JPH11345437A

JPH11345437A - 光記録媒体の検査方法および検査装置

Info

Publication number: JPH11345437A
Application number: JP15126498A
Authority: JP
Inventors: Takuya Nakasu; 卓也中州
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1998-06-01
Filing date: 1998-06-01
Publication date: 1999-12-14

Abstract

(57)【要約】【課題】検査ドライブの調整時間の短縮と手間の軽減
をはかり、光記録媒体検査工程の稼働率を向上する。【解決手段】特定の記録パワーとパルス幅を有するレ
ーザー光照射により光記録媒体の欠陥を検査するに際
し、記録パワーとパルス幅の組み合わせのパターンデー
タを複数記憶しておき、特性が予め把握されている基準
光記録媒体の特性を、パターンデータを順次変更しなが
ら各パターンデータの記録パワーおよびパルス幅を有す
るレーザー光照射により検査し、該検査の結果に基づい
て前記複数のパターンデータの中から一つのパターンデ
ータを選択し、選択したパターンデータの記録パワーお
よびパルス幅を前記検査用の特定の記録パワーとパルス
幅として自動的に設定することを特徴とする、光記録媒
体の検査方法および検査装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光記録媒体の検査
方法および検査装置に関し、とくに、検査ドライブの調
整時間を短縮できるとともに検査ドライブのレーザーパ
ワーの測定精度を向上できるようにした光記録媒体の検
査方法および検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光記録媒体の検査工程においては、特定
の記録パワーとパルス幅を有するレーザー光照射によ
り、所定の検査データを光記録媒体に記録し、その記録
データを再生した際のバイトエラーレート、ビットエラ
ーレート等のエラーレートを測定して、合否を判定して
いる。その際、レーザー光の記録パワーとパルス幅を、
それぞれ所定値に調整することが必要になる。記録パワ
ーが低すぎると十分な記録が行えないため、本来良好な
光記録媒体であっても、エラーが多発し、不適と誤判定
されてしまうことがある。逆に、記録パワーが高すぎる
と、通常のレーザーパワーのもとでは不良な光記録媒体
であっても良好な値が得られてしまい、合格と誤判定さ
れてしまうことがある。レーザー光のパルス幅について
も同様の調整が必要になる。

【０００３】通常、新規に設置する検査ドライブの設定
パワーは、基準光記録媒体を用いて予めオフラインで調
整する。基準光記録媒体とは、エラーレート等の特性が
予めわかっている光記録媒体で、規格どおりの条件で測
定した場合、基準光記録媒体の特性は特定の基準値を示
すはずである。この基準値の上下に所定の管理範囲を設
けたものを規定値、つまり、許容範囲とする。基準光記
録媒体を測定した特性が許容範囲から外れている場合、
該検査ドライブのレーザー光の記録パワーやパルス幅が
望ましい条件から外れていることを意味する。記録パワ
ーおよびパルス幅を微調整しながら、基準光記録媒体を
測定し、エラーレートが基準光記録媒体のエラーレート
の許容範囲内に入る組み合わせを見つけ、その記録パワ
ーおよびパルス幅に設定して、光記録媒体の検査を開始
するようにしている。

【０００４】また、生産ラインで検査装置の運転を続け
ると、徐々にレーザーパワーが変動してくる。そのため
運転前に必ず、基準光記録媒体により検査ドライブの合
否を判定し、否と判定したドライブは、記録パワーの再
調整を行うようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような検査装置の調整は、非常に手間や時間がかかる。
特に、生産ラインでの運転中の再調整は大きな問題とな
り、検査工程の稼働率を低下させるため、生産性に大き
な影響を及ぼす。

【０００６】そこで本発明の課題は、検査ドライブの調
整時間の短縮と手間の軽減をはかり、光記録媒体検査工
程の稼働率を向上することにあり、ひいては、光記録媒
体製造工程全体の生産性を向上することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の光記録媒体の検査方法は、特定の記録パワ
ーとパルス幅を有するレーザー光照射により光記録媒体
の欠陥を検査するに際し、記録パワーとパルス幅の組み
合わせのパターンデータを複数記憶しておき、特性が予
め把握されている基準光記録媒体の特性を、パターンデ
ータを順次変更しながら各パターンデータの記録パワー
およびパルス幅を有するレーザー光照射により検査し、
該検査の結果に基づいて前記複数のパターンデータの中
から一つのパターンデータを選択し、選択したパターン
データの記録パワーおよびパルス幅を前記検査用の特定
の記録パワーとパルス幅として自動的に設定することを
特徴とする方法からなる。

【０００８】パターンデータの選択、設定は、たとえば
次のように行う。上記レーザー光照射により基準光記録
媒体のエラーレートを測定し、測定したエラーレートが
予め設定した許容範囲に入るパターンデータを前記複数
のパターンデータの中から一つ選択し、その記録パワー
およびパルス幅を自動的に設定する。

【０００９】すなわち、本発明に係る光記録媒体の検査
においては、ライト・リードのためのレーザー光のピー
クバイアスパワー（記録パワー）とパルス幅を予め複数
のパターンデータとしてホストコンピュータ等に記憶し
ておき、自動的にパターンデータを変更しながら、基準
光記録媒体のバイトエラーレート等を測定し、バイトエ
ラーレートの測定値が基準光記録媒体の規定値の範囲
（つまり、管理すべき許容範囲）内に入った場合、その
ときのパターンデータにおけるレーザー光のピークバイ
アスパワーとパルス幅を、検査に用いるレーザー光のピ
ークバイアスパワーとパルス幅として選定し、設定する
のである。

【００１０】基準光記録媒体のバイトエラーレート規定
値は、範囲が大きすぎると検査の精度が低くなるし、範
囲が小さすぎると調整が難しくなりすぎるので、基準光
記録媒体の基準値として決められた値の±１０％程度の
範囲とすることが好ましい。

【００１１】本発明に係る光記録媒体の検査装置は、特
定の記録パワーとパルス幅を有するレーザー光照射によ
り光記録媒体を検査する検査手段と、記録パワーとパル
ス幅の組み合わせのパターンデータを複数記憶する記憶
手段と、該複数のパターンデータにおける各パターンデ
ータの記録パワーおよびパルス幅を前記検査手段に順次
変更設定する設定変更手段と、前記検査手段を用いた、
各パターンデータの記録パワーおよびパルス幅を有する
レーザー光照射による、特性が予め把握されている基準
光記録媒体の特性の検査結果に基づき、前記複数のパタ
ーンデータの中から一つのパターンデータを選択し、選
択したパターンデータの記録パワーおよびパルス幅を前
記検査用の特定の記録パワーとパルス幅として前記検査
手段に設定する制御手段とを有することを特徴とするも
のからなる。

【００１２】検査手段としては、光記録媒体のバイトエ
ラーレートやビットエラーレートを検査する手段に構成
できる。また、記憶手段、設定変更手段および制御手段
は、ホストコンピュータ内に構成することができる。

【００１３】このような本発明に係る光記録媒体の検査
方法および検査装置においては、基準光記録媒体の検査
を介して、複数のパターンデータの中から一つの最適な
パターンデータが自動的に選択され、そのパターンデー
タの記録パワーとパルス幅が、以降の光記録媒体の検査
用の記録パワーとパルス幅として自動的に設定される。
したがって、従来行っていたような記録パワーとパルス
幅の調整が不要となり、正規の検査開始前には、迅速に
かつ自動的に、最適な条件が検査ドライブに設定される
ことになる。その結果、検査ドライブの調整時間が大幅
に短縮され、検査ドライブのレーザーパワーの測定精度
が向上し、検査工程の稼働率が向上する。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の望ましい実施の
形態について図面を参照しながら説明する。図１は、本
発明の一実施態様に係る光記録媒体の検査装置を示して
いる。図において、１は、基準光記録媒体２または検査
対象としての光記録媒体３を回転駆動する回転駆動装置
４と、所定の記録パワーとパルス幅を有するレーザー光
を照射して検査用の所定の記録データを書き込むヘッド
および記録されたデータを再生して検出するヘッドを備
えた書き込み・再生検出ヘッド５と、を有する検査手段
としての検査ドライブを示している。

【００１５】レーザー光照射の記録パワーとパルス幅
は、スレーブコンピュータ６からの指令によって設定さ
れる。また、再生検出ヘッド５からの検査結果の情報
が、スレーブコンピュータ６によって処理され、たとえ
ばバイトエラーレートが算出される。さらに、このスレ
ーブコンピュータ６によって、検査のために回転駆動装
置４の駆動、および、レーザー光の照射がコントロール
される。

【００１６】スレーブコンピュータ６から書き込み・再
生検出ヘッド５に送られるレーザー光照射の記録パワー
とパルス幅の指令は、ホストコンピュータ７からの指令
に基づいて制御される。

【００１７】ホストコンピュータ７内には、記憶手段と
してのメモリ８が設けられており、このメモリ８に、レ
ーザー光の記録パワーとパルス幅の組み合わせのパター
ンデータが複数予め記憶されている。エラーレート等の
特性が予め把握されている基準光記録媒体２が検査ドラ
イブ１にセットされると、パターンデータ制御手段９に
より、メモリ８に記憶されている複数のパターンデータ
の中から適当に一つのパターンデータが選択され、その
パターンデータの記録パワーとパルス幅の指令がスレー
ブコンピュータ６に送られ、その記録パワーとパルス幅
のレーザー光照射によりまず基準光記録媒体２の特性
（たとえば、バイトエラーレート）が検査される。そし
て、複数のパターンデータの中から、選択されるパター
ンデータが自動的に変更され、変更されたパターンデー
タの記録パワーとパルス幅の指令がスレーブコンピュー
タ６に送られ、その記録パワーとパルス幅のレーザー光
照射により同様に基準光記録媒体２の特性が検査され
る。このパターンデータの変更が順次自動的に行われ、
各パターンデータによる記録パワーとパルス幅のレーザ
ー光照射により基準光記録媒体２の特性が検査される。

【００１８】上記のように各パターンデータによる記録
パワーとパルス幅のレーザー光照射により検査された基
準光記録媒体２の特性の検査結果が、スレーブコンピュ
ータ６からホストコンピュータ７内に構成された比較判
定手段１０に送られる。比較判定手段１０では、検査結
果が、基準光記録媒体２の基準特性に対し予め設定した
許容範囲（たとえば±１０％の範囲）内に入っているか
否かが比較、判定される。この比較判定に基づいて、パ
ターンデータ制御手段９により、この許容範囲内に入っ
ているパターンデータが一つ選択され、そのパターンデ
ータの記録パワーとパルス幅が、以降の光記録媒体３の
検査用記録パワーおよびパルス幅として、検査ドライブ
１に設定される。

【００１９】なお、図１において、１１は検査ドライブ
１に基準光記録媒体２や光記録媒体３を着脱するための
ロボットを、１２は、ホストコンピュータ７からの指令
に基づいてロボット１１を制御するためのシーケンサ
を、それぞれ示している。

【００２０】上記のように構成され、制御される、本発
明に係る光記録媒体の検査装置および検査方法において
は、予め記憶されている複数のパターンデータを用いて
基準光記録媒体２を実際に検査し、該複数のパターンデ
ータの中から、以降の光記録媒体３の検査に最適なパタ
ーンデータが選択され、その記録パワーおよびパルス幅
が自動的に設定される。

【００２１】したがって、従来行っていたような記録パ
ワーとパルス幅の調整作業が不要となり、最適な検査用
記録パワーおよびパルス幅の設定に要する時間が大幅に
短縮され、検査工程の稼働率が大幅に高められる。

【００２２】また、予め複数のパターンデータ、つま
り、複数の記録パワーとパルス幅の組み合わせが準備さ
れており、その中から、自動的にかつ確実に、最適な記
録パワーとパルス幅の組み合わせが選択されるので、検
査ドライブ１におけるレーザー光による測定制度も大幅
に向上され、しかも、設定ミス等のおそれもない。この
自動設定を、適切な間隔で行えば、連続的な生産であっ
ても、検査の信頼性は確実に維持される。

【００２３】なお、本発明において、光記録媒体として
はとくに限定されず、光記録媒体としては、光を用いて
データを書き込むものまたは記録部位各部の光学的性質
（光反射率、分光反射率、反射光の光偏波状態など）の
変化または差異に基づいてデータの読取りを行う光磁気
記録媒体、相変化型光記録媒体などの追記型または書換
可能型の光記録媒体などが用いられる。

【００２４】相変化型光記録媒体は、通常透明な基板上
に記録層を設けたものであり、記録層構成に、レーザ光
により結晶とアモルファスとの可逆変化が可能な特定の
金属が用いられている。基板上の層構成としては、たと
えば、透明な基板上に、少なくとも第１保護層／記録層
／第２保護層／反射層を有する層構成とすることができ
る。

【００２５】相変化型光記録媒体の記録層には、たとえ
ば、Ｔｅ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｐｄ合金、Ｔｅ−Ｇｅ−Ｓｂ−
Ｐｄ−Ｎｂ合金、Ｎｂ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｐｔ−
Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｎｉ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、
Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｃｏ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、
Ｉｎ−Ｓｂ−Ｔｅ合金、Ｉｎ−Ｓｅ合金、およびこれら
を主成分とする合金が用いられる。とくにＴｅ−Ｇｅ−
Ｓｂ−Ｐｄ合金、Ｔｅ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｐｄ−Ｎｂ合金
が、記録消去再生を繰り返しても劣化が起こり難く、さ
らに熱安定性が優れているので好ましい。とくに望まし
い記録膜組成としては、たとえば次式で表される範囲に
あることが熱安定性と繰り返し安定性に優れている点か
ら好ましい。Ｍ_z（Ｓｂ_xＴｅ_(1-x)）_1-y-z（Ｇｅ_0.5Ｔｅ_0.5）_y ０．３５≦ｘ≦０．５０．２０≦ｙ≦０．５０ ≦ｚ≦０．０５ここでＭはパラジウム、ニオブ、白金、銀、金、コバル
トから選ばれる少なくとも一種の金属、Ｓｂはアンチモ
ン、Ｔｅはテルル、Ｇｅはゲルマニウムを表す。また、
ｘ、ｙ、ｚおよび数字は各元素の原子の数（各元素のモ
ル数）を表す。とくにパラジウム、ニオブについては少
なくとも一種を含むことが好ましい。この場合ｚは０．
０００５以上であることが好ましい。これら合金を、基
板上に設けられた第１保護層上に、たとえばスパッタリ
ングで膜付けし、記録層が形成される。

【００２６】第１保護層および第２保護層は、記録層を
機械的に保護するとともに、基板や記録層が記録による
熱によって変形したり記録消去再生特性が劣化したりす
るのを防止したり、記録層に耐湿熱性や耐酸化性を持た
せる役割を果たす。このような保護層としてはＺｎＳ、
ＳｉＯ₂、Ｔａ₂Ｏ₅、ＩＴＯ、ＺｒＣ、ＴｉＣ、Ｍｇ
Ｆ₂などの無機膜やそれらの混合膜が使用できる。とく
にＺｎＳとＳｉＯ₂およびＺｎＳとＭｇＦ₂の混合膜は
耐湿熱性に優れており、さらに記録消去再生時の記録層
の劣化を抑制するので好ましい。

【００２７】反射層としては、金属または、金属酸化
物、金属窒化物、金属炭化物などと金属との混合物、た
とえばＺｒ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｓｉ、Ａｌ、Ａｕ、Ｐ
ｄ、Ｈｆなどの金属やこれらの合金、これらとＺｒ酸化
物、Ｓｉ酸化物、Ｓｉ窒化物、Ａｌ酸化物などを混合し
たものを使用できる。特にＡｌ、Ａｕ、Ｔａやそれらの
合金やＡｌ、Ｈｆ、Ｐｄの合金などは膜の形成が容易で
あり好ましい。

【００２８】基板上に、第１保護層、記録層、第２保護
層、反射層を形成する方法としては、真空雰囲気中での
薄膜形成方法、たとえばスパッタリング法、真空蒸着
法、イオンプレーティング法などを用いることができ
る。特に組成、膜厚のコントロールが容易なことからス
パッタリング法が好ましい。

【００２９】基板としては、基板側から記録再生を行う
ためにはレーザ光が良好に透過する材料を用いることが
好ましく、たとえばポリメチルメタアクリレート樹脂、
ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂、エポキシ
樹脂などの有機高分子樹脂、それらの混合物、共重合体
物などやガラスなどを用いることができる。中でも、昨
今はポリカーボネート樹脂が主流となっている。

【００３０】基板は、円盤体に成形されるものである。
成形方法は特に限定しないが、たとえば射出成形による
ことができ、金型内に、表面に所定のグルーブやピット
雄型が形成されたスタンパを装着し、スタンパからの転
写により、表面に所望のトラックが形成された基板を形
成できる。

【００３１】基板の大きさは、光記録媒体ドライブ装置
からの要求規格に合わせる必要がある。たとえば、直径
９０ｍｍや１２０ｍｍあるいは１３０ｍｍの基板に成形
することなどが規定される。

【００３２】このような基板上に、順に、少なくとも第
１保護層／記録層／第２保護層／反射層が積層される。
この反射層の上に、さらに有機樹脂保護層を設けてもよ
い。有機樹脂保護層としては、重合性モノマーおよびオ
リゴマーを主成分とする光硬化性樹脂組成物や、熱硬化
性樹脂組成物を用いることができる。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の光記録媒
体の検査方法および検査装置によれば、予め記憶してお
いたパターンデータの中から、基準光記録媒体の検査を
介して最適なパターンデータを自動的に選択、設定し、
そのパターンデータの記録パワーおよびパルス幅を有す
るレーザー光照射により、検査対象となる光記録媒体を
検査するようにしたので、検査ドライブの調整時間を大
幅に短縮でき、検査工程の稼働率を向上できるととも
に、検査ドライブのレーザーパワーの測定精度を向上す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様に係る光記録媒体の検査装
置のブロック図である。

【符号の説明】

１検査ドライブ２基準光記録媒体３検査対象となる光記録媒体４回転駆動装置５書き込み・再生検出ヘッド６スレーブコンピュータ７ホストコンピュータ８メモリ９パターンデータ制御手段１０比較判定手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】特定の記録パワーとパルス幅を有するレ
ーザー光照射により光記録媒体の欠陥を検査するに際
し、記録パワーとパルス幅の組み合わせのパターンデー
タを複数記憶しておき、特性が予め把握されている基準
光記録媒体の特性を、パターンデータを順次変更しなが
ら各パターンデータの記録パワーおよびパルス幅を有す
るレーザー光照射により検査し、該検査の結果に基づい
て前記複数のパターンデータの中から一つのパターンデ
ータを選択し、選択したパターンデータの記録パワーお
よびパルス幅を前記検査用の特定の記録パワーとパルス
幅として自動的に設定することを特徴とする、光記録媒
体の検査方法。
【請求項２】前記レーザー光照射により基準光記録媒
体のエラーレートを測定し、測定したエラーレートが予
め設定した許容範囲に入るパターンデータを前記複数の
パターンデータの中から一つ選択し、その記録パワーお
よびパルス幅を自動的に設定する、請求項１の光記録媒
体の検査方法。
【請求項３】前記許容範囲を、基準光記録媒体のエラ
ーレートの基準値±１０％の範囲に設定する、請求項２
の光記録媒体の検査方法。
【請求項４】特定の記録パワーとパルス幅を有するレ
ーザー光照射により光記録媒体を検査する検査手段と、
記録パワーとパルス幅の組み合わせのパターンデータを
複数記憶する記憶手段と、該複数のパターンデータにお
ける各パターンデータの記録パワーおよびパルス幅を前
記検査手段に順次変更設定する設定変更手段と、前記検
査手段を用いた、各パターンデータの記録パワーおよび
パルス幅を有するレーザー光照射による、特性が予め把
握されている基準光記録媒体の特性の検査結果に基づ
き、前記複数のパターンデータの中から一つのパターン
データを選択し、選択したパターンデータの記録パワー
およびパルス幅を前記検査用の特定の記録パワーとパル
ス幅として前記検査手段に設定する制御手段とを有する
ことを特徴とする、光記録媒体の検査装置。
【請求項５】前記検査手段が、光記録媒体のエラーレ
ートを検査する手段を含む、請求項４の光記録媒体の検
査装置。
【請求項６】前記記憶手段、設定変更手段および制御
手段がコンピュータ内に構成されている、請求項４また
は５の光記録媒体の検査装置。