JPH10148946A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 露光光源から発する熱による影響を低減し
て、精度が高く高品質の製版パターンを被製版基材に形
成するとともに、露光時間を短縮して生産性を向上する
ための露光装置を得る。 【解決手段】 冷却風を発生する冷気発生源８と、被製
版基材１に対向した面にガラス原版３を脱着可能に保持
するとともに、前記ガラス原版と相対する面に透明板４
を備え、かつ、前記冷気発生源８から供給される冷却風
を取り込む吸気口５と、取り込んだ冷気を外部に排出す
る排気口６とを設けた焼き枠２と、前記冷気発生源８か
ら焼き枠２の吸気口５に向けて冷却風を供給する冷気供
給ダクト９とを備え、前記焼き枠２に設けた吸気口５か
ら冷却風を供給して、強発光の露光光源７での光照射に
よるガラス原版３の温度上昇を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】フォトレジストを塗布、電
着、またはラミネートした金属薄板の表面に、製版パタ
ーンを露光焼き付けする露光装置に関するものであり、
特に、ガラス原版を被製版基材に密着して光を照射し製
版する密着露光装置において、光源から発する熱線によ
るガラス原版の温度上昇を防止し、温度上昇によって生
じるガラス原版及び被製版基材の膨張や、塗布されたレ
ジストの感度特性の変動、レジストのタック性など、製
版品質に影響を及ぼす要因を解消する露光装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】カラーブラウン管用のシャドウマスク
や、半導体集積回路用のリードフレームの製造工程は、
フープ状またはシート状の金属薄板基材に、感光性のフ
ォトレジストを塗布、電着、またはラミネートするレジ
スト膜形成工程と、該レジスト膜を形成した被製版基材
に、製版パターンを形成したフィルムまたはガラス板を
密着して紫外線を含む光を照射し、前記製版パターンを
被製版基材のレジスト膜に焼き付ける露光、現像、定着
などの写真製版工程と、レジスト膜による製版パターン
を形成した被製版基材に、エッチングやメッキを施す加
工処理工程などからなる。

【０００３】前記製版パターンの露光において使用する
ガラス原版は、リードフレームの生産性を向上するため
大面積化する一方、半導体集積回路の高集積化にともな
い、要求される製版パターンの微細化が要求され、例え
ば、製版パターンの露光時に、光源から発する熱によっ
て被製版基材が膨張しないように、低発熱量の、すなわ
ち光出力の小さい光源を用いて長時間露光していた。

【０００４】しかし、低発熱量、低発光量の光源を用い
て長時間露光すると、第１に、生産性が低下する。第２
に、露光中の温度変化によって、フォトレジストの感度
特性が変化するため、露光時間の制御が困難になる。第
３に、露光時にレジストの種類によっては、熱によって
タック性（軽い粘着性）を生じるものがあり、ガラス原
版にレジストが転移して汚れを生じ、品質不良が発生し
やすい。このタック性に起因する品質不良を解消するた
め、透明で離型性のある薄いフィルムをガラス原版との
間に挟み込んだり、被製版基材にレジストを塗布後、離
型材を塗布するなどの余分の処理を施していた。第４
に、長時間露光によって生じる熱により、被製版基材が
熱膨張した状態で露光されるので、常温に戻ったとき、
製版パターンの寸法が収縮するなどの問題があった。

【０００５】上記問題を解消するため、近年、技術的に
も実現可能になった光出力の大きい、すなわち発熱量の
多い光源を使用し、さらに、露光装置全体を冷却する冷
却装置を設け、ガラス原版や被製版基材の温度上昇を防
ぐ方法があるが、露光装置の冷却に必要な冷房能力が大
きくなり、エネルギーの無駄が生じていた。一方、部分
的に、例えば、ガラス原版に単純に冷風を吹きつけるだ
けでは、ガラス原版に温度むらが生じ、均一な品質の製
版が困難であった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術における、低発熱量の、すなわち光出力の小さい光源
を用いたときの、長時間露光による生産性の低下や、光
源から発する熱よる、ガラス原版や被製版基材の熱膨張
による製版精度の低下、フォトレジストの感度特性の変
化や、タック性によるガラス原版へのレジスト転移や汚
れ、レジストの変質による被製版基材からのレジスト剥
がれなどを解消し、露光時間を短縮するとともに、光源
から発する熱によるガラス原版や被製版基材、フォトレ
ジストへの前記影響を低減することができる露光装置を
得ることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、紫外線を含む
光線を透過する透明板を備えた焼き枠に、ガラス原版を
取り付け、この焼き枠に冷却風を吹き込んで冷気を滞流
させることにより、ガラス原版を均一に冷却し、露光光
源から発する熱による、ガラス原版やレジスト、被製版
基材の温度上昇を防ぎ、よって、光出力の大きい露光用
光源を用いることが可能になり、露光時間を短縮できる
露光装置である。

【０００８】すなわち、本発明は、請求項１に示したよ
うに、表面にレジスト膜を形成した被製版基材にガラス
原版を密着したのち、前記ガラス原版を通して光を照射
し、レジスト膜に製版パターンを焼き付ける露光装置に
おいて、冷却風を発生する冷気発生源と、被製版基材に
対向した面にガラス原版を脱着可能に保持するととも
に、前記ガラス原版と相対する面に透明板を備え、か
つ、前記冷気発生源から供給される冷却風を吸入する吸
気口と、吸入した冷気を外部に排出する排気口とを設け
た焼き枠と、前記冷気発生源から焼き枠の吸気口に向け
て冷却風を供給する冷気供給ダクトとを備え、前記焼き
枠に設けた吸気口から冷却風を供給して、露光時の光照
射によるガラス原版の温度上昇を防止する露光装置であ
る。

【０００９】また、本発明は、請求項２に示したよう
に、請求項１の発明に加えて、前記焼き枠の吸気口と前
記冷気供給ダクトとを離間して配置するとともに、吸気
口から冷却風を吸い込む吸入ファンを焼き枠内に備えた
露光装置である。

【００１０】さらに、本発明は、請求項３、請求項４、
及び請求項５に示したように、請求項１または請求項２
の発明に加えて、焼き枠内に、冷気を攪拌する攪拌ファ
ンを備え、または、焼き枠内に、冷気を流す流路を設
け、または、焼き枠内に、冷気を流す流路を制御する整
流板を備えた露光装置である。

【００１１】

【発明の実施の形態】先ず、本発明の露光装置の構成に
ついて説明する。本発明の露光装置は、冷却風を発生す
る冷気発生源と、被製版基材に対向した面にガラス原版
を脱着可能に保持するとともに、前記ガラス原版と相対
する面に透明板を備え、かつ、前記冷気発生源から供給
される冷却風を吸入する吸気口と、吸入した冷気を外部
に排出する排気口とを設けた焼き枠と、前記冷気発生源
から焼き枠の吸気口に向けて冷却風を供給する冷気供給
ダクトとを備えた露光装置である。

【００１２】図１は、本発明の一実施例である露光装置
の構成を示す斜視図である。図において、１は、表面に
レジスト膜を形成した被製版基材である。被製版基材１
は、フープ状またはシート状の金属薄板基材に、感光性
のフォトレジストを塗布、電着、またはラミネートしレ
ジスト膜を形成してある。２は焼き枠である。前記焼き
枠２の被製版基材１に対向する面には、前記被製版基材
１のレジスト膜に露光焼き付ける製版パターンを形成し
たガラス原版３を着脱自在に保持してある。

【００１３】前記ガラス原版３は、厚さ５ｍｍ程度の硬
質ガラスの表面に、銀塩乳剤、または、硬質クロムの薄
膜で製版パターンを形成してあり、被製版基材１に施す
エッチングやメッキ処理の加工パターンに合わせて焼き
枠２に対して容易に脱着できる。また、焼き枠２のガラ
ス原版保持面には、平面性の良好な金属製の真空チャッ
クを備えており、図示しない真空ポンプによって前記ガ
ラス原版３を吸着している。

【００１４】一方、前記焼き枠２のガラス原版３と相対
する面には、露光光源７から発する光を透過する透明板
４を固定してある。前記透明板４は、冷気を焼き枠外に
漏らさない気密性と強度を有し、かつ、レジスト膜の感
光波長光を透過する材質、例えば、石英ガラスやソーダ
石灰ガラス、ホウケイ酸ガラス、鉛ガラスなどのガラス
板、または、透明アクリル板、ポリエチレンテレフタレ
ートフィルムなどを用いることができるが、被製版基材
に形成したレジスト膜の感光波長に対応して、紫外線透
過率の高い、例えば、石英ガラスを用いるのが望まし
い。

【００１５】前記ガラス原版３と透明板４とを備えた焼
き枠２は、直方体のチャンバを構成し、前記チャンバを
構成する焼き枠２の上方には、冷却風を焼き枠２内に供
給する冷気供給ダクト９が設けてあり、前記冷気供給ダ
クト９は、冷気発生源８に接続してある。前記冷気供給
ダクト９の冷却風を吹き出す開口端は、焼き枠２の上面
に設けた吸気口５の上方に配置され、焼き枠２の吸気口
５と冷気供給ダクトの開口端とは、機械的に結合せずに
離れて配置してある。なお、冷気発生源８で発生した冷
却風を、冷気供給ダクト９を通して焼き枠２に供給する
際、除塵フィルタを介して塵埃を除去するのが望まし
い。

【００１６】前記焼き枠２の吸気口５の内側には、冷気
供給ダクト９から吹き出す冷却風を焼き枠２内に吸い込
むための吸入ファン１０が設けられ、前記吸入ファン１
０で吸入された冷気は、焼き枠２の下面に設けた排気口
６から焼き枠外に排出される。前記吸入ファン１０は、
ファンの回転数を可変制御でき、しかも、給排気量が大
きく、かつ、焼き枠の幅方向に、均一な風量を得られる
クロスフロー形式のファンを用いるのが望ましい。

【００１７】本実施例の露光装置では、吸入ファン１０
の給排気量を制御するためのファン制御装置１７、及び
焼き枠２内の冷気温度を検知する温度センサ１６が備え
られ、温度センサ１６によって検出した焼き枠２内の冷
気温度によって、吸入ファン１０の給排気量を制御する
ことができる。また、排気口６には、図示されない絞り
機構を設けてあり、排気量を調整することもできる。さ
らに、本実施例の露光装置では、図に示すように、焼き
枠２内に供給された冷気を攪拌するための冷気攪拌用の
攪拌ファン１１を焼き枠２内に備えてある。攪拌ファン
１１は、吸入ファン１０と同様にファン制御装置１７に
よって制御され、例えばプロペラ形式の、またはシロッ
コファンを、ガラス原版３の面内温度分布が均一になる
ように、焼き枠２内の数カ所に、適宣配置する。

【００１８】次に、本実施例の露光装置について、その
作用動作を説明する。図１に示したように、本実施例の
露光装置において、焼き枠２は、被製版基材１に対向す
る面にガラス原版３を備え、前記ガラス原版３の製版パ
ターンを被製版基材１のレジスト膜に露光焼き付けする
ための露光光源７に含まれる紫外線を透過する透明板４
を、前記ガラス原版３と対向して備え、また、焼き枠２
の上面に吸気口５を、また、焼き枠２の下面に排気口６
を備え、さらに、焼き枠２の上面に備えた吸気口５の下
方に、冷気供給ダクト９を通して冷気発生源８から供給
される冷却風を焼き枠２内に吸い込む吸入ファン１０
と、焼き枠２内に吸入した冷気を、焼き枠２内で攪拌す
る攪拌ファン１１を備えている。

【００１９】前記焼き枠２に保持されたガラス原版３の
製版パターンを、被製版基材１に露光焼き付けすると
き、先ず、焼き枠２を図示しない移動手段によって、被
製版基材１に向けて移動し、ガラス原版３を被製版基材
１に密着する。次に、被製版基材１の裏面に、図示しな
い当て板を密着し、前記ガラス原版３と当て板で被製版
基材１を挟み込み、ガラス原版３と被製版基材１との密
着を確保する。

【００２０】次いで、露光光源７から発する紫外線を含
む光線を、透明板４およびガラス原版３を通して、被製
版基材１のレジスト膜面に一定時間照射し、製版パター
ンを前記レジスト膜に焼き付ける。露光が完了したら、
ガラス原版３を保持した焼き枠２と当て板を後退させ
て、被製版基材１から離間し、次の被製版基材を挟み込
んだのち、前述の動作を繰り返して、製版パターンを被
製版基材のレジスト膜に露光する。

【００２１】ここで、本実施例の露光装置における、ガ
ラス原版３の冷却方法について説明する。露光装置では
上述したように、露光光源７から発する紫外線を含む光
線を、透明板４及びガラス原版３を通して被製版基材１
のレジスト膜面に一定時間照射し、製版パターンを前記
レジスト膜に焼き付けるが、この間、露光光源７から
は、赤外線を含む熱線が放射され、ガラス原版、レジス
ト膜、および被製版基材である金属薄板に照射されてそ
れぞれ温度上昇し始める。特に露光時間が長い場合は、
上昇温度が高くなり、前述した種々の弊害をもたらすこ
とになる。

【００２２】本実施例の露光装置では、上述の温度上昇
を防止するため、露光時間中を含め焼き枠２内に冷気を
供給して、ガラス原版の温度を一定に保持する。すなわ
ち、冷気発生源８で発生した冷却風を、冷気供給ダクト
９を通じて焼き枠２の吸気口５に向けて吹き出し、焼き
枠２内に備えた吸入ファン１０で冷却風を吸い込むこと
により、焼き枠２内に冷気を吸入し、さらに、吸入した
冷気を攪拌ファン１１で攪拌することによって、ムラな
く均一にガラス原版を冷却する。

【００２３】さらに、温度センサ１６にて焼き枠内の冷
気温度を検出し、ファン制御装置１７を通して、冷却風
吸い込み用の吸入ファン１０の回転数を制御することに
よって焼き枠２内の温度を一定に保つことができる。な
お、焼き枠２内に吸入した冷気は、下面に設けた排気口
６から焼き枠の外に排気される。

【００２４】ちなみに、従来の露光装置では、約５０ｍ
Ｗ／ｃｍ² の照射強度を有する露光光源を用いて、３０
〜４０秒間露光していたが、本実施例に示したガラス原
版の冷却手段を備えることによって、ガラス原版の温度
上昇を防止できるようになったので、露光光源として約
４００ｍＷ／ｃｍ² の露光光源を用いることができ、ま
た、従来、温度上昇によって問題があったタック性の生
じやすい高感度のレジストを使用できるようになり、露
光時間を約１／１０〜１／２０に短縮することができ
た。

【００２５】なお、本実施例の露光装置では、焼き枠２
が、被製版基材１に向けて前後進して、ガラス原版３と
被製版基材１との密着、離間を繰り返すので、冷気を供
給する冷気供給ダクト９を、焼き枠２に直接接続する
と、冷気供給ダクト９の耐久性に問題が生じる可能性が
ある。従って、本発明の露光装置では、焼き枠２と冷気
供給ダクト９とを離間して配置し、冷気供給ダクト９を
固定し、焼き枠２は前進、後退が自由な構造とした。

【００２６】また、本実施例の露光装置では、温度セン
サ１６にて焼き枠内の温度を検出し、ファン制御装置１
７を介して、冷却風吸い込み用の吸入ファン１０の回転
数を制御することによって、焼き枠２内の温度を一定に
保つように構成したが、露光装置を設置している部屋
が、空調装置によって一定の温度に保たれている場合
は、吸入ファン１０の給排気量を一定にするだけで、焼
き枠２内の温度を一定に保つことができるので、吸入フ
ァン１０の回転数を制御する装置を、より単純化するこ
とも可能である。さらに、冷気発生源８自体が、一定温
度の冷却風を発生することができる場合は、冷却風吸い
込み用の吸入ファン１０が無くても、単に冷気供給ダク
ト９の開口端から焼き枠２内に吹き込む冷却風の風量を
調節するだけで、焼き枠２内の温度を一定に保つことも
できる。

【００２７】次に、本実施例の露光装置に関し、その使
用例について説明する。一例として、半導体集積回路用
リードフレームの製造工程における露光装置の使用方法
について説明する。半導体集積回路用リードフレーム
は、半導体集積回路をマウントするチップマウントと、
該チップマウントにボンディングされた半導体集積回路
の多数の端子パッドに金線をボンディングし、外部に配
線するための複数のインナリードと、該インナリードと
接続され、プリント基板の配線板と接続するための複数
のアウタリードで構成されている。

【００２８】前記リードフレームは、鉄や鉄合金、また
は銅や銅合金などの金属薄板、もしくは条材を素材と
し、先ず、この金属素材にフォトエッチング処理、また
はプレス打ち抜き加工を施して、不要部分を除去し、チ
ップマウント、インナリード、アウタリードなどの端子
を形成する。次に、リードの先端が露出するように、マ
スクまたはマスクパターンを素材に転写し、次いで、メ
ッキ処理により金、銀などの貴金属の皮膜をリードの先
端に施してリードフレームを製造している。

【００２９】本発明の露光装置は、前記リードフレーム
の製造工程における、フォトエッチング処理を行なう際
に使用することができる。上記フォトエッチング処理
は、鉄や鉄合金、または銅や銅合金などの金属薄板、も
しくは条材を素材に、先ず、感光性のフォトレジストを
用いてレジスト膜を形成する。次いで、該レジスト膜を
形成した素材に、リードフレームの端子パターンを形成
したガラス原版を密着し、紫外線を含む光を照射して、
前記端子パターンを素材のレジスト膜に露光し焼き付け
る。さらに、レジスト膜を現像して不要部のレジスト膜
を剥離し、レジスト膜による端子パターンを形成する。
次に、端子パターンを形成した素材に、エッチング液を
噴射して不要部を溶解し、リードフレームの端子を形成
する。

【００３０】上述したような、リードフレーム製造工程
でのフォトエッチング処理においては、ガラス原版の端
子パターンを、被製版基材のレジスト膜に対して露光す
る際、高精度の製版精度が必要であり、本発明の露光装
置を用いることによって、ムラがなく、安定した精度の
製版パターンを得ることができる。

【００３１】次に、本発明の露光装置の他の実施例につ
いて説明する。図２、及び図３は、本発明の露光装置を
構成する焼き枠の、他の実施例を示す断面図である。図
２、図３において、１は、レジスト膜を形成した被製版
基材であり、２は、焼き枠、３は、製版パターンを形成
したガラス原版、４は、露光光源７から照射される紫外
線を含む光線を透過する透明板、５は、図示しない冷気
発生源から供給される冷却風を吸入する吸気口、６は、
焼き枠２に吸入した冷気を排出する排気口、７は、ガラ
ス原版３に均一な光を照射する露光光源であり、９は、
冷気発生源から供給される冷却風を吸気口５に向けて開
口した冷気供給ダクト、１０は、冷却風を吸い込むため
の吸入ファンを示す。

【００３２】図１の実施例においては、焼き枠２内に吸
入した冷気を、攪拌ファン１１によって攪拌することに
よって、焼き枠２内の温度をムラなく均一にする方法を
とったが、図２に示す実施例では、焼き枠２内に透明板
１２、１３で仕切りを構成し、吸入ファン１０で吸入し
た冷気を流す流路を設けることによって、ガラス原版２
に蓄積される熱を効果的に排出するとともに、焼き枠２
の各部の温度を、ムラなく均一に保つことができる。

【００３３】また、図３に示す実施例では、吸入した冷
気を、吸入ファン１０の冷気吹き出し口からガラス原版
３に向けて流す整流板１４を設けて、冷気の流路を制御
し、ガラス原版３自体を効率的に冷却することができ、
同様に、ガラス原版面から排気口６に向けて冷気を流す
整流板１５を設けることによって、より効果的に冷気の
流れを制御し、効率的にガラス原版３を冷却することが
できる。

【００３４】なお、前述の実施例では、吸気口５を焼き
枠２の上面に、また、排気口６を焼き枠２の下面に設け
たが、この位置に制約されるものではなく、また、冷却
風吸い込み用の吸入ファン１０を、製版パターンの露光
光線を妨げない位置に設けられるならば、焼き枠２の側
面に設けてもよい。

【００３５】また、上記した本発明の露光装置は、カラ
ーブラウン管用のシャドウマスクや、半導体集積回路用
リードフレームのフォトエッチング処理に使用できるだ
けでなく、フォトレジストを用いたメッキ処理や、半導
体集積回路やプリント配線板のフォトエッチングやエレ
クトロフォーミング、液晶表示装置やプラズマディスプ
レイのカラーフィルタや電極の加工工程、または、活
版、グラビア、平版オフセットなどの印刷版を製作する
ときの露光装置としても使用できるものであることを付
記しておく。

【００３６】

【発明の効果】以上、詳細に説明した如く、本発明の露
光装置は、請求項１に示したように、表面にレジスト膜
を形成した被製版基材にガラス原版を密着したのち、前
記ガラス原版を通して光を照射し、レジスト膜に製版パ
ターンを焼き付ける露光装置において、冷却風を発生す
る冷気発生源と、被製版基材に対向した面にガラス原版
を脱着可能に保持するとともに、前記ガラス原版と相対
する面に透明板を備え、かつ、前記冷気発生源から供給
される冷却風を吸入する吸気口と、吸入した冷気を外部
に排出する排気口とを設けた焼き枠と、前記冷気発生源
から焼き枠の吸気口に向けて冷却風を供給する冷気供給
ダクトとを備え、前記焼き枠に設けた吸気口から冷却風
を供給して、露光時の光照射によるガラス原版の温度上
昇を防止するので、露光装置の連続運転によるガラス原
版の温度上昇がなくなり、被製版基材に塗布したレジス
トの感度変化を防ぐことができ、感度変化による露光時
間の調整が不要になる。

【００３７】また、レジストのタック発生を減少させ、
レジスト転移によるガラス原版の汚れや、被製版基材の
品質不良の発生を防止できる。さらに、レジストによる
ガラス原版の汚れ防止に係る余分の工程や、材料が不要
となり、より低コストで製版を行なうことができ、ま
た、温度変化による被製版基材の伸縮を減少することが
でき、より高精度の製版寸法を得られる効果がある。さ
らにまた、光強度の大きい露光光源と、高感度のフォト
レジストを使用することが可能になり、大幅に露光時間
を短縮して、生産性を向上する効果がある。

【００３８】また、本発明の露光装置は、請求項２に示
したように、請求項１の発明に加えて、前記焼き枠の吸
気口と前記冷気供給ダクトとを離間して配置するととも
に、吸気口から冷却風を吸い込む吸入ファンを焼き枠内
に備えたので、焼き枠の前進、後退動作に自由度が得ら
れるとともに、焼き枠内の温度を吸入ファンの吸込量で
調整制御するので、ガラス原版を含む焼き枠内の温度を
微細に調整できる。

【００３９】さらに、本発明の露光装置は、請求項３に
示したように、請求項１または請求項２の発明に加え
て、焼き枠内に、冷気を攪拌する攪拌ファンを備えたの
で、焼き枠内部の温度分布にムラがなく、ガラス原版を
均一に冷却することができる。

【００４０】また、本発明の露光装置は、請求項４に示
したように、請求項１または請求項２の発明に加えて、
焼き枠内に、冷気を流す流路を設けたので、焼き枠全体
を効率よく冷却でき、冷気発生源の容量が小さくても、
ガラス原版や透明板の温度上昇を効率よく防止すること
ができる。

【００４１】また、本発明の露光装置は、請求項５に示
したように、請求項１または請求項２の発明に加えて、
焼き枠内に、冷気を流す流路を制御する整流板を備えた
ので、効率よくガラス原版を冷却し、温度上昇を防止で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例を示す斜視図である。

【図２】 焼き枠の構成の一例を示す断面図である。

【図３】 焼き枠の構成を示す他の一例の断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 被製版基材 ２ 焼き枠 ３ ガラス原版 ４ 透明板 ５ 吸気口 ６ 排気口 ７ 露光光源 ８ 冷気発生源 ９ 冷気供給ダクト １０ 吸入ファン １１ 攪拌ファン １２、１３ 透明板 １４、１５ 整流板 １６ 温度センサ １７ ファン制御装置

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面にレジスト膜を形成した被製版基材
   にガラス原版を密着したのち、前記ガラス原版を通して
   光を照射し、レジスト膜に製版パターンを焼き付ける露
   光装置において、 冷却風を発生する冷気発生源と、 被製版基材に対向した面にガラス原版を脱着可能に保持
   するとともに、前記ガラス原版と相対する面に透明板を
   備え、かつ、前記冷気発生源から供給される冷却風を吸
   入する吸気口と、吸入した冷気を外部に排出する排気口
   とを設けた焼き枠と、 前記冷気発生源から焼き枠の吸気口に向けて冷却風を供
   給する冷気供給ダクトとを備え、 前記焼き枠に設けた吸気口から冷却風を供給して、露光
   時の光照射によるガラス原版の温度上昇を防止すること
   を特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】 前記焼き枠の吸気口と前記冷気供給ダク
   トとを離間して配置するとともに、吸気口から冷却風を
   吸い込む吸入ファンを焼き枠内に備えたことを特徴とす
   る請求項１に記載の露光装置。
3. 【請求項３】 前記焼き枠内に、冷気を攪拌する攪拌フ
   ァンを備えたことを特徴とする請求項１または請求項２
   に記載の露光装置。
4. 【請求項４】 前記焼き枠内に、冷気を流す流路を設け
   たことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の露
   光装置。
5. 【請求項５】 前記焼き枠内に、冷気を流す流路を制御
   する整流板を備えたことを特徴とする請求項１または請
   求項２に記載の露光装置。