JPH10123965A

JPH10123965A - 透明性導電膜とその製造方法およびこの透明性導電膜を有する表示装置

Info

Publication number: JPH10123965A
Application number: JP8282683A
Authority: JP
Inventors: Naoki Takamiya; 直樹高宮; Hidenori Horikoshi; 秀紀堀越; Kazumichi Mori; 一倫森; Atsumi Wakabayashi; 淳美若林
Original assignee: Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Priority date: 1996-10-24
Filing date: 1996-10-24
Publication date: 1998-05-15

Abstract

(57)【要約】【課題】帯電防止性、電磁波遮蔽性に優れ、かつ透過
画像が自然な色相に調整された透明性導電膜およびこれ
を用いた表示装置を得る。【解決手段】表示装置のフェースパネル３上に形成さ
れた透明性導電膜１０が、エネルギー照射により色相が
調整された透明性金属薄膜１と、屈折率がこの透明性金
属薄膜１のそれと異なる透明な反射防止層２とからな
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特に陰極線管やプ
ラズマディスプレイなどのフェースパネルに用いて優れ
た帯電防止効果と電磁波遮蔽効果とを有し、かつ透過画
像の色相が調整された透明性導電膜、およびこれをフェ
ースパネルに用いた表示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、ＴＶブラウン管やコンピュータの
ディスプレイなどとして用いられている陰極線管は、赤
色、緑色、青色に発光する蛍光面に電子ビームを射突さ
せることによって文字や画像を映し出させるものである
から、フェースパネル面に発生する静電気により埃が付
着して視認性が低下する他、電磁波を輻射して周囲の機
器などに影響を及ぼす惧れがある。また最近、壁掛けテ
レビなどとしての応用が進められているプラズマディス
プレイなどにおいても、静電気の発生や電磁波輻射の可
能性が指摘されている。

【０００３】これらの問題を解決するため、従来は、表
示装置の表示面上に、銀、金、パラジウムなどの微粒子
を分散させた塗布液を塗布し乾燥するか、またはスパッ
タ法や蒸着法によって、導電性の透明金属薄膜を形成
し、この透明金属薄膜の上層および／または下層に、こ
れとは屈折率が異なる透明性薄膜を積層して電磁波遮
蔽、帯電防止、ならびに反射防止を図っている。例えば
特開平８−７７８３２号公報には、電磁波遮蔽効果と反
射防止効果に優れた透明性導電膜として、平均粒径２〜
２００ｎｍの金属微粒子からなる透明性金属薄膜と、こ
れより屈折率が低い透明被膜とからなるものが提案され
ている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの方法
では、電磁波遮蔽効果は期待できるものの、金属の光透
過スペクトルに依存して透過光の特定波長に吸収が生
じ、導電膜が着色し、透過画像の色相が不自然に変化す
るという問題が解決されなかった。本発明は、上記の課
題を解決するためになされたものであって、従ってその
目的は、透明度が高く電磁波遮蔽性および帯電防止効果
に優れているばかりでなく、特定波長の吸光が少なく、
透過画像の色相が調整された透明性導電膜と、これを安
価に製造する方法、およびこの透明性導電膜を有する表
示装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明は、エネルギー照射により色相が調整された
透明性金属薄膜を有する透明性導電膜を提供する。ここ
でエネルギー照射とは、紫外線照射、赤外線照射、熱線
照射、マイクロウエーブ照射、エックス線照射、ガンマ
線照射などを含むものであるが、特に、少なくとも紫外
線照射または赤外線照射のいずれかを含むものであるこ
とが好ましい。

【０００６】前記の透明性金属薄膜は、金属を１０重量
％以上含有することが好ましい。前記の透明性金属薄膜
は、少なくとも銀を含有することが好ましい。また、こ
の透明性導電膜は、前記の透明性金属薄膜の上層および
／または下層に、屈折率が前記の透明性金属薄膜のそれ
と異なる少なくとも１層の透明な反射防止層を有するこ
とが好ましい。

【０００７】本発明はまた、透明性金属薄膜を形成する
工程と、この透明性金属薄膜にエネルギー照射を施して
その色相を調整する工程とを含む透明性導電膜の製造方
法を提供する。本発明はさらに、前記のいずれかの透明
性導電膜がフェースパネルの前面に形成された表示装置
を提供する。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を詳し
く説明する。図１は、本発明の透明性導電膜の一実施形
態を示している。図１において、この透明性導電膜１０
は、陰極線管のフェースパネル３の表面に形成されてい
て、フェースパネル３側（下側）から順次、透明性金属
薄膜１と透明な反射防止層２とが積層されてなってい
る。

【０００９】この透明性金属薄膜１には、金属、好まし
くは銀が１０重量％以上含有されている。そして、この
透明性金属薄膜１は、紫外線照射または赤外線照射など
によりエネルギー照射されて、その色相が調整されてい
る。また、前記の反射防止層２は、屈折率が透明性金属
薄膜１のそれと異なるように設定されている。

【００１０】この透明性導電膜１０は、透明性金属薄膜
１中に金属（銀）が１０重量％以上含有されているので
透明でありながら導電性であり、帯電防止性と電磁波遮
蔽性とを共に有している。また、透明性金属薄膜１のそ
れと異なる屈折率を有する透明な反射防止層２が積層さ
れているので、外光による内面反射が効果的に抑制され
視認性が向上している。

【００１１】そして、本発明の透明性導電膜１０は、透
明性金属薄膜１が、紫外線照射または赤外線照射などに
よりエネルギー照射されているので、可視光の波長帯域
である４００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲内において、例え
ば銀を含むエネルギー照射されていない透明膜では、４
００ｎｍ〜５３０ｎｍの短波長可視光帯域に吸収があっ
て着色し、透過画像の色相が黄色味を帯びて不自然に見
えるのであるが、エネルギー照射されたことによって可
視光の特定波長における光吸収が抑制され、その色相が
調整されたことによって透過画像の色相が自然に見える
ようになる。

【００１２】本発明の一実施形態である陰極線管は、例
えばフェースパネル３の表面に、前記の金属を微粒子と
して含有する塗布液をスピンコータなどを用いて均一に
塗布し、乾燥して透明性金属薄膜１を形成し、次いでこ
の透明性金属薄膜１に紫外線または赤外線を照射してそ
の色相を調整し、次いでこの透明性金属薄膜１の上層
に、前記の透明性金属薄膜とは屈折率が異なる透明な反
射防止層を形成する反射防止塗料を塗布し、乾燥または
焼付けることによって製造することができる。

【００１３】得られた陰極線管は、フェースパネル３に
前記の色相が調整された透明性導電膜１０が形成されて
いるので、帯電防止性、電磁波遮蔽性、反射防止性を有
すると共に可視光帯域で光透過性が平坦化され、自然な
色相の透過画像が得られる。

【００１４】以下、本発明を構成する各要素について詳
しく説明する。本発明の構成要素である透明性金属薄膜
１は、金属を含有した透明性薄膜である。この透明性金
属薄膜１に用いるに好適な金属の例としては、銀、金、
銅、白金、パラジウム、ルテニウム、ロジウム、ニッケ
ル、または任意のこれら２種以上の混合物を挙げること
ができる。これらはいずれも薄膜の状態で透明であり、
かつ導電性が高い。

【００１５】用いる金属の内の少なくとも１種は銀であ
ることが好ましい。銀はコロイド状分散液として比較的
容易かつ安価に入手可能であり、導電性が高く帯電防止
性・電磁波遮蔽性に優れ、しかも透明性の高い導電層が
形成できるからである。また銀と組み合わせて、例えば
金を用いてもよい。金は比較的小割合の配合によって、
銀に由来する可視光の透過スペクトルを平坦化し、透過
画像の黄色味着色を低減させる効果がある。

【００１６】透明性金属薄膜１は、前記の金属を１０重
量％以上含有していることが好ましい。金属含有量が１
０重量％未満では導電性が低下し、実質的な電磁波遮蔽
効果を得ることが困難になるからである。

【００１７】この透明性金属薄膜１は、例えば陰極線管
のフェースパネルなどの表示面に、前記金属の微粒子を
分散させて得られた塗布液を均一に塗布して成膜するこ
とによって形成することができる。このとき、塗布液
は、例えば金属を平均粒径が０．０５μｍ以下のコロイ
ド状微粒子とし、水および／または有機溶剤からなる媒
体中に均一に分散させて調製することができる。塗布液
中の金属微粒子の平均粒径が０．０５μｍを越えると、
光吸収性が大となり、得られた透明性金属薄膜１の透明
性が低下し、実用的な透明性導電膜１０が得られなくな
る。

【００１８】前記塗布液の塗布は、一般には、スピンコ
ート、ロールコート、ナイフコート、バーコート、スプ
レーコート、メニスカスコート、ディップコートなど、
公知の任意の薄膜塗布技術を用いて行うことができる。
この内、スピンコートは、短時間で均一な厚みの薄膜を
形成することができるので特に好ましい塗布法である。
塗布後、塗膜を乾燥すれば、透明性金属薄膜１が形成さ
れる。

【００１９】透明性金属薄膜１の膜厚は、透明性を確保
するために１μｍ以下とすることが好ましい。特にこの
透明性金属薄膜１の上層および／または下層に屈折率の
異なる反射防止層を積層する場合は、光学的反射防止機
能を考慮して０．２μｍ以下とすることが更に好まし
い。

【００２０】透明性金属薄膜１は、帯電防止に加えて電
磁波遮蔽の目的で使用する場合は、遮蔽すべき電磁波の
周波数に対応した膜特性の設計が必要となる。一般に、
電磁波遮蔽効果は、下記の式１によって表される。

【００２１】式１：Ｓ（ｄＢ）＝５０＋１０ｌｏｇ（１／ρｆ）＋１．７ｔ
√（ｆ／ρ）式中、Ｓ（ｄＢ）は電磁波遮蔽効果、ρ（Ω・ｃｍ）は
導電膜の体積固有抵抗、ｆ（ＭＨｚ）は電磁波周波数、
ｔ（ｃｍ）は導電膜の膜厚を表す。

【００２２】膜厚ｔは、透明度を確保する観点から１μ
ｍ（１×１０^-4ｃｍ）以下とすることが好ましい。特に
５ｎｍ〜５０ｎｍの範囲内とすることが好ましい。この
場合、式１は近似的に下記の式２で表すことができる。式２：Ｓ（ｄＢ）＝５０＋１０ｌｏｇ（１／ρｆ）

【００２３】すなわち、透明性金属薄膜１の体積固有抵
抗値（ρ）は、できるだけ小さいほうが広範な周波数の
電磁波に対してより大きい遮蔽効果を現すことがわか
る。一般に、電磁波遮蔽効果は、Ｓ＞３０ｄＢであれば
有効、更にＳ＞６０ｄＢであれば優良とみなされる。規
制対象となる電磁波の周波数は一般に１０ｋＨｚ〜１０
００ＭＨｚの範囲とされるので、１μｍ以下の膜厚で良
好な電磁波遮蔽効果を得るには、透明性金属薄膜１の体
積固有抵抗値（ρ）を１０³Ω・ｃｍ以下とすることが
望ましい。この値は、透明性金属薄膜１中の金属含有量
を１０重量％以上とすることによって達成することがで
きる。

【００２４】透明性金属薄膜１は、前記の金属の他に、
透明性を更に向上させるために、ケイ素、アルミニウ
ム、ジルコニウム、セリウム、チタン、イットリウム、
亜鉛、マグネシウム、インジウム、錫、アンチモン、ガ
リウムなどの酸化物、複合酸化物、または窒化物、特に
インジウムや錫の酸化物、複合酸化物または窒化物を主
成分とする無機微粒子を含んでいてもよい。これらの無
機微粒子の平均粒径は、透明性の観点から０．１μｍ以
下とすることが好ましい。

【００２５】本発明において、形成された透明性金属薄
膜１はエネルギー照射が施され、その色相が調整され
る。このエネルギー照射の方法は、特に限定されるもの
ではないが、例えば紫外線照射、赤外線照射、熱線照
射、マイクロウエーブ照射、エックス線照射、ガンマ線
照射などによって行うことができる。本発明者らは、前
記の透明性金属薄膜にエネルギー照射を施すことによっ
て、その可視光帯域における光透過スペクトルが変化
し、これによって可視光透過スペクトルが平坦化される
ことを見いだし本発明に到達した。

【００２６】エネルギー照射は、理由は明確でないが、
金属に特有の光吸収ピークを低減し、これによって可視
光帯域における透明性金属薄膜の透過スペクトルを平坦
化させ、色相を調整する効果がある。例えば金属として
銀を含む透明性金属薄膜１の場合は、銀微粒子に特有の
３９０ｎｍ〜４５０ｎｍにおける光吸収ピークが緩和さ
れ、可視光全域にわたって透過スペクトルが平坦化さ
れ、これによって、例えば陰極線管の青、緑、赤の発光
スペクトルに対して偏りのない均一な光吸収スペクトル
が得られ、色相が調整される結果、透過画像が自然な色
に見え、視認性も向上することになる。

【００２７】エネルギー照射による色相調整において、
透明性金属薄膜１に付与するエネルギーの強度および時
間は、それぞれの処理方法により異なる。エネルギー照
射においては、同時に導電性が低下する現象もみられる
ので、光吸収ピークの低減の程度と導電性の低下の程度
とを勘案し、実験によって好適値を見いだすことが好ま
しい。これらの観点、および生産性、安全性、経済性の
観点から、エネルギー照射の方法としては、紫外線照射
または赤外線照射が特に好ましい。

【００２８】本発明の透明性導電膜においては、図１に
一例を示すように、透明性金属薄膜１の上層および／ま
たは下層に、屈折率が透明性金属薄膜１のそれと異なる
少なくとも１層の透明な反射防止層２が積層されている
ことが好ましい。この反射防止層２について詳しく説明
する。

【００２９】この反射防止層２は、例えばケイ素、アル
ミニウム、ジルコニウム、セリウム、チタン、イットリ
ウム、亜鉛、マグネシウム、インジウム、錫、アンチモ
ン、ガリウムなどの酸化物、複合酸化物、または窒化物
など、または焼付けによってこれらを生成することがで
きる前駆体を主成分として含む塗料（反射防止塗料）を
用いて膜厚が均一な膜を形成し、透明性金属薄膜１と同
時にまたは別途に焼付けることによって形成することが
できる。

【００３０】本発明の透明性導電膜は、反射防止層２が
透明性金属薄膜１の上層（表面側）に形成された図１に
示す構成のものに限定されない。反射防止層２は、透明
性金属薄膜１の下層（基材３と透明性金属薄膜１との
間）に形成されていてもよく、また上層と下層の両方に
形成されていてもよい。

【００３１】透明性金属薄膜１より上層に形成される反
射防止層は、その屈折率を透明性金属薄膜１のそれより
小さいものとし、透明性金属薄膜１より下層に形成され
る反射防止層は、その屈折率を透明性金属薄膜１のそれ
より大きいものとすることが好ましい。また、本発明の
透明性導電膜に形成される反射防止層は、必ずしも１層
に限定されるものではなく、多層であってもよく、例え
ば最外層に向かって次第に屈折率が低下する複数の反射
防止層が形成されていてもよい。

【００３２】一般に、多層薄膜における界面反射防止能
は、薄膜の屈折率と膜厚、および積層薄膜数により決定
される。屈折率が相対的に高い透明性金属薄膜１を下層
とし、この上側に屈折率が低い反射防止層２が形成され
る場合は、防止しようとする反射光の波長をλとすると
き、透明性金属薄膜１，反射防止層２のそれぞれの光学
的膜厚をλ／４，λ／４、またはλ／２，λ／４とする
ことによって効果的に反射防止が達成される。

【００３３】また、例えば本発明の透明性導電膜が下層
から順に、屈折率が透明性金属薄膜１より高い反射防止
層，透明性金属薄膜１，屈折率が透明性金属薄膜より低
い反射防止層の３層から形成されている場合は、それぞ
れの光学的膜厚をλ／４，λ／２，λ／４とすることに
よって効果的に反射を防止することができる。

【００３４】この反射防止層２はまた、透明性導電膜の
反射防止と保護とを兼ねる、表面硬度が高いハードコー
ト層として形成することもできる。この反射防止性ハー
ドコート層を形成することができる物質の例として、例
えば下式Ｍ（ＯＲ）_mＲ_n において、ＭがＳｉ，ＴｉまたはＺｒであり、ＲがＣ₁
〜Ｃ₄のアルキル基であり、ｍが１〜４の整数であり、
ｎが１〜３の整数であり、かつｍ＋ｎが４である化合
物、またはその部分加水分解物の１種またはそれ以上の
混合物を挙げることができる。この化合物の例として
は、例えばテトラエトキシシラン（Ｓｉ（ＯＣ
₂Ｈ₅）₄）が膜強度および反射防止性の点から好適に用
いられる。

【００３５】この反射防止性ハードコート層は、前記の
透明性金属薄膜１と異なる屈折率に設定できるのであれ
ば、前記の反射防止層２を形成する金属酸化物、複合酸
化物、または窒化物など、または焼付けによってこれら
を生成することができる前駆体などを含んでいてもよ
い。

【００３６】以上説明した本発明の透明性導電膜は、陰
極線管はもちろんのこと、例えばプラズマディスプレイ
や液晶表示装置など、帯電防止性や電磁波遮蔽性が求め
られる透過画像表示装置のフェースパネルに有利に形成
することができる。従って、本発明の透明性導電膜がフ
ェースパネルの前面に形成された表示装置もまた本発明
に属するものである。特に、前記の反射防止層を有する
透明性導電膜がフェースパネルの前面に形成された本発
明の表示装置は、フェースパネルの帯電が防止されてい
るので画像表示面に埃などが付着せず、電磁波が遮蔽さ
れるので各種の電磁波障害が防止され、エネルギー照射
が施されているので可視光帯域において透過スペクトル
が平坦化され、反射防止層が積層されているので表面反
射や界面反射が効果的に除去されて、透過画像の色相が
自然であり、色彩コントラストが高く、外光の映り込み
がなく、視認性の高い目に優しいものとなる。

【００３７】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。（塗料の調製）銀コロイド分散液の調製：クエン酸ナトリウム二水和
物（１４ｇ）、硫酸第一鉄（７．５ｇ）を溶解した溶液
６０ｇを５℃に保持した状態で、硝酸銀（２．５ｇ）を
溶解した溶液２５ｇを加えて銀コロイドを生成させた。
得られた銀コロイド分散液から遠心分離により水洗し、
不純物を除去した後、３８．１ｇの純水を加えて塗料用
の銀コロイド分散液を調製した。得られた銀コロイド粒
子の粒径は０．００５μｍ〜０．０３μｍであった。低屈折率反射防止塗料の調製：テトラエトキシシラン
（０．８ｇ）と０．ｌＮ塩酸（０．８ｇ）とエチルアル
コール（９８．４ｇ）とを混合して均一な溶液とした。

【００３８】（実施例１）透明性金属薄膜塗料の調製：の銀コロイド分散液１３．５ｇ純水６６．５ｇブチルセロソルブ１０．０ｇＩＰＡ１０．０ｇ上記の成分を配合して得られた混合液を超音波分散機
（セントラル科学貿易社製「ソニファイヤー４５０」）
で分散し、透明性金属薄膜塗料を調製した。

【００３９】成膜：上記の透明性金属薄膜塗料を、ブラ
ウン管のフェースパネル表面にスピンコーターを用いて
塗布し、乾燥後、この塗布面に紫外線照射装置（日本電
池社製：ＦＬ−１００１−２）を用いて１分間紫外線照
射してエネルギー照射を行った。次に、この上にの低
屈折率反射防止塗料を、同様にスピンコーターを用いて
塗布し、このブラウン管を乾燥機に入れ、１５０℃で１
時間焼付け処理して透明性導電膜を形成することによ
り、反射防止性の透明性導電膜を有する実施例１の陰極
線管を作成した。

【００４０】（実施例２）紫外線照射を３分間行った他
は実施例１と同様にして、反射防止性の透明性導電膜を
有する実施例２の陰極線管を作成した。

【００４１】（実施例３）紫外線照射を６分間行った他
は実施例１と同様にして、反射防止性の透明性導電膜を
有する実施例３の陰極線管を作成した。

【００４２】（実施例４）紫外線照射のかわりに、赤外
線ランプ（１００Ｖ−１８５Ｗ）を用いて赤外線照射を
１２分間行った他は実施例１と同様にして、反射防止性
の透明性導電膜を有する実施例４の陰極線管を作成し
た。

【００４３】（比較例１）エネルギー照射を省略した他
は実施例１と同様にして、反射防止性の透明性導電膜を
有する比較例１の陰極線管を作成した。

【００４４】上記の実施例１〜実施例４、および比較例
１の各試料について、それぞれの透明性導電膜の評価試
験を行った。評価項目およびその試験機（または試験方
法）を下に記す。透過率：日本分光社製「U-Best 50 」ヘーズ：東京電色社製「Automatic Haze meter H I
II DP」表面抵抗：三菱油化社製「ロレスタＡＰ」（４端針
法）反射率：日本分光社製「U-Best 50 」入射角５゜の
正反射透過色：ＣＩＥ表色系を使用し、ＣＩＥ色度図にお
ける未コート基板（ｘ＝０．３０８８，ｙ＝０．３１９
７）からのズレの距離をΔｘ，Δｙを用いて√（Δｘ²
＋Δｙ²）と表した。これにより、√（Δｘ²＋Δ
ｙ²）の値がよりゼロに近いものほど透過光が未コート
基板に近く、陰極線管の青、緑、赤の発光スペクトルを
均一に吸収する視認性の高いものであることが示され
る。電磁波遮蔽性：０．５ＭＨｚ基準で前記式１により計算耐擦傷性：１ｋｇの荷重下、消しゴムで膜表面を５０
回往復後、膜表面の擦傷の状態を目視により評価した。 ○；擦傷なし △；やや擦傷あり ×；擦傷多い視認性：低反射性能、反射色、透過色を含む官能的
総合評価である。 ○；良好 △；やや不良 ×；不良試験結果を表１に示す。また、各試料の可視光波長領域
における透過スペクトルを図２に示す。

【００４５】

【表１】

【００４６】表１の結果から、実施例１〜実施例４の試
料はいずれも、比較例１の試料に比べて透過色が未コー
ト基板の透過色（ゼロ）に近く、色相が自然に近く調整
されていることがわかる。このことは、図２の透過スペ
クトルからも明かであって、実施例１〜実施例４の試料
はいずれも、可視光帯域において光透過スペクトルが比
較例１の試料に比べて平坦化され、透過光の色相が調整
されている上に、透過率、ヘイズ、反射率などの特性も
優れているので総合的な光学的評価である視認性におい
て良好〜ほぼ良好と判定された。

【００４７】実施例１〜実施例３を比べると、表１およ
び図２において、紫外線照射時間が１分間である実施例
１に比べ、それぞれ３分間、６分間である実施例２、実
施例３の透過色、透過スペクトルが優れている。これは
紫外線照射によるエネルギー照射の効果が、エネルギー
供与量に依存して増大していることを示している。また
赤外線照射による実施例４は、供与するエネルギーの形
態が紫外線に限定されないことを示している。

【００４８】実施例１〜実施例４の試料はいずれも、そ
の他の特性、例えば表面抵抗、電磁波遮蔽性、耐擦傷性
においても実用性の高い透明性導電膜を有する陰極線管
となっていることがわかる。

【００４９】

【発明の効果】本発明の透明性導電膜は、エネルギー照
射によって色相が調整された透明性金属薄膜を有するも
のであるので、可視光の波長帯域である４００ｎｍ〜８
００ｎｍの範囲内において、金属に由来する特定波長帯
域の光吸収が抑制され、光透過性が調整される結果、透
過画像の色相が自然に見えるようになる。

【００５０】前記の透明性金属薄膜中に金属を１０重量
％以上含有させれば、透明でありながら導電性とするこ
とができ、帯電防止性と電磁波遮蔽性とを共に備えた透
明性導電膜が得られる。また、透明性金属薄膜の上層お
よび／または下層に、屈折率が前記の透明性金属薄膜の
それと異なる少なくとも１層の透明な反射防止層が形成
されていれば、外光による内面反射が効果的に抑制さ
れ、視認性が高い透明性導電膜が得られる。

【００５１】本発明の表示装置は、前記の色相が調整さ
れた透明性導電膜がフェースパネルの前面に設けられて
なるものであるので、帯電防止性および電磁波遮蔽性に
優れ、表示面に埃がつき難くかつ電磁波障害が防止さ
れ、しかも透過画像の色相が自然であり、また反射によ
る見難さも軽減され、鮮明で視認性の良い透過画像を得
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の透明性導電膜の一実施例を示す断面
図。

【図２】透明性導電膜の可視光帯域における光透過率
を示すグラフ。

【符号の説明】

１……透明性金属薄膜２……反射防止層３……透明基板１０…陰極線管フェースパネル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＨ０１Ｊ 5/08 Ｈ０１Ｊ 9/20 Ａ 9/20 29/88 29/88 Ｇ０２Ｂ 1/10 Ｚ (72)発明者若林淳美千葉県船橋市豊富町585番地住友大阪セメント株式会社新材料事業部内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】エネルギー照射により色相が調整された
透明性金属薄膜を有することを特徴とする透明性導電
膜。
【請求項２】前記のエネルギー照射が、少なくとも紫
外線照射または赤外線照射のいずれかを含むものである
ことを特徴とする請求項１に記載の透明性導電膜。
【請求項３】前記の透明性金属薄膜中の金属含有量が
１０重量％以上であることを特徴とする請求項１に記載
の透明性導電膜。
【請求項４】前記の透明性金属薄膜が少なくとも銀を
含有することを特徴とする請求項１に記載の透明性導電
膜。
【請求項５】前記の透明性金属薄膜の上層および／ま
たは下層に、屈折率が前記の透明性金属薄膜のそれと異
なる少なくとも１層の透明な反射防止層を有することを
特徴とする請求項１に記載の透明性導電膜。
【請求項６】透明性金属薄膜を形成する工程と、この
透明性金属薄膜にエネルギー照射を施してその色相を調
整する工程とを含むことを特徴とする透明性導電膜の製
造方法。
【請求項７】請求項１〜請求項５に記載の透明性導電
膜がフェースパネルの前面に形成されてなることを特徴
とする表示装置。