JPH10142303A - 較正中にレーザ・トリミングするために透明プレートに取り付けられた構成部品を備えた磁気センサ - Google Patents
較正中にレーザ・トリミングするために透明プレートに取り付けられた構成部品を備えた磁気センサInfo
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- JPH10142303A JPH10142303A JP9276932A JP27693297A JPH10142303A JP H10142303 A JPH10142303 A JP H10142303A JP 9276932 A JP9276932 A JP 9276932A JP 27693297 A JP27693297 A JP 27693297A JP H10142303 A JPH10142303 A JP H10142303A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
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- G01D5/147—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the movement of a third element, the position of Hall device and the source of magnetic field being fixed in respect to each other
-
- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 センサの磁気感受性構成部品内で応力を引き
起こす可能性がある製造段階が完了した後で較正を実施
することができるようにする。 【解決手段】 磁気センサは、永久磁石構造、磁気感受
性構成部品、および磁気感受性構成部品をレーザ・ビー
ムで選択的にトリミングすることができる透明プレート
を備える。磁気感受性構成部品は、エポキシまたはその
他の適当な材料で、永久磁石構造にしっかりと取り付け
る。これにより、磁気感受性構成部品は、透明プレート
と永久磁石構造の間に配置される。磁気感受性構成部品
は、透明プレートを通してレーザで集積チップ上の抵抗
器をトリミングすることによって、較正することができ
る。
起こす可能性がある製造段階が完了した後で較正を実施
することができるようにする。 【解決手段】 磁気センサは、永久磁石構造、磁気感受
性構成部品、および磁気感受性構成部品をレーザ・ビー
ムで選択的にトリミングすることができる透明プレート
を備える。磁気感受性構成部品は、エポキシまたはその
他の適当な材料で、永久磁石構造にしっかりと取り付け
る。これにより、磁気感受性構成部品は、透明プレート
と永久磁石構造の間に配置される。磁気感受性構成部品
は、透明プレートを通してレーザで集積チップ上の抵抗
器をトリミングすることによって、較正することができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は一般に磁気センサに
関し、さらに詳細には、それを通して半導体チップ上の
抵抗器を選択的にトリミングすることにより、磁気感受
性構成部品を較正することができる透明プレートを含む
歯形センサに関する。
関し、さらに詳細には、それを通して半導体チップ上の
抵抗器を選択的にトリミングすることにより、磁気感受
性構成部品を較正することができる透明プレートを含む
歯形センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】当技術分野では、多数の異なるタイプの
歯形センサが知られている。歯形センサの製造に使用す
るパッケージ技術は、目的となるセンサの適用分野、お
よびその適用分野で必要な動作特性に基づいてかなり変
動する。
歯形センサが知られている。歯形センサの製造に使用す
るパッケージ技術は、目的となるセンサの適用分野、お
よびその適用分野で必要な動作特性に基づいてかなり変
動する。
【０００３】特定の磁気センサでは２つの動作パラメー
タが特に重要である。第１に、センサに使用する永久磁
石はできる限りターゲットに接近していなければならな
い。そのターゲットは一般に、センサの検出ゾーンを通
って移動するように配置された歯車の歯である。第２
に、磁気センサの正確さの要件は、磁気感受性構成部品
にかかる内部応力を克服して、生じるオフセット信号お
よび熱膨張に対するセンサの感度を低下させなければな
らないことが多い。
タが特に重要である。第１に、センサに使用する永久磁
石はできる限りターゲットに接近していなければならな
い。そのターゲットは一般に、センサの検出ゾーンを通
って移動するように配置された歯車の歯である。第２
に、磁気センサの正確さの要件は、磁気感受性構成部品
にかかる内部応力を克服して、生じるオフセット信号お
よび熱膨張に対するセンサの感度を低下させなければな
らないことが多い。
【０００４】磁気センサの複数の適用分野で、磁気感受
性構成部品を永久磁石の磁極面上に配置できることは、
当業者には周知であろう。また、磁気感受性構成部品
を、リード・アセンブリ、または強磁性体特性を有する
その他の構成部品上に、直接配置できることもまた当業
者には周知であろう。磁気感受性構成部品を配置する強
磁性体のプラットフォームは、センサの磁極片として機
能する。
性構成部品を永久磁石の磁極面上に配置できることは、
当業者には周知であろう。また、磁気感受性構成部品
を、リード・アセンブリ、または強磁性体特性を有する
その他の構成部品上に、直接配置できることもまた当業
者には周知であろう。磁気感受性構成部品を配置する強
磁性体のプラットフォームは、センサの磁極片として機
能する。
【０００５】１９９１年６月４日にＧｏｎｓａｌｖｅｓ
らに発行された米国特許第５０２１７３６号は、磁気抵
抗エレメントの角度調節を伴うセンサの較正方法を開示
している。この変換器配列は、所定方向に通過する磁束
に応答してその方向の磁束強度の関数としてその電気抵
抗を変化させる磁気抵抗エレメントを含む磁気抵抗変換
器を含む。磁石を使用して磁束を供給する。この変換器
は平らな表面を有する永久磁石を含むことができ、この
平らな表面は、磁石の軸から外れ、任意選択でこの平ら
な表面とある角度をなす磁気抵抗エレメントを備える。
この変換器はまた凹面磁石も含むことができ、この凹面
磁石は、凹面から出る平行な磁力線に対して鋭角をなす
磁気抵抗エレメントを備える。さらに別の実施形態は、
磁気抵抗エレメントを磁気表面上で２方向に傾けて、バ
イアス・フィールドを形成し、較正を行うことができる
ようにした。第３の実施形態は、透磁率の高い磁極片を
磁石表面上の磁石と磁気抵抗エレメントの間に配置し
て、磁石の不均一性による磁場変化を最小限に抑えるよ
うにした。またモジュールも設けられている。このモジ
ュールは、前部には取り付け可能なアルミニウム製ブラ
ケットを含み、後部にはブラケットの中央に配置された
半導体回路に結合された磁気抵抗変換器を含んでいる。
エポキシ樹脂は、ブラケット前部の任意選択のケーブル
または電気コネクタと同様に、変換器回路および半導体
回路を覆う。
らに発行された米国特許第５０２１７３６号は、磁気抵
抗エレメントの角度調節を伴うセンサの較正方法を開示
している。この変換器配列は、所定方向に通過する磁束
に応答してその方向の磁束強度の関数としてその電気抵
抗を変化させる磁気抵抗エレメントを含む磁気抵抗変換
器を含む。磁石を使用して磁束を供給する。この変換器
は平らな表面を有する永久磁石を含むことができ、この
平らな表面は、磁石の軸から外れ、任意選択でこの平ら
な表面とある角度をなす磁気抵抗エレメントを備える。
この変換器はまた凹面磁石も含むことができ、この凹面
磁石は、凹面から出る平行な磁力線に対して鋭角をなす
磁気抵抗エレメントを備える。さらに別の実施形態は、
磁気抵抗エレメントを磁気表面上で２方向に傾けて、バ
イアス・フィールドを形成し、較正を行うことができる
ようにした。第３の実施形態は、透磁率の高い磁極片を
磁石表面上の磁石と磁気抵抗エレメントの間に配置し
て、磁石の不均一性による磁場変化を最小限に抑えるよ
うにした。またモジュールも設けられている。このモジ
ュールは、前部には取り付け可能なアルミニウム製ブラ
ケットを含み、後部にはブラケットの中央に配置された
半導体回路に結合された磁気抵抗変換器を含んでいる。
エポキシ樹脂は、ブラケット前部の任意選択のケーブル
または電気コネクタと同様に、変換器回路および半導体
回路を覆う。
【０００６】１９９３年６月１日にＳｃｈｒｏｅｄｅｒ
らに発行された米国特許第５２１６４０５号は、磁場感
受性装置用のパッケージを開示する。このパッケージ
は、磁気抵抗器などの磁場感受性エレメントとともに使
用するためのものであり、導電性でもある比較的硬い強
磁性体の、少なくとも２つの平面層を含む。これらの層
の縁部は接近した間隔で向かい合い、両層の間に狭い隙
間を形成する。端子タップは各層と一体化し、各層から
延びる。磁場感受性エレメントは、これらの層のうちの
少なくとも一方の表面上にあり、好ましくは隙間を越え
て両層に延びる。磁場感受性エレメントは、それぞれに
別々の１層に電気的に接続された１対の接点を有する。
永久磁石は、これらの層のうち磁場感受性エレメントの
反対側の表面上に取り付けられ、そこから絶縁される。
絶縁物体の保護層は、磁場感受性エレメント、および端
タップがそこから延びる層を覆うことができる。
らに発行された米国特許第５２１６４０５号は、磁場感
受性装置用のパッケージを開示する。このパッケージ
は、磁気抵抗器などの磁場感受性エレメントとともに使
用するためのものであり、導電性でもある比較的硬い強
磁性体の、少なくとも２つの平面層を含む。これらの層
の縁部は接近した間隔で向かい合い、両層の間に狭い隙
間を形成する。端子タップは各層と一体化し、各層から
延びる。磁場感受性エレメントは、これらの層のうちの
少なくとも一方の表面上にあり、好ましくは隙間を越え
て両層に延びる。磁場感受性エレメントは、それぞれに
別々の１層に電気的に接続された１対の接点を有する。
永久磁石は、これらの層のうち磁場感受性エレメントの
反対側の表面上に取り付けられ、そこから絶縁される。
絶縁物体の保護層は、磁場感受性エレメント、および端
タップがそこから延びる層を覆うことができる。
【０００７】１９９４年８月２３日にＷｕに発行された
米国特許第５３４１０９７号は、非対称磁気位置検出器
を開示する。歯形センサには、磁石、およびホール効果
エレメントなどの２つの磁気感受性装置が組み込まれ
る。２つの磁気感受性装置は、一方の装置が他方の装置
よりも磁石に接近して位置するようにして、互いに共通
の平面内に配置される。磁気感受性装置がともに配置さ
れた共通の平面は、磁石の中心軸から所定距離だけ離れ
ている。ディバイダを設けて、第１および第２磁気感受
性装置に垂直に加わる磁場の強さの比を決定する。この
比を使用して、センサに近接する歯と溝を区別するが、
磁気感受性装置が載る共通の平面は、一般に歯および溝
が通る経路に対して垂直である。
米国特許第５３４１０９７号は、非対称磁気位置検出器
を開示する。歯形センサには、磁石、およびホール効果
エレメントなどの２つの磁気感受性装置が組み込まれ
る。２つの磁気感受性装置は、一方の装置が他方の装置
よりも磁石に接近して位置するようにして、互いに共通
の平面内に配置される。磁気感受性装置がともに配置さ
れた共通の平面は、磁石の中心軸から所定距離だけ離れ
ている。ディバイダを設けて、第１および第２磁気感受
性装置に垂直に加わる磁場の強さの比を決定する。この
比を使用して、センサに近接する歯と溝を区別するが、
磁気感受性装置が載る共通の平面は、一般に歯および溝
が通る経路に対して垂直である。
【０００８】１９９５年８月２２日にＷｕに発行された
米国特許第５４４４３７０号は、相補的な磁気部分およ
び非磁気部分を有する２つのターゲット・トラックに最
も接近して配列された２つの磁気感受性構成部品を備え
た、磁気角度位置センサを開示する。このセンサは、一
般に互いに平行に配列された２つのターゲット・トラッ
クを備える。各ターゲット・トラックは、互い違いにな
るような様式で配列された磁気部分および非磁気部分を
含む。第１および第２磁気感受性構成部品は、それぞれ
が第１および第２ターゲット・トラックに最も接近する
ように配置され、磁場の源は、第１および第２磁気感受
性構成部品に最も接近して配置される。第１および第２
磁気感受性構成部品に垂直に加わる磁場の歪みを使用し
て、そこから第１および第２出力信号を供給する。第１
および第２出力信号の関数である第３出力信号を使用し
て、第１および第２磁気感受性構成部品に対する第１お
よび第２ターゲット・トラックの位置を決定する。第１
および第２ターゲット・トラックの磁気部分および非磁
気部分は、サイズが異なってもよく、また可動物体の特
定かつ絶対的な位置を決定できる様式で配列することが
できる。
米国特許第５４４４３７０号は、相補的な磁気部分およ
び非磁気部分を有する２つのターゲット・トラックに最
も接近して配列された２つの磁気感受性構成部品を備え
た、磁気角度位置センサを開示する。このセンサは、一
般に互いに平行に配列された２つのターゲット・トラッ
クを備える。各ターゲット・トラックは、互い違いにな
るような様式で配列された磁気部分および非磁気部分を
含む。第１および第２磁気感受性構成部品は、それぞれ
が第１および第２ターゲット・トラックに最も接近する
ように配置され、磁場の源は、第１および第２磁気感受
性構成部品に最も接近して配置される。第１および第２
磁気感受性構成部品に垂直に加わる磁場の歪みを使用し
て、そこから第１および第２出力信号を供給する。第１
および第２出力信号の関数である第３出力信号を使用し
て、第１および第２磁気感受性構成部品に対する第１お
よび第２ターゲット・トラックの位置を決定する。第１
および第２ターゲット・トラックの磁気部分および非磁
気部分は、サイズが異なってもよく、また可動物体の特
定かつ絶対的な位置を決定できる様式で配列することが
できる。
【０００９】上記に記述した複数の米国特許は参照によ
り明確にこの記述に組み込まれる。
り明確にこの記述に組み込まれる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】既知のタイプの磁気セ
ンサに鑑みて、永久磁石を、ターゲットの強磁性物体が
進むことになる経路にできる限り接近した位置に配置す
る磁気センサを製造する手段を開発すれば有利であろ
う。さらに、センサの磁気感受性構成部品内で応力を引
き起こす可能性がある、全てまたはほとんどの製造段階
が完了した後で較正を実施することができるような方式
で、磁気センサを製造できるようにする手段を開発すれ
ば、かなり有利であろう。
ンサに鑑みて、永久磁石を、ターゲットの強磁性物体が
進むことになる経路にできる限り接近した位置に配置す
る磁気センサを製造する手段を開発すれば有利であろ
う。さらに、センサの磁気感受性構成部品内で応力を引
き起こす可能性がある、全てまたはほとんどの製造段階
が完了した後で較正を実施することができるような方式
で、磁気センサを製造できるようにする手段を開発すれ
ば、かなり有利であろう。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によって製造する
磁気センサは、永久磁石構造、ならびに第１表面および
第２表面を有する磁気感受性構成部品を含む。さらに、
レーザ・ビームなど、前もって選択したタイプの放射線
に対して透明なプレートを含む。磁気感受性構成部品の
第１表面は、磁気感受性構成部品を永久磁石構造とその
プレートの間に挟むようにして、プレートに取り付けら
れる。さらに、複数の導電エレメントをプレートの表面
上に配置し、磁気感受性構成部品の第１表面の前もって
選択した複数の部分の間に電気連絡するように接続す
る。
磁気センサは、永久磁石構造、ならびに第１表面および
第２表面を有する磁気感受性構成部品を含む。さらに、
レーザ・ビームなど、前もって選択したタイプの放射線
に対して透明なプレートを含む。磁気感受性構成部品の
第１表面は、磁気感受性構成部品を永久磁石構造とその
プレートの間に挟むようにして、プレートに取り付けら
れる。さらに、複数の導電エレメントをプレートの表面
上に配置し、磁気感受性構成部品の第１表面の前もって
選択した複数の部分の間に電気連絡するように接続す
る。
【００１２】本発明の好ましい実施態様では、永久磁石
構造は、永久磁石、および永久磁石の磁極面上に配置さ
れた磁極片を含む。ただし、この磁極片は、本発明の全
ての実施形態で不可欠なエレメントではないことを理解
されたい。さらに、磁気感受性構成部品は、本発明の好
ましい実施態様では、複数の個別のチップを含む。複数
の個別のチップのそれぞれの第１表面は、プレートに取
り付けられる。個別のチップは、集積回路チップ、およ
び１つまたは複数の別々のセンサ・チップを含む。セン
サ・チップは磁気抵抗性にすることができる。別法とし
て、センサ・チップは、ホール効果エレメントないしア
ンチモン化インジウム・エレメントとすることもでき
る。磁気感受性を与えるために使用する特定の材料は、
本発明を限定するものではない。集積回路は透明プレー
トの厚さを介して露出するので、このプレートの厚さを
通過するように向けたレーザによって、抵抗器のネット
ワークを選択的にトリミングすることができる。このト
リミングは、その他の構成部品の全てを単一構造に組立
てた後で実施することができる。したがって、この較正
では、この組立て過程中に磁気感受性構成部品内に引き
起こされた応力を補償することができる。その結果とし
て、これらの応力によって引き起こされる可能性がある
信号のオフセットを、較正過程中に補償することができ
る。
構造は、永久磁石、および永久磁石の磁極面上に配置さ
れた磁極片を含む。ただし、この磁極片は、本発明の全
ての実施形態で不可欠なエレメントではないことを理解
されたい。さらに、磁気感受性構成部品は、本発明の好
ましい実施態様では、複数の個別のチップを含む。複数
の個別のチップのそれぞれの第１表面は、プレートに取
り付けられる。個別のチップは、集積回路チップ、およ
び１つまたは複数の別々のセンサ・チップを含む。セン
サ・チップは磁気抵抗性にすることができる。別法とし
て、センサ・チップは、ホール効果エレメントないしア
ンチモン化インジウム・エレメントとすることもでき
る。磁気感受性を与えるために使用する特定の材料は、
本発明を限定するものではない。集積回路は透明プレー
トの厚さを介して露出するので、このプレートの厚さを
通過するように向けたレーザによって、抵抗器のネット
ワークを選択的にトリミングすることができる。このト
リミングは、その他の構成部品の全てを単一構造に組立
てた後で実施することができる。したがって、この較正
では、この組立て過程中に磁気感受性構成部品内に引き
起こされた応力を補償することができる。その結果とし
て、これらの応力によって引き起こされる可能性がある
信号のオフセットを、較正過程中に補償することができ
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】図面とともに発明の好ましい実施
の形態を読むことにより、本発明についてより十分かつ
完全に理解することができるであろう。
の形態を読むことにより、本発明についてより十分かつ
完全に理解することができるであろう。
【００１４】発明の好ましい実施の形態を通じて、同様
の構成部品は同様の参照番号で識別される。
の構成部品は同様の参照番号で識別される。
【００１５】本発明の好ましい実施形態は、図１に示す
永久磁石構造を含む。この永久磁石構造は、永久磁石の
磁極面上に配置された磁極片１２を備えた永久磁石１０
を含む。通常の適用分野では、磁極片１２は、ニッケル
が３９％ないし４２％、炭素、マンガン、ケイ素がそれ
ぞれ１％未満で、残りが鉄であるものなどの強磁性体で
構成することができる。磁極片１２の目的は、永久磁石
１０から出る磁場をより均一にし、それによって普通な
ら永久磁石１０の不均一な磁化によって生じる可能性が
ある磁気異常を回避することである。
永久磁石構造を含む。この永久磁石構造は、永久磁石の
磁極面上に配置された磁極片１２を備えた永久磁石１０
を含む。通常の適用分野では、磁極片１２は、ニッケル
が３９％ないし４２％、炭素、マンガン、ケイ素がそれ
ぞれ１％未満で、残りが鉄であるものなどの強磁性体で
構成することができる。磁極片１２の目的は、永久磁石
１０から出る磁場をより均一にし、それによって普通な
ら永久磁石１０の不均一な磁化によって生じる可能性が
ある磁気異常を回避することである。
【００１６】本発明の好ましい実施形態はまた、第１表
面および第２表面を有する磁気感受性構成部品も含む。
本発明の多くの適用分野では、この磁気感受性構成部品
は、互いに協働して磁気感受性構成部品にかかる磁場を
表す出力信号を供給する複数の個別の構成部品を含む。
図２で、磁気感受性構成部品は、集積回路チップ２０、
および２つの磁気感受性エレメント・チップ２２、２４
を含む。磁気感受性エレメント・チップ２２、２４はそ
れぞれ、それらの第１表面上に配置された蛇行抵抗器を
含むものとして概略的に示す。蛇行抵抗器は、それぞれ
参照番号２６、２８で識別する。集積回路チップ２０
は、２つの磁気感受性エレメント・チップ２２、２４か
ら受信した信号を増幅および調節するのに必要な、様々
な個別の構成部品を含む。集積回路チップ２０に含まれ
る特定の構成部品は、本発明を限定するものではない
が、これを説明するために図２にその概略図を示す。集
積回路チップ２０の第１表面上で、集積回路に含まれる
エレメントの１つは、抵抗器配列である。これらの抵抗
器は、較正過程中にレーザによってトリミングすること
ができ、集積回路からの出力信号中の、特定の応力に関
連したオフセットを較正手順で補償することができるよ
うにする。通常の較正過程中、エレメント２０、２２、
２４を含む磁気感受性構成部品は、特定の所定条件下で
磁場中にあり、トリミング可能な抵抗器は、前もって選
択した出力信号をそれらの所定条件下で達成するよう
に、選択的に改変される。
面および第２表面を有する磁気感受性構成部品も含む。
本発明の多くの適用分野では、この磁気感受性構成部品
は、互いに協働して磁気感受性構成部品にかかる磁場を
表す出力信号を供給する複数の個別の構成部品を含む。
図２で、磁気感受性構成部品は、集積回路チップ２０、
および２つの磁気感受性エレメント・チップ２２、２４
を含む。磁気感受性エレメント・チップ２２、２４はそ
れぞれ、それらの第１表面上に配置された蛇行抵抗器を
含むものとして概略的に示す。蛇行抵抗器は、それぞれ
参照番号２６、２８で識別する。集積回路チップ２０
は、２つの磁気感受性エレメント・チップ２２、２４か
ら受信した信号を増幅および調節するのに必要な、様々
な個別の構成部品を含む。集積回路チップ２０に含まれ
る特定の構成部品は、本発明を限定するものではない
が、これを説明するために図２にその概略図を示す。集
積回路チップ２０の第１表面上で、集積回路に含まれる
エレメントの１つは、抵抗器配列である。これらの抵抗
器は、較正過程中にレーザによってトリミングすること
ができ、集積回路からの出力信号中の、特定の応力に関
連したオフセットを較正手順で補償することができるよ
うにする。通常の較正過程中、エレメント２０、２２、
２４を含む磁気感受性構成部品は、特定の所定条件下で
磁場中にあり、トリミング可能な抵抗器は、前もって選
択した出力信号をそれらの所定条件下で達成するよう
に、選択的に改変される。
【００１７】引き続き図２を参照すると、参照番号２９
は、トリミング可能な抵抗器を含む集積回路チップ２０
の第１表面上にある集積回路の一部を表象的に表してい
る。図２に図示したのは事実上例示的なものであり、寸
法を正確に図示するためのものではないことを明白に理
解されたい。当業者になら分かるように、集積回路の個
別のエレメントは非常に小さいので、明瞭に図示するこ
とは困難である。このために図２では、様々な寸法をこ
こで論じるために意図的に誇張してある。
は、トリミング可能な抵抗器を含む集積回路チップ２０
の第１表面上にある集積回路の一部を表象的に表してい
る。図２に図示したのは事実上例示的なものであり、寸
法を正確に図示するためのものではないことを明白に理
解されたい。当業者になら分かるように、集積回路の個
別のエレメントは非常に小さいので、明瞭に図示するこ
とは困難である。このために図２では、様々な寸法をこ
こで論じるために意図的に誇張してある。
【００１８】図３は、図１に関連して説明した永久磁石
１０および磁極片１２を含む永久磁石構造の表面上に図
２に関連して説明した磁気感受性構成部品を配置した状
態で示す図である。図３では、図示するために、図を水
平方向に拡大し、垂直方向に縮小してある。ただし、ほ
とんどの適用分野では、永久磁石１０は、その幅よりも
極性軸方向の長さの方がはるかに長いことを明白に理解
されたい。図３に示す構成では、磁極片１２を備えた永
久磁石１０の磁場中に磁気感受性構成部品を配置し、磁
極片１２を使用しない場合に普通なら期待されるよりも
磁場を均一にするように働く。
１０および磁極片１２を含む永久磁石構造の表面上に図
２に関連して説明した磁気感受性構成部品を配置した状
態で示す図である。図３では、図示するために、図を水
平方向に拡大し、垂直方向に縮小してある。ただし、ほ
とんどの適用分野では、永久磁石１０は、その幅よりも
極性軸方向の長さの方がはるかに長いことを明白に理解
されたい。図３に示す構成では、磁極片１２を備えた永
久磁石１０の磁場中に磁気感受性構成部品を配置し、磁
極片１２を使用しない場合に普通なら期待されるよりも
磁場を均一にするように働く。
【００１９】図３は、磁気感受性構成部品２１の様々な
エレメントの、永久磁石１０および磁極片１２を含む永
久磁石構造に対する物理的な位置関係を示す図である。
本発明の目的は、図３に示した構成部品の相対的な配置
を達成することであるが、永久磁石１０の磁極面と、磁
気センサと共にターゲットとして使用する強磁性物体と
の間の間隔が減少するという付加的な利点もある。検出
ゾーンに向かって移動する強磁性体物体の位置または動
作を感知するために、磁気センサを有効に使用すること
ができるように、磁気感受性構成部品２１の個別のエレ
メント２０、２２、２４を互いに接続し、かつ外部装置
に接続しなければならないことを理解されたい。これら
の接続は、磁気感受性構成部品２１のエレメントの第１
表面より上で行わなければならない。多くのタイプの既
知の磁気センサでは、エレメント２０、２２、２４を第
１表面より上で接続するにはワイヤ・ボンドが必要であ
るが、ワイヤ・ボンドは、これらのエレメントの上に隙
間を必要とし、また永久磁石１０の磁極面と強磁性体タ
ーゲットが通過する検出ゾーンとの間の間隔も広げる。
図３に示す個別の構成部品の第１表面が、磁極片１２と
は距離を隔てて延びる上側表面であることを理解された
い。エレメント２０、２２、２４のそれぞれの第２表面
は、磁極片１２と接触させて配置し、そこに取り付け
る。
エレメントの、永久磁石１０および磁極片１２を含む永
久磁石構造に対する物理的な位置関係を示す図である。
本発明の目的は、図３に示した構成部品の相対的な配置
を達成することであるが、永久磁石１０の磁極面と、磁
気センサと共にターゲットとして使用する強磁性物体と
の間の間隔が減少するという付加的な利点もある。検出
ゾーンに向かって移動する強磁性体物体の位置または動
作を感知するために、磁気センサを有効に使用すること
ができるように、磁気感受性構成部品２１の個別のエレ
メント２０、２２、２４を互いに接続し、かつ外部装置
に接続しなければならないことを理解されたい。これら
の接続は、磁気感受性構成部品２１のエレメントの第１
表面より上で行わなければならない。多くのタイプの既
知の磁気センサでは、エレメント２０、２２、２４を第
１表面より上で接続するにはワイヤ・ボンドが必要であ
るが、ワイヤ・ボンドは、これらのエレメントの上に隙
間を必要とし、また永久磁石１０の磁極面と強磁性体タ
ーゲットが通過する検出ゾーンとの間の間隔も広げる。
図３に示す個別の構成部品の第１表面が、磁極片１２と
は距離を隔てて延びる上側表面であることを理解された
い。エレメント２０、２２、２４のそれぞれの第２表面
は、磁極片１２と接触させて配置し、そこに取り付け
る。
【００２０】図４は、一般にレーザなどの所定の形の放
射線に対して透明なプレート４０を示す図である。その
表面４１上に、複数の導電エレメントを配置する。導電
エレメントは３つの形状をとることができる。第１に、
複数の導電パッド４２をプレート４０の表面４１上に配
置することができる。さらに、複数の導電回路点４４
を、上記に説明した磁気感受性構成部品２１の第１表面
上の位置に適合するように、表面４１上の前もって選択
した位置に配置する。第３に、導電ラン４６を使用し
て、様々な導電回路点４４と、その他の導電点４４また
は導電パッド４２とを相互接続する。導電回路点４４、
導電パッド４２、および導電ラン４６は、プレート４０
の表面４１上に配置され、磁気感受性構成部品２１の第
１表面上の様々な位置を、互いに電気連絡および信号連
絡するように接続する相互接続を形成する。表面４１上
のこれらの導電エレメントにより、磁気感受性構成部品
の様々なエレメントを互いに接続するのにワイヤ・ボン
ドが必要でなくなる。したがって、プレート４０の表面
４１上で複数の導電エレメントを使用することは、永久
磁石１０と磁気センサの検出ゾーンを通過する強磁性体
ターゲットとの間の間隔を減少させるという有益な目的
にかなう。
射線に対して透明なプレート４０を示す図である。その
表面４１上に、複数の導電エレメントを配置する。導電
エレメントは３つの形状をとることができる。第１に、
複数の導電パッド４２をプレート４０の表面４１上に配
置することができる。さらに、複数の導電回路点４４
を、上記に説明した磁気感受性構成部品２１の第１表面
上の位置に適合するように、表面４１上の前もって選択
した位置に配置する。第３に、導電ラン４６を使用し
て、様々な導電回路点４４と、その他の導電点４４また
は導電パッド４２とを相互接続する。導電回路点４４、
導電パッド４２、および導電ラン４６は、プレート４０
の表面４１上に配置され、磁気感受性構成部品２１の第
１表面上の様々な位置を、互いに電気連絡および信号連
絡するように接続する相互接続を形成する。表面４１上
のこれらの導電エレメントにより、磁気感受性構成部品
の様々なエレメントを互いに接続するのにワイヤ・ボン
ドが必要でなくなる。したがって、プレート４０の表面
４１上で複数の導電エレメントを使用することは、永久
磁石１０と磁気センサの検出ゾーンを通過する強磁性体
ターゲットとの間の間隔を減少させるという有益な目的
にかなう。
【００２１】引き続き図４を参照すると、破線は、プレ
ート４０の表面４１上に配置された前もって選択した導
電回路点とともに、表面４１上の最終的に接触して位置
することになる、磁気感受性構成部品２１の各エレメン
ト２０、２２、２４の位置を表している。これらの破線
の囲いは、参照番号２０’、２２’、２４’で識別し、
以下にさらに詳細に述べる後続の組立ての後でエレメン
ト２０、２２、２４がそれぞれ位置する位置を示す。
ート４０の表面４１上に配置された前もって選択した導
電回路点とともに、表面４１上の最終的に接触して位置
することになる、磁気感受性構成部品２１の各エレメン
ト２０、２２、２４の位置を表している。これらの破線
の囲いは、参照番号２０’、２２’、２４’で識別し、
以下にさらに詳細に述べる後続の組立ての後でエレメン
ト２０、２２、２４がそれぞれ位置する位置を示す。
【００２２】図５は、表面４１に接触して配置した磁気
感受性構成部品２１のエレメント２０、２２、２４とと
もに示すプレート４０の図である。エレメントは、プレ
ート４０の下側表面４１の、図４に関連して既に説明
し、破線の囲い２０’、２２’、２４’として図示した
位置に取り付ける。これらのエレメントを破線で図５に
表して、それらの配置を示し、それらがプレート４０の
下になることを表している。
感受性構成部品２１のエレメント２０、２２、２４とと
もに示すプレート４０の図である。エレメントは、プレ
ート４０の下側表面４１の、図４に関連して既に説明
し、破線の囲い２０’、２２’、２４’として図示した
位置に取り付ける。これらのエレメントを破線で図５に
表して、それらの配置を示し、それらがプレート４０の
下になることを表している。
【００２３】引き続き図５を参照すると、プレート４０
が、レーザ・ビームなどの前もって選択したタイプの放
射線に対して透明であることを理解されたい。矢印５０
は、プレート４０を通過し、集積回路チップ２０の第１
表面上にある前もって選択した抵抗器を選択的にトリミ
ングするレーザ・ビームを概略的に表す。この較正手順
は、磁気感受性構成部品のエレメントをプレート４０の
表面４１にしっかりと固定した後で行うことができるこ
とに留意されたい。図４に関連して上記に説明した導電
回路点４４、導電ラン４６、導電パッド４２で形成して
いる相互接続をエレメント２０、２２、２４が必要とす
るので、本実施形態による較正手順は、これらをプレー
ト４０の表面４１に取り付けた後で行うことになる。磁
気感受性構成部品２１の第１表面をプレート４０の表面
４１に取り付けることによって、前もって選択した回路
点の間の電気連絡がもたらされ、装置は較正手順の目的
のために能動的に動作することが可能となる。図５には
示していないが、較正手順は、通常は永久磁石構造を磁
気感受性構成部品２１のエレメントの下に配置した状態
で行うことを理解されたい。換言すれば、磁気感受性構
成部品２１の個別のエレメントは、永久磁石構造とプレ
ート４０の間に配置する。この配列については、以下に
さらに詳細に述べる。
が、レーザ・ビームなどの前もって選択したタイプの放
射線に対して透明であることを理解されたい。矢印５０
は、プレート４０を通過し、集積回路チップ２０の第１
表面上にある前もって選択した抵抗器を選択的にトリミ
ングするレーザ・ビームを概略的に表す。この較正手順
は、磁気感受性構成部品のエレメントをプレート４０の
表面４１にしっかりと固定した後で行うことができるこ
とに留意されたい。図４に関連して上記に説明した導電
回路点４４、導電ラン４６、導電パッド４２で形成して
いる相互接続をエレメント２０、２２、２４が必要とす
るので、本実施形態による較正手順は、これらをプレー
ト４０の表面４１に取り付けた後で行うことになる。磁
気感受性構成部品２１の第１表面をプレート４０の表面
４１に取り付けることによって、前もって選択した回路
点の間の電気連絡がもたらされ、装置は較正手順の目的
のために能動的に動作することが可能となる。図５には
示していないが、較正手順は、通常は永久磁石構造を磁
気感受性構成部品２１のエレメントの下に配置した状態
で行うことを理解されたい。換言すれば、磁気感受性構
成部品２１の個別のエレメントは、永久磁石構造とプレ
ート４０の間に配置する。この配列については、以下に
さらに詳細に述べる。
【００２４】図６は、本発明の好ましい実施形態の側面
図である。永久磁石１０は、強磁性体の薄い層にするこ
とができる磁極片１２を備える。例えば、磁極片１２の
層は、厚さを０．００５インチにし、適当な任意の強磁
性体を含むことができる。磁極片の層１２を永久磁石１
０上に配置することにより、磁石から出る磁場の不均一
性が改善される。プレート４０は、通常は厚さが０．０
１５インチであり、本発明の好ましい実施形態では透明
なガラスからなる。集積回路２０上の抵抗器をトリミン
グする目的のためにレーザ・ビームに対して透明な多く
のタイプのガラスは、Ｐｙｒｅｘ Ｇｌａｓｓ Ｃｏｒ
ｐｏｒａｔｉｏｎより市販されている。磁気感受性構成
部品２１の個別のエレメント２０、２２、２４は、磁気
感受性構成部品の第１表面上の前もって選択した位置
を、図４に関連して上記に述べた導電回路点４４にはん
だ付けすることによって、プレート４０の表面４１に接
続される。この作業を実施する１つの方法は、磁気感受
性構成部品２１の様々なエレメント２０、２２、２４の
第１表面に、プレート４０の表面４１上に配置した導電
回路点４４と接触するように配置した「はんだバンプ」
を備えることである。加熱すると、はんだバンプは溶解
し、磁気感受性構成部品のエレメントを表面４１に取り
付ける。はんだバンプの再凝固は有益な２つの役目を果
たす。第１に、磁気感受性構成部品をプレート４０の表
面４１に物理的に取り付ける。第２に、磁気感受性構成
部品２１の第１表面上にある前もって選択した位置と、
表面４１上の導電回路点４４との間の電気連絡をもたら
す。このことにより、導電ラン４６は、磁気感受性構成
部品の前もって選択した複数の回路点を相互接続し、ま
た磁気感受性構成部品を外部装置に接続して磁気感受性
構成部品から外部機器に信号を供給するという、有益な
役目を果たすことが可能になる。
図である。永久磁石１０は、強磁性体の薄い層にするこ
とができる磁極片１２を備える。例えば、磁極片１２の
層は、厚さを０．００５インチにし、適当な任意の強磁
性体を含むことができる。磁極片の層１２を永久磁石１
０上に配置することにより、磁石から出る磁場の不均一
性が改善される。プレート４０は、通常は厚さが０．０
１５インチであり、本発明の好ましい実施形態では透明
なガラスからなる。集積回路２０上の抵抗器をトリミン
グする目的のためにレーザ・ビームに対して透明な多く
のタイプのガラスは、Ｐｙｒｅｘ Ｇｌａｓｓ Ｃｏｒ
ｐｏｒａｔｉｏｎより市販されている。磁気感受性構成
部品２１の個別のエレメント２０、２２、２４は、磁気
感受性構成部品の第１表面上の前もって選択した位置
を、図４に関連して上記に述べた導電回路点４４にはん
だ付けすることによって、プレート４０の表面４１に接
続される。この作業を実施する１つの方法は、磁気感受
性構成部品２１の様々なエレメント２０、２２、２４の
第１表面に、プレート４０の表面４１上に配置した導電
回路点４４と接触するように配置した「はんだバンプ」
を備えることである。加熱すると、はんだバンプは溶解
し、磁気感受性構成部品のエレメントを表面４１に取り
付ける。はんだバンプの再凝固は有益な２つの役目を果
たす。第１に、磁気感受性構成部品をプレート４０の表
面４１に物理的に取り付ける。第２に、磁気感受性構成
部品２１の第１表面上にある前もって選択した位置と、
表面４１上の導電回路点４４との間の電気連絡をもたら
す。このことにより、導電ラン４６は、磁気感受性構成
部品の前もって選択した複数の回路点を相互接続し、ま
た磁気感受性構成部品を外部装置に接続して磁気感受性
構成部品から外部機器に信号を供給するという、有益な
役目を果たすことが可能になる。
【００２５】矢印５０は、プレート４０を磁気感受性構
成部品２１に取り付け、磁気感受性構成部品２１を磁極
片１２に取り付けた後で、磁気センサを較正するのに使
用できるレーザ・ビームを表す。磁気感受性構成部品２
１の個別のエレメント２０、２２、２４の第２表面を磁
極片１２に取り付けることは、エポキシを使用すること
によって達成することができる。図６の組立てたエレメ
ントを互いにしっかりと取り付けた後で、示したよう
に、レーザを使用して集積回路チップ２０上の抵抗器を
トリミングし、装置を較正することができる。図６の構
成部品の組立てが完了した後で装置を較正することの真
価は、製造過程によって生じる全てまたはほとんどの応
力が、磁気センサが図６に表す段階にあるときには既に
存在しており、したがって矢印５０で表す抵抗器のトリ
ミング動作によって、これを補償することができる点に
ある。レーザ・ビームは、透明プレート４０を通過し、
集積回路チップ２０の第１表面上にある抵抗器をトリミ
ングすることができる。本発明のほとんどの適用分野で
は、装置内でさらに応力を引き起こすと予想される、後
続の組立てが必要になることはほとんどない。例えば、
図６に示す装置を覆って外被６０を配置し、装置のため
の環境保護を行うこともできる。図６に示す外被６０
は、壁面の薄い金属缶を、その底面をプレート４０の上
面に接近させ、かつ図６に示す装置全体をその内部の空
間内に配置するような状態でこの構造を覆って配置した
ものに類似している。
成部品２１に取り付け、磁気感受性構成部品２１を磁極
片１２に取り付けた後で、磁気センサを較正するのに使
用できるレーザ・ビームを表す。磁気感受性構成部品２
１の個別のエレメント２０、２２、２４の第２表面を磁
極片１２に取り付けることは、エポキシを使用すること
によって達成することができる。図６の組立てたエレメ
ントを互いにしっかりと取り付けた後で、示したよう
に、レーザを使用して集積回路チップ２０上の抵抗器を
トリミングし、装置を較正することができる。図６の構
成部品の組立てが完了した後で装置を較正することの真
価は、製造過程によって生じる全てまたはほとんどの応
力が、磁気センサが図６に表す段階にあるときには既に
存在しており、したがって矢印５０で表す抵抗器のトリ
ミング動作によって、これを補償することができる点に
ある。レーザ・ビームは、透明プレート４０を通過し、
集積回路チップ２０の第１表面上にある抵抗器をトリミ
ングすることができる。本発明のほとんどの適用分野で
は、装置内でさらに応力を引き起こすと予想される、後
続の組立てが必要になることはほとんどない。例えば、
図６に示す装置を覆って外被６０を配置し、装置のため
の環境保護を行うこともできる。図６に示す外被６０
は、壁面の薄い金属缶を、その底面をプレート４０の上
面に接近させ、かつ図６に示す装置全体をその内部の空
間内に配置するような状態でこの構造を覆って配置した
ものに類似している。
【００２６】図７は、若干の修正を加えた、本発明の代
替の実施形態を示す図である。プレート４０、およびエ
レメント２０、２２、２４を含む磁気感受性構成部品２
１は、上記に述べた方法と同様の方法で製造する。換言
すれば、磁気感受性構成部品の個別のエレメントの第１
表面は、これらのエレメントを図４に関連して上記に説
明した回路点４４に取り付けるはんだバンプを備える。
ただし、磁気感受性構成部品２１の第２表面を磁石構造
の上側表面に直接取り付けるのではなく、エポキシまた
はその他の適当な材料によってカバー７０をプレート４
０に取り付け、その後でカバー７０を永久磁石１０に取
り付ける。図７に表した実施形態では、カバー７０は強
磁性体でできており、磁極片としても機能する。あるい
は、カバー７０を非強磁性体で製造し、上記の考察にお
いて参照番号１２で識別したものなどの付加的な磁極片
を、永久磁石１０の上側表面上に設けることもできる。
本発明の好ましい実施形態と同様に、透明プレート４０
を通過するレーザ・ビームによって、図７の磁気感受性
構成部品を較正することができる。
替の実施形態を示す図である。プレート４０、およびエ
レメント２０、２２、２４を含む磁気感受性構成部品２
１は、上記に述べた方法と同様の方法で製造する。換言
すれば、磁気感受性構成部品の個別のエレメントの第１
表面は、これらのエレメントを図４に関連して上記に説
明した回路点４４に取り付けるはんだバンプを備える。
ただし、磁気感受性構成部品２１の第２表面を磁石構造
の上側表面に直接取り付けるのではなく、エポキシまた
はその他の適当な材料によってカバー７０をプレート４
０に取り付け、その後でカバー７０を永久磁石１０に取
り付ける。図７に表した実施形態では、カバー７０は強
磁性体でできており、磁極片としても機能する。あるい
は、カバー７０を非強磁性体で製造し、上記の考察にお
いて参照番号１２で識別したものなどの付加的な磁極片
を、永久磁石１０の上側表面上に設けることもできる。
本発明の好ましい実施形態と同様に、透明プレート４０
を通過するレーザ・ビームによって、図７の磁気感受性
構成部品を較正することができる。
【００２７】本発明の特定の構造または実施形態とは無
関係に、有利な特徴が主に２つ提供される。第１に、永
久磁石１０と強磁性体ターゲットの間の間隔が、既知の
磁気センサに比べて減少する。強磁性体ターゲットは図
６または図７には図示していないが、このターゲットが
プレート４０の上側表面４１のすぐ上で検出ゾーンを通
過することを理解されたい。上記に述べたように、本発
明の通常の適用分野では、図６または７に示したエレメ
ントを覆って配置する、一般に金属缶６０などの何らか
の形状の保護装置を使用することになる。通常は薄い壁
面である缶６０は、プレート４０の上側表面の上に追加
の空間をわずかに必要とするが、これは通常はきわめて
小さい。本発明の第２の利点は、磁気センサを、図６ま
たは図７のどちらかに示した状態に組立てた後で、レー
ザ・ビームによって較正することができる点である。セ
ンサをレーザ・ビームでトリミングしてその時点までの
製造手順で生じた全ての応力の補償を実行することがで
きるので、このことはかなり有利である。
関係に、有利な特徴が主に２つ提供される。第１に、永
久磁石１０と強磁性体ターゲットの間の間隔が、既知の
磁気センサに比べて減少する。強磁性体ターゲットは図
６または図７には図示していないが、このターゲットが
プレート４０の上側表面４１のすぐ上で検出ゾーンを通
過することを理解されたい。上記に述べたように、本発
明の通常の適用分野では、図６または７に示したエレメ
ントを覆って配置する、一般に金属缶６０などの何らか
の形状の保護装置を使用することになる。通常は薄い壁
面である缶６０は、プレート４０の上側表面の上に追加
の空間をわずかに必要とするが、これは通常はきわめて
小さい。本発明の第２の利点は、磁気センサを、図６ま
たは図７のどちらかに示した状態に組立てた後で、レー
ザ・ビームによって較正することができる点である。セ
ンサをレーザ・ビームでトリミングしてその時点までの
製造手順で生じた全ての応力の補償を実行することがで
きるので、このことはかなり有利である。
【００２８】本発明についてかなり詳細に説明し、図示
して２つの好ましい実施形態を実証したが、その他の実
施形態も本発明の範囲内に含まれる。
して２つの好ましい実施形態を実証したが、その他の実
施形態も本発明の範囲内に含まれる。
【図１】永久磁石および磁極片を含む永久磁石構造を示
す図である。
す図である。
【図２】本発明に関連して使用する磁気感受性構成部品
のエレメントを示す図である。
のエレメントを示す図である。
【図３】永久磁石構造の上側表面に取り付けられた磁気
感受性構成部品を示す図である。
感受性構成部品を示す図である。
【図４】導電エレメントがその上に配置された表面を備
えた透明プレートを示す図である。
えた透明プレートを示す図である。
【図５】磁気感受性構成部品がその下側に取り付けられ
た導電プレートを示すもう１つの図である。
た導電プレートを示すもう１つの図である。
【図６】本発明の一実施形態を示す側面図である。
【図７】本発明のもう１つの実施形態を示す側面図であ
る。
る。
１０ 永久磁石 １２ 磁極片 ２０ 集積回路チップ ２２、２４ 磁気感受性エレメント・チップ ４０ 透明プレート ４１ 表面 ５０ レーザ・ビーム ６０ 外被
Claims (5)
- 【請求項１】 永久磁石構造と、 第１表面および第２表面を備えた磁気感受性構成部品
と、 前記磁気感受性構成部品の前記第１表面が取り付けら
れ、前記磁気感受性構成部品が前記永久磁石とプレート
との間に配置される、前もって選択したタイプの放射線
に対して透明なプレートと、 前記磁気感受性構成部品の前記第１表面にある前もって
選択した複数の部分との間に電気連絡で接続された、前
記プレートの表面上に配置された複数の導電エレメント
とを含む磁気センサ。 - 【請求項２】 カバーと前記プレートの間に形成された
空洞内に、前記磁気感受性構成部品を包むように形成さ
れた、前記プレートに取り付けられたカバーをさらに含
む請求項１に記載のセンサ。 - 【請求項３】 永久磁石構造と、 第１表面および第２表面を備えた磁気感受性構成部品
と、 前記磁気感受性構成部品の前記第１表面が取り付けら
れ、前記磁気感受性構成部品が前記永久磁石とプレート
との間に配置される、前もって選択したタイプの放射線
に対して透明なプレートと、 前記プレートにはんだで取り付けられる前記磁気感受性
構成部品の前記第１表面にある前もって選択した複数の
部分の間に電気連絡で接続された、前記プレートの表面
上に配置された複数の導電エレメントとを含む磁気セン
サ。 - 【請求項４】 カバーと前記プレートの間に形成された
空洞内に、前記磁気感受性構成部品を包むように形成さ
れた、前記プレートに取り付けられたカバーをさらに含
む、請求項３に記載のセンサ。 - 【請求項５】 永久磁石、および前記永久磁石の磁極面
上に配置された磁極片を含む永久磁石構造と、 第１表面および第２表面を備えた磁気感受性構成部品
と、 前記磁気感受性構成部品の前記第１表面が取り付けら
れ、前記磁気感受性構成部品が前記永久磁石構造とプレ
ートとの間に配置される、前もって選択したタイプの放
射線に対して透明なプレートと、 前記プレートにはんだで取り付けられ、前記プレートに
個々に取り付けられる複数の個別のチップを含む、前記
磁気感受性構成部品の前記第１表面にある前もって選択
した複数の部分の間に電気連絡で接続された、前記プレ
ートの表面上に配置された複数の導電エレメントとを含
む磁気センサ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/731,103 | 1996-10-09 | ||
| US08/731,103 US5896030A (en) | 1996-10-09 | 1996-10-09 | Magnetic sensor with components attached to transparent plate for laser trimming during calibration |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10142303A true JPH10142303A (ja) | 1998-05-29 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9276932A Pending JPH10142303A (ja) | 1996-10-09 | 1997-10-09 | 較正中にレーザ・トリミングするために透明プレートに取り付けられた構成部品を備えた磁気センサ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5896030A (ja) |
| JP (1) | JPH10142303A (ja) |
| DE (1) | DE19744050C2 (ja) |
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| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040922 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070911 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080226 |