合は温風乃至はヒータ等で槽内を加
熱し、結露が生じない程度の温度に戻してアンローダ部
４００に搬出する。
【０００４】恒温槽１０１及び除熱槽１０３はテストチ
ャンバ１０２より上方に突出されて配置される。恒温槽
１０１と除熱槽１０３の上部間に図６に示すように基板
１０５が差し渡され、この基板１０５にテストトレー搬
送手段１０６が装着され、このテストトレー搬送手段１
０６によってテストトレーＴＳＴが、除熱槽１０３側か
ら恒温槽１０１に向かって移送される。テストトレーＴ
ＳＴはローダ部３００で被試験ＩＣを積み込み、恒温槽
１０１に運び込まれる。恒温槽１０１には垂直搬送手段
が装着されており、この垂直搬送手段によって複数枚の
テストトレーＴＳＴが支持されてテストチャンバ１０２
が空くまで待機する。この待機中に被試験ＩＣに高温ま
たは低温の温度ストレスを印加する。テストチャンバ１
０２にはその中央にテストヘッド１０４が配置され、テ
ストヘッド１０４の上にテストトレーＴＳＴが運ばれて
被試験ＩＣをテストヘッド１０４に電気的に接触させ試
験を行う。試験が終了したテストトレーＴＳＴは除熱槽
１０３で除熱し、ＩＣの温度を室温に戻し、アンローダ
部４００に排出する。
ャンバ１０２より上方に突出されて配置される。恒温槽
１０１と除熱槽１０３の上部間に図６に示すように基板
１０５が差し渡され、この基板１０５にテストトレー搬
送手段１０６が装着され、このテストトレー搬送手段１
０６によってテストトレーＴＳＴが、除熱槽１０３側か
ら恒温槽１０１に向かって移送される。テストトレーＴ
ＳＴはローダ部３００で被試験ＩＣを積み込み、恒温槽
１０１に運び込まれる。恒温槽１０１には垂直搬送手段
が装着されており、この垂直搬送手段によって複数枚の
テストトレーＴＳＴが支持されてテストチャンバ１０２
が空くまで待機する。この待機中に被試験ＩＣに高温ま
たは低温の温度ストレスを印加する。テストチャンバ１
０２にはその中央にテストヘッド１０４が配置され、テ
ストヘッド１０４の上にテストトレーＴＳＴが運ばれて
被試験ＩＣをテストヘッド１０４に電気的に接触させ試
験を行う。試験が終了したテストトレーＴＳＴは除熱槽
１０３で除熱し、ＩＣの温度を室温に戻し、アンローダ
部４００に排出する。
【０００５】ＩＣ格納部２００には被試験ＩＣを格納す
る被試験ＩＣストッカ２０１と、試験の結果に応じて分
類されたＩＣを格納する試験済ＩＣストッカ２０２とが
設けられる。被試験ＩＣストッカ２０１には被試験ＩＣ
を格納した汎用トレーＫＳＴが積層されて保持される。
この汎用トレーＫＳＴがローダ部３００に運ばれ、ロー
ダ部３００に運ばれた汎用トレーＫＳＴからローダ部３
００に停止しているテストトレーＴＳＴに被試験ＩＣを
積み替える。汎用トレーＫＳＴからテストトレーＴＳＴ
にＩＣを運び込むＩＣ搬送手段としては図６に示すよう
に、基板１０５の上部に架設した２本のレール３０１
と、この２本のレール３０１によってテストトレーＴＳ
Ｔと汎用トレーＫＳＴとの間を往復（この方向をＹ方向
とする）することができる可動アーム３０２と、この可
動アーム３０２によって支持され、可動アーム３０２に
沿ってＸ方向に移動できる可動ヘッド３０３とによって
構成されるＸ−Ｙ搬送手段３０４を用いることができ
る。可動ヘッド３０３には下向きに吸着ヘッドが装着さ
れ、この吸着ヘッドが空気を吸引しながら移動し、汎用
トレーＫＳＴからＩＣを吸着し、そのＩＣをテストトレ
ーＴＳＴに搬送する。吸着ヘッドは可動ヘッド３０３に
対して例えば８本程度装着され、一度に８個のＩＣをテ
ストトレーＴＳＴに搬送する。
る被試験ＩＣストッカ２０１と、試験の結果に応じて分
類されたＩＣを格納する試験済ＩＣストッカ２０２とが
設けられる。被試験ＩＣストッカ２０１には被試験ＩＣ
を格納した汎用トレーＫＳＴが積層されて保持される。
この汎用トレーＫＳＴがローダ部３００に運ばれ、ロー
ダ部３００に運ばれた汎用トレーＫＳＴからローダ部３
００に停止しているテストトレーＴＳＴに被試験ＩＣを
積み替える。汎用トレーＫＳＴからテストトレーＴＳＴ
にＩＣを運び込むＩＣ搬送手段としては図６に示すよう
に、基板１０５の上部に架設した２本のレール３０１
と、この２本のレール３０１によってテストトレーＴＳ
Ｔと汎用トレーＫＳＴとの間を往復（この方向をＹ方向
とする）することができる可動アーム３０２と、この可
動アーム３０２によって支持され、可動アーム３０２に
沿ってＸ方向に移動できる可動ヘッド３０３とによって
構成されるＸ−Ｙ搬送手段３０４を用いることができ
る。可動ヘッド３０３には下向きに吸着ヘッドが装着さ
れ、この吸着ヘッドが空気を吸引しながら移動し、汎用
トレーＫＳＴからＩＣを吸着し、そのＩＣをテストトレ
ーＴＳＴに搬送する。吸着ヘッドは可動ヘッド３０３に
対して例えば８本程度装着され、一度に８個のＩＣをテ
ストトレーＴＳＴに搬送する。
【０００６】上述したように、恒温槽１０１の内部は低
温又は高温の状態に維持される。このため、恒温槽１０
１のテストトレー搬入口には従来からシャッタ板が設け
られ、このシャッタ板によってテストトレーＴＳＴの搬
入時以外はテストトレー搬入口を塞ぎ恒温槽１０１内の
温度が外部に洩れないようにし、恒温槽１０１内の温度
が変動しないように構成している。
温又は高温の状態に維持される。このため、恒温槽１０
１のテストトレー搬入口には従来からシャッタ板が設け
られ、このシャッタ板によってテストトレーＴＳＴの搬
入時以外はテストトレー搬入口を塞ぎ恒温槽１０１内の
温度が外部に洩れないようにし、恒温槽１０１内の温度
が変動しないように構成している。
【０００７】図７に従来の恒温槽のテストトレー搬入口
の部分の構造を示す。１０１Ａは恒温槽１０１のテスト
トレー搬入口を示す。テストトレー搬入口１０１Ａの前
後にレール１１１が敷設され、レール１１１に乗せられ
てテストトレーＴＳＴが搬入される。１１２はシャッタ
板を示す。シャッタ板１１２は例えばエアーシリンダの
ような直線駆動手段１１３によってテストトレー搬入口
１０１Ａの開口面と平行に移動できるように支持され
る。直線駆動手段１１３の駆動によってシャッタ板１１
２が恒温槽１０１の壁面１０１Ｂに沿って移動し、テス
トトレー搬入口１０１Ａを閉塞した状態と、開放した状
態に移動できるように構成される。
の部分の構造を示す。１０１Ａは恒温槽１０１のテスト
トレー搬入口を示す。テストトレー搬入口１０１Ａの前
後にレール１１１が敷設され、レール１１１に乗せられ
てテストトレーＴＳＴが搬入される。１１２はシャッタ
板を示す。シャッタ板１１２は例えばエアーシリンダの
ような直線駆動手段１１３によってテストトレー搬入口
１０１Ａの開口面と平行に移動できるように支持され
る。直線駆動手段１１３の駆動によってシャッタ板１１
２が恒温槽１０１の壁面１０１Ｂに沿って移動し、テス
トトレー搬入口１０１Ａを閉塞した状態と、開放した状
態に移動できるように構成される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】シャッタ板１１２は設
置の目的からすれば恒温槽１０１の壁面１０１Ｂに密着
した状態で開の状態から開の状態及び閉の状態から開の
状態に移動することが要求される。従って従来は図８に
示すように恒温槽１０１の壁面１０１Ｂにガイドローラ
１１４を設け、このガイドローラ１１４によってシャッ
タ板１１２を壁面１０１Ｂに押し付けて開閉駆動してい
る。
置の目的からすれば恒温槽１０１の壁面１０１Ｂに密着
した状態で開の状態から開の状態及び閉の状態から開の
状態に移動することが要求される。従って従来は図８に
示すように恒温槽１０１の壁面１０１Ｂにガイドローラ
１１４を設け、このガイドローラ１１４によってシャッ
タ板１１２を壁面１０１Ｂに押し付けて開閉駆動してい
る。
【０００９】このためシャッタ板１１２自体或は恒温槽
１０１の壁面１０１Ｂ自体が摩擦により摩耗し、すき間
が発生する欠点がある。このすき間の発生により特にこ
のすき間から冷気が洩れると、シャッタ板１１２の周縁
及び恒温槽１０１のテストトレー搬入口１０１Ａの周縁
に結露が発生する欠点がある。つまり、結露が発生する
と結露からの水滴が搬入中のテストトレーに落下し、こ
れが被試験ＩＣの端子部分等に付着すると、恒温槽１０
１の内部で水滴が氷り着き、氷りのためにテストヘッド
において、接触不良事故を起す等の不都合が発生するお
それがある。
１０１の壁面１０１Ｂ自体が摩擦により摩耗し、すき間
が発生する欠点がある。このすき間の発生により特にこ
のすき間から冷気が洩れると、シャッタ板１１２の周縁
及び恒温槽１０１のテストトレー搬入口１０１Ａの周縁
に結露が発生する欠点がある。つまり、結露が発生する
と結露からの水滴が搬入中のテストトレーに落下し、こ
れが被試験ＩＣの端子部分等に付着すると、恒温槽１０
１の内部で水滴が氷り着き、氷りのためにテストヘッド
において、接触不良事故を起す等の不都合が発生するお
それがある。
【００１０】この発明の目的はシャッタ板と恒温槽の壁
との間のすき間の発生を長期にわたって抑えることがで
き、従って結露の発生を抑えることができるＩＣ試験用
恒温槽を提供しようとするものである。
との間のすき間の発生を長期にわたって抑えることがで
き、従って結露の発生を抑えることができるＩＣ試験用
恒温槽を提供しようとするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明ではシャッタ板
の閉位置に向って移動する場合の先頭部分に恒温槽の壁
面に向って漸次薄くなる方向のテーパ面を形成し、シャ
ッタ板が閉位置に近ずくとき、このテーパ面に係合する
係合子を設け、この係合子にテーパ面が係合することに
よりシャッタ板を恒温槽の壁面に圧接させる構成とした
ものである。
の閉位置に向って移動する場合の先頭部分に恒温槽の壁
面に向って漸次薄くなる方向のテーパ面を形成し、シャ
ッタ板が閉位置に近ずくとき、このテーパ面に係合する
係合子を設け、この係合子にテーパ面が係合することに
よりシャッタ板を恒温槽の壁面に圧接させる構成とした
ものである。
【００１２】この発明では更に、シャッタ板を直線駆動
手段によって駆動させると共に、直線駆動手段とシャッ
タ板との間にシャッタ板を恒温槽の壁面と直交する方向
に移動を許す支持手段と、この支持手段によって支持し
たシャッタ板を恒温槽の壁面から引き離す方向に偏倚力
を与える偏倚手段とを設けた構造を提案するものであ
る。
手段によって駆動させると共に、直線駆動手段とシャッ
タ板との間にシャッタ板を恒温槽の壁面と直交する方向
に移動を許す支持手段と、この支持手段によって支持し
たシャッタ板を恒温槽の壁面から引き離す方向に偏倚力
を与える偏倚手段とを設けた構造を提案するものであ
る。
【００１３】この発明の構成によれば、シャッタ板は移
動中に恒温槽の壁面に圧接された状態で移動しなくて
も、閉位置に到達した状態でテーパ面が係合子と係合
し、この係合によって恒温槽の壁面にシャッタ板を圧接
させることができる。従ってシャッタ板は閉位置に近ず
いたわずかな距離だけ、恒温槽の壁面に摺動し、摩耗の
発生を極力少なくすることができる。
動中に恒温槽の壁面に圧接された状態で移動しなくて
も、閉位置に到達した状態でテーパ面が係合子と係合
し、この係合によって恒温槽の壁面にシャッタ板を圧接
させることができる。従ってシャッタ板は閉位置に近ず
いたわずかな距離だけ、恒温槽の壁面に摺動し、摩耗の
発生を極力少なくすることができる。
【００１４】また、特に請求項２で提案する構成によれ
ばシャッタ板は偏倚手段によって恒温槽の壁面から離れ
る方向に偏倚されるから、移動中はシャッタ板が恒温槽
の壁面に触れることはない。従ってシャッタ板が恒温槽
の壁面との間に摩耗が発生する率を更に少なくすること
ができる。この結果、長期にわたってシャッタ板と恒温
槽の壁面との間にすき間が発生することを抑えることが
でき、耐久性及び信頼性の高い恒温槽を提供することが
できる。
ばシャッタ板は偏倚手段によって恒温槽の壁面から離れ
る方向に偏倚されるから、移動中はシャッタ板が恒温槽
の壁面に触れることはない。従ってシャッタ板が恒温槽
の壁面との間に摩耗が発生する率を更に少なくすること
ができる。この結果、長期にわたってシャッタ板と恒温
槽の壁面との間にすき間が発生することを抑えることが
でき、耐久性及び信頼性の高い恒温槽を提供することが
できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１乃至図４にこの発明の一実施
例を示す。図１乃至図４において図７及び図８と対応す
る部分には同一符号を付して示す。この実施例では図１
に示すように、シャッタ板１１２の両側に例えば金属製
のカムブロック１１５を取付け、このカムブロック１１
５にテーパ面ＡとＢを形成した場合を示す。つまり、シ
ャッタ板１１２は主に断熱性を持つ樹脂材で形成され
る。このシャッタ板１１２の両端に剛性を持つ金属製の
カムブロック１１５を取付ける。
例を示す。図１乃至図４において図７及び図８と対応す
る部分には同一符号を付して示す。この実施例では図１
に示すように、シャッタ板１１２の両側に例えば金属製
のカムブロック１１５を取付け、このカムブロック１１
５にテーパ面ＡとＢを形成した場合を示す。つまり、シ
ャッタ板１１２は主に断熱性を持つ樹脂材で形成され
る。このシャッタ板１１２の両端に剛性を持つ金属製の
カムブロック１１５を取付ける。
【００１６】カムブロック１１５にはシャッタ板１１２
が閉位置に移動する際に先頭となる方向に漸次薄くなる
方向のテーパ面ＡとＢを形成する。テーパ面Ａは先端部
に形成され、テーパ面Ｂはシャッタ板１１２の幅方向の
中間部分に形成される。図の実施例ではテーパ面をＡと
Ｂの２個所に形成した場合を例示したが、ＡかＢの何れ
か一方でもよい。
が閉位置に移動する際に先頭となる方向に漸次薄くなる
方向のテーパ面ＡとＢを形成する。テーパ面Ａは先端部
に形成され、テーパ面Ｂはシャッタ板１１２の幅方向の
中間部分に形成される。図の実施例ではテーパ面をＡと
Ｂの２個所に形成した場合を例示したが、ＡかＢの何れ
か一方でもよい。
【００１７】一方、恒温槽１０１の壁面１０１Ｂにはテ
ーパ面Ａ及びＢと係合する係合子１１６Ａと１１６Ｂを
設ける。図の例では係合子１１６Ａと１１６Ｂをローラ
によって構成した場合を示す。ローラによって構成した
係合子１１６Ａと１１６Ｂを設けたことにより、シャッ
タ板１１２がテストトレー搬入口１０１Ａを塞ぐ位置に
移動すると、係合子１１６Ａと１１６Ｂがテーパ面Ａと
Ｂに係合し、この係合によって図３に示すようにシャッ
タ板１１２を恒温槽１０１の壁面１０１Ｂに圧接させる
ことができる。従ってシャッタ板１１２がテストトレー
搬入口１０１Ａを塞ぐ位置では、シャッタ板１１２は恒
温槽１０１の壁面に圧接され、テストトレー搬入口１０
１Ａを確実に塞ぐことができる。
ーパ面Ａ及びＢと係合する係合子１１６Ａと１１６Ｂを
設ける。図の例では係合子１１６Ａと１１６Ｂをローラ
によって構成した場合を示す。ローラによって構成した
係合子１１６Ａと１１６Ｂを設けたことにより、シャッ
タ板１１２がテストトレー搬入口１０１Ａを塞ぐ位置に
移動すると、係合子１１６Ａと１１６Ｂがテーパ面Ａと
Ｂに係合し、この係合によって図３に示すようにシャッ
タ板１１２を恒温槽１０１の壁面１０１Ｂに圧接させる
ことができる。従ってシャッタ板１１２がテストトレー
搬入口１０１Ａを塞ぐ位置では、シャッタ板１１２は恒
温槽１０１の壁面に圧接され、テストトレー搬入口１０
１Ａを確実に塞ぐことができる。
【００１８】シャッタ板１１２が開放方向に移動する
と、テーパ面ＡとＢから係合子１１６Ａと１１６Ｂの係
合が外れるため、シャッタ板１１２は恒温槽１０１の壁
面１０１Ｂに圧接されることなく移動する。従ってシャ
ッタ板１１２を壁面１０１Ｂとの間に摩擦が発生するこ
となく移動させることができる。この発明では更に、図
４に示すように直線駆動手段１１３とシャッタ板１１２
との間に、シャッタ板１１２を恒温槽１０１の壁面１０
１Ｂと直交する方向に移動できるように支持する支持手
段１１７と、この支持手段１１７によって支持したシャ
ッタ板１１２を恒温槽１０１の壁面１０１Ｂから引き離
す方向に偏倚させる偏倚手段１１８とを設ける。
と、テーパ面ＡとＢから係合子１１６Ａと１１６Ｂの係
合が外れるため、シャッタ板１１２は恒温槽１０１の壁
面１０１Ｂに圧接されることなく移動する。従ってシャ
ッタ板１１２を壁面１０１Ｂとの間に摩擦が発生するこ
となく移動させることができる。この発明では更に、図
４に示すように直線駆動手段１１３とシャッタ板１１２
との間に、シャッタ板１１２を恒温槽１０１の壁面１０
１Ｂと直交する方向に移動できるように支持する支持手
段１１７と、この支持手段１１７によって支持したシャ
ッタ板１１２を恒温槽１０１の壁面１０１Ｂから引き離
す方向に偏倚させる偏倚手段１１８とを設ける。
【００１９】支持手段１１７は図４に示すようにシャッ
タ板１１２の板面にシャフト１１７Ａを植設し、直線駆
動手段１１３の可動ロッドの先端にはＬ字断面を持つＬ
字金具１１３Ａを取付け、このＬ字金具１１３Ａの垂直
に立っている片部材に、シャフト１１７Ａを貫通させ
る。シャフト１１７ＡはＬ字金具１１３Ａに対して摺動
自在に支持され、シャッタ板１１２は恒温槽１０１の壁
面１０１Ｂに対してこの壁面と直交する向に自由に移動
できるように支持される。
タ板１１２の板面にシャフト１１７Ａを植設し、直線駆
動手段１１３の可動ロッドの先端にはＬ字断面を持つＬ
字金具１１３Ａを取付け、このＬ字金具１１３Ａの垂直
に立っている片部材に、シャフト１１７Ａを貫通させ
る。シャフト１１７ＡはＬ字金具１１３Ａに対して摺動
自在に支持され、シャッタ板１１２は恒温槽１０１の壁
面１０１Ｂに対してこの壁面と直交する向に自由に移動
できるように支持される。
【００２０】シャフト１１７Ａの後端にはフランジ１１
７Ｂが形成され、このフランジ１１８ＡとＬ字金具１１
３Ａとの間に偏倚手段１１８を装着する。偏倚手段１１
８としてはこの例ではコイルバネによって構成した場合
を示す。この偏倚手段１１８の偏倚力によってシャッタ
板１１２はＬ字金具１１３Ａの面に圧接される状態に偏
倚される。直線駆動手段１１３がシャッタ板１１２を上
下に移動させる状態ではシャッタ板１１２は偏倚手段１
１８の偏倚力によってＬ字金具１１３Ａの面に圧接され
た状態に維持される。従って移動中はシャッタ板１１２
を恒温槽１０１の壁面１０１Ｂに対してほぼ無接触の状
態で移動させることができる。然し乍ら、シャッタ板１
１２がテストトレー搬入口１０１Ａを塞ぐ位置に到来す
ると、カムブロック１１５に形成したテーパ面ＡとＢに
係合子１１６Ａ，１１６Ｂが係合し、この係合力によっ
てシャッタ板１１２は恒温槽１０１の壁面１０１Ｂに向
って押され、テストトレー搬入口１０１Ａをすき間なく
塞ぐことができる。
７Ｂが形成され、このフランジ１１８ＡとＬ字金具１１
３Ａとの間に偏倚手段１１８を装着する。偏倚手段１１
８としてはこの例ではコイルバネによって構成した場合
を示す。この偏倚手段１１８の偏倚力によってシャッタ
板１１２はＬ字金具１１３Ａの面に圧接される状態に偏
倚される。直線駆動手段１１３がシャッタ板１１２を上
下に移動させる状態ではシャッタ板１１２は偏倚手段１
１８の偏倚力によってＬ字金具１１３Ａの面に圧接され
た状態に維持される。従って移動中はシャッタ板１１２
を恒温槽１０１の壁面１０１Ｂに対してほぼ無接触の状
態で移動させることができる。然し乍ら、シャッタ板１
１２がテストトレー搬入口１０１Ａを塞ぐ位置に到来す
ると、カムブロック１１５に形成したテーパ面ＡとＢに
係合子１１６Ａ，１１６Ｂが係合し、この係合力によっ
てシャッタ板１１２は恒温槽１０１の壁面１０１Ｂに向
って押され、テストトレー搬入口１０１Ａをすき間なく
塞ぐことができる。
【００２１】尚、上述の実施例では係合子１１６，１１
６Ｂをローラとした場合を説明したが、特にローラに限
られるものでなく、滑性を持つ樹脂材から成るブロック
によって構成することもできる。またテーパ面をカムブ
ロック１１５に形成したが、シャッタ板１１２自体にテ
ーパ面を形成してもよい。また、テーパ面の形成位置は
シャッタ板１１２の両端に限らず中央部分に形成しても
よいことは容易に理解できよう。
６Ｂをローラとした場合を説明したが、特にローラに限
られるものでなく、滑性を持つ樹脂材から成るブロック
によって構成することもできる。またテーパ面をカムブ
ロック１１５に形成したが、シャッタ板１１２自体にテ
ーパ面を形成してもよい。また、テーパ面の形成位置は
シャッタ板１１２の両端に限らず中央部分に形成しても
よいことは容易に理解できよう。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
シャッタ板１１２が上下に移動する状態では壁面１０１
Ｂに対してほぼ無接触の状態で移動するから、シャッタ
板１１２及び恒温槽１０１の壁面１０１Ｂが摩擦により
摩耗することを抑制することができる。
シャッタ板１１２が上下に移動する状態では壁面１０１
Ｂに対してほぼ無接触の状態で移動するから、シャッタ
板１１２及び恒温槽１０１の壁面１０１Ｂが摩擦により
摩耗することを抑制することができる。
【００２３】また、シャッタ板１１２が無接触状態で移
動するにもかかわらず、テストトレー搬入口１０１Ａを
塞ぐ位置ではシャッタ板１１２は壁面１０１Ｂに向って
強固に押え付けられるので、テストトレー搬入口１０１
Ａをすき間なく塞ぐことができる。よって冷気が洩れる
ことを阻止することができ、テストトレー搬入口１０１
Ａの周縁に結露が生じることを防止することができる。
動するにもかかわらず、テストトレー搬入口１０１Ａを
塞ぐ位置ではシャッタ板１１２は壁面１０１Ｂに向って
強固に押え付けられるので、テストトレー搬入口１０１
Ａをすき間なく塞ぐことができる。よって冷気が洩れる
ことを阻止することができ、テストトレー搬入口１０１
Ａの周縁に結露が生じることを防止することができる。
【００２４】従ってこの発明によれば耐久性の向上と、
信頼性の高いＩＣ試験用恒温槽を提供することができる
利点が得られる。
信頼性の高いＩＣ試験用恒温槽を提供することができる
利点が得られる。
【図１】この発明によるＩＣ試験用恒温槽の要部を説明
するための正面図。
するための正面図。
【図２】図１を側方から見た側面図。
【図３】図２と同様の側面図。
【図４】この発明に用いたシャッタ板の支持手段と偏倚
手段を説明するための断面図。
手段を説明するための断面図。
【図５】ＩＣ試験用のハンドラの一例を説明するための
略線的な平面図。
略線的な平面図。
【図６】ＩＣ試験用のハンドラの一例を説明するための
斜視図。
斜視図。
【図７】従来の恒温槽の構造を説明するための断面図。
【図８】図７と同様の正面図。
１０１ 恒温槽 １０１Ａ テストトレー搬入口 １０１Ｂ 壁面 ＴＳＴ テストトレー １１１ レール １１２ シャッタ板 １１３ 直線駆動手段 １１５ カムブロック Ａ，Ｂ テーパ面 １１６Ａ，１１６Ｂ 係合子 １１７ 支持手段 １１８ 偏倚手段
Claims (2)
- 【請求項１】 テストトレー搬入口とこのテストトレー
搬入口を開閉するシャッタ板とを具備して構成されるＩ
Ｃ試験用恒温槽において、 上記シャッタ板は上記テストトレー搬入口の開口面に沿
って平行移動できるように支持されると共に、シャッタ
板には閉位置に向って移動する場合の先端部分に恒温槽
の壁面に向って漸次薄くなる方向のテーパ面を形成し、
閉位置において上記テーパ面に係合する係合子を設け、
この係合子と上記テーパ面との係合によって上記シャッ
タ板を上記恒温槽の壁面に圧接させる構造としたことを
特徴とするＩＣ試験用恒温槽。 - 【請求項２】 請求項１記載のＩＣ試験用恒温槽におい
て、上記シャッタ板は直線駆動手段によって上記恒温槽
のＩＣ搬入口の開口面と平行する方向に平行移動され、
上記直線駆動手段との間に上記恒温槽の壁面と直交する
方向に移動を許す支持手段と、上記シャッタ板を上記恒
温槽の壁面から引き離す方向に偏倚力を与える偏倚手段
とを設けた構造としたことを特徴とするＩＣ試験用恒温
槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16929096A JP3622873B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | Ｉｃ試験用恒温槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16929096A JP3622873B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | Ｉｃ試験用恒温槽 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1015403A true JPH1015403A (ja) | 1998-01-20 |
| JP3622873B2 JP3622873B2 (ja) | 2005-02-23 |
Family
ID=15883782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16929096A Expired - Fee Related JP3622873B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | Ｉｃ試験用恒温槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3622873B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105841936A (zh) * | 2016-03-23 | 2016-08-10 | 潍柴动力股份有限公司 | 一种节温器冷热冲击试验系统 |
| CN106771724A (zh) * | 2016-12-01 | 2017-05-31 | 长春中车轨道车辆有限公司 | Crh5a型动车组电加热器试验台 |
-
1996
- 1996-06-28 JP JP16929096A patent/JP3622873B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105841936A (zh) * | 2016-03-23 | 2016-08-10 | 潍柴动力股份有限公司 | 一种节温器冷热冲击试验系统 |
| CN106771724A (zh) * | 2016-12-01 | 2017-05-31 | 长春中车轨道车辆有限公司 | Crh5a型动车组电加热器试验台 |
| CN106771724B (zh) * | 2016-12-01 | 2019-03-15 | 长春中车轨道车辆有限公司 | Crh5a型动车组电加热器试验台 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3622873B2 (ja) | 2005-02-23 |
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