JPH10111526A - 2次光非線形性を有するシリカ系ガラス材料及びその製造方法 - Google Patents

2次光非線形性を有するシリカ系ガラス材料及びその製造方法

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JPH10111526A
JPH10111526A JP8264183A JP26418396A JPH10111526A JP H10111526 A JPH10111526 A JP H10111526A JP 8264183 A JP8264183 A JP 8264183A JP 26418396 A JP26418396 A JP 26418396A JP H10111526 A JPH10111526 A JP H10111526A
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optical nonlinearity
optical
sio
electric field
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Takumi Fujiwara
巧 藤原
Masahide Takahashi
雅英 高橋
Akira Ikushima
明 生嶋
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Toyota Gauken
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Toyota Motor Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 印加電界を低くして、十分な光非線形性を有
するSiO2系ガラス材料を得る。 【解決手段】 コア部10aにおけるGe濃度を12モ
ル%を超え、30モル%以下にする。また、紫外線励起
ポーリングの際の印加電圧を1×105〜8×105V/
cmの範囲にする。これによって、SiO2系ガラス材
料に、非線形光学定数dとして2.5pm/V以上の光
非線形性を付与する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、2次光非線形性を
有するSiO2(シリカ)系ガラス材料及びその製造方
法、特にGe(ゲルマニウム)の含有量に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、大容量の情報伝達の必要性はます
ます高まっており、光ファイバなど光を利用する情報伝
達が広く利用されるようになってきている。このような
情報伝達システムにおいては、各種の光機能素子が必要
であり、これら光機能素子を形成するには、2次光非線
形性を有する材料が重要である。
【0003】このような2次光非線形性を有する材料と
しては、LiNbO3等の結晶材料が広く利用されてい
るが、光ファイバとの安定な接続、低い伝送損失、低コ
スト、広い透過波長域等の点を考慮すると、ガラス材料
を用いたいという要求がある。一般に、ガラス材料は2
次光非線形性を有さないため、これを利用することはで
きない。しかし、ガラス材料に2次の光非線形性を付与
する方法についての提案もある。
【0004】例えば、WO96/16344号公報に
は、紫外線励起ポーリングにより、SiO2系ガラス材
料に2次光非線形性を付与することが提案されている。
この公報には、Geを12モル%添加したSiO2系ガ
ラス材料に対し、8×105V/cmの電界を印加しな
がら紫外線励起ポーリングを行い、電気光学係数rの大
きさで6pm/Vの2次光非線形性が付与できることが
記載されている。なお、上記公報の請求の範囲には、紫
外線励起ポーリングの際の電界の大きさとして、104
〜107V/cmという数値が上げられており、実施例
では8×105V/cmが採用されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ここで、電気光学係数
rと2次の光非線形感受率χ(2)との間には、 r=−(2χ(2))/n4 ・・・ (1) という式(1)の関係があることが知られている。ここ
で、nは屈折率である。また、SHG(第2高調波)素
子等の波長変換において通常用いられるd定数は、d=
(1/2)χ(2)で表される。
【0006】しかし、上記(1)式は、実際に測定され
たrとdの関係と必ずしも合致しない。表1に種々の非
線形光学物質(酸化物)について測定されたr,dの実
測値、および実測されたrから、上記の関係式を用いて
計算したdtの値を示す。この表からも、実測値と計算
値が必ずしも一致していないことが理解される。なお、
表1は、A.Yariv and P.Yeh, “Optical Waves in Crys
tals" (John Wiley & Sons, New York) p.230, P.513
等のデータによるものであり、大きさのみを示し、符合
は考慮していない。
【0007】
【表1】 これは、rとdでは非線形性を生じさせる電場の周波数
が著しく異なるためと考えられる。すなわち、dは光の
周波数(〜THz)領域の非線形応答であり、一方rは
直流領域の非線形応答であることによる。
【0008】そこで、光非線形性を生じさせる電場の周
波数応答性を加味し、 d=(1/5)|n4×r/4| ・・・ (2) という(2)式を経験的に導き出した。この(2)式を
用いることで、比較的実測値と一致したd定数が得られ
る。
【0009】この式を用い、前記公報の紫外線ポーリン
グにより得られた電気光学係数の値r=6pm/Vか
ら、Ge添加SiO2系ガラス材料の屈折率をn=1.
48としてdを計算すると、d=1.4pm/V程度と
なる。水晶のd定数dqzは0.5pm/Vであり、前記
公報に記載のGe添加SiO2系ガラス材料のd/dqz
=2.8程度であると考えられる。
【0010】このd/dqz=2.8という値は、実用的
な光機能デバイスとして多く使用されている結晶質材料
のLiNbO3のd/dqz=6.4に比べかなり小さ
い。従って、上記公報に記載されたGe添加SiO2
ガラス材料は、光機能デバイスに利用するには、その2
次光非線形性が十分でないといえる。
【0011】従って、さらに高い2次光非線形性を有す
るガラス材料が望まれれる。さらに、上記公報において
実際に利用している紫外線励起ポーリングの際の印加電
界は、8×105V/cmである。Ge添加SiO2系ガ
ラスにおける絶縁破壊は、106V/cm程度で生起さ
れるため、上記電界は余裕が少なく、絶縁破壊を生じる
おそれがある。そこで、印加電界をなるべく低くしたい
という要求もある。
【0012】本発明は、上記課題に鑑みなされたもので
あり、結晶質材料であるLiNbO3と同等の電気光学
係数を有し、実用的な結晶質材料と代替し得るような大
きな光非線形性を有するSiO2系ガラス材料を提供す
ること及びそのための製造方法を提供することを目的と
する。さらに、比較的低い印加電界の紫外線励起ポーリ
ング処理で、十分な2次光非線形性を有する材料を得る
ことを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は、2次光非線形
性を有する部位を含むSiO2系ガラス材料であって、
2次光非線形性を有する部位のGe濃度が12モル%を
超え30モル%以下であり、かつ2次光非線形性の大き
さが非線形光学定数dとして2.5pm/V以上である
ことを特徴とする。
【0014】また、本発明は、上記材料において、Ge
濃度が15モル%以上であることを特徴とする。
【0015】また、本発明は、上記材料において、Si
2系ガラス材料が光ファイバまたは平面導波路であ
り、2次光非線形性を有する部位が光ファイバまたは平
面導波路のコア部であることを特徴とする。
【0016】また、本発明は、2次光非線形性を有する
部位を含むSiO2系ガラス材料の製造方法であって、
Ge濃度が12モル%を超え30モル%以下である部位
を含むSiO2系ガラス材料を準備し、該部位に電界を
付与しながら紫外線を照射する紫外線励起ポーリング処
理を施し、これによって、該部位に2次光非線形性を付
与することを特徴とする2次光非線形性を有する。
【0017】また、上記製造方法において、上記Ge濃
度が15モル%以上であること特徴とする。
【0018】また、本発明は、上記製造方法において、
上記電界の大きさが1×105V/cm以上、8×105
V/cm未満であることを特徴とする。
【0019】このように、本発明においては、SiO2
系ガラス材料におけるGe濃度を12モル%を超えるも
のとする。そこで、これを紫外線励起ポーリング処理し
た際に、印加電界が1×105V/cm以上、8×105
V/cm未満の範囲であっても、電気光学係数として、
2.5pm/V以上の2次光非線形性をSiO2系ガラ
ス材料に付与することができる。従って、絶縁破壊を防
止しつつ、十分な2次光非線形性を有するSiO2系ガ
ラス材料を得ることができる。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、本発明に好適な実施の形態
(以下、実施形態という)について、図面に基づいて説
明する。
【0021】図1、2は、本発明に係るSiO2系ガラ
ス材料を用いた光機能素子の構造を示す概略構成図であ
る。光ファイバ10は、シリカガラス(SiO2 )を円
柱状に延伸した構成をしており、Ge(ゲルマニウム)
等がドープされ、屈折率が調整された中心部が光導通用
のコア部10a、周辺部がクラッド部10bとして形成
されている。
【0022】また、クラッド部10bには、一対のサイ
ドホール12a、12bが形成されており、ここにアル
ミニウム線材からなる電極14a、14bが挿入配置さ
れている。図から明らかなように、電極14a、14b
は、コア部10aを挟んで対向して設けられている。
【0023】ここで、コア部10aは、2次の光非線形
性の大きさが、2.5pm/V以上となるように形成さ
れている。このために、コア部10aのGe濃度が12
モル%を超えるように設定されている。すなわち、この
ようなGe濃度とすることによって、紫外線光ポーリン
グにより付与される2次の光非線形性の大きさを2.5
pm/V以上という大きなものにできる。なお、光ファ
イバ10の線引き加工を可能とするため、コア部10a
のGe濃度は、30モル%以下に設定されている。
【0024】「製造方法」このようなグレーティング素
子は、次のようにして製造する。まず、サイドホール1
2a、12b内に電極14a、14bが挿入された光フ
ァイバを用意する。この光ファイバ10の中心部には、
Geが12モル%を超え、30モル%未満となるように
添加されている。なお、光ファイバ10は、例えばプリ
フォームを順次積層形成する際のGeの添加量を異なら
せてコア相当部分を形成した後、加熱状態で線引きして
形成する。
【0025】光ファイバ10の直径は200μm、サイ
ドホール12a、12b及び電極14a、14bの直径
はほぼ40μm、電極14a、14bの長さは4cm程
度、電極14a、14bの間隔は8〜10μm、光ファ
イバの長さは10cm程度とする。
【0026】ここで、電極14a、14bは、図1に示
すように、異なる端からサイドホール12a、12bに
挿入されており、その端部が異なる方向にのみ突出して
いる。これは、電極14a、14b間での放電を防止す
るためである。空気の絶縁破壊電圧は、約104V/c
mであり、それより大きな電界をコア部10aに印加す
るためには、空気が介在する経路をできるだけ長くとる
必要がある。図1のような電極14a、14bの構成に
よって、コア部10aに高い電界印加が達成できる。
【0027】そして、電極14a、14b間に電圧を印
加する。この電圧は、約700〜800Vとする。これ
によって、コア部10aに、1×105〜8×105V/
cmの電界が印加される。この状態で、ArFエキシマ
レーザ(波長193nm)をパルスとして照射し、コア
部10aに紫外線を照射する。このレーザのエネルギー
密度は、36mJ/cm2 程度、パルスの繰り返し間隔
は10pps(パルス/秒)程度、照射時間は10〜3
0分程度とする。
【0028】このような紫外線ポーリングによって、コ
ア部10aに2.5pm/V以上という大きな2次光非
線形を付与することができる 「Ge濃度及び電界の大きさについて」ここで、本実施
形態においては、コア部10aにおけるGe濃度を12
モル%を超えるように設定している。これは、次のよう
な理由による。すなわち、本発明者らの研究によれば、
紫外線励起ポーリングにおいて、印加する電界の大きさ
が大きくなるほど、発現する光非線形性が大きくなる。
しかしながら、図3に示すように、ある程度以上電界が
大きくなるとその効果が飽和し、発現する光非線形性は
それ以上大きくならなくなる。
【0029】この光非線形性を飽和させる電界の大きさ
は、Ge濃度に依存する。すなわち、Ge濃度が高くな
るほど、低電界で発現する非線形性が飽和する。Ge濃
度12モル%においては、電界106V/cmで、まだ
飽和しておらず、より高い電場が必要と考えられる。し
かし、106V/cmより高い電界を印加すると材料
(SiO2ガラス)の絶縁破壊が生じる。そこで、印加
する電界は、これ以下にしたいという要求がある。
【0030】従来は、このような関係についての認識が
全くなかったため、なるべく高い電界の印加で、なるべ
く大きな光非線形性を付与しようとしていた。本発明
は、Ge濃度を最適なものに設定することで、材料に最
大限の光非線形性を付与したことを特徴とする。従来例
の欄において示した公報に記載されている材料は、光非
線形性が未だ飽和しておらず、そのため十分な光非線形
性を有していない。
【0031】ここで、Ge濃度は12モル%を超えるこ
とが好ましい。Ge濃度が12モル%以下であると、絶
縁破壊が生じないような範囲の電界印加では、紫外線励
起ポーリングにより生じる光非線形性の大きさが十分飽
和しないからである。さらに、Ge濃度を15モル%以
上とすれば、絶縁破壊が生じないような範囲の電界印加
による紫外線光ポーリングによって、確実に飽和した光
非線形性を得ることができる。このため、Ge濃度を1
5モル%以上とすることが特に好ましい。
【0032】また、Ge濃度が30モル%を超えると、
Geを含むSiO2ガラスをコアとする光ファイバの線
引きが困難になる。従って、Ge濃度は30モル%以下
とすることが好ましい。
【0033】さらに、紫外線励起ポーリングの印加電界
は、上述のような範囲のGe濃度に対し、1×105
/cm以上とすることが好ましい。これ以下の電界で
は、発現される光非線形性が飽和しないと考えられるか
らである。さらに、この電界は、8×105V/cm以
下とすることが好ましい。これは、これ以上大きい電界
では、絶縁破壊が起こる確率が高くなるからである。
【0034】「その他」上記例では、光ファイバ10の
コア部10aに光非線形性を付与した。このような構成
によれば、電極14a、14bに所定の電界を付与する
ことで、コア部10aの特性を変更することができ、光
スイッチングなどが行える。また、特願平8−2123
23号、8−244966号等に提案したように、コア
部10aに所定間隔をおいて繰り返し光非線形性を付与
した部分を形成することでグレーディング部を形成し、
グレーディング素子や波長スイッチを形成したり、特願
平8−244965号に提案したように、平面導波路を
形成したりする場合に、本発明のような材料を利用する
ことが好ましい。また、SHG素子など各種の光機能素
子に好適に利用可能である。さらに、本発明の電極入り
の光ファイバは、特願平8−244964号に示したよ
うに電極をガラス材料と共に、線引きすることも好まし
い。また、GeはGeO2の形で添加することも好まし
い。
【0035】
【実施例】図5に示す大きさ10×10×1mmのSi
2系ガラス製のテストピース20を用意した。このテ
ストピース20は、Ge濃度15モル%である。
【0036】このテストピース20には、幅0.2mm
(大きさ10mm)の一対の電極ガイド溝22a,22
bが平行に形成されている。そして、この一対の電極ガ
イド溝22a,22bに一対の電極板24a,24b
(アルミニウム製)を挿入し、この一対の電極板24
a,24b間に所定の電圧を印加し、電極24a,24
b間に存在するガラス材料に所定の電界を印加した。こ
こで、一対の電極板24a,24b間の距離は1mmに
設定した。なお、実際には、図6に示すように、テスト
ピース20を絶縁材からなる定盤30上に載置し、テス
トピース20の四辺の周囲を絶縁性グリースで覆った。
また下方から挿入する電極板24bは、定盤30に設け
たスリットを介し挿入し、この下方から挿入する電極板
24a,24bは、弾性接着剤34で固定した。なお、
このような材料によって、平面導波路を容易に得ること
ができる。
【0037】このような材料において、電極板24a,
24b間に印加する電圧を変更し、電極間のガラス材料
に種々の電界を印加すると共に、ここに紫外線を照射し
て紫外線励起ポーリング処理を行った。そして、得られ
たガラス材料の光非線形性を測定した。この結果をd/
qzで表したものが図3である。
【0038】図から明らかなように、Ge濃度15モル
%のSiO2系ガラスでは、電界1×105V/cmで光
非線形性がほぼ飽和する。なお、この図においては、G
e濃度12モル%において紫外線光ポーリングを行った
上記公報に記載のもの(従来例)も併せて示してある。
従来例では、高電界を印加しているにも拘わらず、発現
された光非線形性は本発明のものより小さいことが分か
る。
【0039】また、図4には、光非線形性の飽和値をG
e濃度に対してプロットしたものを示す。このように、
光非線形性の大きさは、Ge濃度の大きさと共に増大す
る。上記従来例では、Ge濃度が低いため、8×105
V/cmという高い電界を印加しても未だ発現する光非
線形性が飽和していないものと考えられる。
【0040】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
SiO2系ガラス材料のGe濃度を比較的高濃度にする
ことによって、紫外線励起ポーリングにおける印加電界
を比較的低くしても、十分な光非線形性を発現できる。
従って、絶縁破壊を確実に防止して、結晶材料と同等の
光非線形性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施形態の構成を示す正面断面図である。
【図2】 実施形態の構成を示す側面断面図である。
【図3】 印加電界と発現される光非線形性の関係を示
す図である。
【図4】 Ge濃度と発現される光非線形性の関係を示
す図である。
【図5】 実験に用いた装置の構成を示す斜視図であ
る。
【図6】 実験に用いた装置の概略正面図である。
【符号の説明】
10 光ファイバ、12a,12b サイドホール、1
4a,14b 電極、20 テストピース、22a,2
2b 電極ガイド溝、24a,24b 電極板。
フロントページの続き (72)発明者 生嶋 明 愛知県名古屋市天白区久方2丁目12番地1 学校法人トヨタ学園内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 2次光非線形性を有する部位を含むSi
    2系ガラス材料であって、 2次光非線形性を有する部位のGe濃度が12モル%を
    超え30モル%以下であり、かつ2次光非線形性の大き
    さが非線形光学定数dとして2.5pm/V以上である
    ことを特徴とする2次光非線形性を有するSiO2系ガ
    ラス材料。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の材料であって、 上記Ge濃度が15モル%以上であることを特徴とする
    2次光非線形性を有するSiO2系ガラス材料。
  3. 【請求項3】 請求項1または2に記載の材料におい
    て、 SiO2系ガラス材料が光ファイバまたは平面導波路で
    あり、2次光非線形性を有する部位が光ファイバまたは
    平面導波路のコア部であることを特徴とする2次光非線
    形性を有するSiO2系ガラス材料。
  4. 【請求項4】 2次光非線形性を有する部位を含むSi
    2系ガラス材料の製造方法であって、 Ge濃度が12モル%を超え30モル%以下である部位
    を含むSiO2系ガラス材料を準備し、 該部位に電界を付与しながら紫外線を照射する紫外線励
    起ポーリング処理を施し、これによって、該部位に2次
    光非線形性を付与することを特徴とする2次光非線形性
    を有するSiO2系ガラス材料の製造方法。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の製造方法において、 上記Ge濃度が15%以上であること特徴とする2次光
    非線形性を有するSiO2系ガラス材料の製造方法。
  6. 【請求項6】 請求項4または5に記載の製造方法にお
    いて、 上記電界の大きさが1×105V/cm以上、8×105
    V/cm未満であることを特徴とする2次光非線形性を
    有するSiO2系ガラス材料の製造方法。
JP8264183A 1996-10-04 1996-10-04 2次光非線形性を有するシリカ系ガラス材料及びその製造方法 Pending JPH10111526A (ja)

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