JPH10130961A - 高純度アルミナシリカ繊維及びそれを用いた耐火断熱材 - Google Patents

高純度アルミナシリカ繊維及びそれを用いた耐火断熱材

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JPH10130961A
JPH10130961A JP8299701A JP29970196A JPH10130961A JP H10130961 A JPH10130961 A JP H10130961A JP 8299701 A JP8299701 A JP 8299701A JP 29970196 A JP29970196 A JP 29970196A JP H10130961 A JPH10130961 A JP H10130961A
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安雄 三須
Hiroyuki Terada
浩之 寺田
Koji Nemoto
孝司 根本
Toshio Horikoshi
俊雄 堀越
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 強度、耐熱性を格段に向上し得る高純度アル
ミナシリカ繊維を提供する。 【解決手段】 Al2 3 含有率が40〜65wt%、
Cu濃度が1.5ppm以下、Ni濃度が2.0ppm
以下である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、不純物の少ないア
ルミナとシリカを主成分とする高純度アルミナシリカ繊
維及びそれを用いたブランケット等の耐火断熱材に関す
る。
【0002】
【従来の技術】アルミナシリカ繊維は、通常、Al2
3 (アルミナ)含有率が40〜65wt%のアルミナと
シリカを主成分とする直径2〜4μm、最大長さ250
mm程度の短繊維で、耐熱温度が1000℃以上と高い
ことから、そのまま補強繊維として用いられたり、又は
単独で若しくはアルミナ繊維を添加してブランケットや
ブロック、フェルト等の耐火断熱材に加工され、各種工
業炉の内張り等に用いられている。このアルミナシリカ
繊維は、ブローイング法又はスピニング法のいずれの製
造方法でも、高温の溶融状態から急冷しながら繊維状に
引き伸して製造されるので、得られたものは非晶質であ
る。しかし、非晶質のアルミナシリカ繊維は、1000
℃付近の温度からムライトの結晶を析出し始め、110
0℃以上の温度に加熱されると、クリストバライトの結
晶を析出する。ムライトは、熱に安定であり繊維の耐熱
性を向上する。一方、クリストバライトは、熱膨張率が
200〜300℃の温度で急激に変化することが知られ
ている。そのため、クリストバライトの結晶の析出量が
多い繊維ほど、加熱時の結晶成長による劣化、冷却時の
熱膨張率の変化による劣化が進行する。繊維の劣化が進
行すると強度、耐熱性が低下し、最終的には繊維が粉塵
となって炉内の被加熱物の上に落下し、被加熱物を汚染
する等の不具合がある。従来、かかる不具合に対処する
アルミナシリカ繊維としては、Na(ナトリウム)とK
(カリウム)の合計濃度が250ppm以下、又はこれ
に加え更にFe(鉄)濃度が500ppm以下で、Al
2 3 含有率が40〜65wt%の非晶質である高耐熱
高強度アルミナシリカ質繊維が知られている(特開平4
−108115号公報参照)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】最近では、一部で工業
製品の高品質が著しく進み、工業炉等においても汚染を
完全に防止することが望まれている。その目的で、従来
のアルミナシリカ繊維及びそれを用いた耐火断熱材で
は、アルミナシリカ繊維組成の不純物であるNaやK、
Feの濃度を少なくし、これ等の不純物元素による汚染
防止にある程度成功している。しかし、依然として非晶
性質のアルミナシリカ繊維の加熱に伴うクリストバライ
ト結晶の析出は十分に抑制できず、加熱、冷却時の劣化
の進行により強度及び耐熱性が低下し、ひいては被加熱
物の汚染等を生ずる不具合がある。本発明者は、非晶質
のアルミナシリカ繊維の加熱に伴うクリストバライト結
晶の析出が、主にCu(銅)、Ni(ニッケル)、更に
はNa,Feの元素の存在に起因することを知得して本
発明をなしたものである。そこで、本発明は、強度、耐
熱性を格段に向上し得る高純度アルミナシリカ繊維及び
それを用いた耐火断熱材を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明の第1の高純度アルミナシリカ繊維は、Al
2 3 含有率が40〜65wt%、Cu濃度が1.5p
pm以下、Ni濃度が2.0ppm以下であることを特
徴とする。又、第2の高純度アルミナシリカ繊維は、第
1のものにおいて、更にNa濃度が150ppm以下、
Fe濃度が100ppm以下であることを特徴とする。
前記高純度アルミナシリカ繊維は、ムライト結晶を含有
することが好ましい。一方、高純度アルミナシリカ繊維
を用いた耐火断熱材は、第2の高純度アルミナシリカ繊
維と、Al2 3 含有率が70〜100wt%のアルミ
ナ繊維とからなり、両繊維の合計でのCu濃度が2.0
ppm以下、Ni濃度が4.0ppm以下、Na濃度が
200ppm以下、Fe濃度が150ppm以下である
ことを特徴とする。前記高純度アルミナシリカ繊維は、
ムライト結晶を含有することが好ましい。又、前記アル
ミナ繊維の含有率は、0.5〜20wt%であることが
好ましい。
【0005】ここで、アルミナシリカ繊維に含まれるC
u,Ni、更にはNa,Feの元素の濃度を制限するこ
とにより、加熱に伴うクリストバライト結晶の析出が効
果的に抑制される。アルミナシリカ繊維に含まれるCu
やNi等の元素の挙動については明確に解明できない
が、シリカガラス中ではこれらの元素が容易に拡散する
ことが知られている。従って、CuやNi等の元素がア
ルミナシリカ繊維のシリカ中を拡散移動し繊維表面に濃
縮してクリストバライトの結晶化が局部的に促進される
ものと推定できる。アルミナシリカ繊維に含まれるCu
濃度が1.5ppmを超えると、使用の際に繊維から発
生する粉塵が多い。Cu濃度は、1.0ppm以下であ
ることが好ましい。上記繊維に含まれるNi濃度が2.
0ppmを超えると、Cuと同じく使用の際に繊維から
発生する粉塵が多い。前記繊維に含まれるNa濃度が1
50ppmを超えると、クリストバライト結晶の析出を
抑制することが困難になる。Na濃度は、100ppm
以下であることが好ましい。又、前記繊維に含まれるF
e濃度が100ppmを超えると、Cu,Niと同様に
使用の際に繊維から発生する粉塵が多い。Fe濃度は、
70ppm以下であることが好ましい。
【0006】一方、アルミナ繊維は、直径2〜4μm、
長さ5〜100mm程度の短繊維で、アルミナの含有量
によりムライトのみ、ムライトとコランダムの混合、又
はコランダムのみの多結晶体となっている。高純度アル
ミナシリカ繊維とアルミナ繊維との両繊維に含まれるC
u濃度の合計が2.0ppmを超えると、使用中に耐火
断熱材から発生する粉塵が多くなる。両繊維に含まれる
Ni濃度の合計が4.0ppmを超えると、Cuと同じ
く使用中に耐火断熱材から発生する粉塵が多くなる。両
繊維に含まれるNa濃度の合計が200ppmを超える
と、クリストバライト結晶が析出し易くなり、繊維が劣
化し粉塵が発生し易くなる。又、両繊維に含まれるFe
濃度の合計が150ppmを超えると、Cu,Niと同
様に使用中に耐火断熱材から発生する粉塵が多くなる。
高純度アルミナシリカ繊維にムライト結晶を含有させる
には、非晶質(ガラス質)の高純度アルミナシリカ繊維
を1000〜1100℃の温度で加熱する。この加熱処
理により、非晶質の一部にムライト結晶のみが析出し、
繊維の耐熱性、耐久性が一層向上する。耐火断熱材にお
けるアルミナ繊維の含有量が0.5wt%未満である
と、柔軟性が低下し、例えば熱処理したブランケットを
巻く際に巻き割れを生ずる。一方、20wt%を超える
と、耐火断熱材に加工する際のニードリングが困難にな
ると共に、アルミナ繊維に含まれる不純物が耐火断熱材
の特性に悪影響を与える。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て具体的な実施例と比較例に基づいて説明する。 高純度アルミナシリカ繊維の実施例1〜2、比較例1〜
4 アルミナ原料として、バイヤー法で製造したアルミナを
使用し、その中、実施例1,2では低ソーダ品(Na含
有量の少ない原料)の高純度アルミナA,Bを、又、比
較例1〜4では通常のアルミナを用いた。一方、シリカ
原料として、実施例1,2では高純度シリカを、又、比
較例1〜4では通常のシリカを使用した。これらの原料
の不純物(微量成分)の濃度を表1に示す。
【0008】
【表1】
【0009】上記の原料を所要の割合に混合して電気炉
で溶融し、溶融物を細線として炉外に取り出すと共に、
この細線に高速の空気流を当てて繊維化した。得られた
実施例1,2の高純度アルミナシリカ繊維の不純物の含
有量を表2に又、特性を表3に比較例1〜4の通常のア
ルミナシリカ繊維のそれらと共に示す。実施例1,2及
び比較例1〜4の繊維は、ほぼAl2 3 が53wt
%、SiO2 が47wt%であった。
【0010】
【表2】
【0011】
【表3】
【0012】表2に示されるように、実施例1は実施例
2と比較して不純物のCu,Ni,Na,Feが多い高
純度アルミナシリカ繊維である。又、比較例1はCuが
多い例、比較例2はNiが多い例、比較例3はNa及び
Feが多い例のアルミナシリカ繊維であり、比較例4は
Cu,Ni,Na,Feが多い通常に市販されているア
ルミナシリカ繊維である。又、表3に示されるように、
実施例1,2は比較例1〜4と比較して引張強度及び収
縮率において優れ、特にクリストバライト結晶の析出量
が半分以下である。
【0013】ここで、実施例1の高純度アルミナシリカ
繊維と、比較例4の通常に市販されているアルミナシリ
カ繊維とを、1300℃の温度で1000時間加熱した
後の繊維表面をSEM観察したところ、図1と図2に示
すようになり、実施例1の繊維は、表面が滑らかで変質
していない一方、比較例4の繊維は表面に凹凸が大きく
変質していることがわかった。又、実施例1の高純度ア
ルミナシリカ繊維からなる耐火断熱材を用いた第1のア
ニール炉と、比較例4の通常に市販されているアルミナ
シリカ繊維からなる耐火断熱材を用いた第2のアニール
炉内に、サンプルとしてのSiウェーハ片(HF洗浄→
クリーンオーブン乾燥)と石英ガラス片(VAD、鏡面
研磨、洗浄、乾燥同上)とをマスク板上に設置して納置
し、5時間かけて1150℃まで昇温した後、この温度
で1時間保持し、放冷するアニール処理を施し、しかる
後に光学顕微鏡にてサンプル上の粉塵の約0.1mmの
大きさのもの(明らかに繊維の粉塵と確認できるもの)
について個数を測定したところ、第1のアニール炉のサ
ンプルの粉塵は、第2のアニール炉のそれの半分以下で
あった。これらの測定結果を、同様に測定した他の実施
例、比較例と共に表3及び表6に示す。なお、非晶質の
高純度アルミナシリカ繊維を1000〜1100℃の温
度で加熱処理し、非晶質の一部にムライト結晶のみを析
出させることにより、耐熱性、耐久性が一層向上した。
【0014】高純度アルミナシリカ繊維を用いた耐火断
熱材の実施例3〜5、比較例5〜9前述した表1に示す
アルミナ原料とシリカ原料の所要割合の混合粉体を電気
炉で溶融し、溶融物を細流にして炉外に取り出すと共
に、この細線に高速の空気流を当てて表2に示すような
不純物の含有量のアルミナシリカ繊維を製造し、この繊
維がコレクター内に堆積する前に、解繊したアルミナ繊
維を空気流に乗せ、アルミナシリカ繊維と混合してコレ
クター内に堆積させた後、この堆積物をニードリング処
理して耐火断熱材であるブランケットとし、しかる後
に、このブランケットを1050℃の温度で6分間加熱
処理して非晶質のアルミナシリカ繊維の一部にムライト
結晶のみを析出させたブランケットを得た。上記製造工
程で混合したアルミナ繊維の不純物の含有量を表4に、
又、得られたブランケットの不純物の含有量を表5に、
特性を表6に示す。実施例3〜5、比較例5〜9に使用
したアルミナ繊維は、Al2 3 72wt%、SiO2
28wt%であった。
【0015】
【表4】
【0016】
【表5】
【0017】
【表6】
【0018】表5に示されるように、実施例3〜5は高
純度アルミナシリカ繊維を用いたブランケットである。
又、比較例5はCuが多い例、比較例6はNiが多い
例、比較例7,8はCu,Ni,Na,Feが多い例の
ブランケットであり、比較例9はアルミナ繊維が含まれ
ていない場合であって、取扱性が悪く巻き取りができな
かった例のブランケットである。又、表6に示されるよ
うに、実施例3〜5は比較例5〜9と比較して1400
℃の温度で24時間若しくは1000時間加熱後の収縮
率において優れ、特にクリストバライト結晶の生成量に
おいて加熱の初期に生成が抑制できて、長時間加熱した
後も結晶生長が抑制されている。その結果、繊維の劣化
が起こり難く、粉塵の発生が抑制されている。
【0019】ここで、実施例3と比較例8のブランケッ
トを1400℃の温度で1000時間加熱した後の繊維
表面をSEM観察したところ、図3と図4に示すように
なった。図3、図4からわかるように、Cu,Ni,N
a,Feの含有量を少なくすることにより、結晶成長を
抑制できる。
【0020】なお、上記説明においては、高純度アルミ
ナシリカ繊維を用いた耐火断熱材としてブランケットに
ついて述べたが、これに限定されるものではなく、ブラ
ンケットで積層体を作り、これを圧縮しつつバンド締め
や縫製によって所要の形状に固定したブロック、その他
の耐火断熱材としてもよい。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の第1の高
純度アルミナシリカ繊維によれば、加熱に伴うクリスト
バライト結晶の析出が効果的に抑制されるので、繊維の
強度、耐熱性を格段に向上することができる。従って、
繊維の粉化による粉塵の発生が極めて少なくなり、ひい
ては各種加熱炉の内張り等に用いれば被加熱物を汚染す
ることがなく、被加熱物の品質向上の生産量の向上が可
能になる。又、第2の高純度アルミナシリカ繊維によれ
ば、加熱に伴うクリストバライト結晶の析出が更に一層
効果的に抑制されるので、繊維の強度、耐熱性の低下を
飛躍的に防止することができる。一方、高純度アルミナ
シリカ繊維を用いた耐火断熱材によれば、上述した高純
度アルミナシリカ繊維の作用効果と相俟って、アルミナ
繊維が多結晶体であり、加熱中に新たに結晶を析出する
ことがなく、その収縮を生じないので、耐火断熱材の強
度、耐熱性を飛躍的に向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る高純度アルミナシリカ繊維の実施
の形態の一例を示す加熱後のSEM写真である。
【図2】通常市販されているアルミナシリカ繊維の加熱
後を示すSEM写真である。
【図3】本発明に係る高純度アルミナシリカ繊維を用い
た耐火断熱材の実施の形態の一例を示すブランケットに
おける繊維の加熱後のSEM写真である。
【図4】通常に市販されているアルミナシリカ繊維を用
いたブランケットにおける繊維の加熱後のSEM写真で
ある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 寺田 浩之 千葉県香取郡神崎町武田20−8 東芝モノ フラックス株式会社神崎工場内 (72)発明者 根本 孝司 千葉県香取郡神崎町武田20−8 東芝モノ フラックス株式会社神崎工場内 (72)発明者 堀越 俊雄 神奈川県秦野市曽屋30 東芝セラミック株 式会社秦野工場内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Al2 3 含有率が40〜65wt%、
    Cu濃度が1.5ppm以下、Ni濃度が2.0ppm
    以下であることを特徴とする高純度アルミナシリカ繊
    維。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の高純度アルミナシリカ繊
    維において、更にNa濃度が150ppm以下、Fe濃
    度が100ppm以下であることを特徴とする高純度ア
    ルミナシリカ繊維。
  3. 【請求項3】 前記高純度アルミナシリカ繊維がムライ
    ト結晶を含有することを特徴とする請求項1又は2記載
    の高純度アルミナシリカ繊維。
  4. 【請求項4】 請求項2記載の高純度アルミナシリカ繊
    維と、Al2 3 含有率が70〜100wt%のアルミ
    ナ繊維とからなり、両繊維の合計でのCu濃度が2.0
    ppm以下、Ni濃度が4.0ppm以下、Na濃度が
    200ppm以下、Fe濃度が150ppm以下である
    ことを特徴とする高純度アルミナシリカ繊維を用いた耐
    火断熱材。
  5. 【請求項5】 前記高純度アルミナシリカ繊維がムライ
    ト結晶を含有することを特徴とする請求項4記載の高純
    度アルミナシリカ繊維を用いた耐火断熱材。
  6. 【請求項6】 前記アルミナ繊維の含有率が0.5〜2
    0wt%であることを特徴とする請求項4又は5記載の
    高純度アルミナシリカ繊維を用いた耐火断熱材。
JP8299701A 1996-10-24 1996-10-24 高純度アルミナシリカ繊維及びそれを用いた耐火断熱材 Pending JPH10130961A (ja)

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