JPH10144639A - 基板の洗浄に使用する基板搬送器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板面内を均一に洗浄することが可能な基板
を搬送するための治具を提供する。 【解決手段】 薬品の入った複数の洗浄槽に順番に基板
を浸漬させて洗浄するための基板搬送器において、基板
を横置きに載置する円形の底面を平坦な台部分２２と
し、この周りにフランジ部２１を設け、これらの台部分
２２とフランジ部２１に多数の孔２４，２５を形成し、
上記フランジ部の一端に上方に伸びた把手２３を設けて
構成されていることを特徴とする基板搬送器１０であ
る。また、基板搬送器１０の材質はフッ素樹脂である基
板の洗浄に使用する基板搬送器である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光通信，光計測
システムに用いられる化合物半導体光素子の作製、特に
基板洗浄工程に使用する基板搬送のための治具に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】化合物半導体光素子の基板を洗浄する工
程において、直線的に並んだ多数の洗浄槽に入れられた
複数の薬品に対して順番に浸漬することにより基板を洗
浄するための治具として、従来は図３の中央部分の断面
図に示すように薬品の空き容器を加工して使用してい
た。即ち、基板搬送器１０は直径約１００ｍｍ，底面の
一部に盛り上がった部分を有する底部１２があり、この
周りにはフランジ部１１を有し、このフランジ部１１の
一端に垂直上方に伸びる把手１３を設けた手桶状のもの
である。図４にこの基板搬送器１０の上面図を示す。即
ち、底部１２には薬品が治具の中に溜らないように洗浄
薬品が通る多数の穴１５が１０数カ所に空けられてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の基板搬
送器を用いて、図３に破線で示すように底部１２に基板
１４を横置きに載置して洗浄を行っているので、洗浄槽
の薬品内で撹拌するために基板搬送器１０を動かす度毎
に、底部１２の盛り上がった部分の角ｐ，ｐを支点とし
て、基板１４が傾いてしまうことになる。このため、基
板１４の洗浄効果が基板内で不均一に洗浄される。即
ち、基板１４の表面の一部に異物が残ってしまう場合が
あった。

【０００４】この発明は上記の欠点を解消するためにな
されたもので、基板面内を均一に洗浄することが可能な
基板を搬送するための治具を提供することを目的とす
る。また、洗浄するための薬品の量を少なくて済むよう
にしたものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明は、薬品の入っ
た複数の洗浄槽に順番に基板を浸漬させて洗浄するため
の基板搬送器において、基板を横置きに載置する円形の
底面を平坦な台部分とし、この周りにフランジ部を設
け、これらの台部分とフランジ部に多数の孔を形成し、
上記フランジ部の一端に上方に伸びた把手を設けたこと
を特徴とする基板搬送器である。また、基板搬送器の材
質はフッ素樹脂とすることが好ましい。

【０００６】基板を載せる台部分を平坦にすると、撹拌
の際に基板搬送器を動かしても基板が基板搬送器と一体
に動き、基板が傾くことがない。基板が傾かなければ、
薬品が基板表面全体に均一に触れるため、均一な洗浄効
果が得られる。また、例えば、３インチ円形基板を直径
１３０ｍｍの洗浄槽で基板を立てて洗浄する場合、洗浄
剤である薬品は高さ８０ｍｍになるように入れておく必
要があるから、約１０００ｃｃの薬品が必要になる。一
方、基板を横置きにして洗浄すると、薬品は高さ１０ｍ
ｍ程度で済むことになるから、その量は約１３０ｃｃで
十分である。即ち、約１／８の薬品量で従来と同等以上
の洗浄効果を得ることができる。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいてこの発明の
実施の形態を説明する。図１は実施例の基板搬送器の全
体を示す中央部分の断面図、図２は上面図である。即
ち、基板搬送器２０は化合物半導体光素子の基板を横置
きに載置して搬送させるために、基板を載せる円形の平
坦な台部分２２と、この周りに浅く立ち上がったフラン
ジ部２１と、このフランジ部２１の一端に垂直に上方に
伸びる把手２３から構成される。そして、台部分２１お
よびフランジ部２２の側面には薬品を通すための１００
個程度の多数の孔２４，２５がそれぞれ形成されて設け
られる。

【０００８】上記台部分２２およびフランジ部２１の側
面に設けられた孔２４，２５は、撹拌の際に薬品が基板
搬送器２０内に滞ることで洗浄効果が不均一になるのを
防止するためである。そして、基板搬送器１０は耐薬品
性，液切り性および基板を損傷させないため材質として
フッ素樹脂で形成する。

【０００９】上記基板搬送器２０の平坦な台部分２２上
にに化合物半導体光素子の基板を水平の横置きに載置し
て、直線的に並んだ無機薬品および有機薬品からなる洗
浄剤を入れた多数の洗浄槽に順次浸漬し、撹拌するため
に把手２３を持って移動させながら洗浄を行うが、基板
は平坦な基板搬送器の底部と一体に動き、洗浄薬品と均
一に接触することになる。そのため、基板表面全体がム
ラなく洗浄される。また、横置きのために洗浄槽に入れ
る洗浄剤である無機および有機薬品の量は、極めて少な
くて済むことになる。

【００１０】上記実施例では基板として化合物半導体光
素子の例について説明したが、これは石英基板であって
も同様の効果が得られる。

【００１１】

【発明の効果】以上説明したとおり、この発明の基板の
洗浄に使用する基板搬送器によれば、基板面内で均一な
洗浄効果が得られるようになった。即ち、洗浄後に基板
の一部に異物が残存することがなく、確実な洗浄効果が
得られた。そして、使用する薬品の使用量が少なくて済
むため、それだけ製造コストの低減を図ることが可能に
なった。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の基板搬送器の全体を示す中央部分の断
面図、

【図２】図１の上面図、

【図３】従来の基板搬送器の中央部分の断面図、

【図４】図３の上面図である。

【符号の説明】

１０，２０ 基板搬送器 １１，２１ フランジ部 １２ 底部 １３，２３ 把手 １４ 基板 １５，２４，２５ 孔 ２２ 平坦な台部分

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薬品の入った複数の洗浄槽に順番に基板
   を浸漬させて洗浄するための基板搬送器において、基板
   を横置きに載置する円形の底面を平坦な台部分とし、こ
   の周りにフランジ部を設け、これらの台部分とフランジ
   部に多数の孔を形成し、上記フランジ部の一端に上方に
   伸びた把手を設けたことを特徴とする基板搬送器。
2. 【請求項２】 上記基板搬送器の材質はフッ素樹脂であ
   ることを特徴とする請求項１記載の基板の洗浄に使用す
   る基板搬送器。