JPH10153511A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPH10153511A JPH10153511A JP32599596A JP32599596A JPH10153511A JP H10153511 A JPH10153511 A JP H10153511A JP 32599596 A JP32599596 A JP 32599596A JP 32599596 A JP32599596 A JP 32599596A JP H10153511 A JPH10153511 A JP H10153511A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- case
- sensor chip
- sensor
- regulating valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 センサチップへの定格圧力以上の圧力印加を
防止した、より信頼性が高い高精度な圧力センサを提供
することにある。 【解決手段】 ケース内に、上ケース１１の一部が圧力
調整弁１６を兼ね、かつ圧力調整弁を設けてセンサチッ
プ１３への定格圧力以上の圧力印加を防止するセンサ圧
力センサを得る。
防止した、より信頼性が高い高精度な圧力センサを提供
することにある。 【解決手段】 ケース内に、上ケース１１の一部が圧力
調整弁１６を兼ね、かつ圧力調整弁を設けてセンサチッ
プ１３への定格圧力以上の圧力印加を防止するセンサ圧
力センサを得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、センサチップをケ
ース内に搭載した圧力センサに関する。
ース内に搭載した圧力センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】図２に、従来の圧力センサの概略断面図
を示す。
を示す。
【０００３】図２に示すように、従来の圧力センサ２０
は、下ケース２２の底面にセンサチップ１３を接着した
後、下ケース２２と上ケース２１とを、超音波溶着等に
より、一体化して形成される。
は、下ケース２２の底面にセンサチップ１３を接着した
後、下ケース２２と上ケース２１とを、超音波溶着等に
より、一体化して形成される。
【０００４】このような圧力センサ２０では、上ケース
２１の被測定圧力導入孔２３より導入される圧力を、基
準圧力導入孔２４より導入されている、大気圧等の基準
圧力からの圧力の差圧をセンシングしている。
２１の被測定圧力導入孔２３より導入される圧力を、基
準圧力導入孔２４より導入されている、大気圧等の基準
圧力からの圧力の差圧をセンシングしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
圧力センサ２０では、基準圧力導入孔２４に、定格圧力
以上の圧力が加圧されると、その圧力によりセンサチッ
プ１３を破壊したり、損傷したりして、センサチップ１
３のリニアリティ等の特性の劣化を起こす欠点を有して
いた。
圧力センサ２０では、基準圧力導入孔２４に、定格圧力
以上の圧力が加圧されると、その圧力によりセンサチッ
プ１３を破壊したり、損傷したりして、センサチップ１
３のリニアリティ等の特性の劣化を起こす欠点を有して
いた。
【０００６】従って、本発明の目的は、センサチップへ
の定格圧力以上の圧力印加を防止した、より信頼性が高
い高精度な圧力センサを提供することにある。
の定格圧力以上の圧力印加を防止した、より信頼性が高
い高精度な圧力センサを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、ケース内に、
ケースの一部が圧力調整弁を兼ね、上ケースに圧力調整
弁を設けてセンサチップへの定格圧力以上の圧力印加を
防止することにより、信頼性が高く高精度なセンサ圧力
センサを得ることができる。
ケースの一部が圧力調整弁を兼ね、上ケースに圧力調整
弁を設けてセンサチップへの定格圧力以上の圧力印加を
防止することにより、信頼性が高く高精度なセンサ圧力
センサを得ることができる。
【０００８】本発明は、ケース内に、センサチップを収
納してなる圧力センサにおいて、ケース内に圧力調整弁
を設けていることを特徴とする圧力センサであり、ケー
スは、上ケースと下ケースとで形成されており、ケース
の一部が調整弁を兼ねていることを特徴とする圧力セン
サである。
納してなる圧力センサにおいて、ケース内に圧力調整弁
を設けていることを特徴とする圧力センサであり、ケー
スは、上ケースと下ケースとで形成されており、ケース
の一部が調整弁を兼ねていることを特徴とする圧力セン
サである。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の圧力センサにつ
いて図面に基づき説明する。
いて図面に基づき説明する。
【００１０】図１は、本発明の圧力センサの概略断面図
である。図１において、圧力センサ１０は下ケース１２
の底部にセンサチップ１３をシリコン接着剤により接着
した後、下ケース１２と上ケース１１とを超音波溶着等
により一体化して形成される。
である。図１において、圧力センサ１０は下ケース１２
の底部にセンサチップ１３をシリコン接着剤により接着
した後、下ケース１２と上ケース１１とを超音波溶着等
により一体化して形成される。
【００１１】上ケース１１の上部の被測定圧力導入孔１
４は、被測定圧力導入孔１４とセンサチップ１３の直上
に同軸方向に位置しないように配置され、さらに一度曲
がってからケース内に案内されている。
４は、被測定圧力導入孔１４とセンサチップ１３の直上
に同軸方向に位置しないように配置され、さらに一度曲
がってからケース内に案内されている。
【００１２】基準圧力は、センサチップ１３下部の基準
圧力導入孔１５より導入されている。
圧力導入孔１５より導入されている。
【００１３】上ケース１１の上部には定格圧力以上の圧
力が印加されると、その圧力により圧力調整弁１６が圧
力調整弁の弾性により上部へ持ち上がり定格圧力以上の
圧力を開放し、定格圧力以下になると圧力調整弁が再び
閉じる。このため、定格圧力以上の圧力にならないので
センサチップの破壊及び損傷を防止できる。
力が印加されると、その圧力により圧力調整弁１６が圧
力調整弁の弾性により上部へ持ち上がり定格圧力以上の
圧力を開放し、定格圧力以下になると圧力調整弁が再び
閉じる。このため、定格圧力以上の圧力にならないので
センサチップの破壊及び損傷を防止できる。
【００１４】圧力調整弁１６は、上ケース１１と一体と
して形成されている。
して形成されている。
【００１５】この圧力センサにより、ケース内に、ケー
スの一部は、圧力調整弁を兼ね、かつ上ケースに圧力調
整弁１６を設けているのでセンサチップの破壊及び損傷
がなくなる。従って、本発明の圧力センサは、信頼性が
高く高精度にセンシングすることができる。
スの一部は、圧力調整弁を兼ね、かつ上ケースに圧力調
整弁１６を設けているのでセンサチップの破壊及び損傷
がなくなる。従って、本発明の圧力センサは、信頼性が
高く高精度にセンシングすることができる。
【００１６】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、ケース内に、ケースの一部が圧力調整弁を兼ね、上
ケースに圧力調整弁を設けることにより、定格圧力以上
の圧力にならず、センサチップを破壊したり破損したり
しないので、信頼性が高く高精度な圧力センサを提供す
ることができる。
ば、ケース内に、ケースの一部が圧力調整弁を兼ね、上
ケースに圧力調整弁を設けることにより、定格圧力以上
の圧力にならず、センサチップを破壊したり破損したり
しないので、信頼性が高く高精度な圧力センサを提供す
ることができる。
【図１】本発明の圧力センサの概略断面図。
【図２】従来の圧力センサの概略断面図。
１０ 圧力センサ １１ 上ケース １２ 下ケース １３ センサチップ １４ 被圧力導入孔 １５ 基準圧力導入孔 １６ 圧力調整弁 ２０ 圧力センサ ２１ 上ケース ２２ 下ケース ２３ 被圧力導入孔 ２４ 基準圧力導入孔
Claims (2)
- 【請求項１】 ケース内に、センサチップを収納してな
る圧力センサにおいて、ケース内に圧力調整弁を設けて
いることを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項２】 ケース内にセンサチップを収納してなる
圧力センサにおいて、前記ケースは、上ケースと下ケー
スとで構成されており、ケースの一部が圧力調整弁を兼
ねていることを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32599596A JPH10153511A (ja) | 1996-11-20 | 1996-11-20 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32599596A JPH10153511A (ja) | 1996-11-20 | 1996-11-20 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10153511A true JPH10153511A (ja) | 1998-06-09 |
Family
ID=18182933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32599596A Pending JPH10153511A (ja) | 1996-11-20 | 1996-11-20 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10153511A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016502108A (ja) * | 2012-12-27 | 2016-01-21 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングＲｏｂｅｒｔ Ｂｏｓｃｈ Ｇｍｂｈ | 圧力センサ装置並びに圧力センサ装置を組み立てる方法 |
| JP2016505844A (ja) * | 2012-12-27 | 2016-02-25 | ローベルト ボッシュ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 検出装置、および検出装置を製造する方法 |
| KR20220157742A (ko) * | 2021-05-21 | 2022-11-29 | 한국기계연구원 | 촉각 센서 및 신발 |
-
1996
- 1996-11-20 JP JP32599596A patent/JPH10153511A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016502108A (ja) * | 2012-12-27 | 2016-01-21 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングＲｏｂｅｒｔ Ｂｏｓｃｈ Ｇｍｂｈ | 圧力センサ装置並びに圧力センサ装置を組み立てる方法 |
| JP2016505844A (ja) * | 2012-12-27 | 2016-02-25 | ローベルト ボッシュ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 検出装置、および検出装置を製造する方法 |
| JP2017106928A (ja) * | 2012-12-27 | 2017-06-15 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングＲｏｂｅｒｔ Ｂｏｓｃｈ Ｇｍｂｈ | 圧力センサ装置並びに圧力センサ装置を組み立てる方法 |
| US9714851B2 (en) | 2012-12-27 | 2017-07-25 | Robert Bosch Gmbh | Detection device and method for producing a detection device |
| KR20220157742A (ko) * | 2021-05-21 | 2022-11-29 | 한국기계연구원 | 촉각 센서 및 신발 |
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