JPH10120174A - 基板搬送カセット - Google Patents
基板搬送カセットInfo
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- JPH10120174A JPH10120174A JP8298198A JP29819896A JPH10120174A JP H10120174 A JPH10120174 A JP H10120174A JP 8298198 A JP8298198 A JP 8298198A JP 29819896 A JP29819896 A JP 29819896A JP H10120174 A JPH10120174 A JP H10120174A
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- JP
- Japan
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- fixing jig
- substrate
- surface fixing
- storage space
- cassette
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板を確実に固定して、その位置ずれを防止
するとともに、その破損を回避することができる基板搬
送カセットを提供する。 【解決手段】 平板とフレームにより直方体状の収納空
間を区画形成し、その縦フレームに上下方向に沿って複
数段の保持部材を備え、各保持部材上に基板を載置して
搬送する基板搬送カセットであり、収納口となる正面
に、基板の長手方向の位置ずれを規制する正面固定治具
を着脱自在に取り付けるとともに、その少なくとも一側
面に、基板の幅方向の位置ずれを規制する側面固定治具
を着脱自在に取り付ける。
するとともに、その破損を回避することができる基板搬
送カセットを提供する。 【解決手段】 平板とフレームにより直方体状の収納空
間を区画形成し、その縦フレームに上下方向に沿って複
数段の保持部材を備え、各保持部材上に基板を載置して
搬送する基板搬送カセットであり、収納口となる正面
に、基板の長手方向の位置ずれを規制する正面固定治具
を着脱自在に取り付けるとともに、その少なくとも一側
面に、基板の幅方向の位置ずれを規制する側面固定治具
を着脱自在に取り付ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板を収納して搬
送する基板搬送カセットに係り、特に複数枚のカラーフ
ィルタ用ガラス基板等を所定位置に確実に固定して搬送
する基板搬送カセットに関する。
送する基板搬送カセットに係り、特に複数枚のカラーフ
ィルタ用ガラス基板等を所定位置に確実に固定して搬送
する基板搬送カセットに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ノート型コンピュータ等にはカラ
ー液晶ディスプレイ（カラーＬＣＤ）が採用されてお
り、カラーＬＣＤとして実用化されているものとして
は、例えばネガ表示のＴＮセルまたは黒色のＧＨセルと
各種のカラーフィルタを組み合わせたものなどが挙げら
れる。
ー液晶ディスプレイ（カラーＬＣＤ）が採用されてお
り、カラーＬＣＤとして実用化されているものとして
は、例えばネガ表示のＴＮセルまたは黒色のＧＨセルと
各種のカラーフィルタを組み合わせたものなどが挙げら
れる。
【０００３】このようなカラーフィルタの製造工程にお
いては、ガラス基板を各工程に搬送する必要があり、搬
送効率を高めるために、複数枚のガラス基板を収納して
搬送する基板搬送カセットが用いられている。このカセ
ットは、例えば複数段の保持板あるいは保持ピンが上下
方向に配置されたフレームを備えており、ガラス基板は
所定の段の保持板あるいは保持ピン上にその周辺部を載
置するようにして収納される。そして、所定の工程にお
いて、カセットから１枚ずつガラス基板が取り出され、
所望の加工が行われている。
いては、ガラス基板を各工程に搬送する必要があり、搬
送効率を高めるために、複数枚のガラス基板を収納して
搬送する基板搬送カセットが用いられている。このカセ
ットは、例えば複数段の保持板あるいは保持ピンが上下
方向に配置されたフレームを備えており、ガラス基板は
所定の段の保持板あるいは保持ピン上にその周辺部を載
置するようにして収納される。そして、所定の工程にお
いて、カセットから１枚ずつガラス基板が取り出され、
所望の加工が行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、カラフ
ィルター用のガラス基板には、３６０ｍｍ×４６５ｍｍ
の小サイズと、３７０ｍｍ×４７０ｍｍの大サイズとの
２種類のサイズが使用されるため、上記カセットは大サ
イズのガラス基板を基準として収納容積が設計されてい
る。また、カセットへのガラス基板の収納作業を容易に
するために、カセットは若干大きめに設計されている。
ィルター用のガラス基板には、３６０ｍｍ×４６５ｍｍ
の小サイズと、３７０ｍｍ×４７０ｍｍの大サイズとの
２種類のサイズが使用されるため、上記カセットは大サ
イズのガラス基板を基準として収納容積が設計されてい
る。また、カセットへのガラス基板の収納作業を容易に
するために、カセットは若干大きめに設計されている。
【０００５】このため、カセットに収納された大小いず
れのサイズのガラス基板も、保持板あるいは保持ピン上
に載置されているだけで固定されておらず、この状態で
ガラス基板を収納したカセットを搬送すると、振動等に
よりガラス基板の位置ずれが生じて、後工程での加工に
支障を来すという問題があった。また、搬送中におい
て、カセットのフレームにガラス板が当たることによっ
て、ガラス基板が破損するという問題もあった。
れのサイズのガラス基板も、保持板あるいは保持ピン上
に載置されているだけで固定されておらず、この状態で
ガラス基板を収納したカセットを搬送すると、振動等に
よりガラス基板の位置ずれが生じて、後工程での加工に
支障を来すという問題があった。また、搬送中におい
て、カセットのフレームにガラス板が当たることによっ
て、ガラス基板が破損するという問題もあった。
【０００６】本発明は、上述のような実情に鑑みてなさ
れたものであり、基板を確実に固定して、その位置ずれ
を防止するとともに、その破損を回避することができる
基板搬送カセットを提供することを目的とする。
れたものであり、基板を確実に固定して、その位置ずれ
を防止するとともに、その破損を回避することができる
基板搬送カセットを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために、本発明は、平板とフレームにより直方体状の
収納空間を区画形成し、その縦フレームに上下方向に沿
って複数段の保持部材を備え、各保持部材上に基板を載
置して搬送する基板搬送カセットにおいて、上記収納空
間の収納口となる正面に、基板の長手方向の位置ずれを
規制する正面固定治具を着脱自在に取り付けるととも
に、上記収納空間の少なくとも一側面に、基板の幅方向
の位置ずれを規制する側面固定治具を着脱自在に取り付
けたような構成とした。
るために、本発明は、平板とフレームにより直方体状の
収納空間を区画形成し、その縦フレームに上下方向に沿
って複数段の保持部材を備え、各保持部材上に基板を載
置して搬送する基板搬送カセットにおいて、上記収納空
間の収納口となる正面に、基板の長手方向の位置ずれを
規制する正面固定治具を着脱自在に取り付けるととも
に、上記収納空間の少なくとも一側面に、基板の幅方向
の位置ずれを規制する側面固定治具を着脱自在に取り付
けたような構成とした。
【０００８】また、本発明は、上記正面固定治具が、収
納口に位置する一対の縦フレームに着脱自在に取り付け
られ、その取付け位置の位置決め手段を有しているよう
な構成とした。
納口に位置する一対の縦フレームに着脱自在に取り付け
られ、その取付け位置の位置決め手段を有しているよう
な構成とした。
【０００９】また、本発明は、上記側面固定治具が、側
面中間部に位置する縦梁フレームに着脱自在に取り付け
られているような構成とした。
面中間部に位置する縦梁フレームに着脱自在に取り付け
られているような構成とした。
【００１０】また、本発明は、上記固定治具に、着脱用
のバネ開閉機構が備えられているような構成とした。
のバネ開閉機構が備えられているような構成とした。
【００１１】さらに、本発明は、上記固定治具に、基板
の位置ずれ規制量を調整する規制量調整手段が備えられ
ているような構成とした。
の位置ずれ規制量を調整する規制量調整手段が備えられ
ているような構成とした。
【００１２】本発明によれば、正面固定治具が基板の長
手方向の位置ずれを規制するとともに、側面固定治具が
基板の幅方向の位置ずれを規制するので、縦フレームの
各保持部材上に載置された基板が確実に固定されること
になり、基板の位置ずれが防止されるだけでなく、その
破損が回避される。
手方向の位置ずれを規制するとともに、側面固定治具が
基板の幅方向の位置ずれを規制するので、縦フレームの
各保持部材上に載置された基板が確実に固定されること
になり、基板の位置ずれが防止されるだけでなく、その
破損が回避される。
【００１３】また、正面固定治具および側面固定治具は
着脱自在に取り付けられるので、これら固定治具を取り
外せば、基板の収納および取出しが容易になる。これら
固定治具の着脱をバネ開閉機構によりワンタッチで行う
ことにより、作業工数の増加を最小限にすることができ
る。
着脱自在に取り付けられるので、これら固定治具を取り
外せば、基板の収納および取出しが容易になる。これら
固定治具の着脱をバネ開閉機構によりワンタッチで行う
ことにより、作業工数の増加を最小限にすることができ
る。
【００１４】さらに、各固定治具に、基板の位置ずれ規
制量を調整する規制量調整手段を備えることにより、各
種サイズの基板に対応し得るものである。
制量を調整する規制量調整手段を備えることにより、各
種サイズの基板に対応し得るものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を図面を参照して詳細に説明する。
を図面を参照して詳細に説明する。
【００１６】図１は、本発明の基板搬送カセットの一実
施形態を示す概略斜視図である。図１において、基板搬
送カセット１は、長方形状の天板２と底板３を備えてお
り、これらの四隅間に縦フレーム４を掛け渡して直方体
状の収納空間を区画形成したものである。各縦フレーム
４には、図２に示すように、その上下方向に沿って複数
段の保持部材５が収納空間内に向けて設けられており、
各保持部材５上に図示しないガラス基板を載置するよう
になっている。
施形態を示す概略斜視図である。図１において、基板搬
送カセット１は、長方形状の天板２と底板３を備えてお
り、これらの四隅間に縦フレーム４を掛け渡して直方体
状の収納空間を区画形成したものである。各縦フレーム
４には、図２に示すように、その上下方向に沿って複数
段の保持部材５が収納空間内に向けて設けられており、
各保持部材５上に図示しないガラス基板を載置するよう
になっている。
【００１７】本実施形態では、保持部材５は各縦フレー
ム４にその基端部を固定した保持ピンにより形成されて
いるが、これに限るものではなく、基板を載置すること
ができれば、保持板や保持金具により形成してもよい。
また、図１では、底板３を長方形状の平板により形成し
ているが、図３に示すような面フレーム３ａにより形成
してもよい。底板３を面フレーム３ａにより形成すれ
ば、基板搬送カセット１を軽量化することができる。
ム４にその基端部を固定した保持ピンにより形成されて
いるが、これに限るものではなく、基板を載置すること
ができれば、保持板や保持金具により形成してもよい。
また、図１では、底板３を長方形状の平板により形成し
ているが、図３に示すような面フレーム３ａにより形成
してもよい。底板３を面フレーム３ａにより形成すれ
ば、基板搬送カセット１を軽量化することができる。
【００１８】図１および図３に示すように、基板搬送カ
セット１の両側面および背面の各中間部には、縦梁フレ
ーム６が固定されている。そして、両側面の縦梁フレー
ム６にも、その上下方向に沿って複数段の保持部材５が
備えられている。上記天板２、底板３縦フレーム４およ
び縦梁フレーム６は、例えばテフロン樹脂等の軽量な材
料により成形されている。基板搬送カセットのより軽量
化を図るためには、縦フレーム４および縦梁フレーム６
を中空成形することも可能である。
セット１の両側面および背面の各中間部には、縦梁フレ
ーム６が固定されている。そして、両側面の縦梁フレー
ム６にも、その上下方向に沿って複数段の保持部材５が
備えられている。上記天板２、底板３縦フレーム４およ
び縦梁フレーム６は、例えばテフロン樹脂等の軽量な材
料により成形されている。基板搬送カセットのより軽量
化を図るためには、縦フレーム４および縦梁フレーム６
を中空成形することも可能である。
【００１９】このような直方体状の基板搬送カセット１
において、縦梁フレーム６の設けられていない正面が収
納口７となり、収納口７から所定の段の保持部材５上に
ガラス基板が載置されて収納され、必要に応じて保持部
材５上から外部へ取り出される。この基板搬送カセット
１の収納口７となる正面には、ガラス基板の長手方向の
位置ずれを規制するための正面固定治具８が着脱自在に
取り付けられている。この正面固定治具８は、収納口７
に位置する一対の縦フレーム４，４の中間部に掛け渡す
ように着脱自在に取り付けられ、その中間部に正面固定
治具８と直交する縦梁フレーム９を有するとともに、そ
の両端近傍に正面固定治具８の取付け位置を設定する位
置決め手段１０を有している。
において、縦梁フレーム６の設けられていない正面が収
納口７となり、収納口７から所定の段の保持部材５上に
ガラス基板が載置されて収納され、必要に応じて保持部
材５上から外部へ取り出される。この基板搬送カセット
１の収納口７となる正面には、ガラス基板の長手方向の
位置ずれを規制するための正面固定治具８が着脱自在に
取り付けられている。この正面固定治具８は、収納口７
に位置する一対の縦フレーム４，４の中間部に掛け渡す
ように着脱自在に取り付けられ、その中間部に正面固定
治具８と直交する縦梁フレーム９を有するとともに、そ
の両端近傍に正面固定治具８の取付け位置を設定する位
置決め手段１０を有している。
【００２０】この位置決め手段１０は、正面固定治具８
に直交した２本の支持棒として形成され、各支持棒１
０，１０の下端部を底板３に支持することにより、正面
固定治具８の取付け高さを規定するようになっている。
各支持棒１０，１０は、正面固定治具８の取付け高さを
規定するために使用するので、それぞれの上端部は天板
２と隙間を隔てている。一方、正面固定治具８に固定さ
れた縦梁フレーム９は、ガラス基板が基板搬送カセット
１の収納空間から飛び出すのを防止することになる。
尚、本発明では、位置決め手段１０として各支持棒１
０，１０を設ける代わりに、縦梁フレーム９に位置決め
手段１０を兼ねさしてもよい。この場合、縦梁フレーム
９の下端部を底板３に当接させることによって、正面固
定治具８の取付け高さを規定することができる。
に直交した２本の支持棒として形成され、各支持棒１
０，１０の下端部を底板３に支持することにより、正面
固定治具８の取付け高さを規定するようになっている。
各支持棒１０，１０は、正面固定治具８の取付け高さを
規定するために使用するので、それぞれの上端部は天板
２と隙間を隔てている。一方、正面固定治具８に固定さ
れた縦梁フレーム９は、ガラス基板が基板搬送カセット
１の収納空間から飛び出すのを防止することになる。
尚、本発明では、位置決め手段１０として各支持棒１
０，１０を設ける代わりに、縦梁フレーム９に位置決め
手段１０を兼ねさしてもよい。この場合、縦梁フレーム
９の下端部を底板３に当接させることによって、正面固
定治具８の取付け高さを規定することができる。
【００２１】また、基板搬送カセット１の少なくとも一
側面には、ガラス基板の幅方向の位置ずれを規制する側
面固定治具１１が着脱自在に取り付けられている。本実
施形態にあっては、側面固定治具１１は、基板搬送カセ
ット１の両側面の中間部に位置する縦梁フレーム６に着
脱自在に取り付けられている。
側面には、ガラス基板の幅方向の位置ずれを規制する側
面固定治具１１が着脱自在に取り付けられている。本実
施形態にあっては、側面固定治具１１は、基板搬送カセ
ット１の両側面の中間部に位置する縦梁フレーム６に着
脱自在に取り付けられている。
【００２２】図４（ａ）（ｂ）に示すように、側面固定
治具１１の両端部には、これを縦梁フレーム６に着脱自
在に取り付けるためのバネ開閉機構１２が備えられてい
る。このバネ開閉機構１２は、図５に示すように、一対
のコ字状のレバー部材１２ａ，１２ａと、このレバー部
材１２ａの揺動支点を側面固定治具１１上に取り付ける
支承ピン１２ｂと、上記レバー部材１２ａと側面固定治
具１１の表面との間に介設した圧縮コイルバネ１２ｃと
からなっている。側面固定治具１１の表面側に圧縮コイ
ルバネ１２ｃが介設されているので、圧縮コイルバネ１
２ｃの付勢力により、常に側面固定治具１１の裏面側に
おいて一対のレバー部材１２ａ，１２ａは閉じている。
したがって、側面固定治具１１の表面側において、レバ
ー部材１２ａ，１２ａを手指で押すことにより、側面固
定治具１１の裏面側においてレバー部材１２ａ，１２ａ
が開き、この状態で側面固定治具１１を縦梁フレーム６
に重ねた後手指を離せば、ワンタッチで側面固定治具１
１を縦梁フレーム６に取り付けることができる。
治具１１の両端部には、これを縦梁フレーム６に着脱自
在に取り付けるためのバネ開閉機構１２が備えられてい
る。このバネ開閉機構１２は、図５に示すように、一対
のコ字状のレバー部材１２ａ，１２ａと、このレバー部
材１２ａの揺動支点を側面固定治具１１上に取り付ける
支承ピン１２ｂと、上記レバー部材１２ａと側面固定治
具１１の表面との間に介設した圧縮コイルバネ１２ｃと
からなっている。側面固定治具１１の表面側に圧縮コイ
ルバネ１２ｃが介設されているので、圧縮コイルバネ１
２ｃの付勢力により、常に側面固定治具１１の裏面側に
おいて一対のレバー部材１２ａ，１２ａは閉じている。
したがって、側面固定治具１１の表面側において、レバ
ー部材１２ａ，１２ａを手指で押すことにより、側面固
定治具１１の裏面側においてレバー部材１２ａ，１２ａ
が開き、この状態で側面固定治具１１を縦梁フレーム６
に重ねた後手指を離せば、ワンタッチで側面固定治具１
１を縦梁フレーム６に取り付けることができる。
【００２３】尚、上記正面固定治具８の両端部にも、こ
れを収納口７に位置する一対の縦フレーム４，４に着脱
自在に取り付けるためのバネ開閉機構１２が備えられて
おり、上記と同様の構造を有しているので、同様の操作
で正面固定治具８が縦フレーム４，４に取り付けられ
る。
れを収納口７に位置する一対の縦フレーム４，４に着脱
自在に取り付けるためのバネ開閉機構１２が備えられて
おり、上記と同様の構造を有しているので、同様の操作
で正面固定治具８が縦フレーム４，４に取り付けられ
る。
【００２４】また、正面固定治具８および側面固定治具
１１には、ガラス基板の位置ずれ規制量を調整する規制
量調整手段１３が備えられている。この規制量調整手段
１３を側面固定治具１１を例に説明する。規制量調整手
段１３は、図１、図４および図６に示すように、正面固
定治具８または側面固定治具１１を貫通する付勢手段１
３ａと、この付勢手段１３ａの突出し量を設定するスト
ッパ１３ｂと、上記付勢手段１３ａの先端部に取り付け
られた付勢板１３ｃとからなっている。
１１には、ガラス基板の位置ずれ規制量を調整する規制
量調整手段１３が備えられている。この規制量調整手段
１３を側面固定治具１１を例に説明する。規制量調整手
段１３は、図１、図４および図６に示すように、正面固
定治具８または側面固定治具１１を貫通する付勢手段１
３ａと、この付勢手段１３ａの突出し量を設定するスト
ッパ１３ｂと、上記付勢手段１３ａの先端部に取り付け
られた付勢板１３ｃとからなっている。
【００２５】付勢手段１３ａは、図６（ｃ）に示すよう
に、例えば、ボルト状の外筒部１３ｄと、この外筒部１
３ｄ内に挿入された内筒部１３ｅと、外筒部１３ｄの頭
部と内筒部１３ｅの内端部との間に介設された圧縮コイ
ルバネ１３ｆとからなっている。また、ストッパ１３ｂ
は、例えば蝶ネジにより形成され、蝶ネジの螺合力によ
りその先端部で付勢手段１３ａの外筒部１３ｄを固定す
るようになっている。
に、例えば、ボルト状の外筒部１３ｄと、この外筒部１
３ｄ内に挿入された内筒部１３ｅと、外筒部１３ｄの頭
部と内筒部１３ｅの内端部との間に介設された圧縮コイ
ルバネ１３ｆとからなっている。また、ストッパ１３ｂ
は、例えば蝶ネジにより形成され、蝶ネジの螺合力によ
りその先端部で付勢手段１３ａの外筒部１３ｄを固定す
るようになっている。
【００２６】上述の正面固定治具８、側面固定治具１１
および付勢板１３ｃは、上記天板２、底板３、縦フレー
ム４および縦梁フレーム６と同様に、例えばテフロン樹
脂等の軽量な材料により成形されている。
および付勢板１３ｃは、上記天板２、底板３、縦フレー
ム４および縦梁フレーム６と同様に、例えばテフロン樹
脂等の軽量な材料により成形されている。
【００２７】本実施形態の基板搬送カセット１にカラー
フィルタ用のガラス基板を収納する場合、３７０ｍｍ×
４７０ｍｍの大サイズのガラス基板に対しては、図６
（ａ）に示すように、ストッパ１３ｂにより付勢手段１
３ａを調整して収納空間内への付勢板１３ｃの突き出し
量を小さく設定する。一方、３６０ｍｍ×４６５ｍｍの
小サイズのガラス基板に対しては、図６（ｂ）に示すよ
うに、ストッパ１３ｂにより付勢手段１３ａを調整して
収納空間内への付勢板１３ｃの突き出し量を大きく設定
する。このように規制量調整手段１３により正面固定治
具８または側面固定治具１１の位置ずれ規制量を調整す
ることによって、各種サイズの基板に対応させることが
できる。
フィルタ用のガラス基板を収納する場合、３７０ｍｍ×
４７０ｍｍの大サイズのガラス基板に対しては、図６
（ａ）に示すように、ストッパ１３ｂにより付勢手段１
３ａを調整して収納空間内への付勢板１３ｃの突き出し
量を小さく設定する。一方、３６０ｍｍ×４６５ｍｍの
小サイズのガラス基板に対しては、図６（ｂ）に示すよ
うに、ストッパ１３ｂにより付勢手段１３ａを調整して
収納空間内への付勢板１３ｃの突き出し量を大きく設定
する。このように規制量調整手段１３により正面固定治
具８または側面固定治具１１の位置ずれ規制量を調整す
ることによって、各種サイズの基板に対応させることが
できる。
【００２８】このように本実施形態の基板搬送カセット
１によれば、正面固定治具８がガラス基板の長手方向の
位置ずれを規制するとともに、側面固定治具１１がガラ
ス基板の幅方向の位置ずれを規制する。したがって、縦
フレーム４および縦梁フレーム６の各保持部材５上に載
置されたガラス基板が正面固定治具８および側面固定治
具１１によって確実に固定されることになり、ガラス基
板の位置ずれを防止することができるだけでなく、その
破損を積極的に回避することができる。
１によれば、正面固定治具８がガラス基板の長手方向の
位置ずれを規制するとともに、側面固定治具１１がガラ
ス基板の幅方向の位置ずれを規制する。したがって、縦
フレーム４および縦梁フレーム６の各保持部材５上に載
置されたガラス基板が正面固定治具８および側面固定治
具１１によって確実に固定されることになり、ガラス基
板の位置ずれを防止することができるだけでなく、その
破損を積極的に回避することができる。
【００２９】また、正面固定治具８および側面固定治具
１１はバネ開閉機構１２によりワンタッチで着脱自在に
取り付けられるので、これら固定治具８，１１を取り外
せば、ガラス基板の収納および取出し作業を容易に行う
ことができる。したがって、固定治具８，１１の採用に
伴う作業工数の増加は、最小限に抑えられる。
１１はバネ開閉機構１２によりワンタッチで着脱自在に
取り付けられるので、これら固定治具８，１１を取り外
せば、ガラス基板の収納および取出し作業を容易に行う
ことができる。したがって、固定治具８，１１の採用に
伴う作業工数の増加は、最小限に抑えられる。
【００３０】尚、本発明では、正面固定治具８の縦梁フ
レーム９の長さを、基板搬送カセット１の収納口７の高
さよりも短くして、上述の付勢板１３ｃのみでガラス基
板の長手方向の位置ずれを規制するようにしてもよい。
レーム９の長さを、基板搬送カセット１の収納口７の高
さよりも短くして、上述の付勢板１３ｃのみでガラス基
板の長手方向の位置ずれを規制するようにしてもよい。
【００３１】また、本実施形態は、カラーフィルタ用の
ガラス基板を例に説明したが、本発明の基板搬送カセッ
トはこれに限るものではなく、平板状の全ての基板の収
納搬送に適応し得るものである。
ガラス基板を例に説明したが、本発明の基板搬送カセッ
トはこれに限るものではなく、平板状の全ての基板の収
納搬送に適応し得るものである。
【００３２】さらに、基板の長手方向と幅方向の寸法の
大小関係には特に制限はない。
大小関係には特に制限はない。
【００３３】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明に係る基板
搬送カセットによれば、収納空間の収納口となる正面
に、基板の長手方向の位置ずれを規制する正面固定治具
を着脱自在に取り付けるとともに、その少なくとも一側
面に、基板の幅方向の位置ずれを規制する側面固定治具
を着脱自在に取り付けたので、収納した基板を確実に固
定して、その搬送時における位置ずれを防止するととも
に、その破損を積極的に回避することができるという優
れた効果を発揮する。
搬送カセットによれば、収納空間の収納口となる正面
に、基板の長手方向の位置ずれを規制する正面固定治具
を着脱自在に取り付けるとともに、その少なくとも一側
面に、基板の幅方向の位置ずれを規制する側面固定治具
を着脱自在に取り付けたので、収納した基板を確実に固
定して、その搬送時における位置ずれを防止するととも
に、その破損を積極的に回避することができるという優
れた効果を発揮する。
【図１】本発明に係る基板搬送カセットの一実施形態を
示す概略斜視図である。
示す概略斜視図である。
【図２】本実施形態の基板搬送カセットにおける保持部
材を示す概略側面図である。
材を示す概略側面図である。
【図３】本実施形態の基板搬送カセットにおける底板を
示す概略側面図である。
示す概略側面図である。
【図４】本実施形態の基板搬送カセットにおける側面固
定治具を示し、（ａ）はその側面図であり、（ｂ）はそ
の平面図である。
定治具を示し、（ａ）はその側面図であり、（ｂ）はそ
の平面図である。
【図５】本実施形態の基板搬送カセットにおけるバネ開
閉機構を示す概略図である。
閉機構を示す概略図である。
【図６】本実施形態の基板搬送カセットにおける規制量
調整手段を示し、（ａ）は大サイズのガラス基板を固定
する場合の概略図、（ｂ）は小サイズのガラス基板を固
定する場合の概略図、（ｃ）は付勢手段の概略図であ
る。
調整手段を示し、（ａ）は大サイズのガラス基板を固定
する場合の概略図、（ｂ）は小サイズのガラス基板を固
定する場合の概略図、（ｃ）は付勢手段の概略図であ
る。
１…基板搬送カセット ４…縦フレーム ５…保持部材 ６…縦梁フレーム ７…収納口 ８…正面固定治具 １０…位置決め手段 １１…側面固定治具 １２…バネ開閉機構 １３…規制量調整手段
Claims (5)
- 【請求項１】 平板とフレームにより直方体状の収納空
間を区画形成し、その縦フレームに上下方向に沿って複
数段の保持部材を備え、各保持部材上に基板を載置して
搬送する基板搬送カセットにおいて、 上記収納空間の収納口となる正面に、基板の長手方向の
位置ずれを規制する正面固定治具を着脱自在に取り付け
るとともに、上記収納空間の少なくとも一側面に、基板
の幅方向の位置ずれを規制する側面固定治具を着脱自在
に取り付けたことを特徴とする基板搬送カセット。 - 【請求項２】 前記正面固定治具が、収納口に位置する
一対の縦フレームに着脱自在に取り付けられ、その取付
け位置の位置決め手段を有していることを特徴とする請
求項１に記載の基板搬送カセット。 - 【請求項３】 前記側面固定治具が、側面中間部に位置
する縦梁フレームに着脱自在に取り付けられていること
を特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板搬送
カセット。 - 【請求項４】 前記固定治具に、着脱用のバネ開閉機構
が備えられていることを特徴とする請求項１乃至請求項
３のいずれかに記載の基板搬送カセット。 - 【請求項５】 前記固定治具に、基板の位置ずれ規制量
を調整する規制量調整手段が備えられていることを特徴
とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の基板搬
送カセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8298198A JPH10120174A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | 基板搬送カセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8298198A JPH10120174A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | 基板搬送カセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10120174A true JPH10120174A (ja) | 1998-05-12 |
Family
ID=17856493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8298198A Pending JPH10120174A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | 基板搬送カセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10120174A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102583050A (zh) * | 2012-02-07 | 2012-07-18 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶面板基材的运输控制设备及其控制方法 |
-
1996
- 1996-10-22 JP JP8298198A patent/JPH10120174A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102583050A (zh) * | 2012-02-07 | 2012-07-18 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶面板基材的运输控制设备及其控制方法 |
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Legal Events
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