JPH10120466A5 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH10120466A5
JPH10120466A5 JP1997244582A JP24458297A JPH10120466A5 JP H10120466 A5 JPH10120466 A5 JP H10120466A5 JP 1997244582 A JP1997244582 A JP 1997244582A JP 24458297 A JP24458297 A JP 24458297A JP H10120466 A5 JPH10120466 A5 JP H10120466A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ppm
less
content
silicon carbide
plasma etching
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1997244582A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPH10120466A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP24458297A priority Critical patent/JPH10120466A/ja
Priority claimed from JP24458297A external-priority patent/JPH10120466A/ja
Publication of JPH10120466A publication Critical patent/JPH10120466A/ja
Publication of JPH10120466A5 publication Critical patent/JPH10120466A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP24458297A 1996-08-27 1997-08-26 高耐食性炭化ケイ素質部材及びその用途 Pending JPH10120466A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24458297A JPH10120466A (ja) 1996-08-27 1997-08-26 高耐食性炭化ケイ素質部材及びその用途

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24412896 1996-08-27
JP8-244128 1996-08-27
JP24458297A JPH10120466A (ja) 1996-08-27 1997-08-26 高耐食性炭化ケイ素質部材及びその用途

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10120466A JPH10120466A (ja) 1998-05-12
JPH10120466A5 true JPH10120466A5 (enExample) 2005-05-19

Family

ID=26536584

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24458297A Pending JPH10120466A (ja) 1996-08-27 1997-08-26 高耐食性炭化ケイ素質部材及びその用途

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10120466A (enExample)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3685365B2 (ja) * 1999-03-30 2005-08-17 東芝セラミックス株式会社 半導体装置部材用の精製炭化珪素粉末とその精製方法、及び該粉末から得られる半導体装置部材用焼結体の製造方法
JP4545330B2 (ja) * 2001-02-22 2010-09-15 イビデン株式会社 プラズマエッチング装置のガス噴出し板
US10280121B2 (en) 2015-03-31 2019-05-07 Hokuriku Seikei Industrial Co., Ltd. Silicon carbide member for plasma processing apparatus
JP6960636B2 (ja) * 2016-09-27 2021-11-05 北陸成型工業株式会社 プラズマ処理装置用炭化ケイ素部材及びその製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE222576T1 (de) Poröser durchströmbarer formkörper sowie verfahren zu seiner herstellung
US2979401A (en) Slip casting
KR960014037A (ko) 플라즈마 불소 저항 다결정 알루미나 세라믹 재료 및 그 제조방법
AT365106B (de) Feuerfester stein aus einem keramisch sinterbaren material, mit einer durchlassoeffnung fuer fluessiges metall und verfahren zu dessen herstellung
EP0773826A2 (en) Hydrogen torch
US3961003A (en) Method and apparatus for making elongated Si and SiC structures
JPS55137021A (en) High temperature-use ceramic filter
JPS5584370A (en) Coating composition
JPH03242367A (ja) 新規キャスティング／スリップ組成物およびセラミックスの製造法
JPS623869A (ja) 耐火性の耐摩耗湯出し口およびその製造方法
JPS5756309A (en) Carbon substrate for coating silicon carbide
SU1348356A1 (ru) Шихта дл изготовлени безобжигового керамического материала
DE60327938D1 (de) Giessverfahren für grobkörnige siliziuminfiltrierte siliziumkarbidelemente
JPH05221742A (ja) 多孔質炭化ケイ素セラミックスおよびその製造方法
JP3458362B2 (ja) 衛生陶器の製造方法
JPS5848506B2 (ja) 泥漿鋳込み成形法による炭化珪素焼結体の製造方法
JPS571550A (en) Nozzle for continuous casting
GB2180555A (en) Silicon carbide casting mold
JPS61174918A (ja) 多層セラミツクフイルタ−の製造方法
JPS579809A (en) Formation of frame part of iron notch of blast furnace
JPH10120466A (ja) 高耐食性炭化ケイ素質部材及びその用途
JPH0558711A (ja) セラミツク組成物
Parkinson Production of silicon carbide bodies
JPH04231366A (ja) スリップ鋳造或いは冷間成形用の非水性バインダ組成物及び方法
CN121079535A (zh) 管道元件或储罐元件以及对应的制造方法