JP3690056B2 - 半導体圧力センサのセンサチップの製造方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイヤフラム部及び厚肉部を一体に有するセンサチップをケース内に備えてなる半導体圧力センサのセンサチップを製造するための半導体圧力センサのセンサチップの製造方法に関する。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】
従来より、半導体圧力センサにおいては、ダイヤフラム部の周囲に厚肉部を一体に有するセンサチップを、支持台座に接着により取付け、この支持台座をケースに接着する構成が一般的であった。これに対し、近年では、図7に示すように、センサチップ1をケース2に直接的に取付けることにより、従来必要であった支持台座を省略して部品数の削減を図ることが考えられている。
【0003】
この場合、ケース2のチップ装着部2aの中央部には、圧力導入口3が設けられており、そのチップ装着部2aの上面の取付位置に予め接着剤4が塗布されるようになっている。そして、センサチップ1は、ダイヤフラム部5の下面と厚肉部6の傾斜状の内壁面と囲まれる空胴部1aが前記圧力導入口3に位置合わせされた状態で、厚肉部6が前記チップ装着部2a上に載置されて前記接着剤4により取付けられるようになっている。
【0004】
しかしながら、このような構成では、厚肉部6の下端の平坦面が押付けられることに伴い、はみ出した接着剤4が厚肉部6の内壁面を伝って這い上がるようになることがあり、ひどい場合には、図示のように、接着剤4がダイヤフラム部5の下面にまで付着してしまうことがある。このように、ダイヤフラム部5の下面にまで接着剤4が付着するようなことがあると、圧力検知の感度が低下したり、接着剤4の熱膨脹等の影響により、センサの温度特性が悪化したりする不具合を招く。
【0005】
そこで、このような接着剤4の這い上がりを防止する対策として、特開平8−201198号公報では、ケース2のチップ装着部2aのうち、厚肉部6の内側(空胴部1a)に対応する部位に、圧力導入口3に向けて下降する傾斜面、あるいは段差を設けることが提案されている。
【0006】
ところが、この構成を実現するためには、ケース2に対して微細な機械加工(切削)を行う必要が生ずるが、センサチップ1のサイズが1〜2mmと小形化すると、そのような機械加工は極めて困難となり、ケース2の製造コストが著しく増大することになる。また、厚肉部6が傾斜面にかからないように、センサチップ1の位置合せをより高精度に行わなければならなくなる不具合も生ずる。なぜならば、厚肉部6が傾斜面上に存在すると、厚肉部6とケース2との接触面積が小さくなり、空胴部1aの気密性が低下してしまうからである。
【0007】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、センサチップをケースに直接的に取付けるものにあって、センサチップに対する接着剤の這い上がりによる悪影響を未然に防止することができ、しかもそのための工程を簡単に済ませることができる半導体圧力センサのセンサチップの製造方法を提供するにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1の半導体圧力センサのセンサチップの製造方法は、薄肉なダイヤフラム部の周囲に厚肉部を一体に有するセンサチップを、前記厚肉部の下面部にてケースに接着により取付ける構成の半導体圧力センサにおける、その厚肉部の内壁面部に、該厚肉部の内壁面を伝って這い上ってくる接着剤を留めてダイヤフラム部下面に至ることを阻止するための凹部を設けたセンサチップを製造するための方法にあって、厚肉部の表面側に圧力検知回路を形成する回路形成工程と、厚肉部の裏面側の上記凹部に対応した位置にエッチングにより切込み溝を形成する切込み溝形成工程と、厚肉部の裏面側の上記空胴部に対応した部位を前記切込み溝の先端を残してエッチングにより除去してダイヤフラム部及び凹部を形成するエッチング工程とを含むところに特徴を有するものである。
【0009】
これによれば、センサチップをケースに取付けるための接着剤が、厚肉部の内壁面を伝って這い上がることがあっても、その内壁面部に設けられた凹部によって、その接着剤がダイヤフラム部下面に至ることが阻止される。このとき、IC製造技術を応用したセンサチップの製造過程において、接着剤阻止部となる凹部を、エッチングにより形成することができ、ケースに対して機械加工を行う場合と比較して微細な加工が可能となると共に、空胴部の形成工程に僅かな工程を付加するだけで容易に形成することができるようになる。
【0010】
従って、本発明の請求項1の半導体圧力センサのセンサチップの製造方法によれば、センサチップに対する接着剤の這い上がりによる悪影響を未然に防止することができ、しかもそのための工程を簡単に済ませることができるという優れた実用的効果を奏するものである。また、センサチップをケースに直接的に取付けるので、支持台座を不要として部品数の削減を図ることができることは勿論である。
【0013】
また、本発明の請求項2の半導体圧力センサのセンサチップの製造方法は、薄肉なダイヤフラム部の周囲に厚肉部を一体に有するセンサチップを、前記厚肉部の下面部にてケースに接着により取付ける構成の半導体圧力センサにおける、その厚肉部の内壁面部に、該厚肉部の内壁面を伝って這い上ってくる接着剤をせき止めてダイヤフラム部下面に至ることを阻止するための凸部を設けたセンサチップを製造するための方法にあって、厚肉部の表面側に圧力検知回路を形成する回路形成工程と、厚肉部の裏面側の上記空胴部に対応した部位を上記凸部の高さ相当分の厚みを残してエッチングにより除去する第1のエッチング工程と、厚肉部の裏面側の空胴部に対応した部位の残り厚み分を、凸部を除いてエッチングにより除去してダイヤフラム部及び凸部を形成する第2のエッチング工程とを含むところに特徴を有する。
【0014】
これによれば、センサチップをケースに取付けるための接着剤が、厚肉部の内壁面を伝って這い上がることがあっても、その内壁面部に設けられた凸部によって、その接着剤がダイヤフラム部下面に至ることが阻止される。このとき、IC製造技術を応用したセンサチップの製造過程において、接着剤阻止部となる凸部を、エッチングにより形成することができ、ケースに対して機械加工を行う場合と比較して微細な加工が可能となると共に、空胴部の形成工程に僅かな工程を付加するだけで容易に形成することができるようになる。
従って、本発明の請求項2の半導体圧力センサのセンサチップの製造方法によっても、同様に、センサチップに対する接着剤の這い上がりによる悪影響を未然に防止することができ、しかもそのための工程を簡単に済ませることができるという優れた効果を奏するものである。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について述べる。
(1)第1の実施例
まず、本発明の第1の実施例(請求項1に対応)について、図1ないし図3を参照しながら説明する。図1は、本実施例に係る半導体圧力センサ11の要部構成を示し、この半導体圧力センサ11は、ケース12内にセンサチップ13を備えて構成される。
【0016】
前記ケース12には、センサチップ13が載置状に取付けられるチップ装着部12aが設けられ、そのチップ装着部12aの中央部にて開口する圧力導入口14が形成されている。また、ケース12の下面には、前記圧力導入口14に連通し下方に管状に突出する突出口部15が一体に設けられている。尚、前記チップ装着部12aの上面は全体として平坦状をなし、特別な切削加工などを行うことなく形成されるようになっている。
【0017】
一方、前記センサチップ13は、図2にも示すように、半導体材料(単結晶シリコン)から全体として矩形状に形成され、中央部の矩形状領域に位置する薄肉なダイヤフラム部16と、その周囲に設けられる下方に厚肉となる厚肉部17とを一体に有している。この場合、図1に示すように、前記厚肉部17の内壁面は下方に行くほど拡開する傾斜状とされ、前記ダイヤフラム部16の下面と厚肉部17の内壁面とから囲まれる空間部が、検出圧力が導入される空胴部13aとされる。
【0018】
また、図2,図3にも示すように、前記ダイヤフラム部16の上面部には、4か所に位置して感圧素子となるピエゾ抵抗体18が形成されていると共に、センサチップ13上には、酸化膜19を介して、それらピエゾ抵抗体18をブリッジ接続する配線20が形成され、更に、前記ダイヤフラム部16から外れた位置に外部接続用の4個のコンタクト21が形成されている。これにて、ダイヤフラム部16に作用する圧力に応じた歪みを検知して電気信号として出力する圧力検知回路が構成されるのである。
【0019】
そして、図1に示すように、このセンサチップ13は、前記厚肉部17が前記ケース12のチップ装着部12a上に載置された状態で、例えばエポキシ系,シリコーン系,Agペースト等の接着剤22により直接的に取付けられるようになっている。このとき、センサチップ13の厚肉部17の内壁面部には、該厚肉部17の内壁面を伝って這い上ってくる接着剤22が前記ダイヤフラム部16下面に至ることを阻止するための接着剤阻止部としての凹部23が設けられている。このセンサチップ13の製造方法(凹部23の形成方法)については後述する。尚、センサチップ13の装着状態で、前記各コンタクト21は、ボンディングワイヤ24によってケース12側に設けられた図示しない端子部と接続されるようになっている。
【0020】
ここで、前記センサチップ13の製造方法について、図3も参照しながら述べる。図3は、センサチップ13の製造工程を順に示している。まず、例えばN型で面方位が(110)又は(100)のシリコン基板(シリコンウエハ)25の表面側に対する加工工程(回路形成工程)が行われる。この回路形成工程では、始めに、図3(a)に示すように、シリコン基板25の表面を酸化して、膜厚が0.5〜1.0μmの酸化膜19が形成される。
【0021】
続いて、図3(b)に示すように、シリコン基板25の表面部の所定位置に、例えばボロンのイオン注入及び熱処理、あるいはボロンの拡散により、ピエゾ抵抗体18が形成される。そして、図3(c)に示すように、酸化膜19上に蒸着したアルミニウム膜をパターニングすることにより、配線20及びコンタクト21が形成される。これにて、シリコン基板25の表面部に、圧力検知回路が形成されるのである。
【0022】
次に、シリコン基板25の裏面側の加工に進むのであるが、ここでは、まず、シリコン基板25の裏面側を研磨して所定厚み(例えば200〜400μm)とした後、図3(d)に示すように、前記凹部23に対応した位置にくさび状の切込み溝26を形成する切込み溝形成工程が行われる。この切込み溝形成工程は、例えば、シリコン基板25の裏面に絶縁膜(SiN膜,SiO2 膜)を堆積させ、次に、凹部23形成部を開口させたパターニングを行い、この後、CF4 ガスにより深さ20〜100μmのドライエッチングを行うことによりなされる。
【0023】
最後に、図3(e)に示すように、前記空胴部13aに対応した部位を除去してダイヤフラム部16を形成するエッチング工程が行われる。このエッチング工程は、例えば、ダイヤフラム部16に対応したパターニングを行った後、KOH液やTMAH液などのエッチング液を用いて所定厚さ寸法までウエットエッチングを行うことによりなされる。これにて、ダイヤフラム部16(及び厚肉部17)が形成されると共に、厚肉部17の内壁面部に切込み溝26の先端が残ってこれが凹部23となり、もって凹部23を有したセンサチップ13が形成されるのである。
【0024】
さて、以上の工程により製造されたセンサチップ13は、上述したように、ケース12のチップ装着部12aに予め接着剤22が塗布された状態で、厚肉部17が前記チップ装着部12a上に載置されてその接着剤22により接着固定されるようになっている。しかして、このとき、厚肉部17の下端の平坦面がチップ装着部12a上に押付けられることに伴い、接着剤22の一部がはみ出される状態となり、その接着剤22が厚肉部17の内壁面を伝って這い上がってくるようになることがある。
【0025】
ところが、前記センサチップ13の厚肉部17の内壁面部には、凹部23が形成されているので、接着剤22が厚肉部17の内壁面を伝って這い上がることがあっても、その接着剤22が凹部23に溜められるようになり、それ以上上方に至ることがなくなる。つまり、その接着剤22の這い上がりは、ダイヤフラム部16の下面に至る前で阻止されることになるのである。
【0026】
このように本実施例の半導体圧力センサ11によれば、センサチップ13の厚肉部17の内壁面部に接着剤阻止部としての凹部23を設けたので、従来のようなはみ出した接着剤4がダイヤフラム部5の下面にまで付着してしまう虞のあるものと異なり、接着剤22がダイヤフラム部16の下面に付着してしまうことを未然に防止することができる。この結果、センサチップ13に対する接着剤22の這い上がりに起因する、圧力検知の感度の低下や温度特性が悪化等の悪影響を未然に防止することができるものである。
【0027】
しかも、上記凹部23は、センサチップ13側に設けられ、センサチップ13の製造過程において容易に形成することが可能となるので、ケース12に対して微細な機械加工を行う場合と比較して、接着剤22の這い上がりを阻止するための構成を簡単に済ませることができるものである。ケース12は図7に示した従来のケース2をそのまま使用でき、ケース12の製造コストの増加を招くことはない。なお、センサチップ13をケース12に直接的に取付けるので、支持台座を不要として部品数の削減を図ることができることは勿論である。
【0028】
そして、本実施例のセンサチップ13の製造方法によれば、IC製造技術を応用したセンサチップ13の製造過程において、接着剤阻止部となる凹部23を、エッチングにより形成することができ、全体が小形(1〜2mm)のセンサチップ13であっても、凹部23の微細な加工が可能となると共に、空胴部13aの形成工程(エッチング工程)に僅かな工程(切込み溝形成工程)を付加するだけで容易に形成することができるものである。
【0029】
(2)第2の実施例
次に、本発明の第2の実施例(請求項2に対応)について、図4ないし図6を参照して述べる。尚、この実施例においては、半導体圧力センサの基本的な構成などは、上記第1の実施例と共通するので、同一部分については同一符号を付して詳しい説明を省略することとする。
【0030】
本実施例に係る半導体圧力センサ31は、図4に示すように、チップ装着部12aや圧力導入口14、突出口部15を有するケース12内に、センサチップ32を備えて構成される。前記センサチップ32は、後述するように製造され、薄肉なダイヤフラム部16と、その周囲に設けられる下方に厚肉となる厚肉部33とを一体に有し、それらダイヤフラム部16の下面と厚肉部33の内壁面とから囲まれる空間部が、検出圧力が導入される空胴部32aとされている。また、図5に示すように、このセンサチップ32の上面部には、ピエゾ抵抗体18、配線20、コンタクト21からなる圧力検知回路が設けられている。
【0031】
そして、このセンサチップ32は、やはり前記厚肉部33がケース12のチップ装着部12a上に載置された状態で、接着剤22により直接的に取付けられるようになっている。このとき、本実施例では、センサチップ32の厚肉部33の内壁面部には、該厚肉部33の内壁面を伝って這い上ってくる接着剤22がダイヤフラム部16下面に至ることを阻止するための接着剤阻止部としての凸部34が設けられている。
【0032】
図6は、前記センサチップ32の製造工程を順に示している。まず、図6(a)〜(c)に示すように、シリコン基板25の表面側に圧力検知回路を形成する回路形成工程が行われる。この工程については、上記第1の実施例と同様であるので、説明を省略する。
【0033】
次に、シリコン基板25の裏面側を研磨して所定厚みとした後、2段階のエッチングの工程が実行される。まず、第1のエッチング工程は、例えば、シリコン基板25の裏面に絶縁膜(SiN膜,SiO2 膜)を堆積させ、次に、ダイヤフラム部16に対応したパターニングを行った後、KOH液やTMAH液などのエッチング液を用いて所定の厚さ寸法までウエットエッチングを行うことによりなされる。ここでは、図6(d)に示すように、空胴部32aに対応した部位を前記凸部34の高さ相当分の厚みを残して除去するようになっており、つまり、最終形状(図に二点鎖線で示す)よりも凸部34の高さ分だけ厚いところまでで、エッチングが停止されるのである。
【0034】
そして、最後に第2のエッチング工程が実行される。この第2のエッチング工程は、前記凸部34に対応する部分を塞いだパターニングを行った後、例えばHF系のエッチング液にて所定厚みのウエットエッチングを行うことによりなされる。これにて、所定厚みのダイヤフラム部16(及び厚肉部33)が形成されると共に、厚肉部33の内壁面部に凸部34が残った状態となり、もって凸部34を有したセンサチップ32が形成されるのである。
【0035】
かかる構成によれば、センサチップ13の厚肉部33の内壁面部には、接着剤阻止部としての凸部34が形成されているので、接着剤22が厚肉部33の内壁面を伝って這い上がることがあっても、その接着剤22が凸部34によりせき止められるようになり、やはり接着剤22がダイヤフラム部16の下面に至ることがなくなるのである。
【0036】
従って、本実施例の半導体圧力センサ31によれば、上記第1の実施例と同様に、接着剤22がダイヤフラム部16の下面に付着してしまうことを未然に防止することができ、センサチップ32に対する接着剤22の這い上がりに起因する、圧力検知感度の低下や温度特性の悪化等の悪影響を未然に防止することができ、そのための構成を簡単に済ませることができるものである。また、本実施例のセンサチップ32の製造方法によれば、やはり、微細な凸部34を容易に形成することができるものである。
【0037】
尚、本発明は上記した各実施例に限定されるものではなく、例えば接着剤阻止部の構成としては凹部や凸部を二重に設ける等の変形が考えられ、また、センサチップの形状についても種々の変形が可能である。センサチップの製造方法についても、エッチングの方法や使用するエッチング液の材質等は具体例に過ぎず、様々な変更が可能である。その他、圧力検知回路からの信号を処理する信号処理回路(集積回路)をシリコン基板に一体に形成した集積化圧力センサにも適用できる等、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示すもので、半導体圧力センサの要部の縦断正面図
【図2】センサチップの平面図
【図3】センサチップの製造工程を示す図
【図4】本発明の第2の実施例を示す図1相当図
【図5】図2相当図
【図6】図3相当図
【図7】従来例を示す要部の縦断正面図
【符号の説明】
図面中、11,31は半導体圧力センサ、12はケース、12aはチップ装着部、13,32はセンサチップ、12a,32aは空胴部、14は圧力導入口、16はダイヤフラム部、17,33は厚肉部、22は接着剤、23は凹部(接着剤阻止部)、25はシリコン基板、26は切込み溝、34は凸部(接着剤阻止部)を示す。
Claims (2)
- 圧力導入口を有するケース内に、薄肉なダイヤフラム部の周囲に厚肉部を一体に有し、前記厚肉部の下面部にて前記ケースに接着により取付けられ、前記ダイヤフラム部の下面と厚肉部の内壁面とにより囲まれる空胴部が前記圧力導入口に連通されるセンサチップを備えてなる半導体圧力センサにおける、前記厚肉部の内壁面部に、該厚肉部の内壁面を伝って這い上ってくる接着剤を留めて前記ダイヤフラム部下面に至ることを阻止するための凹部を備えたセンサチップを製造するための方法であって、
前記厚肉部の表面側に圧力検知回路を形成する回路形成工程と、
前記厚肉部の裏面側の前記凹部に対応した位置にエッチングにより切込み溝を形成する切込み溝形成工程と、
前記厚肉部の裏面側の前記空胴部に対応した部位を前記切込み溝の先端を残してエッチングにより除去して前記ダイヤフラム部及び凹部を形成するエッチング工程とを含むことを特徴とする半導体圧力センサのセンサチップの製造方法。 - 圧力導入口を有するケース内に、薄肉なダイヤフラム部の周囲に厚肉部を一体に有し、前記厚肉部の下面部にて前記ケースに接着により取付けられ、前記ダイヤフラム部の下面と厚肉部の内壁面とにより囲まれる空胴部が前記圧力導入口に連通されるセンサチップを備えてなる半導体圧力センサにおける、前記厚肉部の内壁面部に、該厚肉部の内壁面を伝って這い上ってくる接着剤をせき止めて前記ダイヤフラム部下面に至ることを阻止するための凸部を備えたセンサチップを製造するための方法であって、
前記厚肉部の表面側に圧力検知回路を形成する回路形成工程と、
前記厚肉部の裏面側の前記空胴部に対応した部位を前記凸部の高さ相当分の厚みを残してエッチングにより除去する第1のエッチング工程と、
前記厚肉部の裏面側の前記空胴部に対応した部位の残り厚み分を、前記凸部を除いてエッチングにより除去して前記ダイヤフラム部及び凸部を形成する第2のエッチング工程とを含むことを特徴とする半導体圧力センサのセンサチップの製造方法。
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