JPH10124300A - 座標測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 座標測定装置により形状の近似した多数の測
定対象を測定するに際し、各測定結果を電子データと
し、且つ、測定準備を単純化して検査効率を高めること
が困難であった。 【解決手段】 ジョブファイルとして記述されたプログ
ラムに基づいて測定物を自動測定する座標測定装置10に
おいて、スタート操作が行われるとジョブファイルをコ
ピーして実行ファイルを作成する実行ファイル作成手段
23と、実行ファイルから変更可能なパラメータを読み出
して表示手段15に表示させるパラメータ表示制御手段24
と、表示されたパラメータが入力手段17の操作により変
更されたとき、変更後のパラメータを実行ファイルに書
き込むパラメータ設定入力手段25と、設定完了の操作が
行われると実行ファイルによる測定処理を開始させる起
動手段27と、を有する座標測定装置10とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、座標測定装置に関
するものであり、特に、半導体製造に用いられるレチク
ルマスクの線幅や座標を測定する座標測定装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】今日、製品の形状などを高精度で自動測
定する種々の座標測定機が使用されることが多くなって
きた。この自動座標測定装置では、測定対象に合わせて
測定用のプログラムを作成し、このプログラム（以下ジ
ョブファイルという）を使用して測定装置の作動をさせ
るものが多い。

【０００３】このジョブファイルの作成は、プログラム
作成装置とした他のコンピュータを用いて作成する場合
や、座標測定装置のキーボード操作により測定装置内で
直接にジョブファイルを作成することがある。そして、
他のコンピュータを用いてジョブファイルを作成する場
合は、作成されたジョブファイルを座標測定装置に読み
込ませてこのジョブファイルを使用するものである。
又、測定装置内で直接にジョブファイルを作成する場合
は、この作成したジョブファイルを使用して直ちに、又
はジョブファイルを自動座標測定装置内に保存しておい
て測定を行う際に呼び出すようにして、測定対象物の測
定を行うようにしているものである。

【０００４】そして、このような座標測定装置は、同一
形状の製品を複数個検査するとき、検査結果のデータを
直ちにプリントアウトし、新たな検査結果の電子データ
は前回の検査結果に上書きして検査結果を電子データと
しては残さないものとされていた。このため、同一又は
近似した形状の製品を多数個検査する場合において、検
査結果のデータをプリントアウトするのみでなく、検査
結果データを電子データのままで保存して測定物の検査
を繰り返して行おうとするとき、データファイルを一旦
他の記憶媒体などに転送してから製品の検査を行うよう
にして検査を繰り返す必要があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】自動座標測定装置によ
り製品検査を行う場合、検査結果のデータをプリントア
ウトするのみでなく、検査結果データを電子データのま
まで保存するためにデータファイルを一旦他の記憶媒体
などに転送し、データ転送を行ってから製品の検査を繰
り返すことは、多数個の製品検査を行うには検査を続行
する際の準備が煩雑となる欠点があった。

【０００６】又、プリントアウトされた検査結果のみを
用いることは、所定項目の検討は容易であっても、検査
結果の総合的評価を直ちに読み取ることが困難な場合も
あり、検査効率を高めることができない欠点があった。
更に、同一のジョブファイルにより検査を繰り返す場
合、新たな検査データである電子データは前の検査デー
タの上に書き込むため、前の検査データが消失し、デー
タの蓄積を行うことが困難となる欠点もあった。

【０００７】そして、形状が近似している製品につき検
査行程の近似する検査を行うため、従前のジョブファイ
ルを一旦変更して新たなジョブファイルに変更すると、
前に検査した検査行程に戻す場合、別に従前のジョブフ
ァイルの保管を行っていないときは、再度、ジョブファ
イルの修正を行って元のジョブファイルに戻さなければ
ならず、検査を繰り返す場合に手数を要することとなる
欠点もあった。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、ジョブファイ
ルとして記述されたプログラムに基づいて測定物を自動
測定する座標測定装置において、スタート操作が行われ
るとジョブファイルをコピーして実行ファイルを作成す
る実行ファイル作成手段と、実行ファイルから変更可能
なパラメータを読み出して表示手段に表示させるパラメ
ータ表示制御手段と、表示したパラメータが入力手段の
操作により変更されたときは変更後のパラメータを実行
ファイルに書き込むパラメータ設定入力手段と、設定完
了の操作が行われると実行ファイルのプログラムによる
測定処理の実行を開始させる起動手段と、を有する座標
測定装置とする。

【０００９】このように、ジョブファイルをコピーする
実行ファイル作成手段を有している故、元のジョブファ
イルを残しておくことができる。又、実行ファイルから
変更可能なパラメータを表示するパラメータ表示制御手
段と、パラメータが変更されるとこのパラメータを実行
ファイルに書き込むパラメータ設定入力手段とを有して
いる故、測定を開始するに際し、パラメータの確認を行
って必要な場合にはパラメータの設定変更を容易に行う
ことができる。

【００１０】又、実行ファイル作成手段は、ジョブファ
イルを実行ファイルとしてコピーするに際し、実行ファ
イルをテンポラリーファイルとしてコピーを行う実行フ
ァイル作成手段とすることが好ましい。このように、実
行ファイルをテンポラリーファイルとして作成すれば、
プログラムの実行を迅速に行うことができ、且つ、検査
終了後は、実行したプログラムファイルを自動的に削除
することができる。

【００１１】更に、パラメータ表示制御手段は、実行フ
ァイルに記述されているパラメータの内、少なくとも測
定結果のデータファイルとする出力ファイルのファイル
名を表示手段に表示するパラメータ表示制御手段とする
ことが好ましい。このように、出力ファイル名を変更可
能な必須のパラメータとして表示するパラメータ表示制
御手段とすれば、測定に際して測定結果の保存場所を指
定することができ、必要な検査結果を確実に記録保存さ
せることができる。

【００１２】そして、実行ファイルによる測定の処理を
実行したとき、この実行ファイルに記述されている出力
ファイル名を出力ファイル名リストに保存する出力ファ
イル名記録手段を設けることが好ましい。このように、
出力ファイル名記録手段を設ければ、出力ファイル名リ
ストに測定結果を記録したファイルのファイル名を記録
することができ、各測定結果を記録したファイル名の一
覧を表示することが可能となり、検査結果の全ファイル
を容易に知ることができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明に係る座標測定装置の一実
施の形態として、レチクルマスクの形状を測定する座標
測定装置を説明する。この座標測定装置は、図１に示す
ように、測定部13や制御部21及び表示手段15や入力手段
17などを有するものであることは従来の自動座標測定装
置と同様である。そして、この測定部13は、レチクルマ
スクをトレイに固定して線幅や座標位置の測定をレーザ
ービームなどを用いて測定するものであることも従来と
同様である。又、制御部21は、測定部13のＸＹステージ
や光学系などの制御を行い、且つ、測定部13からの測定
信号の解析処理を行うものであることも従来と同様であ
る。

【００１４】尚、測定結果の一覧表や測定した形状を表
示するＣＲＴなどの表示手段15、操作のためのキーボー
ドやマウスなどの入力手段17、及び、測定結果を出力す
るプリンタなどの出力手段19をもこの座標測定装置10は
有しているものである。又、この制御部21は、コンピュ
ータを用いるものであり、製品の検査を自動測定するた
めのプログラムであるジョブファイルや装置固有の制御
プログラムなどを記憶する元ファイル記憶手段22として
のメモリを有し、中央演算処理装置が演算処理を行うた
めのデータを一時保存する演算データ記憶手段26として
のメモリを有するものである。

【００１５】そして、この制御部21の中央演算処理装置
は、元ファイル記憶手段22に格納されているジョブファ
イルを演算データ記憶手段26にテンポラリーファイルと
してコピーし、コピーしたテンポラリーファイルを実行
して測定部13を制御するものとしている。このように、
制御部21の中央演算処理装置には、元ファイル記憶手段
22に格納されているジョブファイルを演算データ記憶手
段26としたメモリに実行ファイルであるテンポラリーフ
ァイルとしてコピーする実行ファイル作成手段23として
の機能を持たせるものであり、この座標測定装置10は、
コピーした実行ファイルにより製品の検査を行うもので
ある。

【００１６】従って、本実施の形態における自動測定装
置とした座標測定装置10では、ジョブファイルの実行を
行うに際し、先ず、演算データ記憶手段26に実行ファイ
ルとしてジョブファイルのコピーが行われることにな
る。又、この元ファイル記憶手段22に記憶するジョブフ
ァイルには、図２に示すように、測定部13の各種アライ
メントやマッチングの設定を行うパラメータが予め設定
されていることは従来のジョブファイルと同様である。
又、測定結果を記録するファイルとして作成される出力
ファイルのファイル名、例えばＡ．ＤＡＴなども、予め
パラメータとして設定されているものである。

【００１７】そして、この座標測定装置10では、元ファ
イル記憶手段22に格納されているジョブファイルを演算
データ記憶手段26にコピーして実行ファイルを作成した
後、実行ファイルであるテンポラリーファイルから変更
を可能としたパラメータを読み出して表示手段17である
ＣＲＴなどに一旦表示させることとしている。即ち、演
算データ記憶手段26に書き込まれた実行ファイルに記述
されているパラメータの内、図３に示すように、少なく
とも測定結果を記録するファイルとした出力ファイルの
ファイル名である出力ファイル名、例えばＡ．ＤＡＴを
表示手段15に表示するパラメータ表示制御手段24として
の機能を中央演算処理装置に持たせるものである。

【００１８】そして、キーボードなどの入力手段17から
新たな出力ファイル名が入力されると、実行ファイルと
したジョブファイルのパラメータにおける出力ファイル
名を入力されたファイル名に変更するパラメータ設定入
力手段25として中央演算処理装置を機能させ、キーボー
ド又はマウスなどの入力手段17により設定完了が選択さ
れると、テンポラリーファイルの実行を行って測定部13
の制御及び測定信号の解析を行うものである。

【００１９】このように、中央演算処理装置に完了操作
がされたか否かの判断を行う起動手段27としての動作を
行わせ、完了操作が行われると中央演算処理装置の制御
に基づいて、従来と同様に測定部13による測定を実行す
る。そして、この測定結果を表示手段15に表示すると共
に、実行ファイルに記述されている出力ファイル名のフ
ァイルを作成してこの測定結果を記録し、且つ、中央演
算処理装置を出力ファイル名記録手段28として動作させ
ることにより、出力ファイルのファイル名を出力ファイ
ル名リストに書き込んで記録しておくようにしている。

【００２０】即ち、この座標測定装置10では、制御部21
により、図４に示すように、測定開始に際しては、先
ず、測定プログラムであるジョブファイルをコピーして
実行ファイルを作成するものである（Ｓ１０１）。そし
て、コピーしたジョブファイルのパラメータを表示手段
15に表示し（Ｓ１０２）、設定完了の操作がされたか否
かの判断を行い（Ｓ１０３）、更に、パラメータ変更の
入力がされたか否かの判断も行う（Ｓ１０４）ものであ
る。そして、新たにパラメータが入力されたときは、実
行ファイルに記述されているパラメータの変更を行う
（Ｓ１０５）ものである。又、中止のキー操作が行われ
るか否かの判断も行って（Ｓ１０６）、中止のキー操作
が行われないときは、完了のキー操作の検出（Ｓ１０
３）及びパラメータの変更入力の検出判断（Ｓ１０
４）、更に、中止の操作検出（Ｓ１０６）を繰り返すも
のである。

【００２１】従って、パラメータの変更が入力される
と、実行ファイルであるテンポラリーファイルのパラメ
ータを書き換えるも、パラメータを変更することなく完
了の操作が行われると、予め元ファイルや実行ファイル
に記述されているデホルト値に基づいて実行ファイルを
起動し、測定を実行する（Ｓ１１０）ものである。尚、
パラメータを変更する入力が行われたときは、このパラ
メータに実行ファイルのパラメータを書き換え、新たに
設定されたパラメータに基づいて測定を実行するもので
ある。

【００２２】更に、この座標測定装置10では、実行ファ
イルであるテンポラリーファイルを実行して測定を行っ
たときは、テンポラリーファイルのパラメータの内、少
なくとも出力ファイル名をリストファイルに書き込んで
保存するものとしている。又、測定を実行（Ｓ１１０）
した後は、再度、この実行ファイルにより測定を繰り返
すかいなかの再開操作が行われるか否かの判断を行う
（Ｓ１１５）。そして、再開操作が行われたときは、再
度パラメータの表示を行って（Ｓ１０２）パラメータの
変更入力待ち（Ｓ１０４、Ｓ１０５）を行い、設定完了
の操作を検出（Ｓ１０３）することによって測定の実行
を繰り返すものとしている。

【００２３】尚、パラメータの表示中に中止の操作が行
われたことを検出（Ｓ１０６）したときや、測定終了後
に終了の操作が行われたことを検出（Ｓ１１６）したと
きは、測定を終了するものである。このように、この座
標測定装置10は、測定開始の操作が行われると、先ず、
パラメータ表示制御手段24により出力ファイル名などの
パラメータを表示手段15に表示し、測定データを記録す
る出力ファル名の確認を行うことができるものである。
従って、測定を繰り返して行うに際し、出力ファイル名
を書き換えて測定を繰り返すことにより、全ての測定結
果を各々異なるファイルとして保存することができる。

【００２４】又、測定を実行したときに、出力ファイル
名リストに測定結果を記録するファイルのファイル名や
パラメータを記録しておくものである。従って、新たに
パラメータを入力しようとするとき、このリストを表示
させることができる。このため、この実行ファイルで既
に使用したパラメータの一覧を表示させることが可能で
あり、新たなパラメータの設定を行うに際し、既に使用
したパラメータと比較することができることになる。

【００２５】そして、パラメータの記録リストとして少
なくとも出力ファイル名を記録する出力ファイル名リス
トを作成するようにしておけば、パラメータ表示制御手
段24によってこの出力ファイル名リストを表示するよう
にする場合は、従前の検査結果の保存ファイル名を知る
ことができる。従って、新たな検査結果データのファイ
ル名である出力ファイル名を定めるに際し、出力ファイ
ル名を統一的に定めて検査結果ファイルを作成すること
ができる。

【００２６】更に、この座標測定装置10では、元ファイ
ル記憶手段22に格納されるジョブファイルをコピーして
実行ファイルを作成し、この実行ファイルとしたジョブ
ファイルのパラメータを変更して測定を行うものであ
る。従って、最初の測定用プログラムを残しておくこと
ができ、測定を開始しようとするときはデホルト値によ
る初期設定のプログラムを使用することも可能である。
又、測定に合わせてパラメータを変更することも容易で
ある。

【００２７】尚、変更可能なパラメータは、出力ファイ
ル名に限るものでなく、アライメントの設定や、基準座
標の設定などのマッチングに関するパラメータなどを表
示させ、これらのパラメータを修正することを可能とす
ることもある。又、ジョブファイルを格納する元ファイ
ル記憶手段22は、ＲＯＭやＲＡＭなどのメインメモリに
限るものでなく、適宜のハードディスクなどを使用する
ことも有る。

【００２８】更に、実行ファイルとしては、テンポラリ
ーファイルとしてメインメモリや仮想メモリに作成する
場合のみでなく、単に元ファイル記憶手段22から適宜の
記憶媒体にコピーを行い、このコピーしたファイルを実
行ファイルとすることも有る。この場合は、実行ファイ
ルのファイル名も、入力手段17により指定可能とするこ
とが好ましい。

【００２９】このように、実行ファイルのファイル名を
指定可能としておけば、パラメータの多少異なる複数個
のジョブファイルを作成して座標測定装置10に保存して
おくことができる。又、実行ファイルをテンポラリーフ
ァイルとして作成するものとすれば、測定終了後に実行
ファイルを消去し、元のジョブファイルを残しつつ実行
が終了したファイルを自動的に削除し、メモリなどの記
憶媒体を有効に使用することができる。

【００３０】

【発明の効果】請求項１に記載した本発明は、ジョブフ
ァイルに基づいて測定物を自動測定する座標測定装置に
おいて、スタート操作が行われるとジョブファイルをコ
ピーする実行ファイル作成手段と、変更可能なパラメー
タを読み出して表示するパラメータ表示制御手段と、パ
ラメータが変更されたときは変更されたパラメータを実
行ファイルに書き込むパラメータ設定入力手段と、実行
ファイルのプログラムによる測定処理の実行を開始させ
る起動手段と、を有する座標測定装置とするものであ
る。

【００３１】このように、ジョブファイルをコピーして
実行ファイルを作成する故、基本的なパラメータの値が
予め設定されている元ファイルを残しておくことがで
き、パラメータ表示制御手段やパラメータ設定入力手段
により測定対象に合わせた必要なパラメータの確認や設
定を行って測定を実行することができる。従って、実行
ファイルのパラメータを変更して近似の形状の測定を繰
り返すことができ、必要に応じて基本パラメータが設定
されている元のジョブファイルによる測定に戻ることも
極めて容易に行うことができる。

【００３２】又、請求項２に記載した発明は、実行ファ
イル作成手段として、ジョブファイルを実行ファイルと
してコピーするに際し、実行ファイルをテンポラリーフ
ァイルとしてコピーを行う実行ファイル作成手段とする
ものである。このように、測定を実行するプログラムで
ある実行ファイルをテンポラリーファイルとする故、こ
の測定の終了後、新たに測定を行うとき、測定に必要な
ジョブファイルを使用するに際し、新たに必要とするプ
ログラムの書き込みが使用の終了している実行ファイル
の上に自動的に上書きされ、不必要となった実行ファイ
ルを消去してメモリを有効に活用することができる。

【００３３】更に、請求項３に記載した発明は、パラメ
ータ表示制御手段は、実行ファイルに記述されているパ
ラメータの内、少なくとも出力ファイル名を表示手段に
表示するパラメータ表示制御手段とするものである。こ
のように、出力ファイル名を表示手段に必ず表示するも
のとすれば、測定結果の記録ファイル名を確認すること
ができ、測定を繰り返す際、各測定結果のデータを各々
異なるファイルに記録することが容易にできることにな
る。

【００３４】そして、請求項４に記載した発明は、測定
を実行したとき、出力ファイルのファイル名を出力ファ
イル名リストに記録するものである。このように、測定
した結果を記録する出力ファイルのファイル名をリスト
ファイルに記録すれば、各測定結果を保存するに際し、
新たな出力ファイル名の決定が容易であり、又、近似の
形状の測定を行ったときは、出力ファイル名を統一的に
定めて検査結果ファイルを作成することが容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る座標測定装置の概要を示すブロッ
ク図。

【図２】本発明に係る座標測定装置に使用するジョブフ
ァイルの一例を示す概念図。

【図３】本発明に係る座標測定装置の表示例を示す図。

【図４】本発明に係る座標測定装置の主要動作を示すフ
ローチャート図。

【符号の説明】

１０ 座標測定装置 １３ 測定部 １５ 表示手段 １７ 入力手段 １９ 出力手段 ２１ 制御部 ２２ 元ファイル記
憶手段 ２３ 実行ファイル作成手段 ２４ パラメータ表
示制御手段 ２５ パラメータ設定手段 ２６ 演算データ記
憶手段 ２７ 起動手段 ２８ 出力ファイル
名記録手段

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ジョブファイルとして記述されたプログ
   ラムに基づいて測定物を自動測定する座標測定装置にお
   いて、 スタート操作が行われると前記ジョブファイルをコピー
   して実行ファイルを作成する実行ファイル作成手段と、 前記実行ファイルから変更可能なパラメータを読み出し
   て表示手段に表示させるパラメータ表示制御手段と、 前記表示されたパラメータが入力手段の操作により変更
   されたときは、変更後のパラメータを前記実行ファイル
   に書き込むパラメータ設定入力手段と、 設定完了の操作が行われると前記実行ファイルのプログ
   ラムによる測定処理の実行を開始させる起動手段と、 を有することを特徴とする座標測定装置。
2. 【請求項２】 前記実行ファイル作成手段は、前記ジョ
   ブファイルを前記実行ファイルとしてコピーするに際
   し、前記実行ファイルをテンポラリーファイルとしてコ
   ピーを行うことを特徴とする請求項１に記載した座標測
   定装置。
3. 【請求項３】 前記パラメータ表示制御手段は、実行フ
   ァイルに記述されているパラメータの内、少なくとも測
   定結果のデータファイルのファイル名である出力ファイ
   ル名を前記表示手段に表示することを特徴とする請求項
   １又は請求項２に記載した座標測定装置。
4. 【請求項４】 前記実行ファイルによる測定処理を実行
   したとき、この実行ファイルにパラメータとして記述さ
   れている出力ファイル名を出力ファイル名リストに保存
   する出力ファイル名記録手段を有することを特徴とする
   請求項１乃至請求項３の何れかに記載した座標測定装
   置。