JPH10125447A

JPH10125447A - 電気炉の温度制御装置

Info

Publication number: JPH10125447A
Application number: JP29742796A
Authority: JP
Inventors: Minoru Nakano; 稔中野; Masaaki Ueno; 正昭上野; Kazuo Tanaka; 和夫田中; Yukio Akita; 幸男秋田
Original assignee: Kokusai Electric Corp
Current assignee: Kokusai Electric Corp
Priority date: 1996-10-18
Filing date: 1996-10-18
Publication date: 1998-05-15

Abstract

(57)【要約】【課題】異常状態の判定を一定の基準を基に自動的に
行える温度制御装置を提供し、作業者の監視負担を軽減
し、また、その判定を正確に行うことを目的とする。【解決手段】温度センサ２，３の検知出力をＰＩＤ演
算してヒータ４の出力を決定し、この出力と対応した電
力をヒータ４に給電して炉１を加熱する電気炉の温度制
御装置であって、ワークへの熱処理が適正に行えるヒー
タ４の適正出力特性を予め記憶装置９に記憶させ、この
後の製造プロセスにおいては、ＰＩＤ演算により定まる
ヒータ出力と適正出力特性とを異常判定器８により比較
し、これらの出力が所定のずれを生じている場合を異常
と判定し、モニタ装置７のディスプレイ等に表示するよ
うに構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造に用
いられる拡散炉やＣＶＤ炉等の電気炉の温度制御装置、
詳しくは、ワークの熱処理が適正に行えるヒータへの出
力特性を予め記憶し、この出力特性に対してヒータの実
際の出力（実際に給電した電力）が所定値を超えたずれ
を生じた場合にディスプレイ等に異常を表示する温度制
御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造における拡散装置やＣＶＤ装
置にあっては、電気炉を用いてウェーハを加熱して拡散
や薄膜形成等の処理を行う。このようなＣＶＤ装置等に
あっては、図１４に示すように、電気炉１の内外にそれ
ぞれ複数（４つ）の内部温度センサ２と外部温度センサ
３を設け、これら温度センサ２，３の検知出力に基づき
４つのヒータ４をそれぞれチャネルＣＨ１，ＣＨ２、Ｃ
Ｈ３，ＣＨ４で給電して電気炉１内を加熱し、電気炉１
内のワークに熱処理を施している。

【０００３】内部温度センサ２および外部温度センサ３
は、周知の熱電対等からなり、温度制御器５に接続す
る。ヒータ４は、サイリスタ（ＳＣＲ）とトランスデュ
ーサを有する出力器６に接続され、この出力器６を介し
て給電される。出力器６は、温度制御器５に接続され、
温度制御器５が出力する駆動信号に応じた電力を各ヒー
タ４に給電する。

【０００４】温度制御器５は、図１５に示すように、外
部温度センサ３の出力信号と設定値を減算し（サミング
ポイント）、この減算された値をＰＩＤ演算回路５ａに
よりＰＩＤ演算して給電すべき電力（電流）を決定し、
演算結果に応じた駆動信号を出力器６に出力する。ま
た、この温度制御器５にはディスプレイ等を有するモニ
タ装置７が接続し、このモニタ装置７が温度制御器５の
出力に基づき電気炉１内外の温度やヒータ４への給電電
力等を表示する。すなわち、温度制御器５は、式１，式
２，および式３に示すように、比例成分ＹP，ＹD，ＹI
を演算し、これらの和をＰＩＤ出力（駆動信号）として
出力器６のサイリスタに出力し、また、この出力状態に
おけるヒータ４の出力として最高出力に対する％等で表
示している。

【０００５】

【式１】

【式２】

【式３】

【０００６】また、上述した温度制御器５においてカス
ケード制御を採用した場合、図１６に示すように、内部
温度センサ２の出力と設定値を減算した値に対してＰＩ
Ｄ演算回路５ａによりＰＩＤ演算を施し、この演算値と
外部温度センサ３の出力とを減算した値をさらにＰＩＤ
演算回路５ａによりＰＩＤ演算してヒータ４に給電すべ
き電力を決定し、駆動信号を出力する。そして、上述し
た図１５の温度制御器と同様に、この駆動信号を出力器
６に出力するとともに、モニタ装置７に出力してディス
プレイ等に表示する。なお、上記図１４，１５と同一の
部分には同一の番号を付している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た温度制御装置にあっては、ヒータ４への給電状態（出
力）、すなわち、温度制御器５が出力する駆動信号で表
されるヒータ４の出力をモニタ装置７に表示するにすぎ
ず、異常が発生しているか否かの判定はモニタ装置７を
監視する作業者が自己の経験に基づき行わなければなら
ず、作業者の監視負担が大きく、また、異常状態を正確
に判定することが困難で信頼性に劣るという問題があっ
た。この発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、異
常状態の判定を一定の基準を基に自動的に行える温度制
御装置を提供し、作業者の監視負担を軽減し、また、そ
の判定を正確に行うことを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、炉の内部または外部の少なくとも一方
の温度を温度センサにより検出し、該温度センサの検知
出力に基づきヒータへの給電電力を演算して該演算され
た電力をヒータに供給し、該ヒータにより炉内部を加熱
して炉内部のワークに熱処理を施す電気炉の温度制御装
置において、前記ワークの熱処理が適正に行えるヒータ
の出力特性を記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶さ
れた出力特性と前記ヒータの実際の出力とを比較して所
定の対応関係を充足しない場合に異常と判定する異常判
定手段と、該異常判定手段の判定結果に基づき異常を報
知する異常報知手段とを備える。

【０００９】この発明の適用対象である電気炉は、拡散
装置やＣＶＤ装置等の半導体製造装置の電気炉で代表さ
れるが、他の用途の電気炉、例えば、金属の熱処理用の
電気炉にも適用することが可能である。温度センサは、
炉の内部の温度を検出する内部温度センサまたは炉の外
部の温度を検出する外部温度センサの少なくとも一方を
含み、周知の熱電対等から構成される。

【００１０】ヒータは、抵抗発熱体で代表されるが、種
々の発熱体を用いることができ、また、加熱の方法も種
々選択することができる。このヒータは、炉の内部また
は外部の温度に基づき、あるいは、炉の内部と外部の双
方の温度に基づきＰＩＤ制御され、後者の態様では制御
では炉の内外の温度差に基づき出力が制御される。

【００１１】記憶手段は、周知のＲＡＭやＥＰＲＯＭ、
また、磁気フロッピィディスク等を用いることができ
る。この記憶手段に記憶される出力特性（以下、適正出
力特性と称する）は、ワークに適正な熱処理を施すこと
ができるヒータの出力特性であって、経験的に最良と判
断された特性、例えば、始業時に調整した特性等が採用
される。また、異常報知手段は、ディスプレイ等の視覚
的な手段、警告音等の発音用スピーカ等の音響（音声）
的な手段から構成される。

【００１２】異常判定手段は、周知の温度コントローラ
や個々の半導体製造装置のマシンコンピュータ、あるい
は、専用に設けたコンピュータ等が用いられる。この異
常判定手段は、ヒータの出力を前述した図１５，１６の
温度制御器５が出力器６に出力する駆動信号、すなわ
ち、給電電力を基に検出し、この信号を記憶手段に記憶
された適正出力特性の値と比較する。この異常判定手段
は、ワークの熱処理の１サイクルについて、あるいは１
サイクル中の一部の範囲について、ヒータへの給電電力
が基準特性に合致しているか否か、換言すれば、ずれが
所定の範囲内にあるか否かを比較し、異常を判定する。

【００１３】一例を挙げれば、この異常判定手段は、１
サイクル中で判定期間を定め、この判定期間内における
ヒータの出力の時間積分値（その出力特性曲線の描く面
積値、以下、出力合計と称する）と適正出力特性の出力
合計との偏差が所定値を超える場合、および／または、
判定期間内において所定のサンプリング周期で実際の出
力（電力、以下、瞬間出力と称する）を検出し、各サン
プリング時における瞬間出力と基準特性上の対応する時
刻の瞬間出力とを比較して偏差が所定値を超える場合を
異常状態と判定するように構成される。

【００１４】この発明にかかる電気炉の温度制御装置
は、適正出力特性を予め記憶手段に入力して記憶させ、
半導体の製造時等の電気炉の運転時においては、ヒータ
の実際の出力と適正出力特性とを比較、例えば、ＰＩＤ
演算の結果として得られる給電すべき電力（この電力は
前述したサイリスタ等に出力される駆動信号等で表され
る）と適正出力特性により表される電力とを比較し、異
なる場合に異常が発生したと判定して異常を報知する。
このため、作業者によるモニタ装置の監視等が不要であ
り、作業者の負担を軽減でき、また、作業者の経験等に
よることなく一定の基準で異常を判定でき、高い信頼性
が得られる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。図１から図１２はこの発明の一
の実施の形態にかかる電気炉の温度制御装置を示し、図
１がブロック図、図２がメインルーチンのフローチャー
ト、図３，４，５がサブルーチンのフローチャート、図
６，７が作用を説明するためのグラフ、図８，９がデー
タの記憶構造を示す図、図１０，１１，１２がディスプ
レイの表示画面を示す図である。なお、前述した図１４
〜１６等に示す従来の電気炉の温度制御装置と同一の部
分には同一の番号を付して一部の図示と説明を省略す
る。

【００１６】この実施の形態は、図１に示すように、電
気炉１の内外に設けられた外部温度センサ３を温度制御
器５に接続し、この温度制御器５においてセンサ３の出
力と設定値を減算した後にＰＩＤ演算回路５ａによりＰ
ＩＤ演算して給電電力（目標給電電力）を決定する。そ
して、この目標給電電力と対応した駆動信号を出力器６
（図１４参照）に出力し、出力器６によりヒータ４へ給
電する。

【００１７】また、この実施の形態は、温度制御器５に
マイクロコンピュータ等からなる異常判定器８とＲＡＭ
等からなる記憶装置９を設け、異常判定器８に前述した
モニタ装置７を接続する。そして、記憶装置９には、製
造プロセスにおいてワークに適正な熱処理を施すことが
できる１サイクルの出力特性（適正出力特性）が異常判
定の判断基準として記憶され、また、異常判断の条件等
が記憶される。異常判定器８は、外部温度センサ３の出
力信号と各ＰＩＤ演算器５ａの出力が入力し、後述する
ように、記憶装置９に記憶された適正出力特性と判断条
件を読み出してＰＩＤ演算器５ａの出力と比較し、判断
条件に合致するか否かにより異常の有無を判定し、電気
炉１の内外の温度やヒータ４への給電状況（出力）と併
せて判定結果である異常の有無をモニタ装置７に表示す
る。

【００１８】なお、この実施の形態においては、適正出
力特性は、図６に示すように、ＣＶＤ装置に用いられる
電気炉１において適正な膜圧を形成できるプロセス温度
Ｔ（同図ｂ）と対応したヒータ４への給電特性（同図
ａ）であり、図８に示すようなテーブル形式で記憶装置
９に記憶される。また、判断条件は、適正出力に対して
異常と判定するための許容値の範囲、すなわち、適正出
力特性に対して異常と判定するための値域を示すもの
で、図９に示す表データテーブル形式で記憶装置９に記
憶される。なお、図６中のｔ0は製造プロセスの１サイ
クルの開始点であるボート下降時、ｔ1はボート上昇
時，ｔ2はウェハの炉内入庫完了時とガス注入時を示
し、ガス注入時ｔ2から次のサイクルのボート上昇時ｔ0
までの期間においてウェハの熱処理を行う。

【００１９】そして、適正出力特性は、製造プロセスの
１サイクル中の所定期間の各時刻におけるヒータへの給
電電力（電流）および所定期間内におけるヒータへの給
電電力の累計（時間積分値）として、すなわち、所定の
周期でサンプリングされた複数の瞬間出力と出力合計と
して記憶される（前述の図８参照）。この適正出力特性
は、始業時等において、すなわち、製造プロセスの１回
目のサイクル等の実行時等に作成され、記憶装置９に予
め入力される。なお、上記適正出力特性記憶用の記憶装
置９はモニタ装置７に設けることも可能である。

【００２０】この実施の形態にあっては、製造プロセス
の各サイクル毎に温度制御器５が全て（この実施の形態
では４つ）のヒータ４（ＣＨ１，２，３，４）のそれぞ
れについて図２，３，４，５のフローチャートに示す一
連の処理を所定の周期で実行し、異常の有無の判定と判
定結果に基づく異常の報知を行う。すなわち、先ず、電
源投入等により周知のイニシャライズを行い、このイニ
シャライズにおいて判定実行フラグＦＬＧや異常発生フ
ラグＡｂｎｏｒｍａｌ１，Ａｂｎｏｒｍａｌ２を０に設
定する等の初期化処理を行う。

【００２１】そして、イニシャライズの後、図２に示す
ように、ステップ１１で製造プロセスのサイクルにおけ
る現在時刻ｔが記録開始時刻ｔsに到達したか否かを判
定し、現在時刻ｔが記録開始時刻ｔsに達していればス
テップ１２で現在時刻ｔが記録終了時刻ｔfに達してい
るか否かを判断し、また、現在時刻ｔが記録開始時刻ｔ
sに達していなければ再度ステップ１１からの処理を繰
り返す。すなわち、この実施の形態では、図７に示すよ
うに、１サイクル中の所定の期間τ（ｔs≦τ≦ｔf）を
判定期間として定め、この期間τ内の出力の異常の有無
を判定する。なお、この実施の形態は製造プロセスにお
けるサイクルの一部期間τ（ｔs≦τ≦ｔf）における出
力特性を判断するが、１サイクルの全期間の出力特性を
判断することも可能である。

【００２２】ステップ１２においては、現在時刻ｔが記
録終了時刻ｔfに達していないと判断されると、ステッ
プ１３でフラグＦＬＧが１か否かを判断する。そして、
ステップ１３においては、フラグＦＬＧが１でないと判
断されると（０であれば）、ステップ１４で給電電力の
累計（出力合計）累計ＰＯＷＥＲＳＵＭ（以下、Ｐ・
Ｓと略記する）を０とした後ステップ１５でフラグＦＬ
Ｇを１に設定してステップ１６に進み、フラグＦＬＧが
１であると判断されるとステップ１４，１５の処理を行
うことなくステップ１６に進む。そして、ステップ１６
で現在の出力ＰＯＷＥＲを累計して出力合計Ｐ・Ｓを演
算する。

【００２３】続くステップ１７では、現在のサイクルが
製造プロセスの最初（１回目）であるか否か、換言すれ
ば、適正出力特性を作成するためのサイクルか否かを判
断する。そして、サイクルが１回目であれば、ステップ
１８で現在の時刻ｔを記憶装置９に記録した後にステッ
プ１９で現在の時刻ｔと関連させて（アドレスとして）
図８に示すようにデータテーブル形式で現在の出力ＰＯ
ＷＥＲを異常判定基準となる瞬間適正出力Ｒ−ＰＯＷＥ
Ｒとして記憶装置９に記憶し、ステップ２０で後述する
比較処理１を行う。また、サイクルが１回目でなければ
ステップ１８，１９の記憶処理を行うことなくステップ
２０の比較処理１を行う。

【００２４】一方、前述したステップ１２において現在
時刻ｔが記録終了時刻ｔfに達していると判断、すなわ
ち、検査期間τが満了したと判断されると、ステップ２
１でフラグＦＬＧを０に設定した後、前述したステップ
１７と同様にステップ２２で現在のサイクルが１回目の
サイクルか否かを判断する。そして、サイクルが１回目
であればステップ２３で適正出力合計Ｒ−Ｐ・Ｓ（図８
参照）として記憶装置９に記憶した後（図８参照）にス
テップ２４で比較処理２を行い、また、サイクルが１回
目でなければステップ２３の処理を行うことなくステッ
プ２４の比較処理２を行う。

【００２５】比較処理１は、図３に示すように、先ず、
ステップ３１で現在の時間ｔと一致する記録時間が記憶
装置９に記憶されているか否かを判断し、現在の時間ｔ
と一致する記録時間が記憶装置９に記憶されている場
合、その記録時間に対応した適正瞬間出力Ｒ−ＰＯＷＥ
Ｒを読み出す。なお、再度繰り返すが、この適正瞬間出
力Ｒ−ＰＯＷＥＲは記録時間をアドレスとするテーブル
形式で記憶され（図８参照）、現在の時間をアドレスと
して読み出される。

【００２６】次のステップ３２では、適正瞬間出力Ｒ−
ＰＯＷＥＲと現在の瞬間出力ＰＯＷＥＲとの偏差の絶対
値ＤＥＶ１を求める。そして、ステップ３３において、
異常判定条件（図９参照）を読み出して偏差の絶対値Ｄ
ＥＶ１が設定許容Ａ範囲にあるか否かを判定し、偏差の
絶対値ＤＥＶ１が設定許容範囲Ａになければステップ３
４で異常発生フラグＡｂｎｏｒｍａｌ１を１に設定し、
また、偏差の絶対値ＤＥＶ１が設定許容範囲Ａにあれば
ステップ３４の処理を行うことなくこの比較処理１のサ
ブルーチンを終了する。

【００２７】また、比較処理２は、図４に示すように、
先ず、ステップ４１で適正出力合計Ｒ−Ｐ・Ｓと今回の
サイクルの出力合計Ｐ・Ｓの偏差の絶対値ＤＥＶ２を算
出する。そして、ステップ４２において、異常判定条件
（図９参照）を読み出して偏差ＤＥＶ２が所定の許容範
囲Ｂ内にあるか否かを判断し、偏差ＤＥＶ２が所定の許
容範囲Ｂ内にない場合にのみ異常発生フラグＡｂｎｏｒ
ｍａｌ２を１を設定し、このサブルーチンを終了する。

【００２８】続いて、図５に示すルーチンを実行して作
業者等に異常の発生を報知する。すなわち、ステップ５
１，５２で異常発生フラグＡｂｎｏｒｍａｌ１，Ａｂｎ
ｏｒｍａｌ２のいずれかが１か否かを判定し、いずれか
の異常発生フラグＡｂｎｏｒｍａｌ１，Ａｂｎｏｒｍａ
ｌ２が１であれば、ステップ５３，５４でモニタ装置７
のディスプレイ等に異常の種類が判別できるように表示
する。

【００２９】すなわち、図７ａに示すように、適正出力
特性が実線、実際の製造プロセスの１サイクルにおける
出力特性が１点鎖線で示される場合を例に説明すれば、
実際の出力特性のサンプリング時（便宜上、４つのサン
プリングＳ1，Ｓ2，Ｓ3，Ｓ4を例示）において少なくと
も１のサンプリング時の瞬間出力と適正瞬間出力との偏
差δ1，δ2，δ3，δ4が設定値Ａを超えていると、異常
発生フラグＡｂｎｏｒｍａｌ１が１に設定される。そし
て、異常発生フラグＡｂｎｏｒｍａｌ１が１に設定され
ることで、異常の発生が各ヒータ４別にモニタ装置７の
ディスプレイに図１０に示すように全ての出力状況と併
せて異常箇所にアスタリスクマークを付した表形式で表
示される。このため、作業者は異常の発生を速やかに知
ることができ、不良の発生の防止の対策を速やかに採る
ことができる。なお、述べるまでもないが、上記図１０
の異常の表示は例示であり、種々選択できる。

【００３０】また、図７ｂに示すように、判定期間τ内
の適正出力合計Ｒ−Ｐ・Ｓ（斜線を付した領域Ｗ1の面
積）と実際の出力合計Ｐ・Ｓ（交差する斜線を付した領
域Ｗ2の面積と領域Ｗ1の面積との和）との差の絶対値が
所定値Ｂを超える場合も異常発生フラグＡｂｎｏｒｍａ
ｌ２が１に設定され、サイクルにおけるヒータ４の出力
累計が異常であることをモニタ装置７のディスプレイへ
の表示（図１０参照）により作業者に報知する。このた
め、上述したように作業者は異常対策を迅速かつ速やか
に採ることができ、不良の発生を抑制できる。なお、異
常の報知はスピーカ等による警告音によることも可能で
ある。

【００３１】そして、温度制御器５の記憶装置には実行
したサイクル全ての異常履歴が記憶され、この異常履歴
が作業者のキー操作等によりモニタ装置７のディスプレ
イに表示される。すなわち、瞬間出力の異常履歴は図１
１に示すような表形式で、また、出力合計の異常履歴は
図１２に示すような表形式で記憶かつ表示される。した
がって、異常の発生原因の解明、例えば、電気炉自体に
起因するかボート等の付属機器に起因するかの判定も後
に容易に行うことができる。なお、述べるまでもない
が、異常発生の履歴のディスプレイへの表示は図１１，
１２に示す形式のみならず、前述した図７に示すグラフ
形式等の種々の形式を採用することができる。

【００３２】図１３はこの発明の他の実施の形態を示す
ブロック図である。この実施の形態は、前述した図１６
と対応、すなわち、カスケード制御を行うものである。
この実施の形態にあっては、前述したように、内部温度
センサ２と外部温度センサ３との出力の差に応じてヒー
タ４の出力を制御する。そして、この形態にあっても、
前述した図２〜５のフローチャートに示す処理を行い異
常の有無を判定する。

【００３３】なお、上述した各実施の形態では、ヒータ
の瞬間出力とこの瞬間出力を積算した出力合計の双方に
ついて適正瞬間出力および適正出力合計と対照して異常
の有無を判断するが、この発明は一方のみを基に異常の
有無を判断するように構成しても達成することができ、
また、炉１の内外の温度の変化（昇温特性）に対して前
述した出力と同様の処理、すなわち、基準となる適正特
性に対する比較処理を行って異常の発生の有無を判定す
ることも可能である。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、この発明にかかる
電気炉の温度制御装置によれば、ワークの熱処理が適正
に行えるヒータの出力特性を予め記憶し、この記憶され
た適正出力特性とヒータの実際の出力特性とをコンピュ
ータ等により自動的に比較し、これらの特性が所定の対
応関係を充足しない場合にディスプレイへの表示や音声
により異常の発生を報知するため、作業者の監視負担を
軽減でき、また、異常の発生を作業者の経験等に依存す
ることなく高い信頼性をもって行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一の実施の形態にかかる電気炉の温
度制御装置の要部を示すブロック図である。

【図２】同温度制御装置の制御処理のメインルーチンを
示すフローチャートである。

【図３】同制御処理のサブルーチンを示すフローチャー
トである。

【図４】同制御処理の他のサブルーチンを示すフローチ
ャートである。

【図５】同制御処理のまた他のサブルーチンを示すフロ
ーチャートである。

【図６】同温度制御装置においてワークに適正な熱処理
を行える特性を示し、ａがヒータ出力特性を示す図、ｂ
がプロセス温度の特性を示す図である。

【図７】同温度制御装置における異常判定の手法を説明
するグラフであり、ａが瞬間出力の異常判定を、ｂが出
力合計の異常判定を表す。

【図８】同温度制御装置において異常判断の基準となる
適正出力特性を示すデータテーブルである。

【図９】同温度制御装置において異常判断の条件を示す
データテーブルである。

【図１０】同温度制御装置において異常発生時にモニタ
装置のディスプレイに表示される画面を示す図である。

【図１１】同温度制御装置においてモニタ装置のディス
プレイに表示される瞬間出力の異常履歴を示す図であ
る。

【図１２】同温度制御装置において出力合計の異常履歴
を表示するモニタ装置のディスプレイ表示画面の図であ
る。

【図１３】この発明の他の実施の形態にかかる電気炉の
温度制御装置の要部のブロック図である。

【図１４】従来の電気炉の温度制御装置のブロック図で
ある。

【図１５】同温度制御装置の要部の詳細を示すブロック
図である。

【図１６】従来の電気炉の温度制御装置の要部のブロッ
ク図である。

【符号の説明】

１電気炉２内部温度センサ３外部温度センサ４ヒータ５温度制御器５ａＰＩＤ演算器８異常判定器９記憶装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者秋田幸男東京都中野区東中野三丁目14番20号国際電気株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】炉の内部または外部の少なくとも一方の
温度を温度センサにより検出し、該温度センサの検知出
力に基づきヒータへの給電電力を演算して該演算された
電力をヒータに供給し、該ヒータにより炉内部を加熱し
て炉内部のワークに熱処理を施す電気炉の温度制御装置
において、前記ワークの熱処理が適正に行えるヒータの出力特性を
記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された出力特性
と前記ヒータの実際の出力とを比較して所定の対応関係
を充足しない場合に異常と判定する異常判定手段と、該
異常判定手段の判定結果に基づき異常を報知する異常報
知手段とを備えることを特徴とする電気炉の温度制御装
置。