JPH10129675A - 薬液タンク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】電子工業分野における高純度な品質が要求され
る薬液容器において、ライニング材の剥離や膨らみ、内
部への崩れ込みがない薬液タンクを提供する提供する。 【解決手段】タンク外筒とライニング材からなる薬液タ
ンクにおいて、タンク外筒を貫通する少なくとも一つの
孔が設けられていることを特徴とする薬液タンク。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は高純度薬液および一
般化学薬液を貯蔵する薬液タンクに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、金属と接触すると反応する薬液、
あるいは金属分が混入することを極めて嫌う高純度薬液
等はタンクに貯蔵するにあたって樹脂製タンクが使用さ
れる場合が多い。しかしながら、大容量の薬液をタンク
に貯蔵する場合、タンクの強度、耐久性、耐候性等の問
題から樹脂製タンクを使用することはできない。これを
解決するために金属製のタンク（タンク外筒）の内側全
面に合成樹脂製シートを貼り付け、タンクの強度を保ち
ながら、薬液の接液部を合成樹脂とした、いわゆるライ
ニングタンクが使用されている。特に半導体あるいは液
晶の製造工程で使用される薬液タンクにあたっては、耐
化学薬品性、薬液への非汚染性等の点において他の合成
樹脂と比較して著しく優れた特性を有するＰＦＡ，ＰＴ
ＦＥ等のフッ素樹脂シートをライニング材として使用し
たフッ素樹脂ライニングタンクが多用されている。

【０００３】しかしながら、このようなライニングタン
クにおいて現状では次に示す大きな問題点が存在する。
過酸化水素水、アンモニア水等の貯蔵する薬液によって
はこれら薬液が経時的にライニング材を透過し、ライニ
ング材とタンク外筒の間にガス状等に滞留してしまう現
象がある。特に、ライニング材とタンク外筒を接着させ
るためにグラスバック（ガラスクロス）を用いている場
合はこれらの現象が顕著である。さらに、このように滞
留した薬液は徐々に増大し、最終的にはライニング材の
タンク外筒との接着界面を剥離させ、その結果ライニン
グ材がタンク内側へ広範囲に膨らみ、ついにはライニン
グ材を破損し、タンク自体の使用が不能となる大きな問
題点があった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
技術における上記したような課題を解決し、ライニング
材の剥離や膨らみ、内部への崩れ込みがない、合成樹脂
がライニングされた薬液タンクを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは鋭意努力の
結果、合成樹脂がライニングされつつも、ライニング材
の剥離や膨らみ、更にはそれによる破損が生じない薬液
タンクを見いだし、本発明を完成させた。すなわち、本
発明は、タンク外筒を貫通する少なくとも１つの孔が設
けられ、かつ該タンク外筒内面全面にライニング材がラ
イニングされ、さらにはライニング材の一部分がタンク
外筒と非接着部分を持ち、その部分と孔とが通じている
薬液タンクである。

【０００６】

【発明の実施の形態】ここで使用されるライニング材と
しては耐化学薬品性、薬液への非汚染性等の点からフッ
素樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリオレフィンから選択され
る。その中でも特にポリテトラフルオロエチレン（ＰＴ
ＦＥ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキ
ルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）等のフッ素樹脂の
使用がより好ましい。また、ライニング材とタンク外筒
は種々のライニング方法でライニングされる。しかしな
がら、ライニング材全面がタンク外筒に接着されていな
いこと、すなわち一部非接着部分があり、これがタンク
外筒を貫通する孔に通じていることが必要である。

【０００７】このようなライニングが可能であればライ
ニング方法に制限はない。一例を挙げると接着剤による
接着部がタンク全面ではなく部分的としながら、タンク
外筒全面にライニングする方法などが挙げられる。とり
わけ、グラスバック（ガラスクロス）を介してライニン
グ材とタンク外筒を接着させる方法は容易にタンク外筒
とライニング材との間に非接着部分を形成することがで
きることから、より好ましい方法である。すなわち、グ
ラスバックはガラス繊維の集合体から形成されており、
グラスバック中には微細な空間が多数存在している。こ
のため、これを用いるライニング方法は必然的にグラス
バックを挟むライニング材とタンク外筒の間に非接着部
が多く生じることとなる。

【０００８】タンク内に収容された薬液は経時的にライ
ニング材を透過し、ライニング材とタンク外筒の間にガ
ス状等で滞留する。しかしながら、本発明による薬液タ
ンクでは透過した薬液がライニング材とタンク外筒の間
の非接着部を通じてタンク外筒に貫通した孔から排出さ
れるため、ライニング材とタンク外筒の間に長期にわた
り滞留しない。すなわち、貫通した孔はガス等を排出す
るベントホールとして作用する。このため、滞留した薬
液が原因で、ライニング材のタンク外筒との接着界面を
剥離させたり、ライニング材がタンク内側へ広範囲に膨
らみライニング材を破損させ、その結果タンク自体の使
用が不能となるようなことはない。タンク外筒における
孔の位置に制限はない。しかしながら、万一、ライニン
グ材にランニング不良でピンホールが生じた場合を鑑
み、多量の薬液が孔を通じタンク外に漏出しないように
タンク上部に設けることが好ましい。

【０００９】

【実施例】図１〜２に本発明の実施例を示す。本発明の
要件を満たせば、図１、２に示す形状、材質に限定され
ない。大きさも同様である。Ａはタンク外筒であり材質
はステンレスＳＵＳ３０４を用いた。タンク外筒Ａには
内外を貫通する１つの孔ａが設けられており、さらにタ
ンク外筒内面はフッ素樹脂ライニング材シートとしてＰ
ＦＡシートＣがライニングされている。ライニング材の
片面側にはグラスバックＢが熱融着されており、さらに
グラスバックＢとタンク外筒内面とは接着剤により貼着
されている。さらに、グラスバックをタンク外筒とライ
ニング材シートの間に介することから非接着部が存在
し、これらは孔ａに通じている。孔ａはライニング材を
透過した薬液を排出するベントホールとして機能する。
ベントホールの形状に特に制限はない。このようなライ
ニングタンクを用い薬液を貯蔵した結果、薬液のライニ
ング材を透過した薬液が長期にわたり滞留することな
く、ライニング材の膨らみ、破損等は生じなかった。

【００１０】

【発明の効果】本発明によれば、ライニング材を透過し
た薬液は、ライニング材とタンク外筒の間に長期にわた
って滞留しない。これにより薬液によるライニング材の
接着界面の剥離を確実に防止でき、剥離によるタンク内
側への膨らみや崩れ込みを生ずる恐れがない薬液タンク
を提供することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の薬液タンク

【図２】図１のａ部の構造拡大図

【符号の説明】

Ａ：タンク外筒 Ｂ：グラスバック Ｃ：ライニング材 ａ：孔

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 タンク外筒とライニング材からなる薬液
   タンクにおいて、タンク外筒を貫通する少なくとも一つ
   の孔が設けられていることを特徴とする薬液タンク。
2. 【請求項２】 タンク外筒とライニング材とが接着して
   いない部分を有し、且つタンク外筒を貫通する孔が該部
   分に設けられていることを特徴とする請求項１記載の薬
   液タンク。
3. 【請求項３】 ライニング材がフッ素樹脂、ポリ塩化ビ
   ニル、またはポリオレフィンである請求項１記載の薬液
   タンク
4. 【請求項４】 タンク外筒とライニング材をグラスバッ
   クで接着している請求項１記載の薬液タンク。