JPH10123043A - 可変形プローブを備えたパーティクルカウンター - Google Patents
可変形プローブを備えたパーティクルカウンターInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 清浄室内の大気風速に応じて最適のパーティ
クル測定を可能にすることにある。 【解決手段】 サンプリングプローブとカウンター本体
を備えて空気中のパーティクル数を計数するパーティク
ルカウンターにおいて、サンプリング空気を吸入する前
記サンプリングプローブ３０の吹入口の断面積が可変さ
れるように構成されることを特徴とする。
クル測定を可能にすることにある。 【解決手段】 サンプリングプローブとカウンター本体
を備えて空気中のパーティクル数を計数するパーティク
ルカウンターにおいて、サンプリング空気を吸入する前
記サンプリングプローブ３０の吹入口の断面積が可変さ
れるように構成されることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は可変形プローブを備
えたパーティクルカウンターに係り、特に測定しようと
する清浄室内の大気の風速によりサンプリングプローブ
の吹入口の断面積を多様に変化させ、パーティクルに対
する測定誤差を減らせる可変形プローブを備えたパーテ
ィクルカウンターに関する。
えたパーティクルカウンターに係り、特に測定しようと
する清浄室内の大気の風速によりサンプリングプローブ
の吹入口の断面積を多様に変化させ、パーティクルに対
する測定誤差を減らせる可変形プローブを備えたパーテ
ィクルカウンターに関する。
【０００２】
【従来の技術】現代の科学技術が尖端化されるにつれ生
産工程の超精密化、高純度化、高精度化、無菌化が推進
されており、尖端製品の性能と生産収率を向上させるた
めの洗浄技術がその核心技術として注目されている。
産工程の超精密化、高純度化、高精度化、無菌化が推進
されており、尖端製品の性能と生産収率を向上させるた
めの洗浄技術がその核心技術として注目されている。
【０００３】この洗浄技術は総体的に生産空間の環境を
洗浄に作った設備である清浄室に係り、主に微粒子が問
題点となる半導体、液晶表示装置など電子産業分野、精
密機械分野、半導体用化学薬品を製造する化学工場のみ
ならず微生物汚染が問題となる病院、医薬品工場、食品
工業などに幅広く用いられている。
洗浄に作った設備である清浄室に係り、主に微粒子が問
題点となる半導体、液晶表示装置など電子産業分野、精
密機械分野、半導体用化学薬品を製造する化学工場のみ
ならず微生物汚染が問題となる病院、医薬品工場、食品
工業などに幅広く用いられている。
【０００４】特に、半導体産業において清浄室は一定目
的の計画空間であって、その空間の空気中に浮き回る微
粒子を所望の数値以下に制御することによりその空間で
行われる作業対象物に埃などを付着させない空間であ
り、その特性上温度、湿度、室内の圧力、照度、騒音、
振動などが共に制御管理されている。このような清浄室
は、その清潔さの程度を示すために粒子直径別の濃度を
示す清浄度クラスに管理され、このための多様な測定装
置が開発されている。
的の計画空間であって、その空間の空気中に浮き回る微
粒子を所望の数値以下に制御することによりその空間で
行われる作業対象物に埃などを付着させない空間であ
り、その特性上温度、湿度、室内の圧力、照度、騒音、
振動などが共に制御管理されている。このような清浄室
は、その清潔さの程度を示すために粒子直径別の濃度を
示す清浄度クラスに管理され、このための多様な測定装
置が開発されている。
【０００５】この測定装置としてはアルコールの気化過
程で粒子が大きくなる原理を用いた凝縮型粒子カウンタ
ーと、大気をサンプリングして大気中の粒子をレーザー
で散乱することにより発生する光の強さを測定する光学
粒子カウンターが世界的に汎用化されている。
程で粒子が大きくなる原理を用いた凝縮型粒子カウンタ
ーと、大気をサンプリングして大気中の粒子をレーザー
で散乱することにより発生する光の強さを測定する光学
粒子カウンターが世界的に汎用化されている。
【０００６】図４は従来の一般の光学パーティクルカウ
ンターを示す斜視図である。前記パーティクルカウンタ
ー１０は、カウンター本体１２とパーティクルの含まれ
た大気をサンプリングするサンプリングプローブ２０が
サンプリングチューブ１８に連結されている。前記カウ
ンター本体１２には測定結果を表示するディスプレイ部
１４、スイッチやセッティング値を調節できる調整部１
６が形成されており、測定しようとする大気を吸入する
ポンプ（図示せず）、レーザー光を測定した大気に投射
できるレーザーチューブ（図示せず）及び投射されたレ
ーザー光がパーティクルと衝突して散乱された場合、こ
れを検知できるフォトディテクター（図示せず）などが
内蔵されている。
ンターを示す斜視図である。前記パーティクルカウンタ
ー１０は、カウンター本体１２とパーティクルの含まれ
た大気をサンプリングするサンプリングプローブ２０が
サンプリングチューブ１８に連結されている。前記カウ
ンター本体１２には測定結果を表示するディスプレイ部
１４、スイッチやセッティング値を調節できる調整部１
６が形成されており、測定しようとする大気を吸入する
ポンプ（図示せず）、レーザー光を測定した大気に投射
できるレーザーチューブ（図示せず）及び投射されたレ
ーザー光がパーティクルと衝突して散乱された場合、こ
れを検知できるフォトディテクター（図示せず）などが
内蔵されている。
【０００７】図５は図４に示した従来のサンプリングプ
ローブ２０を具体的に示した斜視図である。漏斗状のプ
ローブ２０とサンプリングチューブ１８が連結され、連
結部位に測定者が把持しパーティクル測定が可能な取っ
手２２が構成されている。なお、２１はプローブ２０の
内壁面を示すもので平坦に形成されている。
ローブ２０を具体的に示した斜視図である。漏斗状のプ
ローブ２０とサンプリングチューブ１８が連結され、連
結部位に測定者が把持しパーティクル測定が可能な取っ
手２２が構成されている。なお、２１はプローブ２０の
内壁面を示すもので平坦に形成されている。
【０００８】図４及び図５に示したエアパーティクルカ
ウンター１０で半導体清浄室内の粒子を測定しようとす
る場合、測定者はサンプリングプローブ２０を測定しよ
うとする大気の流動方向に合わせて空気をサンプリング
する。この際、サンプリングプローブ２０の先端で前記
カウンター本体１２内に内蔵されたポンプにより形成さ
れる風速は、サンプリングするプローブ２０の周辺の大
気風速と一致するのが理想的である。もし、測定しよう
とする大気の風速とプローブ２０の吹入口における風速
が一致しない場合、測定エラーが発生して満足すべき結
果が得られなくなり清浄室に対する管理が精密になされ
にくい。
ウンター１０で半導体清浄室内の粒子を測定しようとす
る場合、測定者はサンプリングプローブ２０を測定しよ
うとする大気の流動方向に合わせて空気をサンプリング
する。この際、サンプリングプローブ２０の先端で前記
カウンター本体１２内に内蔵されたポンプにより形成さ
れる風速は、サンプリングするプローブ２０の周辺の大
気風速と一致するのが理想的である。もし、測定しよう
とする大気の風速とプローブ２０の吹入口における風速
が一致しない場合、測定エラーが発生して満足すべき結
果が得られなくなり清浄室に対する管理が精密になされ
にくい。
【０００９】図６はプローブ２０の先端の内部風速（以
下、プローブ風速と称する。）とプローブ周辺の大気風
速（以下、大気風速と称する。）との関係による空気の
流れを比較した図である。図６（Ａ）は大気風速がプロ
ーブ風速より大きい場合を示し、図６（Ｂ）は大気風速
がプローブ風速より小さい場合を示し、図６（Ｃ）は大
気風速とプローブ風速が同等な場合を示す。
下、プローブ風速と称する。）とプローブ周辺の大気風
速（以下、大気風速と称する。）との関係による空気の
流れを比較した図である。図６（Ａ）は大気風速がプロ
ーブ風速より大きい場合を示し、図６（Ｂ）は大気風速
がプローブ風速より小さい場合を示し、図６（Ｃ）は大
気風速とプローブ風速が同等な場合を示す。
【００１０】図６（Ａ）において矢印で示したように、
清浄室システムのクリーンエア循環ポンプにより生ずる
大気風速がエアパーティクルカウンター内のサンプル吸
入用ポンプにより発生するプローブ風速より大きい場
合、プローブ２０の周辺に渦流が生じ、よってプローブ
２０の周辺領域に存するパーティクルがプローブ２０内
に吸入されたり、逆にプローブ２０の中に入り込んで測
定対象となるべきパーティクルの風速が小さいプローブ
風速による抵抗力を受けてプローブ２０の外部に放出さ
れうる。この場合、エアパーティクルカウンター１０に
より測定されるパーティクル数に対する測定誤差がさら
に大きくなって清浄室管理の信頼性が低下する。
清浄室システムのクリーンエア循環ポンプにより生ずる
大気風速がエアパーティクルカウンター内のサンプル吸
入用ポンプにより発生するプローブ風速より大きい場
合、プローブ２０の周辺に渦流が生じ、よってプローブ
２０の周辺領域に存するパーティクルがプローブ２０内
に吸入されたり、逆にプローブ２０の中に入り込んで測
定対象となるべきパーティクルの風速が小さいプローブ
風速による抵抗力を受けてプローブ２０の外部に放出さ
れうる。この場合、エアパーティクルカウンター１０に
より測定されるパーティクル数に対する測定誤差がさら
に大きくなって清浄室管理の信頼性が低下する。
【００１１】一方、図６（Ｂ）において矢印で示したよ
うに、清浄室システムのクリーンエア循環ポンプにより
発生する大気風速がエアパーティクルカウンター内のサ
ンプル吸入用ポンプにより発生するプローブ風速より小
さい場合もプローブ２０の周辺に渦流が発生する。よっ
て、プローブ２０の周辺領域に存するパーティクルがプ
ローブ２０内に吸入され測定対象となるべきパーティク
ル以外にもさらにエアパーティクルカウンター１０によ
り測定されるパーティクル数が増えて測定誤差がさらに
大きくなり、やはり清浄室の管理の信頼性が低下する。
うに、清浄室システムのクリーンエア循環ポンプにより
発生する大気風速がエアパーティクルカウンター内のサ
ンプル吸入用ポンプにより発生するプローブ風速より小
さい場合もプローブ２０の周辺に渦流が発生する。よっ
て、プローブ２０の周辺領域に存するパーティクルがプ
ローブ２０内に吸入され測定対象となるべきパーティク
ル以外にもさらにエアパーティクルカウンター１０によ
り測定されるパーティクル数が増えて測定誤差がさらに
大きくなり、やはり清浄室の管理の信頼性が低下する。
【００１２】一方、図６（Ｃ）は大気風速とプローブ風
速が同等な場合を示した図であって、測定誤差が最小と
なる望ましい場合である。
速が同等な場合を示した図であって、測定誤差が最小と
なる望ましい場合である。
【００１３】しかし、現在使われているエアパーティク
ルカウンターのプローブは、プローブの吹入口の断面積
が一般の清浄室の風速に合わせて計算され製作されたも
のである。例えば、現在のエアパーティクルカウンター
は国際規格に合わせて１分間に１ｃｕ ｆｔ（ｆｔ3 ）
の空気をサンプリングするように設計されていて直径が
３ｃｍのプローブの吹入口でポンプによる風速は０.６
６７ｍ／ｓｅｃとなる。
ルカウンターのプローブは、プローブの吹入口の断面積
が一般の清浄室の風速に合わせて計算され製作されたも
のである。例えば、現在のエアパーティクルカウンター
は国際規格に合わせて１分間に１ｃｕ ｆｔ（ｆｔ3 ）
の空気をサンプリングするように設計されていて直径が
３ｃｍのプローブの吹入口でポンプによる風速は０.６
６７ｍ／ｓｅｃとなる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、全世界
的に半導体生産用の清浄室の気流維持のための風速は
０.１ｍ／ｓｅｃから０.７ｍ／ｓｅｃまで多様な大きさ
の分布を有しているので、現在のパーティクルカウンタ
ーのサンプリングプローブでは正確なパーティクル数の
測定ができない問題点がある。また、半導体生産用でな
く多様な種類の清浄室が種類に応じて多様な風速を保つ
ので、従来のサンプリングプローブでは清浄室内のパー
ティクル数を正確に測定できない問題点がある。
的に半導体生産用の清浄室の気流維持のための風速は
０.１ｍ／ｓｅｃから０.７ｍ／ｓｅｃまで多様な大きさ
の分布を有しているので、現在のパーティクルカウンタ
ーのサンプリングプローブでは正確なパーティクル数の
測定ができない問題点がある。また、半導体生産用でな
く多様な種類の清浄室が種類に応じて多様な風速を保つ
ので、従来のサンプリングプローブでは清浄室内のパー
ティクル数を正確に測定できない問題点がある。
【００１５】本発明の目的は、前述した従来の技術の問
題点を解決するためのもので、清浄室内のパーティクル
数を測定するためのエアパーティクルカウンターのプロ
ーブ吹入口の断面積を測定しようとする大気風速により
多様に可変できる可変形プローブを備えたパーティクル
カウンターを提供することである。
題点を解決するためのもので、清浄室内のパーティクル
数を測定するためのエアパーティクルカウンターのプロ
ーブ吹入口の断面積を測定しようとする大気風速により
多様に可変できる可変形プローブを備えたパーティクル
カウンターを提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、請求項１記載の第１の発明は、サンプリングプ
ローブとカウンター本体を備えて空気中のパーティクル
数を計数するパーティクルカウンターにおいて、サンプ
リング空気を吸入する前記サンプリングプローブの吹入
口の断面積が可変されるように構成されることを要旨と
する。従って、清浄室内のパーティクル数を測定するた
めのエアパーティクルカウンターのプローブ吹入口の断
面積を測定しようとする大気風速により多様に可変にで
きる。
ために、請求項１記載の第１の発明は、サンプリングプ
ローブとカウンター本体を備えて空気中のパーティクル
数を計数するパーティクルカウンターにおいて、サンプ
リング空気を吸入する前記サンプリングプローブの吹入
口の断面積が可変されるように構成されることを要旨と
する。従って、清浄室内のパーティクル数を測定するた
めのエアパーティクルカウンターのプローブ吹入口の断
面積を測定しようとする大気風速により多様に可変にで
きる。
【００１７】請求項２記載の第２の発明は、前記サンプ
リングプローブは、当該サンプリングプローブの吹入口
の断面積が順次に増減し、同一の形状を有する複数個の
錐台がプローブ全体の長さが延長及び短縮可能に相互に
挿入される形態により構成されることを要旨とする。従
って、大気風速とプローブ風速がほぼ一致して測定誤差
を減らすことができる。
リングプローブは、当該サンプリングプローブの吹入口
の断面積が順次に増減し、同一の形状を有する複数個の
錐台がプローブ全体の長さが延長及び短縮可能に相互に
挿入される形態により構成されることを要旨とする。従
って、大気風速とプローブ風速がほぼ一致して測定誤差
を減らすことができる。
【００１８】請求項３記載の第３の発明は、前記サンプ
リングプローブは複数個の円錐台よりなることを要旨と
する。従って、同一な形状が相互に挿入されて取扱が容
易になる。
リングプローブは複数個の円錐台よりなることを要旨と
する。従って、同一な形状が相互に挿入されて取扱が容
易になる。
【００１９】請求項４記載の第４の発明は、前記サンプ
リングプローブは複数個の四角錐台よりなることを要旨
とする。従って、同一な形状が相互に挿入されて取扱が
容易になる。
リングプローブは複数個の四角錐台よりなることを要旨
とする。従って、同一な形状が相互に挿入されて取扱が
容易になる。
【００２０】請求項５記載の第５の発明は、前記サンプ
リングプローブを構成する各錐台が外側に離脱されない
ように各錐台の最小内部断面積が隣接した錐台の最大外
部断面積より小さく構成されることを要旨とする。従っ
て、錐台間の離脱を防止できる。
リングプローブを構成する各錐台が外側に離脱されない
ように各錐台の最小内部断面積が隣接した錐台の最大外
部断面積より小さく構成されることを要旨とする。従っ
て、錐台間の離脱を防止できる。
【００２１】請求項６記載の第６の発明は、前記サンプ
リングプローブを構成する各錐台が外側に離脱されない
ように各隣接した錐台の内壁及び外壁に相互に係止され
る係止突起が形成されることを要旨とする。従って、錐
台間の離脱を防止できる。
リングプローブを構成する各錐台が外側に離脱されない
ように各隣接した錐台の内壁及び外壁に相互に係止され
る係止突起が形成されることを要旨とする。従って、錐
台間の離脱を防止できる。
【００２２】請求項７記載の第７の発明は、前記各錐台
はその上部から下部に至るまでその厚さが一定したこと
を要旨とする。従って、測定しようとする大気の流れを
円滑にできる。
はその上部から下部に至るまでその厚さが一定したこと
を要旨とする。従って、測定しようとする大気の流れを
円滑にできる。
【００２３】請求項８記載の第８の発明は、前記錐台は
その厚さが高さにより一定に増減して複数個の錐台が組
み立てられた場合その内壁が平坦に構成されることを要
旨とする。従って、測定しようとする大気の流れをより
一層円滑にできる。
その厚さが高さにより一定に増減して複数個の錐台が組
み立てられた場合その内壁が平坦に構成されることを要
旨とする。従って、測定しようとする大気の流れをより
一層円滑にできる。
【００２４】請求項９記載の第９の発明は、前記錐台の
高さは測定基準となるプローブの吹入口の断面積に応じ
て相違に調整されることを要旨とする。従って、各円錐
台が離脱しない範囲内で各円錐台の高さを調整できる。
高さは測定基準となるプローブの吹入口の断面積に応じ
て相違に調整されることを要旨とする。従って、各円錐
台が離脱しない範囲内で各円錐台の高さを調整できる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき本発
明の具体的な実施の形態を詳述する。
明の具体的な実施の形態を詳述する。
【００２６】図１は本発明の一実施の形態による可変形
プローブを伸長した状態を示した部分切断斜視図であ
る。図２は図１の可変形プローブを伸長した状態を示し
た概略的な断面図である。
プローブを伸長した状態を示した部分切断斜視図であ
る。図２は図１の可変形プローブを伸長した状態を示し
た概略的な断面図である。
【００２７】図１及び図２を参照すれば、エアパーティ
クルカウンターに連結されたサンプリングチューブ１８
の先端にサンプリングプローブ３０が連結されている。
前記プローブ３０は複数個、例えば七つの第１円錐台３
０ａないし第７円錐台３０ｇが順次的に互いに挿入及び
引き出し自在に構成されている。各円錐台は大きさのみ
異なり、互いに相似形に構成されている。
クルカウンターに連結されたサンプリングチューブ１８
の先端にサンプリングプローブ３０が連結されている。
前記プローブ３０は複数個、例えば七つの第１円錐台３
０ａないし第７円錐台３０ｇが順次的に互いに挿入及び
引き出し自在に構成されている。各円錐台は大きさのみ
異なり、互いに相似形に構成されている。
【００２８】さらに具体的に説明すれば、サンプリング
チューブ１８の先端に測定しようとする空気が吸入され
る吹入口の断面積が最小となる第１円錐台３０ａが固定
される。前記第１円錐台３０ａの断面積の小さい下部は
サンプリングチューブ１８に連結され、断面積の大きい
上部は測定空気が吸入される吹入口となり、第１円錐台
３０ａの吹入口の直径は図２に示したように“ａ”とな
る。同様な概念で、第２円錐台３０ｂの下部が第１円錐
台３０ａの上部に連結され、第２円錐台３０ｂの吹入口
の直径は“ｂ”となる。
チューブ１８の先端に測定しようとする空気が吸入され
る吹入口の断面積が最小となる第１円錐台３０ａが固定
される。前記第１円錐台３０ａの断面積の小さい下部は
サンプリングチューブ１８に連結され、断面積の大きい
上部は測定空気が吸入される吹入口となり、第１円錐台
３０ａの吹入口の直径は図２に示したように“ａ”とな
る。同様な概念で、第２円錐台３０ｂの下部が第１円錐
台３０ａの上部に連結され、第２円錐台３０ｂの吹入口
の直径は“ｂ”となる。
【００２９】図１は第１円錐台３０ａから第７円錐台３
０ｇまでの各円錐台を最も伸長した状態を示し、前記図
１に示したサンプリングプローブ３０の吹入口の直径は
“ｇ”となる。また、第７円錐台３０ｇを第６円錐台３
０ｆの上部が露出されるように力を加えて押し込めば、
プローブ３０の吹入口の直径は“ｆ”となる。以下、各
円錐台は同様な概念で構成されている。
０ｇまでの各円錐台を最も伸長した状態を示し、前記図
１に示したサンプリングプローブ３０の吹入口の直径は
“ｇ”となる。また、第７円錐台３０ｇを第６円錐台３
０ｆの上部が露出されるように力を加えて押し込めば、
プローブ３０の吹入口の直径は“ｆ”となる。以下、各
円錐台は同様な概念で構成されている。
【００３０】一方、各円錐台の構造は下部から上部に行
くほど錐台の外径が大きくなり、内径は上部に行くほど
前記各錐台の外径が増加することより急に増加する形態
に構成されている。従って、各円錐台の下部と上部は厚
さの違いが発生し、上部は刃をつけた形態になる。ただ
し、最上部に置かれる第７円錐台３０ｇの上部は刃をつ
けないようにするのが作業面において望ましい。従っ
て、単独の円錐台が使われたり複数個の円錐台が使われ
る場合、各円錐台によってなされる全体プローブ３０の
内壁面は直径が一定した増加比率を有し平坦に形成され
る。また、第１円錐台３０ａの上部の直径は隣接した第
２円錐台３０ｂの下部の内径より大きい。これは、各円
錐台が外側に離脱されないようにするためである。前記
第１円錐台３０ａ以外の各円錐台についても同一な概念
が適用される。
くほど錐台の外径が大きくなり、内径は上部に行くほど
前記各錐台の外径が増加することより急に増加する形態
に構成されている。従って、各円錐台の下部と上部は厚
さの違いが発生し、上部は刃をつけた形態になる。ただ
し、最上部に置かれる第７円錐台３０ｇの上部は刃をつ
けないようにするのが作業面において望ましい。従っ
て、単独の円錐台が使われたり複数個の円錐台が使われ
る場合、各円錐台によってなされる全体プローブ３０の
内壁面は直径が一定した増加比率を有し平坦に形成され
る。また、第１円錐台３０ａの上部の直径は隣接した第
２円錐台３０ｂの下部の内径より大きい。これは、各円
錐台が外側に離脱されないようにするためである。前記
第１円錐台３０ａ以外の各円錐台についても同一な概念
が適用される。
【００３１】本実施の形態において、前記サンプリング
プローブ３０はその吹入口の断面積が順次に増減し同一
の形状を有する複数個の円錐台がプローブ全体の長さが
伸び及び短縮自在に相互に挿入される形態で構成した
が、本発明はこれに限らず四角錐台など同一の形状が相
互に挿入される形態であり、吹入口の断面積が可変され
ることができるように構成すれば本発明の思想範疇内だ
と言える。
プローブ３０はその吹入口の断面積が順次に増減し同一
の形状を有する複数個の円錐台がプローブ全体の長さが
伸び及び短縮自在に相互に挿入される形態で構成した
が、本発明はこれに限らず四角錐台など同一の形状が相
互に挿入される形態であり、吹入口の断面積が可変され
ることができるように構成すれば本発明の思想範疇内だ
と言える。
【００３２】また、本実施の形態では前記サンプリング
プローブ３０を構成する各円錐台３０ａないし３０ｇが
外側に離脱しないように各円錐台の下部の内径が先立つ
円錐台の上端部の内径より小さく構成しているが、各円
錐台の下部の内壁面と上部の外壁面とに突起を形成して
隣接した円錐台が離脱しないようにもできる。
プローブ３０を構成する各円錐台３０ａないし３０ｇが
外側に離脱しないように各円錐台の下部の内径が先立つ
円錐台の上端部の内径より小さく構成しているが、各円
錐台の下部の内壁面と上部の外壁面とに突起を形成して
隣接した円錐台が離脱しないようにもできる。
【００３３】更に、本実施の形態で前記各円錐台はその
厚さが下部から上部に行くほど小さくなるように形成し
ているが、各円錐台の上下部の厚さを一定に保てる。こ
の際、前記全体プローブの内壁面は平坦でなく階段状に
形成されている。
厚さが下部から上部に行くほど小さくなるように形成し
ているが、各円錐台の上下部の厚さを一定に保てる。こ
の際、前記全体プローブの内壁面は平坦でなく階段状に
形成されている。
【００３４】一方、前記各円錐台の高さは測定基準とな
るプローブの吹入口の断面積に応じて相異するが一部が
異なるように調整でき、望ましくは清浄室の大気風速を
細分してそれに応ずる円錐台の直径を計算し、各円錐台
が離脱しない範囲内で各円錐台の高さを調整できる。
るプローブの吹入口の断面積に応じて相異するが一部が
異なるように調整でき、望ましくは清浄室の大気風速を
細分してそれに応ずる円錐台の直径を計算し、各円錐台
が離脱しない範囲内で各円錐台の高さを調整できる。
【００３５】以下、本実施の形態の円錐台形状のサンプ
リングプローブについて半導体清浄室の大気風速を０.
１ｍ／ｓｅｃから０.７ｍ／ｓｅｃまでを細分させ、各
大気風速によるプローブ吹入口の断面積および直径を計
算して表１に示した。
リングプローブについて半導体清浄室の大気風速を０.
１ｍ／ｓｅｃから０.７ｍ／ｓｅｃまでを細分させ、各
大気風速によるプローブ吹入口の断面積および直径を計
算して表１に示した。
【００３６】
【表１】 図３は前記表１のデータを基準として清浄室の大気風速
に応ずるプローブ吹入口の断面積とプローブ直径との関
係を示したグラフである。
に応ずるプローブ吹入口の断面積とプローブ直径との関
係を示したグラフである。
【００３７】前記表１及び図３からわかるように、清浄
室内の大気風速が低くなるほどプローブの吹入口の断面
積が大きくなり、例えば大気風速が０.１ｍ／ｓｅｃの
場合、望ましいプローブ吹入口の断面積は表１から４
７.１９ｃｍ2 である反面、従来、使用していた直径３
ｃｍのプローブ吹入口の断面積は７.０７ｃｍ2 に過ぎ
なかったことがわかる。これは従来のプローブを使用す
る場合、パーティクル測定に大きな誤差があったことを
示す。
室内の大気風速が低くなるほどプローブの吹入口の断面
積が大きくなり、例えば大気風速が０.１ｍ／ｓｅｃの
場合、望ましいプローブ吹入口の断面積は表１から４
７.１９ｃｍ2 である反面、従来、使用していた直径３
ｃｍのプローブ吹入口の断面積は７.０７ｃｍ2 に過ぎ
なかったことがわかる。これは従来のプローブを使用す
る場合、パーティクル測定に大きな誤差があったことを
示す。
【００３８】以上において本発明は記載された具体例に
ついてのみ詳細に説明されたが、本発明の技術思想の範
囲内で多様な変形及び修正が可能なことは当業者にとっ
て明らかであり、この変形及び修正は特許請求の範囲に
属するのは当然である。
ついてのみ詳細に説明されたが、本発明の技術思想の範
囲内で多様な変形及び修正が可能なことは当業者にとっ
て明らかであり、この変形及び修正は特許請求の範囲に
属するのは当然である。
【００３９】
【発明の効果】以上述べたように、第１の発明は、サン
プリング空気を吸入する前記サンプリングプローブの吹
入口の断面積が可変されるように構成されるので、大気
風速の多様化に応じて生じ得る測定誤差を最小化しする
ことができる。また、パーティクル数の測定時最適のプ
ローブ吹入口の断面積を有するプローブを簡便で容易に
選択して使用できる。ひいては、既存のエアパーティク
ルカウンターにおいてただプローブの形態のみを改善し
て最適の測定を可能にする。
プリング空気を吸入する前記サンプリングプローブの吹
入口の断面積が可変されるように構成されるので、大気
風速の多様化に応じて生じ得る測定誤差を最小化しする
ことができる。また、パーティクル数の測定時最適のプ
ローブ吹入口の断面積を有するプローブを簡便で容易に
選択して使用できる。ひいては、既存のエアパーティク
ルカウンターにおいてただプローブの形態のみを改善し
て最適の測定を可能にする。
【００４０】第２の発明は、前記サンプリングプローブ
は、当該サンプリングプローブの吹入口の断面積が順次
に増減し、同一の形状を有する複数個の錐台がプローブ
全体の長さが延長及び短縮可能に相互に挿入される形態
により構成されるので、大気風速とプローブ風速がほぼ
一致して測定誤差を減らすことができる。
は、当該サンプリングプローブの吹入口の断面積が順次
に増減し、同一の形状を有する複数個の錐台がプローブ
全体の長さが延長及び短縮可能に相互に挿入される形態
により構成されるので、大気風速とプローブ風速がほぼ
一致して測定誤差を減らすことができる。
【００４１】第３の発明は、前記サンプリングプローブ
は複数個の円錐台よりなるので、同一な形状が相互に挿
入されて取扱が容易になる。
は複数個の円錐台よりなるので、同一な形状が相互に挿
入されて取扱が容易になる。
【００４２】第４の発明は、前記サンプリングプローブ
は複数個の四角錐台よりなるので、同一な形状が相互に
挿入されて取扱が容易になる。
は複数個の四角錐台よりなるので、同一な形状が相互に
挿入されて取扱が容易になる。
【００４３】第５の発明は、前記サンプリングプローブ
を構成する各錐台が外側に離脱されないように各錐台の
最小内部断面積が隣接した錐台の最大外部断面積より小
さく構成されるので、錐台間の離脱を防止できる。
を構成する各錐台が外側に離脱されないように各錐台の
最小内部断面積が隣接した錐台の最大外部断面積より小
さく構成されるので、錐台間の離脱を防止できる。
【００４４】第６の発明は、前記サンプリングプローブ
を構成する各錐台が外側に離脱されないように各隣接し
た錐台の内壁及び外壁に相互に係止される係止突起が形
成されるので、錐台間の離脱を防止できる。
を構成する各錐台が外側に離脱されないように各隣接し
た錐台の内壁及び外壁に相互に係止される係止突起が形
成されるので、錐台間の離脱を防止できる。
【００４５】第７の発明は、前記各錐台はその上部から
下部に至るまでその厚さが一定したので、測定しようと
する大気の流れを円滑にできる。
下部に至るまでその厚さが一定したので、測定しようと
する大気の流れを円滑にできる。
【００４６】第８の発明は、前記錐台はその厚さが高さ
により一定に増減して複数個の錐台が組み立てられた場
合その内壁が平坦に構成されるので、測定しようとする
大気の流れをより一層円滑にできる。
により一定に増減して複数個の錐台が組み立てられた場
合その内壁が平坦に構成されるので、測定しようとする
大気の流れをより一層円滑にできる。
【００４７】第９の発明は、前記錐台の高さは測定基準
となるプローブの吹入口の断面積に応じて相違に調整さ
れるので、各円錐台が離脱しない範囲内で各円錐台の高
さを調整できる。
となるプローブの吹入口の断面積に応じて相違に調整さ
れるので、各円錐台が離脱しない範囲内で各円錐台の高
さを調整できる。
【図１】本発明の一実施の形態による可変形プローブを
伸長した状態を示した部分切断斜視図である。
伸長した状態を示した部分切断斜視図である。
【図２】図１の可変形プローブを伸長した状態を示した
断面図である。
断面図である。
【図３】清浄室の大気風速によるプローブ吹入口の断面
積とプローブの直径の関係を示したグラフである。
積とプローブの直径の関係を示したグラフである。
【図４】従来の一般のエアパーティクルカウンターを示
す概略的な斜視図である。
す概略的な斜視図である。
【図５】従来のエアパーティクルカウンターのサンプリ
ングプローブを示した概略図である。
ングプローブを示した概略図である。
【図６】（Ａ）乃至（Ｃ）はプローブ内部風速と大気風
速との関係による空気の流れを比較した図である。
速との関係による空気の流れを比較した図である。
１８ サンプリングチューブ ３０ サンプリングプローブ ３０ａ〜３０ｇ 第１乃至第７円錐台
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 李 中 善 大韓民国京畿道水原市長安区笆長洞624番 地現代アパート101−404
Claims (9)
- 【請求項１】 サンプリングプローブとカウンター本体
を備えて空気中のパーティクル数を計数するパーティク
ルカウンターにおいて、 サンプリング空気を吸入する前記サンプリングプローブ
の吹入口の断面積が可変されるように構成されることを
特徴とする可変形プローブを備えたパーティクルカウン
ター。 - 【請求項２】 前記サンプリングプローブは、当該サン
プリングプローブの吹入口の断面積が順次に増減し、同
一の形状を有する複数個の錐台がプローブ全体の長さが
延長及び短縮可能に相互に挿入される形態により構成さ
れることを特徴とする請求項１に記載の可変形プローブ
を備えたパーティクルカウンター。 - 【請求項３】 前記サンプリングプローブは複数個の円
錐台よりなることを特徴とする請求項２に記載の可変形
プローブを備えたパーティクルカウンター。 - 【請求項４】 前記サンプリングプローブは複数個の四
角錐台よりなることを特徴とする請求項２に記載の可変
形プローブを備えたパーティクルカウンター。 - 【請求項５】 前記サンプリングプローブを構成する各
錐台が外側に離脱されないように各錐台の最小内部断面
積が隣接した錐台の最大外部断面積より小さく構成され
ることを特徴とする請求項２に記載の可変形プローブを
備えたパーティクルカウンター。 - 【請求項６】 前記サンプリングプローブを構成する各
錐台が外側に離脱されないように各隣接した錐台の内壁
及び外壁に相互に係止される係止突起が形成されること
を特徴とする請求項２に記載の可変形プローブを備えた
パーティクルカウンター。 - 【請求項７】 前記各錐台はその上部から下部に至るま
でその厚さが一定したことを特徴とする請求項２に記載
の可変形プローブを備えたパーティクルカウンター。 - 【請求項８】 前記錐台はその厚さが高さにより一定に
増減して複数個の錐台が組み立てられた場合その内壁が
平坦に構成されることを特徴とする請求項２に記載の可
変形プローブを備えたパーティクルカウンター。 - 【請求項９】 前記錐台の高さは測定基準となるプロー
ブの吹入口の断面積に応じて相違に調整されることを特
徴とする請求項２に記載の可変形プローブを備えたパー
ティクルカウンター。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1996-45095 | 1996-10-10 | ||
| KR1019960045095A KR100210599B1 (ko) | 1996-10-10 | 1996-10-10 | 가변형 프로브를 구비한 파티클 카운터 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10123043A true JPH10123043A (ja) | 1998-05-15 |
| JP2939203B2 JP2939203B2 (ja) | 1999-08-25 |
Family
ID=19476969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9132266A Expired - Fee Related JP2939203B2 (ja) | 1996-10-10 | 1997-05-22 | 可変形プローブを備えたパーティクルカウンター |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5856623A (ja) |
| JP (1) | JP2939203B2 (ja) |
| KR (1) | KR100210599B1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6615679B1 (en) * | 2000-08-15 | 2003-09-09 | Particle Measuring Systems, Inc. | Ensemble manifold, system and method for monitoring particles in clean environments |
| US7024950B2 (en) * | 2000-11-30 | 2006-04-11 | Texas Instruments Incorporated | Method for intelligent sampling of particulates in exhaust lines |
| JP3673854B2 (ja) * | 2001-05-11 | 2005-07-20 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 口径可変式吸引ノズルを備えたダスト試料採取装置 |
| KR100669092B1 (ko) * | 2005-05-27 | 2007-01-15 | 삼성전자주식회사 | 공기 중의 파티클 모니터링 장치 |
| CN103033451A (zh) * | 2012-12-12 | 2013-04-10 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种储仓的空气微粒的检测系统及其检测方法 |
| US10221743B2 (en) * | 2015-08-25 | 2019-03-05 | Ford Global Technologies, Llc | Method and system for exhaust particulate matter sensing |
| DE102018121583A1 (de) * | 2018-09-04 | 2020-03-05 | Hochschule Düsseldorf | Vorrichtung zur geschwindigkeitsadaptiven isokinetischen Partikelprobenahme |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4091835A (en) * | 1977-01-14 | 1978-05-30 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Autokinetic sampling nozzle |
-
1996
- 1996-10-10 KR KR1019960045095A patent/KR100210599B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-05-22 JP JP9132266A patent/JP2939203B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-10-07 US US08/946,172 patent/US5856623A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2939203B2 (ja) | 1999-08-25 |
| KR100210599B1 (ko) | 1999-07-15 |
| US5856623A (en) | 1999-01-05 |
| KR19980026595A (ko) | 1998-07-15 |
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