JPH10149586A - 記録媒体の製造方法および製造装置 - Google Patents
記録媒体の製造方法および製造装置Info
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- JPH10149586A JPH10149586A JP32349396A JP32349396A JPH10149586A JP H10149586 A JPH10149586 A JP H10149586A JP 32349396 A JP32349396 A JP 32349396A JP 32349396 A JP32349396 A JP 32349396A JP H10149586 A JPH10149586 A JP H10149586A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 記録媒体の欠陥を製造ライン中で的確に把握
し、結果を迅速にフィードバックできるようにする。 【解決手段】 連続的に供給されてくる記録媒体を、複
数台のエラーレート検査装置を用いて検査するに際し、
少なくとも一部の前記検査装置は、他の前記検査装置と
は異なるトラックまたはゾーンから記録媒体の検査を開
始することを特徴とする、記録媒体の製造方法および製
造装置。
し、結果を迅速にフィードバックできるようにする。 【解決手段】 連続的に供給されてくる記録媒体を、複
数台のエラーレート検査装置を用いて検査するに際し、
少なくとも一部の前記検査装置は、他の前記検査装置と
は異なるトラックまたはゾーンから記録媒体の検査を開
始することを特徴とする、記録媒体の製造方法および製
造装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録媒体の製造方
法および製造装置に関し、とくに、大量に流れてくる記
録媒体の各種欠陥を、複数台のエラーレート検査装置を
有する検査工程において的確に検出し、その結果を迅速
にフィードバックできるようにした方法および装置に関
する。
法および製造装置に関し、とくに、大量に流れてくる記
録媒体の各種欠陥を、複数台のエラーレート検査装置を
有する検査工程において的確に検出し、その結果を迅速
にフィードバックできるようにした方法および装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】記録媒体、たとえば光記録媒体の製造工
程で発生する各種欠陥、たとえば製造上ある特定の位置
に発生することの多い、光記録媒体の基板製造時に生じ
るスタンパ欠陥、自動機等で生じるハンドリング欠陥等
は、後の工程である、ビットエラーレートやバイトエラ
ーレートなどのエラーレートを検査する工程で実質的に
検出可能である。
程で発生する各種欠陥、たとえば製造上ある特定の位置
に発生することの多い、光記録媒体の基板製造時に生じ
るスタンパ欠陥、自動機等で生じるハンドリング欠陥等
は、後の工程である、ビットエラーレートやバイトエラ
ーレートなどのエラーレートを検査する工程で実質的に
検出可能である。
【０００３】このエラーレート検査工程においては、大
量に供給されてくる光記録媒体に対応するため、複数台
の検査装置を並設してあるが、各光記録媒体の全記録領
域に対して検査すると膨大な時間がかかるので、製造タ
クトをアップするため数十トラックおきに間引いて検査
するようにしている。このとき、検査の開始・終了トラ
ックは、各検査装置とも同一条件に設定されている。
量に供給されてくる光記録媒体に対応するため、複数台
の検査装置を並設してあるが、各光記録媒体の全記録領
域に対して検査すると膨大な時間がかかるので、製造タ
クトをアップするため数十トラックおきに間引いて検査
するようにしている。このとき、検査の開始・終了トラ
ックは、各検査装置とも同一条件に設定されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記検
査方法では、検査の間引き度合にもよるが、特定のトラ
ックなどに発生する（つまり、間引かれた領域に発生す
る）バースト欠陥を発見することが困難であった。
査方法では、検査の間引き度合にもよるが、特定のトラ
ックなどに発生する（つまり、間引かれた領域に発生す
る）バースト欠陥を発見することが困難であった。
【０００５】また、このような特定位置の欠陥を判別す
るには、オフライン検査装置で複数枚全面を検査し、共
通欠陥を拾い出すことにより行っていたが、膨大な時間
がかかるとともに、判別した欠陥の工程へのフィードバ
ックがかなり遅れることとなっていた。
るには、オフライン検査装置で複数枚全面を検査し、共
通欠陥を拾い出すことにより行っていたが、膨大な時間
がかかるとともに、判別した欠陥の工程へのフィードバ
ックがかなり遅れることとなっていた。
【０００６】本発明の課題は、上記のような実情に鑑
み、記録媒体の製造上発生するある特定位置の欠陥、た
とえばスタンパ欠陥や自動機によるハンドリング欠陥な
どを、製造ライン中のエラーレート検査装置により、記
録媒体の製造工程中において効率よく的確に把握できる
ようにし、かつ、欠陥の検出結果を所定の工程に迅速に
フィードバックできるようにすることにある。
み、記録媒体の製造上発生するある特定位置の欠陥、た
とえばスタンパ欠陥や自動機によるハンドリング欠陥な
どを、製造ライン中のエラーレート検査装置により、記
録媒体の製造工程中において効率よく的確に把握できる
ようにし、かつ、欠陥の検出結果を所定の工程に迅速に
フィードバックできるようにすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の記録媒体の製造方法は、連続的に供給され
てくる記録媒体を、複数台のエラーレート検査装置を用
いて検査するに際し、少なくとも一部の前記検査装置
は、他の前記検査装置とは異なるトラックまたはゾーン
から記録媒体の検査を開始することを特徴とする方法か
らなる。
に、本発明の記録媒体の製造方法は、連続的に供給され
てくる記録媒体を、複数台のエラーレート検査装置を用
いて検査するに際し、少なくとも一部の前記検査装置
は、他の前記検査装置とは異なるトラックまたはゾーン
から記録媒体の検査を開始することを特徴とする方法か
らなる。
【０００８】各検査装置においては、記録媒体のトラッ
クまたはゾーン単位で検査領域を間引きながら検査する
ことができる。検査領域は、等間隔で間引くことが好ま
しい。
クまたはゾーン単位で検査領域を間引きながら検査する
ことができる。検査領域は、等間隔で間引くことが好ま
しい。
【０００９】また、上記複数台のエラーレート検査装置
を複数の群に分割し、一つの群内においては、各検査装
置による検査の開始トラックまたはゾーンを同じトラッ
クまたはゾーンにするようにしてもよい。
を複数の群に分割し、一つの群内においては、各検査装
置による検査の開始トラックまたはゾーンを同じトラッ
クまたはゾーンにするようにしてもよい。
【００１０】また、本発明に係る記録媒体の製造方法
は、多数の記録媒体の各々の検査領域を検査し、この検
査の結果に基づいて前記記録媒体の製造工程の問題点を
抽出する記録媒体の製造方法であって、前記各々の検査
領域は前記多数の記録媒体の中で複数種類設定され、該
複数種類の検査領域は互いに補完関係にあることを特徴
とする方法からなる。
は、多数の記録媒体の各々の検査領域を検査し、この検
査の結果に基づいて前記記録媒体の製造工程の問題点を
抽出する記録媒体の製造方法であって、前記各々の検査
領域は前記多数の記録媒体の中で複数種類設定され、該
複数種類の検査領域は互いに補完関係にあることを特徴
とする方法からなる。
【００１１】さらに、本発明に係る記録媒体の製造装置
は、連続的に供給されてくる記録媒体のエラーレートを
検査する装置を複数台有し、少なくとも一部の前記検査
装置は、他の前記検査装置とは異なる光記録媒体のトラ
ックまたはゾーンから検査を開始するように設定されて
いることを特徴とするものからなる。
は、連続的に供給されてくる記録媒体のエラーレートを
検査する装置を複数台有し、少なくとも一部の前記検査
装置は、他の前記検査装置とは異なる光記録媒体のトラ
ックまたはゾーンから検査を開始するように設定されて
いることを特徴とするものからなる。
【００１２】この製造装置においても、各検査装置にお
いて、検査の間引き領域を設定しておくことができる。
いて、検査の間引き領域を設定しておくことができる。
【００１３】なお本発明において、エラーレートは、ビ
ットエラーレートとバイトエラーレートの両方を含む概
念であり、いずれのエラーレートで検査を行ってもよ
い。
ットエラーレートとバイトエラーレートの両方を含む概
念であり、いずれのエラーレートで検査を行ってもよ
い。
【００１４】上記のような記録媒体の製造方法および製
造装置においては、複数台配設されているエラーレート
検査装置が、実質的に検査装置毎に検査開始トラックま
たはゾーンが変わるように設定されているので、開始位
置を適切にずらしておくことにより、たとえ検査の間引
き領域があっても、実質的に記録媒体の全記録領域を検
査することが可能になる。その結果、この検査工程に要
する時間を増大させることなく、全記録領域について欠
陥の検出が可能になり、検査洩れを防止して検査の確実
性を高めることができる。
造装置においては、複数台配設されているエラーレート
検査装置が、実質的に検査装置毎に検査開始トラックま
たはゾーンが変わるように設定されているので、開始位
置を適切にずらしておくことにより、たとえ検査の間引
き領域があっても、実質的に記録媒体の全記録領域を検
査することが可能になる。その結果、この検査工程に要
する時間を増大させることなく、全記録領域について欠
陥の検出が可能になり、検査洩れを防止して検査の確実
性を高めることができる。
【００１５】また、オフラインではなく、製造ライン中
の検査工程において上記のような全記録領域に対する的
確な検査が行われるので、欠陥が発見された場合、その
結果を然るべき工程に極めて迅速にフィードバック可能
になる。
の検査工程において上記のような全記録領域に対する的
確な検査が行われるので、欠陥が発見された場合、その
結果を然るべき工程に極めて迅速にフィードバック可能
になる。
【００１６】また、製造ライン中で全記録領域に対する
検査が可能になり、検査の全く行われない間引き領域が
なくなる、あるいはたとえ生じても極めて小さな領域に
抑えることができるので、検査の信頼性が大幅に高めら
れる。
検査が可能になり、検査の全く行われない間引き領域が
なくなる、あるいはたとえ生じても極めて小さな領域に
抑えることができるので、検査の信頼性が大幅に高めら
れる。
【００１７】さらに、エラーレート検査装置を複数の群
に分割し、一つの群内における２台以上の検査装置は同
じ領域を検査するようにすれば、群内における検査装置
毎のエラーレートの平均値や収率などの結果を比較する
ことで、検査装置自身の異常についても検証可能とな
る。
に分割し、一つの群内における２台以上の検査装置は同
じ領域を検査するようにすれば、群内における検査装置
毎のエラーレートの平均値や収率などの結果を比較する
ことで、検査装置自身の異常についても検証可能とな
る。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る記録媒体の
製造方法および製造装置の望ましい実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施
態様に係る光記録媒体の製造装置の概略構成を示してい
る。図１において、１は基板上に所定の成膜が施された
光記録媒体を示しており、光記録媒体１は、製造ライン
中を、連続的に大量に供給されてくる。各光記録媒体１
は、検査工程において、複数台並設されたエラーレート
検査装置Ｍ１、Ｍ２、・・・のいずれかによって、ビッ
トエラーレートあるいはバイトエラーレートが検査され
る。
製造方法および製造装置の望ましい実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施
態様に係る光記録媒体の製造装置の概略構成を示してい
る。図１において、１は基板上に所定の成膜が施された
光記録媒体を示しており、光記録媒体１は、製造ライン
中を、連続的に大量に供給されてくる。各光記録媒体１
は、検査工程において、複数台並設されたエラーレート
検査装置Ｍ１、Ｍ２、・・・のいずれかによって、ビッ
トエラーレートあるいはバイトエラーレートが検査され
る。
【００１９】複数台のエラーレート検査装置では、検査
を開始する光記録媒体１のトラックまたはゾーンが、互
いに異なるトラックまたはゾーンに設定されている。各
検査装置においては、検査領域に、トラックまたはゾー
ン単位で間引き領域が設定されており、ある一つの光記
録媒体１に対しては、全記録領域に対して検査が行われ
るのではなく、検査領域を間引きながら検査される。
を開始する光記録媒体１のトラックまたはゾーンが、互
いに異なるトラックまたはゾーンに設定されている。各
検査装置においては、検査領域に、トラックまたはゾー
ン単位で間引き領域が設定されており、ある一つの光記
録媒体１に対しては、全記録領域に対して検査が行われ
るのではなく、検査領域を間引きながら検査される。
【００２０】この検査領域の間引きは、等間隔で行うこ
とが好ましい。その場合、検査開始トラックまたはゾー
ンが検査装置毎にずれているので、検査終了トラックま
たはゾーンも検査装置毎にずれることになる。
とが好ましい。その場合、検査開始トラックまたはゾー
ンが検査装置毎にずれているので、検査終了トラックま
たはゾーンも検査装置毎にずれることになる。
【００２１】図２は、別の実施態様を示しており、複数
台のエラーレート検査装置が複数の群Ｇ１、Ｇ２、・・
・に分割されている。そして、一つの群内においては、
各検査装置Ｍ１１〜Ｍ１４（あるいはＭ２１〜Ｍ２４）
による検査の開始トラックまたはゾーンは、同じトラッ
クまたはゾーンに設定されている。
台のエラーレート検査装置が複数の群Ｇ１、Ｇ２、・・
・に分割されている。そして、一つの群内においては、
各検査装置Ｍ１１〜Ｍ１４（あるいはＭ２１〜Ｍ２４）
による検査の開始トラックまたはゾーンは、同じトラッ
クまたはゾーンに設定されている。
【００２２】このような装置においては、連続的に供給
されてきた光記録媒体１は、複数台並設されたエラーレ
ート検査装置Ｍ１、Ｍ２・・・のいずれかにより、また
は、複数の群Ｇ１、Ｇ２、・・・のいずれかの群内のい
ずれかのエラーレート検査装置により、エラーレートの
検査が実施される。各光記録媒体１の検査は、検査領域
を間引きながら行うので、従来同様一枚の光記録媒体１
に対しては比較的短時間のうちに終了する。しかし、検
査開始トラックまたはゾーンが、検査装置Ｍ１、Ｍ２・
・・毎に、あるいは群Ｇ１、Ｇ２、・・・毎に異なるト
ラック、ゾーンにずらして設定されているので、その検
査開始位置を適切にずらすことにより、供給されてくる
光記録媒体１全体に対しては、結局全記録領域を検査す
ることが可能になる。また、検査装置の全台数が比較的
少なく、全記録領域をカバーすることが困難な場合にあ
っても、間引きにより検査対象から外れる領域を極めて
小さく抑えることができる。
されてきた光記録媒体１は、複数台並設されたエラーレ
ート検査装置Ｍ１、Ｍ２・・・のいずれかにより、また
は、複数の群Ｇ１、Ｇ２、・・・のいずれかの群内のい
ずれかのエラーレート検査装置により、エラーレートの
検査が実施される。各光記録媒体１の検査は、検査領域
を間引きながら行うので、従来同様一枚の光記録媒体１
に対しては比較的短時間のうちに終了する。しかし、検
査開始トラックまたはゾーンが、検査装置Ｍ１、Ｍ２・
・・毎に、あるいは群Ｇ１、Ｇ２、・・・毎に異なるト
ラック、ゾーンにずらして設定されているので、その検
査開始位置を適切にずらすことにより、供給されてくる
光記録媒体１全体に対しては、結局全記録領域を検査す
ることが可能になる。また、検査装置の全台数が比較的
少なく、全記録領域をカバーすることが困難な場合にあ
っても、間引きにより検査対象から外れる領域を極めて
小さく抑えることができる。
【００２３】その結果、検査工程全体としては、従来と
同等の時間でありながら、光記録媒体１の全記録領域、
あるいは略全記録領域の検査が可能になり、検査の確実
性、信頼性が大幅に高められる。
同等の時間でありながら、光記録媒体１の全記録領域、
あるいは略全記録領域の検査が可能になり、検査の確実
性、信頼性が大幅に高められる。
【００２４】また、オフラインではなく製造ライン中で
上記のような全記録領域あるいは略全記録領域の検査が
可能になるので、欠陥が発見された場合、その結果を前
工程に極めて迅速かつ的確にフィードバックすることが
可能になる。
上記のような全記録領域あるいは略全記録領域の検査が
可能になるので、欠陥が発見された場合、その結果を前
工程に極めて迅速かつ的確にフィードバックすることが
可能になる。
【００２５】さらに、図２に示したようにエラーレート
検査装置を複数の群に分割し、一つの群内における２台
以上の検査装置は同じ検査開始領域から同じ条件で検査
するようにすれば、群内における検査装置毎のエラーレ
ートの平均値や収率などの結果を比較することで、各検
査装置自身の異常についても自己検査可能となる。した
がって、検査の信頼性をさらに高めることができる。
検査装置を複数の群に分割し、一つの群内における２台
以上の検査装置は同じ検査開始領域から同じ条件で検査
するようにすれば、群内における検査装置毎のエラーレ
ートの平均値や収率などの結果を比較することで、各検
査装置自身の異常についても自己検査可能となる。した
がって、検査の信頼性をさらに高めることができる。
【００２６】なお、本発明における記録媒体としては、
とくに限定されないが、相変化型光ディスク、光磁気デ
ィスクなどがある。本発明はとくに高密度記録用ディス
ク、たとえば、光を用いてデータを書き込むものまたは
記録部位各部の光学的性質（光反射率、分光反射率、反
射光の光偏波状態など）の変化または差異に基づいてデ
ータの読取りを行う光磁気記録媒体、相変化型光記録媒
体などの追記型または書換可能型の光記録媒体などが用
いられる。このほかに磁気記録媒体なども適用対象とな
る。
とくに限定されないが、相変化型光ディスク、光磁気デ
ィスクなどがある。本発明はとくに高密度記録用ディス
ク、たとえば、光を用いてデータを書き込むものまたは
記録部位各部の光学的性質（光反射率、分光反射率、反
射光の光偏波状態など）の変化または差異に基づいてデ
ータの読取りを行う光磁気記録媒体、相変化型光記録媒
体などの追記型または書換可能型の光記録媒体などが用
いられる。このほかに磁気記録媒体なども適用対象とな
る。
【００２７】相変化型光記録媒体は、通常透明な基板上
に記録層を設けたものであり、記録層構成に、レーザ光
により結晶とアモルファスとの可逆変化が可能な特定の
金属が用いられている。基板上の層構成としては、たと
えば、透明な基板上に、少なくとも第１保護層／記録層
／第２保護層／反射層を有する層構成とすることができ
る。
に記録層を設けたものであり、記録層構成に、レーザ光
により結晶とアモルファスとの可逆変化が可能な特定の
金属が用いられている。基板上の層構成としては、たと
えば、透明な基板上に、少なくとも第１保護層／記録層
／第２保護層／反射層を有する層構成とすることができ
る。
【００２８】相変化型光記録媒体の記録層には、たとえ
ば、Ｔｅ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｐｄ合金、Ｔｅ−Ｇｅ−Ｓｂ−
Ｐｄ−Ｎｂ合金、Ｎｂ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｐｔ−
Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｎｉ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、
Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｃｏ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、
Ｉｎ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｉｎ−Ｓｅ合金、およびこれら
を主成分とする合金が用いられる。とくにＴｅ−Ｇｅ−
Ｓｂ−Ｐｄ合金、Ｔｅ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｐｄ−Ｎｂ合金
が、記録消去再生を繰り返しても劣化が起こり難く、さ
らに熱安定性が優れているので好ましい。とくに望まし
い記録膜組成としては、たとえば次式で表される範囲に
あることが熱安定性と繰り返し安定性に優れている点か
ら好ましい。 Ｍz （Ｓｂx Ｔｅ(1-x) ）1-y-z （Ｇｅ0.5 Ｔｅ0.5 ）
y ０．３５≦ｘ≦０．５ ０．２０≦ｙ≦０．５ ０ ≦ｚ≦０．０５ ここでＭはパラジウム、ニオブ、白金、銀、金、コバル
トから選ばれる少なくとも一種の金属、Ｓｂはアンチモ
ン、Ｔｅはテルル、Ｇｅはゲルマニウムを表す。また、
ｘ、ｙ、ｚおよび数字は各元素の原子の数（各元素のモ
ル数）を表す。とくにパラジウム、ニオブについては少
なくとも一種を含むことが好ましい。この場合ｚは０．
０００５以上であることが好ましい。これら合金を、基
板上に設けられた第１保護層上に、たとえばスパッタリ
ングで膜付けし、記録層が形成される。
ば、Ｔｅ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｐｄ合金、Ｔｅ−Ｇｅ−Ｓｂ−
Ｐｄ−Ｎｂ合金、Ｎｂ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｐｔ−
Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｎｉ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、
Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｃｏ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、
Ｉｎ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｉｎ−Ｓｅ合金、およびこれら
を主成分とする合金が用いられる。とくにＴｅ−Ｇｅ−
Ｓｂ−Ｐｄ合金、Ｔｅ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｐｄ−Ｎｂ合金
が、記録消去再生を繰り返しても劣化が起こり難く、さ
らに熱安定性が優れているので好ましい。とくに望まし
い記録膜組成としては、たとえば次式で表される範囲に
あることが熱安定性と繰り返し安定性に優れている点か
ら好ましい。 Ｍz （Ｓｂx Ｔｅ(1-x) ）1-y-z （Ｇｅ0.5 Ｔｅ0.5 ）
y ０．３５≦ｘ≦０．５ ０．２０≦ｙ≦０．５ ０ ≦ｚ≦０．０５ ここでＭはパラジウム、ニオブ、白金、銀、金、コバル
トから選ばれる少なくとも一種の金属、Ｓｂはアンチモ
ン、Ｔｅはテルル、Ｇｅはゲルマニウムを表す。また、
ｘ、ｙ、ｚおよび数字は各元素の原子の数（各元素のモ
ル数）を表す。とくにパラジウム、ニオブについては少
なくとも一種を含むことが好ましい。この場合ｚは０．
０００５以上であることが好ましい。これら合金を、基
板上に設けられた第１保護層上に、たとえばスパッタリ
ングで膜付けし、記録層が形成される。
【００２９】第１保護層および第２保護層は、記録層を
機械的に保護するとともに、基板や記録層が記録による
熱によって変形したり記録消去再生特性が劣化したりす
るのを防止したり、記録層に耐湿熱性や耐酸化性を持た
せる役割を果たす。このような保護層としてはＺｎＳ、
ＳｉＯ2 、Ｔａ2 Ｏ5 、ＩＴＯ、ＺｒＣ、ＴｉＣ、Ｍｇ
Ｆ2 などの無機膜やそれらの混合膜が使用できる。とく
にＺｎＳとＳｉＯ2 およびＺｎＳとＭｇＦ2 の混合膜は
耐湿熱性に優れており、さらに記録消去再生時の記録層
の劣化を抑制するので好ましい。
機械的に保護するとともに、基板や記録層が記録による
熱によって変形したり記録消去再生特性が劣化したりす
るのを防止したり、記録層に耐湿熱性や耐酸化性を持た
せる役割を果たす。このような保護層としてはＺｎＳ、
ＳｉＯ2 、Ｔａ2 Ｏ5 、ＩＴＯ、ＺｒＣ、ＴｉＣ、Ｍｇ
Ｆ2 などの無機膜やそれらの混合膜が使用できる。とく
にＺｎＳとＳｉＯ2 およびＺｎＳとＭｇＦ2 の混合膜は
耐湿熱性に優れており、さらに記録消去再生時の記録層
の劣化を抑制するので好ましい。
【００３０】反射層としては、金属または、金属酸化
物、金属窒化物、金属炭化物などと金属との混合物、た
とえばＺｒ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｓｉ、Ａｌ、Ａｕ、Ｐ
ｄ、Ｈｆなどの金属やこれらの合金、これらとＺｒ酸化
物、Ｓｉ酸化物、Ｓｉ窒化物、Ａｌ酸化物などを混合し
たものを使用できる。特にＡｌ、Ａｕ、Ｔａやそれらの
合金やＡｌ、Ｈｆ、Ｐｄの合金などは膜の形成が容易で
あり好ましい。
物、金属窒化物、金属炭化物などと金属との混合物、た
とえばＺｒ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｓｉ、Ａｌ、Ａｕ、Ｐ
ｄ、Ｈｆなどの金属やこれらの合金、これらとＺｒ酸化
物、Ｓｉ酸化物、Ｓｉ窒化物、Ａｌ酸化物などを混合し
たものを使用できる。特にＡｌ、Ａｕ、Ｔａやそれらの
合金やＡｌ、Ｈｆ、Ｐｄの合金などは膜の形成が容易で
あり好ましい。
【００３１】基板上に、第１保護層、記録層、第２保護
層、反射層を形成する方法としては、真空雰囲気中での
薄膜形成方法、たとえばスパッタリング法、真空蒸着
法、イオンプレーティング法などを用いることができ
る。特に組成、膜厚のコントロールが容易なことからス
パッタリング法が好ましい。
層、反射層を形成する方法としては、真空雰囲気中での
薄膜形成方法、たとえばスパッタリング法、真空蒸着
法、イオンプレーティング法などを用いることができ
る。特に組成、膜厚のコントロールが容易なことからス
パッタリング法が好ましい。
【００３２】基板としては、基板側から記録再生を行う
ためにはレーザ光が良好に透過する材料を用いることが
好ましく、たとえばポリメチルメタアクリレート樹脂、
ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂、エポキシ
樹脂などの有機高分子樹脂、それらの混合物、共重合体
物などやガラスなどを用いることができる。中でも、昨
今はポリカーボネート樹脂が主流となっている。
ためにはレーザ光が良好に透過する材料を用いることが
好ましく、たとえばポリメチルメタアクリレート樹脂、
ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂、エポキシ
樹脂などの有機高分子樹脂、それらの混合物、共重合体
物などやガラスなどを用いることができる。中でも、昨
今はポリカーボネート樹脂が主流となっている。
【００３３】基板は、円盤体に成形されるものである。
成形方法は特に限定しないが、たとえば射出成形による
ことができ、金型内に、表面に所定のグルーブやピット
雄型が形成されたスタンパを装着し、スタンパからの転
写により、表面に所望のトラックが形成された基板を形
成できる。
成形方法は特に限定しないが、たとえば射出成形による
ことができ、金型内に、表面に所定のグルーブやピット
雄型が形成されたスタンパを装着し、スタンパからの転
写により、表面に所望のトラックが形成された基板を形
成できる。
【００３４】基板の大きさは、光記録媒体ドライブ装置
からの要求規格に合わせる必要がある。たとえば、直径
９０ｍｍや１２０ｍｍあるいは１３０ｍｍの基板に成形
することなどが規定される。
からの要求規格に合わせる必要がある。たとえば、直径
９０ｍｍや１２０ｍｍあるいは１３０ｍｍの基板に成形
することなどが規定される。
【００３５】このような基板上に、順に、少なくとも第
１保護層／記録層／第２保護層／反射層が積層される。
この反射層の上に、さらに有機樹脂保護層を設けてもよ
い。有機樹脂保護層としては、重合性モノマーおよびオ
リゴマーを主成分とする光硬化性樹脂組成物や、熱硬化
性樹脂組成物を用いることができる。
１保護層／記録層／第２保護層／反射層が積層される。
この反射層の上に、さらに有機樹脂保護層を設けてもよ
い。有機樹脂保護層としては、重合性モノマーおよびオ
リゴマーを主成分とする光硬化性樹脂組成物や、熱硬化
性樹脂組成物を用いることができる。
【００３６】
【実施例】以下に、本発明を実施例に基づいて説明す
る。１００台のビットエラーレート検査装置を有する検
査工程において、４台を１システムとして、２５システ
ムとした。１システム内の４台は同一の検査開始領域と
し、同一の間引き領域を設定して同一の領域を検査する
が、システム毎では、検査の開始トラックを１トラック
ずつずらし、検査ギャップをシステム数分の２５トラッ
クとして記録領域全面を検査するようにした。すなわ
ち、検査器グループＧ１ではトラック１、２６、５１、
７６を検査領域とし、同じＧ２では、２、２７、５２、
７７・・・というように２５種類の検査領域のパターン
を設定し、上記２５種のパターンの検査領域を互いに重
ねる（論理和をとる）と、全体としてはトラック１、
２、３・・・１００のすべてを検査することになる。こ
うした検査領域パターン間の関係を補完関係にあるとい
う。この製造ラインにおいて、ディスク（光記録媒体）
を１００枚検査すると、ディスクの記録領域全トラック
を４回測定したことになり、その結果で特定欠陥が存在
するか否かを製造しながら把握した。この結果は逐次デ
ィスクの欠陥状況にあわせ更新するので、製造ラインで
の欠陥の早期発見が可能となった。また、欠陥が発見さ
れた場合、極めて迅速に然るべき前工程にフィードバッ
クできるので、欠陥発生原因であるトラブルの早期解消
が可能になった。
る。１００台のビットエラーレート検査装置を有する検
査工程において、４台を１システムとして、２５システ
ムとした。１システム内の４台は同一の検査開始領域と
し、同一の間引き領域を設定して同一の領域を検査する
が、システム毎では、検査の開始トラックを１トラック
ずつずらし、検査ギャップをシステム数分の２５トラッ
クとして記録領域全面を検査するようにした。すなわ
ち、検査器グループＧ１ではトラック１、２６、５１、
７６を検査領域とし、同じＧ２では、２、２７、５２、
７７・・・というように２５種類の検査領域のパターン
を設定し、上記２５種のパターンの検査領域を互いに重
ねる（論理和をとる）と、全体としてはトラック１、
２、３・・・１００のすべてを検査することになる。こ
うした検査領域パターン間の関係を補完関係にあるとい
う。この製造ラインにおいて、ディスク（光記録媒体）
を１００枚検査すると、ディスクの記録領域全トラック
を４回測定したことになり、その結果で特定欠陥が存在
するか否かを製造しながら把握した。この結果は逐次デ
ィスクの欠陥状況にあわせ更新するので、製造ラインで
の欠陥の早期発見が可能となった。また、欠陥が発見さ
れた場合、極めて迅速に然るべき前工程にフィードバッ
クできるので、欠陥発生原因であるトラブルの早期解消
が可能になった。
【００３７】上記の例では、記録媒体の検査領域を複数
種類設定したが、重複しても全体として互いに重複しな
いように補完関係にあれば多数の媒体の検査の過程で問
題となる領域を検出することができる。
種類設定したが、重複しても全体として互いに重複しな
いように補完関係にあれば多数の媒体の検査の過程で問
題となる領域を検出することができる。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の光記録媒
体の製造方法および製造装置によれば、製造ラインで製
造しながら特定位置の欠陥を確実に把握できるので、欠
陥が発見された場合、然るべき工程への迅速なフィード
バックが可能となる。その結果、トラブルや異常を早期
に解消して、収率、生産性を高めることができる。
体の製造方法および製造装置によれば、製造ラインで製
造しながら特定位置の欠陥を確実に把握できるので、欠
陥が発見された場合、然るべき工程への迅速なフィード
バックが可能となる。その結果、トラブルや異常を早期
に解消して、収率、生産性を高めることができる。
【００３９】また、２台以上は同じ領域を検査するよう
にすれば、装置毎のエラーレートの平均値、収率などの
結果を比較することでエラーレート検査装置自身の異常
を検証することもでき、検査の信頼性を高めることがで
きる。
にすれば、装置毎のエラーレートの平均値、収率などの
結果を比較することでエラーレート検査装置自身の異常
を検証することもでき、検査の信頼性を高めることがで
きる。
【００４０】さらに、特定位置の欠陥に関する検査間引
きがなくなる、または小さくなるので、極めて信頼性、
確実性の高い検査を行うことができる。
きがなくなる、または小さくなるので、極めて信頼性、
確実性の高い検査を行うことができる。
【図１】本発明の一実施態様に係る光記録媒体の製造装
置の概略構成図である。
置の概略構成図である。
【図２】本発明の別の実施態様に係る光記録媒体の製造
装置の概略構成図である。
装置の概略構成図である。
１ 光記録媒体 Ｍ１、Ｍ２、Ｍ１１〜Ｍ１４、Ｍ２１〜Ｍ２４ エラー
レート検査装置 Ｇ１、Ｇ２ 群
レート検査装置 Ｇ１、Ｇ２ 群
Claims (7)
- 【請求項１】 連続的に供給されてくる記録媒体を、複
数台のエラーレート検査装置を用いて検査するに際し、
少なくとも一部の前記検査装置は、他の前記検査装置と
は異なるトラックまたはゾーンから記録媒体の検査を開
始することを特徴とする、記録媒体の製造方法。 - 【請求項２】 各検査装置において、トラックまたはゾ
ーン単位で検査領域を間引きながら検査する、請求項１
の記録媒体の製造方法。 - 【請求項３】 検査領域を等間隔で間引く、請求項２の
記録媒体の製造方法。 - 【請求項４】 前記複数台のエラーレート検査装置を複
数の群に分割し、一つの群内においては、各検査装置に
よる検査の開始トラックまたはゾーンを同じトラックま
たはゾーンにする、請求項１ないし３のいずれかに記載
の記録媒体の製造方法。 - 【請求項５】 連続的に供給されてくる記録媒体のエラ
ーレートを検査する装置を複数台有し、少なくとも一部
の前記検査装置は、他の前記検査装置とは異なる記録媒
体のトラックまたはゾーンから検査を開始するように設
定されていることを特徴とする、記録媒体の製造装置。 - 【請求項６】 各検査装置において、検査の間引き領域
が設定されている、請求項５の記録媒体の製造装置。 - 【請求項７】 多数の記録媒体の各々の検査領域を検査
し、この検査の結果に基づいて前記記録媒体の製造工程
の問題点を抽出する記録媒体の製造方法であって、前記
各々の検査領域は前記多数の記録媒体の中で複数種類設
定され、該複数種類の検査領域は互いに補完関係にある
ことを特徴とする記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32349396A JPH10149586A (ja) | 1996-11-18 | 1996-11-18 | 記録媒体の製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32349396A JPH10149586A (ja) | 1996-11-18 | 1996-11-18 | 記録媒体の製造方法および製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10149586A true JPH10149586A (ja) | 1998-06-02 |
Family
ID=18155308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32349396A Pending JPH10149586A (ja) | 1996-11-18 | 1996-11-18 | 記録媒体の製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10149586A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003075269A1 (de) * | 2002-03-06 | 2003-09-12 | Ansgar Kaupp | Verfahren und vorrichtung zum prüfen von optischen datenträgern |
| WO2009101796A1 (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-20 | Panasonic Corporation | 光ディスクの検査方法および光ディスク媒体 |
-
1996
- 1996-11-18 JP JP32349396A patent/JPH10149586A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003075269A1 (de) * | 2002-03-06 | 2003-09-12 | Ansgar Kaupp | Verfahren und vorrichtung zum prüfen von optischen datenträgern |
| WO2009101796A1 (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-20 | Panasonic Corporation | 光ディスクの検査方法および光ディスク媒体 |
| US7990820B2 (en) | 2008-02-15 | 2011-08-02 | Panasonic Corporation | Optical disc verification method and optical disc medium |
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