JPH10113504A - 樹脂液の脱泡装置 - Google Patents
樹脂液の脱泡装置Info
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- JPH10113504A JPH10113504A JP28761896A JP28761896A JPH10113504A JP H10113504 A JPH10113504 A JP H10113504A JP 28761896 A JP28761896 A JP 28761896A JP 28761896 A JP28761896 A JP 28761896A JP H10113504 A JPH10113504 A JP H10113504A
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- resin liquid
- resin
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- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 樹脂液の脱泡装置に関し、脱泡斑を生じさせ
ないで迅速に脱泡することができ、しかも、脱泡し得た
樹脂液を貯留しないで、そのまま連続的に後工程へ送る
ことができるようにする。 【解決手段】 真空脱気された減圧容器１内に、液供給
口１２の入口１２ａから樹脂液が供給され、液溢流体９
の開口下端１１から開口上端１０に向って流れ、かつ、
それに対して超音波発振器１４から超音波が放射され
る。その為、開口上端１０から溢流する樹脂液から迅速
に脱泡することができ、そして、開口上端１０を経て流
下する脱泡済樹脂液が、液排出通路１３の出口１３ａか
ら後工程へ送られる。よって、脱泡し得た樹脂液を貯留
しないで、そのまま連続的に後工程へ送ることができ
る。
ないで迅速に脱泡することができ、しかも、脱泡し得た
樹脂液を貯留しないで、そのまま連続的に後工程へ送る
ことができるようにする。 【解決手段】 真空脱気された減圧容器１内に、液供給
口１２の入口１２ａから樹脂液が供給され、液溢流体９
の開口下端１１から開口上端１０に向って流れ、かつ、
それに対して超音波発振器１４から超音波が放射され
る。その為、開口上端１０から溢流する樹脂液から迅速
に脱泡することができ、そして、開口上端１０を経て流
下する脱泡済樹脂液が、液排出通路１３の出口１３ａか
ら後工程へ送られる。よって、脱泡し得た樹脂液を貯留
しないで、そのまま連続的に後工程へ送ることができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂液の脱泡装置
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、周知のように、注型法による部品
成形等においては、主剤と硬化剤とで成る二液反応型の
樹脂液が用いられている。
成形等においては、主剤と硬化剤とで成る二液反応型の
樹脂液が用いられている。
【０００３】ところが、かかる主剤及び硬化剤の貯蔵保
管時、又は、それらの混合時等において、その液中に、
品質管理上好ましくない気泡が混入し易く、その為、脱
泡が余儀無くされている。
管時、又は、それらの混合時等において、その液中に、
品質管理上好ましくない気泡が混入し易く、その為、脱
泡が余儀無くされている。
【０００４】すなわち、一方のタンクから主剤を、ま
た、他方のタンクから硬化剤を抜き出して混合タンクへ
送る際における各樹脂液の脱泡、或いは、かかる混合タ
ンクから二液反応型樹脂液を抜き出して注型等へ送る際
における二液反応型樹脂液の脱泡等が余儀無くされてい
る。
た、他方のタンクから硬化剤を抜き出して混合タンクへ
送る際における各樹脂液の脱泡、或いは、かかる混合タ
ンクから二液反応型樹脂液を抜き出して注型等へ送る際
における二液反応型樹脂液の脱泡等が余儀無くされてい
る。
【０００５】なお、その際、一般には、例えば、特開昭
５７−４７１８号公報或いは特開昭５９−１１５８０９
号公報等において開示されているように、真空ポンプを
介して真空脱気された減圧容器内に樹脂液を滴下して脱
泡している。
５７−４７１８号公報或いは特開昭５９−１１５８０９
号公報等において開示されているように、真空ポンプを
介して真空脱気された減圧容器内に樹脂液を滴下して脱
泡している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような滴
下式脱泡は、いずれも、樹脂液が真空脱気内に滴下され
て落下する際の脱泡作用に基くものであるから、脱泡斑
を発生させないように迅速に脱泡することが困難な欠点
を有していたと共に、真空脱気内に滴下されて落下して
来る樹脂液（脱泡済の樹脂液）を一旦、減圧容器内に滞
留させ、そして、その所定量が貯留されると、減圧容器
内から排出せしめて後工程へ送るといった所謂、バッチ
式であるから、時には、その貯留中に脱泡効果が消失し
てしまう欠点を有していた。
下式脱泡は、いずれも、樹脂液が真空脱気内に滴下され
て落下する際の脱泡作用に基くものであるから、脱泡斑
を発生させないように迅速に脱泡することが困難な欠点
を有していたと共に、真空脱気内に滴下されて落下して
来る樹脂液（脱泡済の樹脂液）を一旦、減圧容器内に滞
留させ、そして、その所定量が貯留されると、減圧容器
内から排出せしめて後工程へ送るといった所謂、バッチ
式であるから、時には、その貯留中に脱泡効果が消失し
てしまう欠点を有していた。
【０００７】また、かかる滴下式脱泡以外に、超音波式
脱泡も公知である。例えば、特公昭４５−８３１９号公
報においては、樹脂液を、超音波発振器が装着されてい
る処理槽の流入口から槽内に供給して流出口から排出す
ると共に前記超音波発振器が、かかる樹脂液に超音波を
放射して脱泡する所謂、連続式の超音波式脱泡が開示さ
れている。
脱泡も公知である。例えば、特公昭４５−８３１９号公
報においては、樹脂液を、超音波発振器が装着されてい
る処理槽の流入口から槽内に供給して流出口から排出す
ると共に前記超音波発振器が、かかる樹脂液に超音波を
放射して脱泡する所謂、連続式の超音波式脱泡が開示さ
れている。
【０００８】しかし、この公知の超音波式脱泡は、真空
脱気されない処理槽内を流れる樹脂液に対して超音波を
放射（又は照射）するものであるから、上述の滴下式脱
泡と同様に、脱泡斑を発生させないように迅速に脱泡す
ることが困難な欠点を有していた。
脱気されない処理槽内を流れる樹脂液に対して超音波を
放射（又は照射）するものであるから、上述の滴下式脱
泡と同様に、脱泡斑を発生させないように迅速に脱泡す
ることが困難な欠点を有していた。
【０００９】本発明は、このような欠点に鑑み、それを
解消すべく鋭意検討の結果、真空脱気下の樹脂液に対し
て超音波を放射することにより、脱泡斑を生じさせない
で連続的に脱泡することができ、しかも、それを液溢流
式に行うことにより、より一層効果的、かつ、迅速に脱
泡することができると共に脱泡し得た樹脂液を滞留させ
ないで、そのまま後工程へ移送することができることを
見い出し、本発明を完成したものである。
解消すべく鋭意検討の結果、真空脱気下の樹脂液に対し
て超音波を放射することにより、脱泡斑を生じさせない
で連続的に脱泡することができ、しかも、それを液溢流
式に行うことにより、より一層効果的、かつ、迅速に脱
泡することができると共に脱泡し得た樹脂液を滞留させ
ないで、そのまま後工程へ移送することができることを
見い出し、本発明を完成したものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明に係る
樹脂液の脱泡装置の一つは、請求項１に記載するよう
に、脱泡しようとする樹脂液を供給する為の液供給通路
及び脱泡し得た樹脂液を排出する為の液排出通路を有
し、かつ、真空脱気される減圧容器と、前記液供給通路
から前記減圧容器内へ供給される樹脂液に超音波を放射
する超音波発振器とを備えていることを特徴とするもの
である。
樹脂液の脱泡装置の一つは、請求項１に記載するよう
に、脱泡しようとする樹脂液を供給する為の液供給通路
及び脱泡し得た樹脂液を排出する為の液排出通路を有
し、かつ、真空脱気される減圧容器と、前記液供給通路
から前記減圧容器内へ供給される樹脂液に超音波を放射
する超音波発振器とを備えていることを特徴とするもの
である。
【００１１】また、本発明に係る樹脂液の脱泡装置の他
の一つは、請求項２に記載するように、請求項１に記載
の樹脂液の脱泡装置において、減圧容器が、液供給通路
からの樹脂液を、その開口下端から流入せしめて開口上
端より溢流させ得るように内設された液溢流体を有して
いると共に超音波発振器が、前記開口下端側から超音波
を放射し得るように装着されていることを特徴とするも
のである。
の一つは、請求項２に記載するように、請求項１に記載
の樹脂液の脱泡装置において、減圧容器が、液供給通路
からの樹脂液を、その開口下端から流入せしめて開口上
端より溢流させ得るように内設された液溢流体を有して
いると共に超音波発振器が、前記開口下端側から超音波
を放射し得るように装着されていることを特徴とするも
のである。
【００１２】また、本発明に係る樹脂液の脱泡装置の他
の一つは、請求項３に記載するように、請求項２に記載
の樹脂液の脱泡装置において、液溢流体が、減圧容器の
ベースフランジに装着され、また、超音波発振器が、液
溢流体内に突出せしめられるように前記ベースフランジ
を貫通して装着されていると共に液供給通路及び液排出
通路が、前記ベースフランジに穿設されていることを特
徴とするものである。
の一つは、請求項３に記載するように、請求項２に記載
の樹脂液の脱泡装置において、液溢流体が、減圧容器の
ベースフランジに装着され、また、超音波発振器が、液
溢流体内に突出せしめられるように前記ベースフランジ
を貫通して装着されていると共に液供給通路及び液排出
通路が、前記ベースフランジに穿設されていることを特
徴とするものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１において、減圧容器１は、上
端にヘッドフランジ２が固着された円筒体３の下端にベ
ースフランジ４を固着して構成されている。
端にヘッドフランジ２が固着された円筒体３の下端にベ
ースフランジ４を固着して構成されている。
【００１４】なお、ヘッドフランジ２は、脱気口５を有
していると共にベースフランジ４は、円筒体３の下端に
固着された第１フランジ６と、このフランジ６がボルト
締めにより固定された第２フランジ７で構成されてい
る。
していると共にベースフランジ４は、円筒体３の下端に
固着された第１フランジ６と、このフランジ６がボルト
締めにより固定された第２フランジ７で構成されてい
る。
【００１５】また、液溢流体９は、円筒体で構成され、
その開口上端１０を減圧容器１内に突出せしめるように
ベースフランジ４の第２フランジ７に固着されていると
共に、その開口下端１１に、第２フランジ７に穿設され
ている液供給通路１２が連通されている。
その開口上端１０を減圧容器１内に突出せしめるように
ベースフランジ４の第２フランジ７に固着されていると
共に、その開口下端１１に、第２フランジ７に穿設され
ている液供給通路１２が連通されている。
【００１６】その為、液供給通路１２に樹脂液を供給す
ると、樹脂液は、液溢流体９の開口下端１１から開口上
端１０に向って流れ、開口上端１０から溢流する。加え
て、ベースフランジ４の第２フランジ７に液排出通路１
３が穿設されている。
ると、樹脂液は、液溢流体９の開口下端１１から開口上
端１０に向って流れ、開口上端１０から溢流する。加え
て、ベースフランジ４の第２フランジ７に液排出通路１
３が穿設されている。
【００１７】従って、液溢流体９の開口上端１０から溢
流する樹脂液は、液溢流体９の外周面を流下して液排出
通路１３に流入し、よって、減圧容器１外へ排出するこ
とができる。
流する樹脂液は、液溢流体９の外周面を流下して液排出
通路１３に流入し、よって、減圧容器１外へ排出するこ
とができる。
【００１８】また、ベースフランジ４を貫通して液溢流
体９の開口下端１１部分に突出せしめられるように超音
波発振器１４が装着されている。なお、超音波発振器１
４は、第２フランジ７の下面側にボルト締めにより固定
されているアーム８と第２フランジ７とで挾持されて固
定されていると共にアーム８の前後方向の一端は図示さ
れていない装置フレームに固着されている。
体９の開口下端１１部分に突出せしめられるように超音
波発振器１４が装着されている。なお、超音波発振器１
４は、第２フランジ７の下面側にボルト締めにより固定
されているアーム８と第２フランジ７とで挾持されて固
定されていると共にアーム８の前後方向の一端は図示さ
れていない装置フレームに固着されている。
【００１９】また、減圧容器１、液溢流体９及び超音波
発振器１４は同一の軸心上に位置されるように装着され
ている。更に、図示されていない真空ポンプに一端が接
続された管路の他端が脱気口５に螺結されると共に、液
供給通路１２の入口１２ａ及び液排出管路１３の出口１
３ａにも図示されていない管路の一端が螺結されてい
る。
発振器１４は同一の軸心上に位置されるように装着され
ている。更に、図示されていない真空ポンプに一端が接
続された管路の他端が脱気口５に螺結されると共に、液
供給通路１２の入口１２ａ及び液排出管路１３の出口１
３ａにも図示されていない管路の一端が螺結されてい
る。
【００２０】而して、脱泡に当って、図示されていない
前記真空ポンプを運転して脱気し、減圧容器１内が真空
に保たれる。また、液供給通路１２の入口１２ａに螺結
されている前記管路から樹脂液が所定に加圧されて供給
される。
前記真空ポンプを運転して脱気し、減圧容器１内が真空
に保たれる。また、液供給通路１２の入口１２ａに螺結
されている前記管路から樹脂液が所定に加圧されて供給
される。
【００２１】この樹脂液は、主剤若しくは硬化剤、或い
は、主剤と硬化剤の混合樹脂液等のいずれであってもよ
く、所定に加圧されて液供給通路１２の入口１２ａから
供給される。
は、主剤と硬化剤の混合樹脂液等のいずれであってもよ
く、所定に加圧されて液供給通路１２の入口１２ａから
供給される。
【００２２】以下、液供給通路１２が連通されている開
口下端１１から液溢流体９内に流入し、開口上端１０か
ら溢流する。すなわち、樹脂液が、液溢流体９の外周面
上を、薄膜を形成するように流下する。
口下端１１から液溢流体９内に流入し、開口上端１０か
ら溢流する。すなわち、樹脂液が、液溢流体９の外周面
上を、薄膜を形成するように流下する。
【００２３】一方、超音波発振器１４により液溢流体９
内の樹脂液に超音波が放射される。なお、超音波発振器
１４は、液液溢流体９内に突出されている振動子から超
音波を放射する。
内の樹脂液に超音波が放射される。なお、超音波発振器
１４は、液液溢流体９内に突出されている振動子から超
音波を放射する。
【００２４】その為、樹脂液中の気泡が強制的に上方へ
移動されて樹脂液が開口上端１０から溢流する際におい
て有効に液中から脱泡され、更に、これに続く薄膜流下
中において樹脂液中から完全に脱泡することができ、従
って、脱泡斑を生じさせないように迅速に脱泡すること
ができる。
移動されて樹脂液が開口上端１０から溢流する際におい
て有効に液中から脱泡され、更に、これに続く薄膜流下
中において樹脂液中から完全に脱泡することができ、従
って、脱泡斑を生じさせないように迅速に脱泡すること
ができる。
【００２５】また、液溢流体９の外周面上を流下して来
る脱泡し得た樹脂液は、液排出管路１３を経て出口１３
ａに螺結されている管路（図示されていない）へ流れて
行くから連続的に脱泡することができ、従って、脱泡し
得た樹脂液を貯留しないで、そのまま後工程へ送ること
ができるから、前後工程間の樹脂液移送管路に装着する
のに好適な小形化された脱泡装置を得ることができる。
る脱泡し得た樹脂液は、液排出管路１３を経て出口１３
ａに螺結されている管路（図示されていない）へ流れて
行くから連続的に脱泡することができ、従って、脱泡し
得た樹脂液を貯留しないで、そのまま後工程へ送ること
ができるから、前後工程間の樹脂液移送管路に装着する
のに好適な小形化された脱泡装置を得ることができる。
【００２６】なお、液溢流体９は、上下両端が開口され
た中空体であればよく、その形状はいかなるものであっ
てもよいが、円筒体よりも円錐筒体が好ましい。何故な
らば、そのような形態の液溢流体９を装着（大径側を下
側に配するように装着）することにより、樹脂液が、そ
の上端開口から溢流して薄膜流下する距離を、円筒体を
装着した場合よりも、より長くすることができるので、
真空雰囲気との接触を長く保つことができて脱泡効果を
高めることができるからである。
た中空体であればよく、その形状はいかなるものであっ
てもよいが、円筒体よりも円錐筒体が好ましい。何故な
らば、そのような形態の液溢流体９を装着（大径側を下
側に配するように装着）することにより、樹脂液が、そ
の上端開口から溢流して薄膜流下する距離を、円筒体を
装着した場合よりも、より長くすることができるので、
真空雰囲気との接触を長く保つことができて脱泡効果を
高めることができるからである。
【００２７】また、減圧容器１の底は、水平底よりも、
脱泡済樹脂を強制的に液排出通路１３へ送り込むことが
できるように傾斜底に設けるのが好ましい。また、超音
波放射に際し、粘度の高い樹脂（例えば、主剤）に対し
ては、一般に、６００Ｗ〜１２００Ｗのパワーが必要と
されると共に粘度の低い樹脂（例えば、硬化剤）に対し
ては、３０μｍ以上の振幅が必要とされる。なお、減圧
容器内の真空は、１Ｔｏｒｒ以上が必要とされ、かつ、
樹脂液の温度は、６０℃〜７０℃が好ましい。
脱泡済樹脂を強制的に液排出通路１３へ送り込むことが
できるように傾斜底に設けるのが好ましい。また、超音
波放射に際し、粘度の高い樹脂（例えば、主剤）に対し
ては、一般に、６００Ｗ〜１２００Ｗのパワーが必要と
されると共に粘度の低い樹脂（例えば、硬化剤）に対し
ては、３０μｍ以上の振幅が必要とされる。なお、減圧
容器内の真空は、１Ｔｏｒｒ以上が必要とされ、かつ、
樹脂液の温度は、６０℃〜７０℃が好ましい。
【００２８】
【発明の効果】上述の如く、請求項１に記載の発明によ
ると、樹脂液の脱泡装置に関し、脱泡斑を生じさせない
で連続的に脱泡することができる装置を得ることができ
る。
ると、樹脂液の脱泡装置に関し、脱泡斑を生じさせない
で連続的に脱泡することができる装置を得ることができ
る。
【００２９】また、請求項２に記載の発明によると、樹
脂液の脱泡装置に関し、請求項１に記載の発明による上
記効果に加えて、一段と効果的に、かつ、迅速に脱泡す
ることができる装置を得ることができる。
脂液の脱泡装置に関し、請求項１に記載の発明による上
記効果に加えて、一段と効果的に、かつ、迅速に脱泡す
ることができる装置を得ることができる。
【００３０】また、請求項３に記載の発明によると、樹
脂液の脱泡装置に関し、請求項２に記載の発明による上
記効果に加えて、前後工程間の樹脂液移送管路に装着す
るのに好適な小形化された装置を得ることができる。
脂液の脱泡装置に関し、請求項２に記載の発明による上
記効果に加えて、前後工程間の樹脂液移送管路に装着す
るのに好適な小形化された装置を得ることができる。
【図１】樹脂液の脱泡装置の縦断面図である。
１ 減圧容器 ４ ベースフランジ ５ 脱気口 ９ 液溢流体 １０ 開口上端 １１ 開口下端 １２ 液供給通路 １３ 液排出通路 １４ 超音波発振器
Claims (3)
- 【請求項１】 脱泡しようとする樹脂液を供給する為の
液供給通路及び脱泡し得た樹脂液を排出する為の液排出
通路を有し、かつ、真空脱気される減圧容器と、前記液
供給通路から前記減圧容器内へ供給される樹脂液に超音
波を放射する超音波発振器とを備えていることを特徴と
する樹脂液の脱泡装置。 - 【請求項２】 減圧容器が、液供給通路からの樹脂液
を、その開口下端から流入せしめて開口上端より溢流さ
せ得るように内設された液溢流体を有していると共に超
音波発振器が、前記開口下端側から超音波を放射し得る
ように装着されていることを特徴とする請求項１に記載
の樹脂液の脱泡装置。 - 【請求項３】 液溢流体が、減圧容器のベースフランジ
に装着され、また、超音波発振器が、液溢流体内に突出
せしめられるように前記ベースフランジを貫通して装着
されていると共に液供給通路及び液排出通路が、前記ベ
ースフランジに穿設されていることを特徴とする請求項
２に記載の樹脂液の脱泡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28761896A JP3594423B2 (ja) | 1996-10-08 | 1996-10-08 | 樹脂液の脱泡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28761896A JP3594423B2 (ja) | 1996-10-08 | 1996-10-08 | 樹脂液の脱泡装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10113504A true JPH10113504A (ja) | 1998-05-06 |
| JP3594423B2 JP3594423B2 (ja) | 2004-12-02 |
Family
ID=17719601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28761896A Expired - Fee Related JP3594423B2 (ja) | 1996-10-08 | 1996-10-08 | 樹脂液の脱泡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3594423B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007261015A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Toray Ind Inc | 繊維強化複合材料の製造方法 |
| CN100429060C (zh) * | 2006-08-18 | 2008-10-29 | 宁波南车时代传感技术有限公司 | 振动式真空灌胶台 |
| JP2011156866A (ja) * | 2010-01-28 | 2011-08-18 | Siemens Ag | 翼の製造を改良するための方法及び装置 |
| JP2013536753A (ja) * | 2010-08-30 | 2013-09-26 | ヴォッベン プロパティーズ ゲーエムベーハー | 流体脱気装置及び流体の脱気方法 |
| KR20150141137A (ko) * | 2014-06-09 | 2015-12-17 | 스미토모 고무 고교 가부시키가이샤 | 에어리스 타이어의 스포크 주형 장치 |
-
1996
- 1996-10-08 JP JP28761896A patent/JP3594423B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US9669331B2 (en) | 2010-08-30 | 2017-06-06 | Wobben Properties Gmbh | Fluid degassing device and method for degassing fluids |
| KR20150141137A (ko) * | 2014-06-09 | 2015-12-17 | 스미토모 고무 고교 가부시키가이샤 | 에어리스 타이어의 스포크 주형 장치 |
| JP2015231681A (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-24 | 住友ゴム工業株式会社 | エアレスタイヤのスポーク注型装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3594423B2 (ja) | 2004-12-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040511 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040601 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040727 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040830 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20040831 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070910 |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080910 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |