JPH10113525A

JPH10113525A - 空気清浄化方法とその装置

Info

Publication number: JPH10113525A
Application number: JP8270126A
Authority: JP
Inventors: Shigemi Shimizu; 惠己清水; Kazutaka Ogasawara; 和高小笠原; Takaaki Amano; 孝明天野; Yoshiharu Ota; 嘉治太田; Motonori Yanagi; 基典柳
Original assignee: GEOCHTO KK; Nomura Micro Science Co Ltd
Current assignee: GEOCHTO KK; Nomura Micro Science Co Ltd
Priority date: 1996-10-11
Filing date: 1996-10-11
Publication date: 1998-05-06
Anticipated expiration: 2016-10-11
Also published as: JP3393211B2

Abstract

(57)【要約】【課題】有機物成分，分子イオン成分，ガス状金属成
分を含めて空気中の不純物を除去し、清浄な空気環境を
形成する。【解決手段】微細水滴発生装置１と、気流発生装置７
と、気液分離装置２と、純水製造装置１２とを有してい
る。純水製造装置１２は、原水を純水に処理して微細水
滴発生装置１に供給する。微細水滴発生装置１は、供給
された純水を微細水滴に分裂させ、気流発生装置７から
吸引した不純物を含む空気流に微細水滴を混合して気液
分離装置２に送り込み、気液分離装置２で、微細水滴を
捕捉して微細水滴に取り込まれた不純物を空気中から除
去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム、
特に電子部品の製造工場用クリーンルームに適用して好
適な空気清浄化方法とその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体をはじめとする電子部品の製造工
場のクリーンルームにおいては、高性能の微粒子除去フ
ィルター（ＨＥＰＡ，ＵＬＰＡ等）が使用され、空気中
の微細粒子，ミスト，ヒュームに関してはこれらを極限
にまで除去する技術が確立し、清浄度クラス１以下のク
リーンルームが実用化されている。

【０００３】しかしながら、清浄度クラス１以下のクリ
ーンルームといえども、空気中に含まれた他の成分、例
えば、有機物成分，分子イオン成分，ガス状金属成分が
除去されているわけではない。

【０００４】大気は、空気を構成する主たるガス成分
（Ｎ₂：Ｏ₂：Ａｒ：ＣＯ₂：他成分＝７８．０８：２
０．９５：０．９３４：．０．３１４：０．００４６）
と、水分や微粒子，ミスト，ヒューム以外にも有機物成
分，分子イオン成分，ガス状金属成分が含まれており、
有機物成分，分子イオン成分，ガス状金属成分は、微粒
子除去用フィルターでは除去できない。

【０００５】もっとも、分子イオン成分についてはケミ
カルフィルターを用いてこれを除去したという多数の報
告があり、アンモニア，弗酸，塩素などの特定の分子イ
オン成分については個別に除去することができる。

【０００６】勿論、空気中の有機物成分，分子イオン成
分，ガス状金属成分などが空気の清浄度に無関係ではあ
り得ない。これらの成分がクリーンルーム内の製品や部
品に与える影響について、例えばアンモニアは、半導体
製造プロセスに用いる化学増殖型レジストに影響を与え
てこれを変質させるという問題がある。この問題に関し
ては解明が進み、化学増殖型レジストに影響を与えない
空気中のアンモニア濃度は、約１μｇ／ｍ³であるとさ
れている（主催株式会社リアライズ，１９９５年１０
月３０日開催，半導体製造クリーンルームの微量化学汚
染の評価と対策，ＵＣＴカレッジＮｏ．１８資料集，ｐ
１０）。アンモニアの除去に関する限り、アルカリ性ガ
スフィルターを使用すれば、フィルターの入口での濃度
が約１０μｇ／ｍ³であれば、除去率９５％で除去して
フィルターの出口に濃度を０．５μｇ／ｍ³に低減する
ことができ、空気中のアンモニアに関する限り、その対
策は可能である。

【０００７】一方、大気中には複数のアルカリイオン，
酸イオンが存在し、状況によっては大気中のアルカリイ
オン，酸イオンがクリーンルーム内に送入されることが
ある。また、クリーンルーム内では、製品の製造工程あ
るいは処理のために化学薬品やガスが使用され、製品の
製造または処理に使用された化学薬品やガスが漏洩して
クリーンルーム内に拡散することがある。確かにケミカ
ルフィルターによれば、アンモニアのような既知の特定
の物質の除去に関しては有効である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ケミカ
ルフィルターは、その特性上、アルカリ性ガス用と、酸
性ガス用とに大別される。このため、アルカリ性ガス用
又は酸性ガス用のケミカルフィルターが選定使用された
ときに除去対象とするガス以外のアルカリ性ガス又は酸
性ガスはケミカルフィルターと干渉し、除去対象とする
ガスの除去率は不確定となり、性能が劣化するという問
題があるが、その実体が十分に把握されているわけでは
ない。

【０００９】また、有機物成分の製品への影響に関して
揮発性の有機物（ＤＯＰ，シロキサン等）が半導体ウェ
ハ表面に吸着すると、そのデバイスの特性を変化または
劣化させるという報告があるが、これらの有機物を効率
的に除去する技術は未だ確立されているわけではない。
さらに、ガス状金属成分の除去に関しては、空気中の金
属成分の多くは酸化衝突凝集によって微粒子化し、これ
は高性能のフィルターで除去できるものと一般には考え
られているが、数ｎｇ／ｍ³の極微量領域でのガス状金
属成分が製品に与える影響やこれを捕捉する技術に関し
ては全く未知の領域であり、その挙動は明らかにされて
いない。このように、クリーンルーム内の空気中に含ま
れる不純物を如何に除去するかについては、未だ未解決
のままに残されているのが実情である。

【００１０】ところで、水を分裂させて微細水滴を発生
させ、その微細水滴を浮遊させた多湿の空気に物体の清
浄作用があるとして微細水滴の製造装置がにわかに注目
を浴びるようになった（特公平３−７６９９３号，特公
平３−７６９９４号，特開昭６２−６８５１０５号，特
開平４−１１８０６８号ほか）。

【００１１】そして、この技術は、水の分裂によって負
イオン（陰イオン）が発生していることが見出された
（特開平４−１４１１７９号）。最近の研究では、負イ
オンには除塵効果，除菌効果，脱臭及びガス成分除去効
果，調湿効果，帯電防止効果があることがわかるように
なってきた。

【００１２】本発明の目的は、上記微細水滴を発生させ
る噴射水に純水を使用して空気中の有機物成分，分子イ
オン成分，ガス状金属成分や微粒子を低減して米国連邦
規格２０９Ｄに定義されている清浄度クラス１０００以
下を実現する空気清浄化方法とその装置を提供すること
にある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明による空気清浄化方法においては、気液接触
処理と、気液分離処理とを有する空気清浄化方法であっ
て、気液接触処理は、不純物を含む空気流に水を接触さ
せる処理であり、不純物は水に捕捉されて空気中から除
去され、気液分離処理は、気液接触処理によって生じた
水分及び微細水滴を空気中から除去して超微細水滴を含
む多湿の空気を外部へ送出する処理であり、気液接触処
理に用いる水は純水である。

【００１４】また、気液接触処理後、外部へ送出された
多湿の空気は、外部の空気中の不純物を捕捉同伴し、空
気流として再び気液接触処理が行われるものである。

【００１５】また、気液接触処理に用いられた水を回収
し、浄化処理して純水に再生し、再生した純水を気液接
触処理に用いるものである。

【００１６】また、本発明による空気清浄化装置におい
ては、気流発生装置と、微細水滴発生装置と、気液分離
装置と、純水製造装置とを有する空気清浄化装置であっ
て、気流発生装置は、外部の空気を吸引して微細水滴発
生装置に供給するものであり、微細水滴発生装置は、気
流発生装置から送り込まれた空気に水を接触させるとと
もに微細水滴を生じて空気中の不純物を捕捉するもので
あり、気液分離装置は、微細水滴発生装置から送り出さ
れた空気中の水分及び微細水滴を除去して、超微細水滴
を含む多湿の空気を外部へ送出するものであり、純水製
造装置は、原水から純水を製造し、これを微細水滴及び
超微細水滴の原料として微細水滴発生装置に給水するも
のである。

【００１７】また、微細水滴発生装置は、ノズルと噴射
水タンクを有し、ノズルは、水を噴射して微細水滴及び
超微細水滴を発生させるものであり、噴射水タンクは、
ノズルに供給すべき水を収容し、かつノズルから噴射さ
れた水の一部を回収するものであり、純水製造装置は、
製造した純水を噴射水タンクに供給し、噴射水タンク内
の水の一部を回収して純水を製造するものである。

【００１８】また、純水製造装置は、前処理部と、純水
処理部とからなり、前処理部は、原水を一定の純度の水
に精製するものであり、純水処理部は、前処理部で精製
された水及び噴射水タンクから戻された水を純水に処理
して噴射水タンクに供給するものである。

【００１９】本発明において、微細水滴とは、微細水滴
発生装置に発生した水滴のうち、パーティクルカウンタ
ーで測定してほぼ１μｍ以上の粒子として計測されるも
のであり、さらに超微細水滴とはほぼ０．５μｍ以下の
粒子として計測されるものをいい、実質的にはＣＮＣカ
ウンターで計測される計測限界（０．００５μｍ）以下
の気相水クラスターが大部分であるものをいう。なお、
水分とは、これら計測器で計測されない大きな水の粒子
をいう。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図に
よって説明する。図１において、本発明による空気清浄
化システムは、微細水滴発生装置１と気液分離装置２と
の組合せを有している。微細水滴発生装置１は、例えば
図２に示すようにモータ３ａに駆動されて回転する撹拌
羽根３を有し、ノズル４から噴射した水を撹拌羽根３に
衝突させて微細な水滴に分裂させる装置である。水は噴
射水タンク５内に充填され、送水ポンプ６で汲み上げら
れ、送水管２７を通してノズル４に供給される。微細水
滴発生装置１にはまた、気流発生装置７が接続されてい
る。該気流発生装置７は、クリーンルーム８内の空気を
吸引して微細水滴発生装置１に送気し、該装置１内の水
分，微細水滴及び超微細水滴に接触させ、気液分離装置
２へ圧送する。

【００２１】気液接触処理は、気流発生装置７から送出
される空気流をノズル４から噴出した水に接触させ、空
気流中に含まれた不純物を水中に取り込ませる処理であ
る。不純物を取り込んだ水は、噴射水タンク５内に戻さ
れる。特にノズル４から噴射した水は、撹拌羽根３に衝
突して水分，微細水滴及び超微細水滴に分裂し、撹拌羽
根３の回転によって十分な気液混合が行われて、空気中
に含まれる微細な不純物は、微細水滴に捕捉されて空気
中から除去される。

【００２２】気液分離装置２は、気液接触処理によって
空気中に含まれた水分及び微細水滴を除去するものであ
り、サイクロンセパレータやエリミネータを用いる。気
液分離装置２を経由して気液分離された多湿の空気は、
クリーンルーム８内に戻される。この多湿空気は、除
塵，除菌，脱臭及びガス成分除去効果を有しており、ク
リーンルーム８内を一巡し、不純物を捕捉して再び微細
水滴発生装置１内へ導入される。

【００２３】前記気流発生装置７は、クリーンルーム８
内の空気を吸気管路１０ａ内に強制的に吸引して微細水
滴発生装置１へ圧送し、クリーンルーム８と微細水滴発
生装置１間を循環させるほかに、別に気流発生装置７ａ
を設けて外気を吸引し、これを微細水滴発生装置１に送
り込んでもよい。また、微細水滴発生装置１は、噴射水
を撹拌羽根３に衝突させる形式のものには限らない。空
気の旋回流中に水を噴射して微細水滴に分裂させる形式
のものであってもよい。なお、微細水滴発生装置１には
冷凍機９を設け、気液分離装置２と、クリーンルーム８
とをつなぐ送気管路１０ｂには加熱器１１を装備し、空
気温度を制御してクリーンルーム８内に送り込む多湿空
気の相対湿度を調節するようになっている。

【００２４】本発明は、微細水滴発生装置１のノズル４
に供給する水に純水を用いるものである。純水とは、不
純物をできるだけ除いて純粋の水とほとんど同一とみな
せる水である。この実施形態においては、純水製造装置
１２を用い、市水を原水として純水を製造している。純
水製造装置１２は、前処理部１３と、純水処理部１４と
から構成されている。前処理部１３は、市水を比抵抗値
で１ＭΩ・ｃｍ以上に精製処理する部分であり、原水の
受入タンク１５内に充填した市水をポンプ（Ｐ）１６で
汲み出してメンプレンフィルター（ＭＦ）１７を通過さ
せ、次いで高圧ポンプ（Ｐ）１８をもって逆浸透膜（Ｒ
Ｏ）１９，イオン交換樹脂（ＣＰ）２０，メンプレンフ
ィルター（ＭＦ）２１を順次通過させてその処理水を被
処理水受入タンク２２内に圧送するものである。純水処
理部１４は、前処理部１３で製造した水と、噴射水タン
ク５内から戻された水との混合水を比抵抗値で１５ＭΩ
・ｃｍ以上の純水に処理して噴射水タンク５内に供給す
る部分であり、被処理水受入タンク２２内の水をサーク
ルポンプ２３で汲み出し、紫外線殺菌灯（ＵＶ）２４，
イオン交換樹脂（ＣＰ）２５，限外濾過膜（ＵＦ）２６
を経由させて製造された純水を給水管２８ａから噴射水
タンク５に供給している。噴射水タンク５内の水は、送
水ポンプ６で汲み上げられ、送水管２７を通り、微細水
滴発生装置１のノズル４に供給されるが、送水ポンプ６
で汲み上げられた一部の水は、戻り管２８ｂを通じて被
処理水受入タンク２２内に返還され、これを前処理部１
３を経由した処理水とともに繰返し純水処理部１４で処
理して噴射水タンク５内の純水を一定の水質に保持して
いる。被処理水受入タンク２２は必ずしも必要ではな
く、前処理部１２と、純水処理部１４とを配管でつな
ぎ、その配管に戻り管２８ｂを接続して噴射水タンク５
内の水を戻してもよい。

【００２５】ノズル４から噴射した水が消費されて、被
処理水受入タンク２２内の水が一定の水位以下になった
ときには、市水を前処理部１２で比抵抗値１ＭΩ・ｃｍ
以上の水に処理してこれを該タンク２２に補給する。

【００２６】微細水滴発生装置１のノズル４より噴出さ
せる噴射水に純水を用いることにより、クリーンルーム
内の空気中の不純物が除去され、したがって、クリーン
ルーム８内を高度の清浄度に保つことが可能となる。

【００２７】

〔運転条件〕

・クリーンルーム乱流式換気回数約１００回／ｈ循環風量約３９００ｍ³／ｈ外気取入風量約４００ｍ³／ｈ湿度５０．０±１．０％ＲＨ温度２５．０±１．０℃ ・微細水滴製造装置噴射水の送水量約１８ｍ³／ｈ・純水製造装置純水処理部の処理水量約０．６ｍ³／ｈ

【００２８】水質の測定には、導電率計を用いて噴射水
タンク内の水の導電率を連続的に計測した。比較のた
め、噴射水に市水を用いた場合の噴射水タンク内の市水
の導電率を測定した。結果を図３に示す。なお、比較例
においては、噴射水タンク内の水は浄化処理しないた
め、時間の経過とともに空気中の不純物に汚染される。

【００２９】図３（ａ）に明らかなとおり、噴射水に市
水を用いた比較例では、運転当初から２８０μＳ／ｃｍ
以上と高く、微細水滴発生装置の運転を続けるにしたが
って、徐々に導電率は上昇してゆく。これに対し、図３
（ｂ）の実施例では純水を用い、しかも、連続的に浄化
処理をしているために導電率は１〜２μＳ／ｃｍのレベ
ルで安定して一定の水質を保持している。実施例におい
て、導電率が１〜２μＳ／ｃｍの値になるのは、空気中
の二酸化炭素の溶解によるものと思われる。このことは
以下の事情から推測できる。すなわち、大気中の二酸化
炭素の濃度は、場所によって異り、都心での濃度は約
０．０５％である。二酸化炭素の水に対する溶解度は、
大気圧の下、水温が１０℃のときに１．２ｐｐｍであ
る。１．２ｐｐｍを水の導電率に変換すると、１．２５
μＳ／ｃｍとなり、実測値１〜２μＳ／ｃｍとほぼ同等
の値を示す。ちなみに純水処理部にて浄化処理した直後
の水の比抵抗値は、１７〜１８ＭΩ・ｃｍであった。こ
の値は理論純水にほぼ近い値である。

【００３０】また、前記運転条件の下で微細水滴発生装
置を約６時間運転したときの外気中及びクリーンルーム
内の空気中に含まれる不純物の種類とその量を測定し
た。その結果を表１に示す。

【００３１】

【表１】

【００３２】空気中の不純物は、インピンジャー法を用
いて捕捉した。不純物の捕捉液には超純水を用い、空気
通気量を３ｌ／ｍｉｎに設定した。分析には以下の器具
を用いた。 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 測定対象使用器具 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ ＴＯＣ高圧加圧湿式酸化方式のＴＯＣ計金属成分原子吸光およびＩＣＰ−ＭＳイオン成分イオンクロマトグラフィー ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

【００３３】表１の結果によれば、噴射水に市水を用い
ても、空気中の不純物を除去しうる能力を有しているこ
とが分かるが、噴射水に純水を用いることによって、金
属成分（Ｎａ，Ｋ，Ｃａ）の除去率が非常に高くなるこ
とと、外気中に含有される濃度が他の不純物と比べて、
１桁高いＴＯＣ成分の除去率が市水よりも１５％高くな
っている。外気中のＴＯＣ成分は下記分析法で測定し
た。 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 測定対象分析方法 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ ＴＯＣ成分１．不揮発性成分熱分解型ＧＣ−ＭＳ２．揮発性成分パージアンドトラップＧＣ−ＭＳ ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 外気中に含まれる揮発性成分としては、アセトーン，フ
タル酸ジ−２−エチルヘキシン（ＤＯＰ）等が検出され
ており、これら水溶性成分については、湿式洗浄方式で
も水中に捕捉されることがすでに報告されている。一
方、外気中に含まれる不揮発成分としては、ベンゼン，
１−メチルピペリジン，ベンゾイックアシッド，エチル
フェノキシ，フェノール等多数の成分が検出されてお
り、これら成分は、難又は不水溶性成分である。一般的
にこれら成分は、従来の湿式洗浄方式では除去されない
ことが報告されている。しかし、本法では、市水で８３
％さらに純水の場合は９８％とほぼ１００％近い除去率
を示している。このことは、超微細水滴あるいは気相状
態の水クラスターがこれら不揮発成分を捕捉同伴するこ
とにより、水側に移行して除去されるものと考えられ
る。

【００３４】さらに、清浄化システムに発生させる微細
水滴の原料の違いによるクリーンルームの清浄度を図４
に示す。図４は、ノズル４の噴射水に純水を使用したも
のと、低純度純水を使用したものと、市水を使用したも
のとの比較である。図４中、「純水」は、ノズルの噴射
水に純水を用い、噴射水タンク内の水を浄化処理する場
合であり、「低純度純水」はノズルの噴射水に純水を用
いるが、噴射水タンク内の水は浄化処理しない場合であ
る。「市水」については、ノズルの噴射水に市水を用
い、噴射水タンク内の水は浄化処理をしていない。

【００３５】図４のグラフの横軸は、噴射水に使用した
水中に含まれる不純物の総量であり、縦軸は、クリーン
ルーム内の空気中のダストの量である。ダスト量とはパ
ーティクルカウンターで測定される粒子数のことであっ
て、固体粒子と液体粒子とが測定されている。図４よ
り、噴射水に純水を使用すれば、クリーンルーム内のダ
ストの量を低減できることが分かる。水中の不純物濃度
が上がると、粒子成分が水による質量増加現象をおこ
し、パーティクルカウンターで計測される粒子数が増え
るものと考えられる。つまり、噴射水の水質と、クリー
ンルーム内の清浄度とには非常に強い相関関係があるこ
とを意味している。表２に、噴射水に用いた純水，低純
度純水，市水による噴射水タンク内の水質の分析結果を
示す。

【００３６】

【表２】

【００３７】図４，表２から明らかなように噴射水に純
水を用いることによって、ダスト除去用のＨＥＰＡ，Ｕ
ＬＰＡフィルターを用いることなく、クラス１０００レ
ベルの清浄度のクリーンルームを実現できることが分か
る。

【００３８】

【発明の効果】以上のように本発明によるときには、空
気清浄化システムの微細水滴発生装置に発生させる微細
水滴の噴射水に純水を用いて、微粒子，ミスト，ヒュー
ムをはじめ、有機物成分，分子イオン成分，ガス状金属
成分含有量が少ない空気環境を形成するため、電子部品
製造あるいは処理用のクリーンルームに適用して米国連
邦規格２０９Ｄで定義されている清浄度クラス１０００
以下の不純物の無い清浄空間を実現することができる。
また、微細水滴発生装置に供給する純水は、純水製造装
置を用い、市水を原料とし、また、微細水滴発生装置よ
り戻された水を被処理として純水を製造しつつ、これを
噴射水タンク内に供給するため、噴射水タンク内の水中
に汚染物質や不純物が蓄積されず、所期の空気清浄化機
能を維持できる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示す図である。

【図２】微細水滴発生装置の一例を示す図である。

【図３】（ａ）は比較例で市水の導電率の変化、（ｂ）
は実施例の純水の導電率の変化を示す図である。

【図４】噴射水の不純物総量と、クリーンルーム内のダ
スト量との関係を示す図である。

【符号の説明】

１微細水滴発生装置２気液分離装置３撹拌羽根４ノズル５噴射水タンク６送水ポンプ７，７ａ気流発生装置８クリーンルーム９冷凍機１０ａ吸気管路１０ｂ送気管路１１加熱器１２純水製造装置１３前処理部１４純水処理部１５受入タンク１６ポンプ１７メンプレンフィルター１８高圧ポンプ１９逆浸透膜２０イオン交換樹脂２１メンプレンフィルター２２被処理水受入タンク２３サークルポンプ２４紫外線殺菌灯２５イオン交換樹脂２６限外濾過膜２７送水管２８ａ給水管２８ｂ戻り管

フロントページの続き (72)発明者天野孝明東京都千代田区麹町４丁目２番地株式会社ジオクト内 (72)発明者太田嘉治神奈川県厚木市岡田二丁目９番８号野村マイクロ・サイエンス株式会社内 (72)発明者柳基典神奈川県厚木市岡田二丁目９番８号野村マイクロ・サイエンス株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】気液接触処理と、気液分離処理とを有す
る空気清浄化方法であって、気液接触処理は、不純物を含む空気流に水を接触させる
処理であり、不純物は水に捕捉されて空気中から除去さ
れ、気液分離処理は、気液接触処理によって生じた水分及び
微細水滴を空気中から除去して超微細水滴を含む多湿の
空気を外部へ送出する処理であり、気液接触処理に用いる水は純水であることを特徴とする
空気清浄化方法。
【請求項２】気液接触処理後、外部へ送出された多湿
の空気は、外部の空気中の不純物を捕捉同伴し、空気流
として再び気液接触処理が行われるものであることを特
徴とする請求項１に記載の空気清浄化方法。
【請求項３】気液接触処理に用いられた水を回収し、
浄化処理して純水に再生し、再生した純水を気液接触処
理に用いることを特徴とする請求項１又は２に記載の空
気清浄化方法。
【請求項４】気流発生装置と、微細水滴発生装置と、
気液分離装置と、純水製造装置とを有する空気清浄化装
置であって、気流発生装置は、外部の空気を吸引して微細水滴発生装
置に供給するものであり、微細水滴発生装置は、気流発生装置から送り込まれた空
気に水を接触させるとともに微細水滴を生じて空気中の
不純物を捕捉するものであり、気液分離装置は、微細水滴発生装置から送り出された空
気中の水分及び微細水滴を除去して、超微細水滴を含む
多湿の空気を外部へ送出するものであり、純水製造装置は、原水から純水を製造し、これを微細水
滴及び超微細水滴の原料として微細水滴発生装置に給水
するものであることを特徴とする空気清浄化装置。
【請求項５】微細水滴発生装置は、ノズルと噴射水タ
ンクを有し、ノズルは、水を噴射して微細水滴及び超微細水滴を発生
させるものであり、噴射水タンクは、ノズルに供給すべき水を収容し、かつ
ノズルから噴射された水の一部を回収するものであり、純水製造装置は、製造した純水を噴射水タンクに供給
し、噴射水タンク内の水の一部を回収して純水を製造す
るものであることを特徴とする請求項４に記載の空気清
浄化装置。
【請求項６】純水製造装置は、前処理部と、純水処理
部とからなり、前処理部は、原水を一定の純度の水に精製するものであ
り、純水処理部は、前処理部で精製された水及び噴射水タン
クから戻された水を純水に処理して噴射水タンクに供給
するものであることを特徴とする請求項５に記載の空気
清浄化装置。