JPH10139412A - ダイヤモンド微粒子の固定化方法およびダイヤモンド工具 - Google Patents

ダイヤモンド微粒子の固定化方法およびダイヤモンド工具

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JPH10139412A
JPH10139412A JP8291470A JP29147096A JPH10139412A JP H10139412 A JPH10139412 A JP H10139412A JP 8291470 A JP8291470 A JP 8291470A JP 29147096 A JP29147096 A JP 29147096A JP H10139412 A JPH10139412 A JP H10139412A
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JP
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fine particles
diamond
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conductive tool
diamond fine
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JP8291470A
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Kuninori Shinada
邦典 品田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、導電性工具にダイヤモンド微粒子
を固定するためのダイヤモンド微粒子の固定化方法、お
よび、この固定化方法を用いて製造されたダイヤモンド
工具に関し、導電性工具にダイヤモンド微粒子を強固に
固定すること、および、湿式加工に使用可能なダイヤモ
ンド工具を提供することを目的とする。 【解決手段】 水にダイヤモンド微粒子を分散させた懸
濁液と導電性工具とに電圧を印加し、前記ダイヤモンド
微粒子を電気泳動により前記導電性工具に付着させて固
定化するダイヤモンド微粒子の固定化方法において、前
記懸濁液に、前記ダイヤモンド微粒子の分散剤であるヘ
キサメタリン酸ナトリウムまたはピロリン酸ナトリウム
を混合するとともに、ポリビニルピロリドンおよびシラ
ンカップリング剤を混合することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性工具にダイ
ヤモンド微粒子を固定するためのダイヤモンド微粒子の
固定化方法、および、この固定化方法を用いて製造され
たダイヤモンド工具に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、加工物を固定砥粒で加工した後
の表面粗さは、固定砥粒に用いられる微粒子の大きさに
依存する傾向があり、固定砥粒に用いられる微粒子の大
きさが小さいほど加工後の表面粗さが良好になることが
知られている。従来、このような固定砥粒の製造方法と
して、例えば、特公平7−16878号公報に開示され
る方法、あるいは、1991年度精密工学会秋期大会学
術講演会講演論文集37頁から38頁に記載される方法
が知られている。
【0003】図2は、特公平7−16878号公報に開
示される方法を示すもので、この方法では、容器1内に
微粒子を混合した懸濁液2が収容され、この懸濁液2中
に、電極3およぴ電極4が挿入される。電極3は回転可
能とされており、この電極3への電圧の印加は電極ブラ
シ5を介して行われる。
【0004】そして、微粒子の懸濁液2中に浸潰した電
極3と電極4との間に、微粒子の帯電の極性にあわせ電
極3に微粒子が電気泳動するように電圧Vを印加する
と、電気泳動現象により電極3の表面に微粒子が凝集し
て固化し、砥石層6が形成される。この電極3の表面に
形成された砥石層6は、そのまま砥石として懸濁液2中
で加工物と接触させるという方法で加工に用いられる。
【0005】この砥石層6は、微粒子が緩やかに結合し
ているため砥石層6が加工物に接触することにより脱落
するが、電極3と電極4との間に電圧Vを印加し続ける
ことにより、電気泳動現象により、脱落した箇所に微粒
子が補われる。図3は、1991年度精密工学会秋期大
会学術講演会講演論文集37頁から38頁に記載される
方法を示すもので、この方法では、容器7内に、ダイヤ
モンド微粒子8の結合剤としてアルギン酸ナトリウム9
を混合した懸濁液10が収容され、この懸濁液10中に
電極11と電極12とが挿入される。
【0006】電極11は、軸を中心に回転可能とされ、
電極11が陽極に、電極12が陰極になるように直流電
源13により電圧を印加すると、ダイヤモンド微粒子8
はアルギン酸ナトリウム9と共に陽極の電極11に吸着
される。そして、このダイヤモンド微粒子8とアルギン
酸ナトリウム9とが吸着した電極11を懸濁液10から
引き抜き、乾燥することによりダイヤモンドエ具が製造
される。
【0007】なお、この場合、単に乾燥しただけでは、
ダイヤモンド層に割れが生じてしまうため、乾燥前に、
乾燥時のダイヤモンド層の割れを防止する目的で塩化カ
ルシュウム溶液による処理が行われる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た図2に示した、懸濁液2中で電極3に付着した微粒子
をそのまま用いる方法では、研削や切削で形成されたツ
ールマークの除去に多大な時間を要してしまうという問
題があった。
【0009】すなわち、この方法では、凝集した微粒子
の固さが軟質なため、軟質な電極3と微粒子とを組み合
わせて加工を行い、表面粗さを良好に仕上げるポリシン
グ工程に用いるには良い方法であるが、固定工具が主に
用いられる、研削や切削で形成されたツールマークを除
去するための後工程である、スムージング工程あるいは
ラッピング工程では、固定化した微粒子が軟質なため、
凹凸の大きいツールマークの除去に必要な研磨力が得ら
れず、ツールマークの除去に多大な時間を要してしま
う。
【0010】一方、上述した図3に示した、ダイヤモン
ドエ具の製造方法では、製造されたダイヤモンド工具
を、乾式加工にしか使用することができないという問題
があった。
【0011】すなわち、一般に、高精度な面を加工する
場合には、加工時に発生する熱の影響、あるいは加工
屑、脱落した砥粒を除去する必要があり、例えば、水等
の液体を流しながら加工を行う必要があるが、親水性の
アルギン酸ナトリウム9を用いたダイヤモンドエ具で
は、湿式加工によりダイヤモンド微粒子8の付着が崩れ
てしまうため、乾式加工でしか使用することができな
い。
【0012】本発明は、かかる従来の問題を解決するた
めになされたもので、導電性工具にダイヤモンド微粒子
を強固に固定することができるダイヤモンド微粒子の固
定化方法、および、この固定化方法を用いて製造された
湿式加工に使用可能なダイヤモンド工具を提供すること
を目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】請求項1のダイヤモンド
微粒子の固定化方法は、水にダイヤモンド微粒子を分散
させた懸濁液と導電性工具とに電圧を印加し、前記ダイ
ヤモンド微粒子を電気泳動により前記導電性工具に付着
させて固定化するダイヤモンド微粒子の固定化方法にお
いて、前記懸濁液に、前記ダイヤモンド微粒子の分散剤
であるヘキサメタリン酸ナトリウムまたはピロリン酸ナ
トリウムを混合するとともに、ポリビニルピロリドンお
よびシランカップリング剤を混合することを特徴とす
る。
【0014】請求項2のダイヤモンド微粒子の固定化方
法は、請求項1記載のダイヤモンド微粒子の固定化方法
において、前記導電性工具にダイヤモンド微粒子を付着
させた後、前記導電性工具を70℃から120℃の温度
で1時間以上加熱することを特徴とする。請求項3のダ
イヤモンド微粒子の固定化方法は、請求項1記載のダイ
ヤモンド微粒子の固定化方法において、前記導電性工具
にダイヤモンド微粒子を付着させた後、前記導電性工具
に紫外線を1時間以上照射することを特徴とする。
【0015】請求項4のダイヤモンド微粒子の固定化方
法は、請求項1ないし3のいずれか1項記載のダイヤモ
ンド微粒子の固定化方法において、前記導電性工具に対
向して電極を配置するとともに、前記導電性工具を回転
しながらダイヤモンド微粒子の付着を行うことを特徴と
する。請求項5のダイヤモンド工具は、導電性工具にダ
イヤモンド微粒子を固着してなるダイヤモンド工具にお
いて、前記ダイヤモンド微粒子を、ポリビニルピロリド
ンおよびシランカップリング剤により前記導電性工具に
固着してなることを特徴とする。
【0016】(作用)請求項1のダイヤモンド微粒子の
固定化方法では、水にダイヤモンド微粒子を分散させた
懸濁液に、ダイヤモンド微粒子の分散剤であるヘキサメ
タリン酸ナトリウムまたはピロリン酸ナトリウムを混合
したので、ダイヤモンド微粒子の表面が改質され、ダイ
ヤモンド微粒子が電気泳動により陽極の導電性工具に凝
集され易くなる。
【0017】また、このままだとダイヤモンド微粒子は
導電性工具に集まるだけで保持されず、また固まらない
が、懸濁液に、水に可溶で、かつ、加熱または紫外線照
射後に水に不溶化になるポリビニルピロリドンを混合し
たので、導電性工具にダイヤモンド微粒子を付着した
後、加熱または紫外線を照射することによりダイヤモン
ド微粒子が導電性工具に固着される。
【0018】そして、無機質と有機質とのカップリング
が可能なシランカップリング剤を懸濁液に混合したの
で、ヘキサメタリン酸ナトリウムまたはピロリン酸ナト
リウムが付着したダイヤモンド微粒子とポリビニルピロ
リドンとのカップリング、および、これ等と導電性工具
とのカップリングが行われ、ダイヤモンド微粒子が導電
性工具に強固に固着される。
【0019】請求項2のダイヤモンド微粒子の固定化方
法では、導電性工具にダイヤモンド微粒子を付着させた
後、導電性工具が、炉内において70℃から120℃の
温度で1時間以上加熱され、ポリビニルピロリドンが水
に対して不溶化される。請求項3のダイヤモンド微粒子
の固定化方法では、導電性工具にダイヤモンド微粒子を
付着させた後、導電性工具に紫外線が1時間以上照射さ
れ、ポリビニルピロリドンが水に対して不溶化される。
【0020】請求項4のダイヤモンド微粒子の固定化方
法では、導電性工具に対向して電極が配置され、導電性
工具の電極への対向面により多くのダイヤモンド微粒子
が付着される。また、導電性工具を回転しながらダイヤ
モンド微粒子の付着が行われるため、導電性工具の表面
にダイヤモンド微粒子が均等に付着される。
【0021】請求項5のダイヤモンド工具では、ダイヤ
モンド微粒子が、ポリビニルピロリドンおよびシランカ
ップリング剤により導電性工具に強固に固着される。ま
た、ポリビニルピロリドンが水に対して不溶化され、湿
式加工においてもダイヤモンド微粒子が導電性工具から
脱落することがない。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
用いて詳細に説明する。
【0023】図1は、本発明のダイヤモンド工具の一実
施形態の製造に用いられる製造装置を示している。この
製造装置では、ベース21上に、支持台23が設けられ
ている。この支持台23の上端には、アーム25の一端
が固定されている。アーム25の先端には、モータ27
により回転されるスピンドル29が固定されている。
【0024】そして、スピンドル29の下端には、例え
ば、アルミニウム,白金,黄銅等からなる導電性工具3
1が固定されている。この導電性工具31には、カーボ
ンブラシ33が当接されている。
【0025】このカーボンブラシ33は、ベース21上
に配置される直流電源35のプラス側に電気的に接続さ
れている。ベース21上には、液槽35が設けられてい
る。この液槽35の底部には、導電性工具31に対向す
る位置に、例えば、アルミニウム,白金,黄銅等からな
る電極37が配置されている。
【0026】この電極37は、直流電源35のマイナス
側に電気的に接続されている。そして、液槽35には、
水38にダイヤモンド微粒子39を分散した懸濁液が収
容されている。この懸濁液には、ヘキサメタリン酸ナト
リウム41が混合され、さらに、ポリビニルピロリドン
43およびシランカップリング剤45が混合されてい
る。
【0027】ここで、ヘキサメタリン酸ナトリウム41
は、ダイヤモンド微粒子39の表面を改質し、ダイヤモ
ンド微粒子39が電気泳動により陽極の導電性工具31
に凝集し易くする働きをする。また、ポリビニルピロリ
ドン43は、水に可溶で、かつ、加熱または紫外線照射
後に水に不溶化になる性質を有している。
【0028】さらに、シランカップリング剤45は、無
機質と有機質とをカップリングする性質を有している。
上述した製造装置を用いて、本発明のダイヤモンドエ具
の一実施形態が以下述べるようにして製造される。先
ず、液槽35に、水37,ダイヤモンド微粒子39,ヘ
キサメタリン酸ナトリウム41,ポリビニルピロリドン
43およびシランカップリング剤45を混合した懸濁液
が収容される。
【0029】そして、この懸濁液に、導電性工具31と
電極37とが浸漬され、導電性工具31が陽極に、電極
37が陰極になるように直流電源35により電圧が印加
される。なお、この時、導電性工具31には、カーボン
ブラシ33を介して電圧が印加される。
【0030】電圧が印加されると同時に、モータ27の
スイッチがオンにされ、導電性工具31が、軸を中心に
回転される。この状態を継続することにより、ダイヤモ
ンド微粒子39が、水37に混合したヘキサメタリン酸
ナトリウム41,ポリビニルピロリドン43およびシラ
ンカップリング剤45とともに導電性工具31に付着さ
れる。
【0031】なお、この時、導電性工具31の回転によ
り、導電性工具31には、ダイヤモンド微粒子39が均
等に付着される。また、電極37を導電性工具31に対
向させているため、導電性工具31の加工部となる端面
31aに、より多くのダイヤモンド微粒子39が付着さ
れる。この後、導電性工具31が懸濁液から取り出さ
れ、70℃から120℃の炉で少なくともl時間以上加
熱され、ポリビニルピロリドン43が水に対して不溶化
され、同時に、シランカップリング剤45の働きにより
ダイヤモンド微粒子39が導電性工具31に強固に固定
される。
【0032】そして、この後、導電性工具31に付着し
たダイヤモンド微粒子39を整形することにより所望の
ダイヤモンド工具を得ることができる。上述したように
して製造されたダイヤモンド工具では、ダイヤモンド微
粒子39を、ポリビニルピロリドン43およびシランカ
ップリング剤45により導電性工具31に固着したの
で、導電性工具31にダイヤモンド微粒子39を強固に
固定することができる。
【0033】従って、研削加工や切削加工で生じるツー
ルマークを除去するために行う、スムージング,ラッピ
ング等のように、高い研磨力が必要とされる加工に使用
することにより、短時間でツールマークを除去すること
が可能になる。
【0034】また、ポリビニルピロリドン43が水に対
して不溶化されるため、湿式加工に使用可能なダイヤモ
ンド工具を得ることができる。従って、湿式加工により
スムージング,ラッピング等の加工を行うことが可能に
なり、研削加工や切削加工で創成した形状を崩すことの
ない高精度な加工を行うことができる。
【0035】そして、上述した装置を用いて行われるダ
イヤモンド微粒子の固定化方法では、懸濁液に、ダイヤ
モンド微粒子39の分散剤であるヘキサメタリン酸ナト
リウム41を混合するとともに、ポリビニルピロリドン
43およびシランカップリング剤45を混合したので、
導電性工具31にダイヤモンド微粒子39を強固に固定
することができる。
【0036】また、上述したダイヤモンド微粒子の固定
化方法では、導電性工具31にダイヤモンド微粒子39
を付着させた後、導電性工具31を70℃から120℃
の温度で1時間以上加熱するようにしたので、ポリビニ
ルピロリドン43の水に対する不溶化処理を確実に行う
ことができる。さらに、上述したダイヤモンド微粒子の
固定化方法では、導電性工具31に対向して電極37を
配置したので、加工部となる導電性工具31の電極37
への対向面により多くのダイヤモンド微粒子39を付着
することができる。
【0037】また、導電性工具31を回転しながらダイ
ヤモンド微粒子39の付着を行うようにしたので、導電
性工具31の表面にダイヤモンド微粒子39を均等に付
着することができる。なお、上述した実施形態では、分
散剤にヘキサメタリン酸ナトリウム41を用いた例につ
いて説明したが、本発明はかかる実施形態に限定される
ものではなく、ピロリン酸ナトリウムを用いても同様の
効果を得ることができる。
【0038】また、上述した実施形態では、ポリビニル
ピロリドン43を加熱して水に対して不溶化した例につ
いて説明したが、本発明はかかる実施形態に限定される
ものではなく、ポリビニルピロリドン43に紫外線を照
射することにより水に対して不溶化しても良い。この場
合、導電性工具31に紫外線を1時間以上照射すること
により、ポリビニルピロリドン43の水に対する不溶化
処理を確実に行うことができる。
【0039】
【発明の効果】以上述べたように、請求項1のダイヤモ
ンド微粒子の固定化方法では、懸濁液に、ダイヤモンド
微粒子の分散剤であるヘキサメタリン酸ナトリウムまた
はピロリン酸ナトリウムを混合するとともに、ポリビニ
ルピロリドンおよびシランカップリング剤を混合したの
で、導電性工具にダイヤモンド微粒子を強固に固定する
ことができる。
【0040】請求項2のダイヤモンド微粒子の固定化方
法では、導電性工具にダイヤモンド微粒子を付着させた
後、導電性工具を70℃から120℃の温度で1時間以
上加熱するようにしたので、ポリビニルピロリドンの水
に対する不溶化処理を確実に行うことができる。請求項
3のダイヤモンド微粒子の固定化方法では、導電性工具
にダイヤモンド微粒子を付着させた後、導電性工具に紫
外線を1時間以上照射するようにしたので、ポリビニル
ピロリドンの水に対する不溶化処理を確実に行うことが
できる。
【0041】請求項4のダイヤモンド微粒子の固定化方
法では、導電性工具に対向して電極を配置したので、加
工部となる導電性工具の電極への対向面により多くのダ
イヤモンド微粒子を付着することができる。また、導電
性工具を回転しながらダイヤモンド微粒子の付着を行う
ようにしたので、導電性工具の表面にダイヤモンド微粒
子を均等に付着することができる。
【0042】請求項5のダイヤモンド工具では、ダイヤ
モンド微粒子を、ポリビニルピロリドンおよびシランカ
ップリング剤により導電性工具に固着したので、導電性
工具にダイヤモンド微粒子が強固に固定され、かつ、湿
式加工に使用可能なダイヤモンド工具を得ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のダイヤモンド工具の一実施形態を製造
するための製造装置を示す断面図である。
【図2】従来の微粒子の固定化方法を示す説明図であ
る。
【図3】従来のダイヤモンド微粒子の固定化方法を示す
説明図である。
【符号の説明】
31 導電性工具 37 電極 38 水 39 ダイヤモンド微粒子 41 ヘキサメタリン酸ナトリウム 43 ポリビニルピロリドン 45 シランカップリング剤

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 水にダイヤモンド微粒子を分散させた懸
    濁液と導電性工具とに電圧を印加し、前記ダイヤモンド
    微粒子を電気泳動により前記導電性工具に付着させて固
    定化するダイヤモンド微粒子の固定化方法において、 前記懸濁液に、前記ダイヤモンド微粒子の分散剤である
    ヘキサメタリン酸ナトリウムまたはピロリン酸ナトリウ
    ムを混合するとともに、ポリビニルピロリドンおよびシ
    ランカップリング剤を混合することを特徴とするダイヤ
    モンド微粒子の固定化方法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のダイヤモンド微粒子の固
    定化方法において、 前記導電性工具にダイヤモンド微粒子を付着させた後、
    前記導電性工具を70℃から120℃の温度で1時間以
    上加熱することを特徴とするダイヤモンド微粒子の固定
    化方法。
  3. 【請求項3】 請求項1記載のダイヤモンド微粒子の固
    定化方法において、 前記導電性工具にダイヤモンド微粒子を付着させた後、
    前記導電性工具に紫外線を1時間以上照射することを特
    徴とするダイヤモンド微粒子の固定化方法。
  4. 【請求項4】 請求項1ないし3のいずれか1項記載の
    ダイヤモンド微粒子の固定化方法において、前記導電性
    工具に対向して電極を配置するとともに、前記導電性工
    具を回転し ながらダイヤモンド微粒子の付着を行うことを特徴とす
    るダイヤモンド微粒子の固定化方法。
  5. 【請求項5】 導電性工具にダイヤモンド微粒子を固着
    してなるダイヤモンド工具において、 前記ダイヤモンド微粒子を、ポリビニルピロリドンおよ
    びシランカップリング剤により前記導電性工具に固着し
    てなることを特徴とするダイヤモンド工具。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10301499B2 (en) 2015-12-10 2019-05-28 Hyundai Motor Company Method of applying PTFE coating solution and vehicle part coated with PTFE coating solution
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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