JPH10109411A - インクジェットプリンタヘッドと圧電基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 インクジェットプリンタヘッドと圧電基板の
製造方法に関し、インクジェットプリンタヘッドを小形
化する。 【解決手段】 一対の圧電基板22と23を接合し、圧電基
板23にインク流路溝12と圧電駆動電極16を形成し、圧電
基板23にインク流路溝12に圧電駆動電極16を形成し、駆
動電極16がインク流路溝12の上下を挟み、さらにインク
流路溝12の左右を駆動電極で挟む。グリーンシートを重
ねて焼成した圧電基板は、大判のグリーンシートを重ね
て焼成したのち、グリーンシートに設けたスルーホール
の内壁に導体層を形成し、しかるのち複数のスルーホー
ルの整列線に沿って分割することで、スルーホール内壁
の導体層が外部接続端子となるようにした構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットプリ
ンタに使用するインクジェットヘッドに関する。最近の
インクジェットプリンタは、高精細印刷を可能にするた
め、インク流路が独立して可動する小形軽量構成のもの
が求められるようになった。本発明は、かかるインク流
路内圧力を圧電素子で可変にするインクジェットヘッド
を改善したものである。

【０００２】

【従来の技術】図９はインクジェットプリンタの概略を
示す斜視図であり、インクジェットプリンタ１は、記録
媒体３を送出させるプラテンローラ２、プラテンローラ
２に平行する２本のステーシャフト４ａと４ｂ、ステー
シャフト４ａと４ｂに案内されてプラテンローラ２の長
さ方向に往復動するキャリッジ５、キャリッジ５に搭載
されたインクジェットヘッドユニット６を備え、インク
ジェットヘッドユニット６から記録媒体３に飛翔させる
インクを補給するため、インクジェットヘッドユニット
６とインク溜まり７とは、可撓性チューブ８によって接
続されている。

【０００３】かかるインクジェットプリンタ１におい
て、インクジェットヘッドユニット６からインクを飛翔
させる手段としては、ノズル内に埋め込んだ発熱体に通
電し、インク中にバブルを発生させたときの体積変化を
利用するバブルジェット方式と、圧電体素子に通電して
発生する圧力波を利用するインパクト方式が注目されて
いる。

【０００４】インパクト方式の圧電インクジェットヘッ
ドとしては、（１）圧電駆動電極を内蔵する圧電体の表
面にインク流路溝を形成し、その溝をガラスにてなる上
蓋で塞いだもの、（２）圧電駆動電極を内蔵する圧電体
の表面に、インク流路溝を形成した上蓋を被せたもの
（流路板方式）、（３）上下に貫通する溝を形成した流
路板の上面と下面に、圧電駆動電極を内蔵する圧電体を
貼着したものが、一般に知られている。

【０００５】図１０は流路板方式の圧電インクジェット
ヘッドの分解模式図、図１１は図１０に示す圧電インク
ジェットヘッドの断面図、図１２は圧電インクジェット
ヘッドにおける干渉の説明図、図１３はインク流路間の
干渉防止型圧電インクジェットヘッドの説明図である。

【０００６】図１０において、インクジェットヘッドユ
ニット６に組み込まれるインクジェットヘッド９は、圧
電基板１０と複数（図は４本）のインク流路溝１２を形
成したインク流路板１１を接合し、その前面には複数の
インク流路溝１２に連通する複数（図は４個）のノズル
１３が形成されたノズル板１４が接合され、インク流路
溝１２は図示しないインク供給路によってインク供給口
１５に連通し、インク供給口１５に可撓性チューブ８
（図９参照）の一端が接続されるようになる。

【０００７】図１１において、圧電基板１０には、イン
ク流路板１１のインク流路溝１２に対応し、圧電駆動電
極１６が形成されている。２層以上（図は３層）の電極
にてなる圧電駆動電極１６は、電極間に所定の電圧を印
加するとその間の圧電層が図の上方向に伸びてインク流
路溝１２を圧縮し、インク流路溝１２内インクの一部が
ノズル１３から記録媒体３（図９参照）に向けて飛翔す
るようになる。

【０００８】複数の圧電駆動電極１６とその電極１６に
対応する複数のインク流路溝１２が形成された前記
（１）方式のインクジェットヘッド９において、精細化
印刷用では、圧電駆動電極１６およびインク流路溝１２
を近接させる必要が生じる。

【０００９】そこで、所定の駆動電極１６、例えば図１
２のインクジェットヘッド９において、左から２番目の
駆動電極１６に駆動電圧を印加すると、圧電基板１０は
図１２に破線１７で示すように、駆動電圧が印加された
部分が上方に伸び、所定のインク流路溝１２_-1の容積が
狭められると共に、隣接するインク流路溝１２_-2の容積
も僅かながら圧縮されるようになる。

【００１０】隣接インク流路溝１２_-2の圧縮を一般に干
渉と呼んでおり、その干渉によるクロストークをなくす
方法として、図１３に示す如く、隣接するインク流路溝
１２の間にスリット１８を、圧電基板１０に設けたもの
が知られている。幅が１０〜８０μｍのスリット１８
は、一般にダイシングソーで機械的に切削している。

【００１１】一般に圧電基板１０とインク流路板１１の
接合は、圧電基板１０の表面に、ドライフィルムと呼
ばれる光硬化型接着剤のフィルムをラミネートするまた
は、液状の光硬化型接着剤を塗布して接着剤の膜を形成
し、そのドライフィルムまたは接着剤の膜に所定強
度、例えば１００ｍｊ／ｃｍ² 程度の紫外線を照射し硬
化させて接着層とし、その接着層にインク流路板１１
を重ね、５００ＫＰａ程度の圧力，１５０℃，１時間程
度で熱圧着させている。

【００１２】なお、バブルジェット方式より高精細化が
可能なインパクト方式の圧電インクジェットヘッドにお
いて、インク流路板にインク流路溝を形成した前記方式
の他に、圧電駆動電極を形成した圧電基板にインク流路
溝を形成したもの、上下に貫通する溝を形成したインク
流路板の両面に、圧電駆動電極を形成した圧電基板を接
合したものもある。

【００１３】図１４は従来の圧電基板に使用するグリー
ンシートの説明図、図１５は駆動電極を内蔵する従来の
圧電基板の説明図である。図１４において、従来の圧電
基板１０の製造には、圧電粉末よりなるグリーンシート
１０_-1と、グリーンシート１０_-1の表面に複数（図は４
本）の駆動電極パターン１６_-1を形成したグリーンシー
ト１０_-2と、グリーンシート１０_-1の表面に駆動電極パ
ターン１６_-2を形成したグリーンシート１０_-3を使用す
る。

【００１４】グリーンシート１０_-1は、圧電粉末を含む
スラリーからドクターブレード法によって作成し、グリ
ーンシート１０_-2の複数の駆動電極パターン１６_-1は、
中間部から一方の端部（前端部）までがインク流路板の
インク流路溝に対応するピッチで形成されるのに対し、
中間部から他方の端部（後端部）までは、適当な間隔で
離れるように形成されている。

【００１５】グリーンシート１０_-3の駆動電極パターン
１６_-2は、中間部から一方の端部（前端部）までが複数
の駆動電極パターン１６_-1に対応する幅広に形成され、
中間部から他方の端部（後端部）までは、駆動電極パタ
ーン１６_-1の他端部から適当な間隔で離れるように形成
されている。

【００１６】図１５（ａ）において、圧電基板１０は、
複数枚（図は８枚）のグリーンシート１０_-1を重ね、そ
の上にグリーンシート１０_-3と１０_-2を交互に複数枚
（図は４枚）ずつ重ね、その上に複数枚（図は２枚）の
グリーンシート１０_-1を重ねたものを焼成してなる。

【００１７】従って、圧電基板１０の前端面で駆動電極
パターン１６_-1の端部は、図１５（ａ）に示す如く、イ
ンク流路板のインク流路溝に対応する狭ピッチで整列す
るのに対し、圧電基板１０の後端面では図１５（ｂ）に
示す如く、駆動電極パターン１６_-1および１６_-2の端部
は、同一順位例えば図１３のグリーンシート１０_-2にお
いて右側から同じ順番の駆動電極パターン１６_-1の後端
部は上下方向に揃い、順番の異なる駆動電極パターン１
６_-1の後端部はそれぞれ左右方向に離れて露呈する。

【００１８】そこで、図１５（ｃ）に示す如く、圧電基
板１０の後端面において上下方向に揃う駆動電極パター
ン１６_-1および１６_-2の露呈端を、導電端子１９_-1〜１
９_-5で接続し、圧電基板１０が完成する。

【００１９】かかる圧電基板１０は、複数個の圧電基板
１０を取得可能な大形基板を焼成後に切断し、しかるの
ち、一般に印刷手段を利用して導電端子１９_-1〜１９_-5
を形成することになる。

【００２０】即ち、従来の圧電基板１０では導電端子１
９_-1〜１９_-5形成のため、駆動電極パターン１６_-1およ
び１６_-2は、圧電基板１０の後端面で離す必要があっ
た。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
複数の圧電駆動電極を同一圧電素子基板に形成したと
き、インク流路および圧電駆動電極を接近させるとクロ
ストークが生じ、そのクロストークの抑制が流路板方式
の実用化のための大きな障害となっていた。

【００２２】そして、クロストークをなくす従来方法
は、隣接する圧電駆動電極の間にスリットを形成する構
成であり、機械加工によるスリットはその形成に長時間
かかり、かつ、スリット形成位置を決める位置決めが煩
わしいため、量産に向かないという問題点があった。

【００２３】さらに、従来の圧電基板は圧電駆動電極を
駆動回路に接続する電極端を離す必要から大形化し、圧
電基板にガラス等にてなるインク流路板または蓋板を接
合する従来構成は、部品点数が多くなってコスト高とな
り、小形化し難いという問題点もあった。

【００２４】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、クロス
トークによる障害なしにインク流路を接近可能とし、イ
ンクジェットプリンタヘッドを低コストで小形化するこ
とである。

【００２５】上記目的を達成する本発明の第１のインク
ジェットプリンタヘッドは、インク流路溝が形成された
第１の圧電基板の下面に、第２の圧電基板の上面を接合
し、該第１の圧電基板内には該インク流路溝の底面に対
応する第１の圧電駆動電極が形成され、該第２の圧電基
板内には該インク流路溝に対応する第２の圧電駆動電極
が形成されたインクジェットプリンタヘッドであって、
該第１の圧電基板が、圧電粉末よりなる複数枚の第１の
グリーンシートと、該第１のグリーンシートの所定部に
該第１の圧電駆動電極の電極パターンが形成された複数
枚の第２のグリーンシートと、該第１のグリーンシート
の所定部に該インク流路溝となる切り欠きを形成した複
数枚の第３のグリーンシートを重ねた焼成処理で一体化
させたものであり、該第２の圧電基板が、複数枚の該第
１のグリーンシートと、該第１のグリーンシートの所定
部に該第２の圧電駆動電極の電極パターンが形成された
複数枚の第４のグリーンシートを重ねた焼成処理で一体
化させたものである。

【００２６】上記目的を達成する本発明の第２のインク
ジェットプリンタヘッドは、インク流路溝が形成された
第１の圧電基板の下面に、第２の圧電基板の上面を接合
し、該第１の圧電基板内には、該インク流路溝の底面に
対応する第１の圧電駆動電極と、該インク流路溝の側方
に位置する第３の圧電駆動電極が形成され、該第２の圧
電基板内には、該インク流路溝に対応する第２の圧電駆
動電極が形成されたジェットプリンタヘッドであって、
該第１の圧電基板が、圧電粉末よりなる複数枚の第１の
グリーンシートと、該第１のグリーンシートの所定部に
該第１の圧電駆動電極の電極パターンが形成された複数
枚の第２のグリーンシートと、該第１のグリーンシート
の所定部に該インク流路溝となる切り欠きおよび該第３
の圧電駆動電極の電極パターンが形成された複数枚の第
３のグリーンシートを重ねた焼成処理で一体化させたも
のであり、該第２の圧電基板が、複数枚の該第１のグリ
ーンシートと、該第１のグリーンシートの所定部に該第
２の圧電駆動電極の電極パターンが形成された複数枚の
第４のグリーンシートを重ねた焼成処理で一体化させた
ものである。

【００２７】上記目的を達成する本発明の第３のインク
ジェットプリンタヘッドは、上面にインク流路溝が形成
された複数の第１の圧電基板を積み重ねて接合し、最上
位の該第１の圧電基板の上面に第２の圧電基板を接合
し、該第１の圧電基板内には、該インク流路溝の底面に
対応する第１の圧電駆動電極と、下位の該第１の圧電基
板のインク流路溝に対応する第２の圧電駆動電極が形成
され、該第２の圧電基板内には、該最上位の第１の圧電
基板のインク流路溝に対応する第２の圧電駆動電極が形
成されたインクジェットプリンタヘッドであって、該第
１の圧電基板が、圧電粉末よりなる複数枚の第１のグリ
ーンシートと、該第１のグリーンシートの所定部に該イ
ンク流路溝となる切り欠きを形成した複数枚の第２のグ
リーンシートと、該第１のグリーンシートの所定部に該
第１の圧電駆動電極の電極パターンが形成された複数枚
の第３のグリーンシートと、該第１のグリーンシートの
所定部に該第２の圧電駆動電極の電極パターンが形成さ
れた複数枚の第４のグリーンシートを重ねた焼成処理で
一体化させたものであり、該第２の圧電基板が、複数枚
の該第１のグリーンシートと複数枚の該第４のグリーン
シートを重ねた焼成処理で一体化させたものである。

【００２８】上記目的を達成する本発明の第４のインク
ジェットプリンタヘッドは、上面にインク流路溝が形成
された複数の第１の圧電基板を積み重ねて接合し、最上
位の該第１の圧電基板の上面に第２の圧電基板を接合
し、該第１の圧電基板内には、該インク流路溝の底面に
対応する第１の圧電駆動電極と、下位の該第１の圧電基
板のインク流路溝に対応する第２の圧電駆動電極と、該
インク流路溝の側方に位置する第３の圧電駆動電極とが
形成され、該第２の圧電基板内には、該最上位の第１の
圧電基板のインク流路溝に対応する第２の圧電駆動電極
が形成されたインクジェットプリンタヘッドであって、
該第１の圧電基板が、圧電粉末よりなる複数枚の第１の
グリーンシートと、該第１のグリーンシートの所定部に
該インク流路溝となる切り欠きおよび該第３の圧電駆動
電極の電極パターンが形成された複数枚の第２のグリー
ンシートと、該第１のグリーンシートの所定部に該第１
の圧電駆動電極の電極パターンが形成された複数枚の第
３のグリーンシートと、該第１のグリーンシートの所定
部に該第２の圧電駆動電極の電極パターンが形成された
複数枚の第４のグリーンシートを重ねた焼成処理で一体
化させたものであり、該第２の圧電基板が、複数枚の該
第１のグリーンシートと複数枚の該第４のグリーンシー
トを重ねた焼成処理で一体化させたものである。

【００２９】上記目的を達成する本発明の第５のインク
ジェットプリンタヘッドは、前記本発明の第１〜第４の
インクジェットプリンタヘッドにおける圧電基板の接合
に、焼成手段を用いたことである。

【００３０】上記目的を達成する本発明の圧電基板の製
造方法は、内部に圧電駆動電極を有する圧電基板の製造
に際し、圧電粉末よりなり所定部に整列する複数の第１
のスルーホールを形成した少なくとも１枚の第１のグリ
ーンシートを、圧電粉末よりなり該第１のスルーホール
のそれぞれに連通する複数の第２のスルーホールと該第
２のスルーホールの形成部から延在し該圧電駆動電極の
電極パターンを形成した複数枚の第２のグリーンシート
に重ね、該複数枚の第２のグリーンシートを圧電粉末よ
りなる複数枚の第３のグリーンシートに重ねた焼成処理
で、一体化された焼成体を形成する工程と、連通する該
第１のスルーホールと第２のスルーホールの内壁に導電
層を形成する工程と、該複数のスルーホールの整列方向
に該焼成体を分割する工程を含むことである。

【００３１】前記本発明の第１のインクジェットプリン
タヘッドは、第１の圧電基板と第２の圧電基板に形成し
た第１または第２の圧電駆動電極がインク流路溝を挟む
構成であり、第１の圧電駆動電極と第２の圧電駆動電極
を同期駆動させると、圧電基板に要求される変形量（イ
ンク流路溝圧縮量）は、片側駆動であった従来の圧電基
板の１／２で済む。そのため、インク流路溝を接近させ
てもクロストークを防止できる。

【００３２】前記本発明の第２のインクジェットプリン
タヘッドは、第１の圧電駆動電極と第２の圧電駆動電極
と一対の第３の圧電駆動電極が、インク流路溝の四方を
囲むことで、本発明の第１のインクジェットプリンタヘ
ッドにおける前記作用効果に加え、所定のインク流路溝
に対応する第１および第２の駆動電極に同期させて一対
の第３の圧電駆動電極を駆動させたとき、インク流路溝
間における圧電基板の変形を積極的に抑制し、一層のク
ロストーク防止効果が生じる。

【００３３】前記本発明の第３のインクジェットプリン
タヘッドは、左右方向および上下方向にインク流路溝を
配設したいインクジェットプリンタヘッドに対応したも
のであり、そのような要望に対し本発明の第１のインク
ジェットプリンタヘッドの多層構成を合理化したもので
ある。

【００３４】従って、本発明の第３のインクジェットプ
リンタヘッドにおいて、インク流路溝を接近させて発生
するクロストークの防止効果は、本発明の第１のインク
ジェットプリンタヘッドのそれと同等である。

【００３５】前記本発明の第４のインクジェットプリン
タヘッドは、左右方向および上下方向にインク流路溝を
配設したいインクジェットプリンタヘッドに対応したも
のであり、そのような要望に対し本発明の第２のインク
ジェットプリンタヘッドの多層構成を合理化したもので
ある。

【００３６】従って、本発明の第４のインクジェットプ
リンタヘッドにおいて、インク流路溝を接近させて発生
するクロストークの防止効果は、本発明の第２のインク
ジェットプリンタヘッドのそれと同等である。

【００３７】前記本発明の第５のインクジェットプリン
タヘッドは、圧電基板の接合に焼成法を適用した構成で
あり、本発明の第１〜第４のインクジェットプリンタヘ
ッドにおいて、接着剤を使用した接合により生じるイン
ク流路溝の形状・体積・断面積をなくす効果がある。

【００３８】前記本発明の圧電基板の製造方法は、スル
ーホールの内壁に形成した導電層が、圧電駆動電極を駆
動回路に接続する接続端子として使用可能である。従っ
て、従来構成の圧電基板において圧電駆動電極の接続部
が、圧電基板を所要寸法に切断後に形成されるため、イ
ンク流路溝より広ピッチとすることで必要となり、その
ことによる圧電基板の大形化を不要にする。

【００３９】

【発明の実施の形態】図１は本発明の第１と第２の実施
例の説明図である。本発明の第１の実施例を簡略化して
示す図１（ａ）において、インクジェットプリンタヘッ
ド２１は、圧電基板２２の上面に圧電基板２３の下面を
接合してなり、圧電基板２２と２３は、圧電粉末を混合
した複数枚のグリーンシートを焼成して一体化し、さら
なる焼成処理で圧電基板２２と２３を接合したものであ
る。

【００４０】上面が平坦な圧電基板２２内には、圧電基
板２３に形成したインク流路溝１２に対応する複数の圧
電駆動電極２４が形成され、下面に複数（図は３本）の
インク流路溝１２が形成された圧電基板２３内には、イ
ンク流路溝１２の底面（図の上面）に対応する複数の圧
電駆動電極２５が形成されている。

【００４１】圧電基板２２と２３は、それぞれ複数枚の
圧電グリーンシートを重ねて焼成することで一体化し、
圧電基板２３のインク流路溝１２は、グリーンシート焼
成後の機械加工によって形成している。

【００４２】かかるインクジェットプリンタヘッド２１
は、それぞれが複数の電極パターンで構成された圧電駆
動電極２４と２５に、所定の同期駆動電圧を印加する
と、圧電基板２２と２３には図中に破線で示す如く局部
的に変形が発生し、対応するインク流路溝１２を圧縮す
る。その結果、圧縮されたインク流路溝１２に連通する
ノズルからインクが飛翔するようになる。ただし、従来
の圧電基板１０に比べて圧電基板２２および２３に発生
させる変形量は、少なくて済むため、隣接するインク流
路溝１２に対する干渉が著しく低減される。

【００４３】次に、圧電基板２２と２３の具体的製造方
法の実施例について説明する。ただし、圧電駆動電極２
４と２５が同一形状の導体パターンで構成されている。
圧電基板２２と２３の製造用として、圧電基板２２およ
び２３の寸法より大判で厚さが約５０μｍの複数枚のグ
リーンシートは、粒径が約１．０ｍｍのＰＮＮ系圧電粉
末、例えばＰｂ（Ｎｉ_1/3 Ｎｂ_2/3)Ｏ₃ とＰｂＴｉＯ₃
とＰｂＺｒＯ₃を、０．５：０．３５：０．１５の重量
比で混合し、さらにＰＶＢ（有機バインダ：ポリビニル
プチラール）とＤＢＰ（可塑剤：ジブビニルブチラー
ル）およびエタノール（有機溶媒）を混合してスラリー
とし、そのスラリーからドクターブレード法によって作
成する。

【００４４】かかるグリーンシートから所望寸法のグリ
ーンシートを打抜き形成、例えば１００ｍｍ角のグリー
ンシートを打抜き加工で作成する。１００ｍｍ角のグリ
ーンシートの一部はそのまま第１のグリーンシートとし
て使用するが、他のものは第２のグリーンシートとして
表面に、Ａｇ−Ｐペーストを使用したスクリーン印刷法
で１５０μｍ幅の複数本の電極配線パターンを形成す
る。前記電極配線パターンは、圧電駆動電極２４または
２５の一部となる。

【００４５】圧電基板２２は、それぞれ複数枚の第１の
グリーンシートと第２のグリーンシートを重ねて焼成、
例えば第１のグリーンシートを３０枚重ね、その上に第
２のグリーンシートを４枚重ね、さらにその上に第１の
グリーンシート１２枚重ね、約５０ＭＰａの押圧力を加
え８０℃，１時間の熱処理で一体化させる。

【００４６】しかるのち、約５００℃に加熱した電気炉
に約４時間入れて脱脂処理（ＰＶＢを除去）し、さらに
約１１００℃に加熱した電気炉に約４時間入れ焼成処理
したのち、所定寸法に切断すると、圧電基板２２が完成
する。

【００４７】圧電駆動電極２５が圧電駆動電極２４と同
じ導体パターンの組み合わせである圧電基板２３は、そ
れぞれ複数枚の第１のグリーンシートと第２のグリーン
シートを重ねて焼成、例えば第１のグリーンシートを１
４枚重ね、その上に第２のグリーンシートを４枚重ね、
さらにその上に第１のグリーンシートを１２枚重ねたの
ち、圧電基板２２と同様な一体化処理と脱脂処理および
焼成処理を行なう。

【００４８】しかるのち、所定寸法に切断し、ダイシン
グソーにて幅２００μｍで深さが４００μｍのインク流
路溝１２を形成すると、圧電基板２３が完成する。そこ
で、圧電基板２２の上面と圧電基板２３の下面（インク
流路溝１２形成面）を、それぞれ２００μｍ程度研磨し
平坦化させたのち、圧電基板２２の上面に圧電基板２３
の下面を重ね合わせ、約１１００℃で３時間の熱処理を
施す。すると、圧電基板２２と２３は接合され、インク
ジェットプリンタヘッド２１が完成する。

【００４９】本発明の第２の実施例を簡略化して示す図
１（ｂ）において、インクジェットプリンタヘッド２６
は、圧電基板２２の上面に圧電基板２７の下面を接合し
てなり、圧電基板２２と２７は、圧電粉末を混合した複
数枚のグリーンシートを焼成して一体化し、さらなる焼
成処理で圧電基板２２と２７を接合したものである。

【００５０】上面が平坦な圧電基板２２内には、圧電基
板２７に形成したインク流路溝１２に対応する複数の圧
電駆動電極２４が形成され、下面に複数（図は３本）の
インク流路溝１２が形成された圧電基板２７内には、イ
ンク流路溝１２の底面（図の上面）に対応し、圧電駆動
電極２４と同一形状の導体パターンにてなる複数の圧電
駆動電極２５と、インク流路溝１２の側方に対応する複
数の圧電駆動電極２８が形成されている。

【００５１】圧電基板２２と２７は、それぞれ複数枚の
圧電グリーンシートを重ねて焼成することで一体化し、
圧電基板２７のインク流路溝１２は、グリーンシート焼
成後の機械加工によって形成している。

【００５２】かかるインクジェットプリンタヘッド２６
は、所定のインク流路溝１２を囲む圧電駆動電極、即ち
所定のインク流路溝１２の上下に位置する圧電駆動電極
２４と２５およびその側方に位置する一対の圧電駆動電
極２８に、所定の同期駆動電圧を印加すると、図中に破
線で示す如く、圧電基板２２と２７は局部的に変形が発
生し、対応するインク流路溝１２を圧縮する。その結
果、圧縮されたインク流路溝１２に連通するノズルから
インクが飛翔するようになる。

【００５３】ただし、一対の圧電駆動電極２８は、圧電
駆動電極２４による圧電基板２２の変形を抑制する方向
の電圧を印加する。その結果、従来の圧電基板１０に比
べて圧電基板２２および２７に発生させる変形量は少な
くで済み、かつ、圧電駆動電極２８が隣接するインク流
路溝１２への干渉を抑えるため、従来技術で問題となっ
た干渉が確実に解消する。

【００５４】なお、インクジェットプリンタヘッド２６
において、圧電基板２２は、インクジェットプリンタヘ
ッド２１のそれと同一方法で製造されるため説明を省略
し、圧電基板２７の具体的製造方法についてその実施例
を説明する。

【００５５】圧電基板２７の製造用として、圧電基板２
７の寸法より大判で厚さが約５０μｍの複数枚のグリー
ンシートは、粒径が約１．０ｍｍのＰＮＮ系圧電粉末、
例えばＰｂ（Ｎｉ_1/3 Ｎｂ_2/3)Ｏ₃ とＰｂＴｉＯ₃ とＰ
ｂＺｒＯ₃ を、０．５：０．３５：０．１５の重量比で
混合し、さらにＰＶＢ（有機バインダ）とＤＢＰ（可塑
剤）およびエタノール（有機溶媒）を混合してスラリー
とし、そのスラリーからドクターブレード法によって作
成する。

【００５６】かかるグリーンシートから所望寸法のグリ
ーンシートを打抜き形成、例えば１００ｍｍ角のグリー
ンシートを打抜き加工で作成する。１００ｍｍ角のグリ
ーンシートの一部はそのまま第１のグリーンシートとし
て使用するが、他の一部は第２のグリーンシートとして
表面に、Ａｇ−Ｐペーストを使用したスクリーン印刷法
で１５０μｍ幅の複数本の電極配線パターンを形成し、
さらに他の一部は第３のグリーンシートとして表面に、
Ａｇ−Ｐペーストを使用したスクリーン印刷法で４０μ
ｍ幅の複数本の電極配線パターンを形成する。前記第２
のグリーンシートの電極配線パターンは、圧電駆動電極
２５の一部となり、前記第３のグリーンシートの電極配
線パターンは、圧電駆動電極２８の一部となる。

【００５７】圧電基板２７は、それぞれ複数枚の第１の
グリーンシートと第２のグリーンシートと第３のグリー
ンシートを重ねて焼成、例えば第１のグリーンシートを
１２枚重ね、その上に第３のグリーンシートを４枚重
ね、その上に第２のグリーンシートを４枚重ね、さらに
第１のグリーンシートを１２枚重ね、約５０ＭＰａの押
圧力を加え８０℃，１時間の熱処理で一体化させる。

【００５８】しかるのち、約５００℃に加熱した電気炉
に約４時間入れて脱脂処理（ＰＶＢを除去）し、さらに
約１１００℃に加熱した電気炉に約４時間入れ焼成処理
し、所定寸法に切断したのち、ダイシングソーにて幅２
００μｍで深さが４００μｍのインク流路溝１２を形成
すると、圧電基板２３が完成する。

【００５９】そこで、圧電基板２２の上面と圧電基板２
７の下面（インク流路溝１２形成面）を、それぞれ２０
０μｍ程度研磨し平坦化させたのち、圧電基板２２の上
面に圧電基板２７の下面を重ね合わせ、約１１００℃で
３時間の熱処理を施す。すると、圧電基板２２と２７は
接合され、インクジェットプリンタヘッド２６が完成す
る。

【００６０】図２は本発明の第３と第４の実施例の説明
図である。本発明の第３の実施例を簡略化して示す図２
（ａ）において、インクジェットプリンタヘッド３１
は、圧電基板２２の上面に接着剤３２を介して、圧電基
板２３の下面を接合してなり、圧電基板２２と２３は、
圧電粉末を混合した複数枚のグリーンシートを焼成して
一体化してなる。

【００６１】前に説明したインクジェットプリンタヘッ
ド２１とインクジェットプリンタヘッド３１は、圧電基
板２２と２３を使用することで共通するが、その接合手
段が異なる。即ち、インクジェットプリンタヘッド２１
は、圧電基板２２と２３を焼成接合させたのに対し、イ
ンクジェットプリンタヘッド３１では接着剤３２を使用
する。

【００６２】接着剤３２には、従来のインクジェットプ
リンタヘッドにおける圧電基板１０とインク流路板１１
の接合に使用する接着剤、即ちドライフィルムレジスト
と呼ばれるフィルム状の接着剤，液状レジスト，感光性
ポリイミド等が使用できる。

【００６３】圧電基板２２と２３の製造方法は、インク
ジェットプリンタヘッド２１のそれらと同じである。そ
こで、接着剤３２にドライフィルムレジストを使用した
圧電基板２２と２３の接合方法の実施例を説明する。

【００６４】露光しないと硬度が得られない接着剤（ド
ライフィルムレジスト）３２は、圧電基板２２の上面に
搭載したのち、露光例えば１００ｍｊ／ｃｍ² の紫外線
を照射したのち、接着剤３２の上に圧電基板２３を搭載
し、適当な押圧力で圧電基板２３を接着剤３２に押し付
けた状態で、１５０℃で１時間程度の熱圧着を施す。た
だし、圧電基板２３はインク流路溝１２の形成下面が接
着剤３２に接する。

【００６５】かかるインクジェットプリンタヘッド３１
は、前出のインクジェットプリンタヘッド２１と同様に
使用し、従来技術で問題となった干渉を著しく低減可能
にする。

【００６６】本発明の第３の実施例を簡略化して示す図
２（ｂ）において、インクジェットプリンタヘッド３６
は、圧電基板２２の上面に接着剤３２を介して、圧電基
板２３の下面を接合してなり、圧電基板２２と２３は、
圧電粉末を混合した複数枚のグリーンシートを焼成して
一体化してなる。

【００６７】前に説明したインクジェットプリンタヘッ
ド２６とインクジェットプリンタヘッド３６は、圧電基
板２２と２７を使用することで共通するが、その接合手
段が異なる。即ち、インクジェットプリンタヘッド２６
は、圧電基板２２と２７を焼成接合させたのに対し、イ
ンクジェットプリンタヘッド３６では接着剤３２を使用
する。

【００６８】インクジェットプリンタヘッド３１と同じ
く接着剤３２には、例えばドライフィルムレジストを使
用し、その接合方法はインクジェットプリンタヘッド３
１と同一方法とする。

【００６９】かかるインクジェットプリンタヘッド３６
は、前出のインクジェットプリンタヘッド２６と同様に
使用し、従来技術で問題となった干渉をなくすことが可
能になる。

【００７０】図３は本発明の第５の実施例の説明図であ
り、インクジェットプリンタヘッド４１は、一対の圧電
基板４２_-1と４２_-2および圧電基板４３を重ねた状態
で、接着剤３２_-1と３２_-2を使用し接合してなる。ただ
し、圧電基板４２_-1と４２_-2および４３は、圧電粉末を
混合した複数枚のグリーンシートを焼成して一体化して
なる。

【００７１】上面に複数（図は４本）のインク流路溝１
２が形成された圧電基板４２_-1と４２_-2は、それらの基
板内に、インク流路溝１２のそれぞれの底面に対応する
複数の圧電駆動電極４４と、下位基板のインク流路溝１
２に対応する複数の圧電駆動電極４５が形成され、圧電
基板４２_-1より上位の圧電基板４２_-2のインク流路溝１
２を塞ぐ圧電基板４３内には、そのインク流路溝１２の
それぞれに対応する複数の駆動電極４６が形成されてい
る。

【００７２】かかるインクジェットプリンタヘッド４１
において、圧電基板４２_-1と４２_-2および４３の製造方
法、特に圧電駆動電極４４と４５と４６およびインク流
路溝１２の形成方法は、インクジェットプリンタヘッド
２１の圧電基板２２および２３のそれらと同一であり、
接着剤３２_-1にて圧電基板４２_-1と４２_-2を接合する方
法と、接着剤３２_-2にて圧電基板４２_-2と４３を接合す
る方法は、インクジェットプリンタヘッド３１におい
て、圧電基板２２と２３を接合する方法と同一である。

【００７３】ただし、インクジェットプリンタヘッド４
１における基板間接合に使用する接着剤３２_-1と３２_-2
の露光処理前の貼着は、一対の接合面のうちインク流路
溝１２が形成されない面、即ち接着剤３２_-1は圧電基板
４２_-2の下面に貼着して露光処理（硬化処理）し、接着
剤３２_-2は圧電基板４３の下面に貼着して露光処理（硬
化処理）する。

【００７４】かかるインクジェットプリンタヘッド４１
は、二色印刷を可能にする構成であり、前出のインクジ
ェットプリンタヘッド２１と同様に駆動せしめ、従来技
術で問題となった干渉を著しく低減可能にする。

【００７５】図４は本発明の第６の実施例の説明図であ
り、インクジェットプリンタヘッド４８は、一対の圧電
基板４９_-1と４９_-2および圧電基板４３を重ねた状態
で、接着剤３２_-1と３２_-2を使用し接合してなる。ただ
し、圧電基板４９_-1と４９_-2は、圧電粉末を混合した複
数枚のグリーンシートを焼成して一体化してなる。

【００７６】上面に複数（図は４本）のインク流路溝１
２が形成された圧電基板４９_-1と４９_-2は、それらの基
板内に、インク流路溝１２のそれぞれの底面に対応する
複数（図は４組）の圧電駆動電極４４と、下位基板のイ
ンク流路溝１２に対応する複数（図は４組）の圧電駆動
電極４５と、インク流路溝１２の両側に位置する複数
（図は６組）の駆動電極５０が形成されている。

【００７７】かかるインクジェットプリンタヘッド４８
において、圧電基板４９_-1と４９_-2および４３の製造方
法、特に駆動電極４４と４５と４６と５０およびインク
流路溝１２の形成方法は、インクジェットプリンタヘッ
ド２６の圧電基板２２および２７のそれらと同一であ
り、接着剤３２_-1および３２_-2にて圧電基板間を接合さ
せる方法は、インクジェットプリンタヘッド４１におい
て、圧電基板４２_-1と４２_-2および４２_-2と４３を接合
する方法と同一である。

【００７８】かかるインクジェットプリンタヘッド４８
は、インクジェットプリンタヘッド４１と同じく二色印
刷を可能にする構成であり、前出のインクジェットプリ
ンタヘッド３６と同様に駆動せしめ、従来技術で問題と
なった干渉をなくすことが可能になる。

【００７９】図５は本発明の第７の実施例の説明図であ
り、インクジェットプリンタヘッド５１は、４枚の圧電
基板４９_-1と４９_-2と４９_-3と４９_-4および圧電基板４
３を重ねた状態で、接着剤３２_-1と３２_-2と３２_-3と３
２_-4を使用し接合してなる。ただし、４枚の圧電基板４
９_-1〜４９_-4は、圧電粉末を混合した複数枚のグリーン
シートを焼成して一体化してなる。

【００８０】かかるインクジェットプリンタヘッド５１
において、圧電基板４３と４９_-1〜４９_-4の製造方法お
よびそれらの接合方法は、前出の実施例と同一のため省
略するが、４枚の圧電基板４９_-1〜４９_-4を重ねたの
は、黒の単色印刷とフルカラー印刷を可能にするためで
あり、例えは最上位のインク流通路１２に黒色インクを
供給するとき、２段目以下の３段のインク流路溝１２に
は、赤色インク，青色インク，黄色インクの中から一色
を段別に特定し供給することになる。

【００８１】かかるインクジェットプリンタヘッド５１
は、前出のインクジェットプリンタヘッド２１と同様に
駆動せしめ、従来技術で問題となった干渉を著しく低減
可能にし、かつ、黒の単色印刷とフルカラー印刷を可能
にする。

【００８２】図６は本発明の第８の実施例に使用するグ
リーンシートの説明図、図７と図８は本発明の第８の実
施例の説明図である。図６において、発明の第８の実施
例によるインクジェットプリンタヘッドには、所定部
（図は所定の４箇所）に複数個（図は５個）のスルーホ
ール６２が整列する圧電グリーンシート６１_-1と、所定
部に複数個のスルーホール６２が整列し、かつ、複数
（図は４本）の圧電駆動電極構成用短冊形導体パターン
６３_-1が形成された圧電グリーンシート６１_-2と、所定
部に複数個のスルーホール６２が整列し、かつ、圧電駆
動電極構成用角形導体パターン６３_-2が形成された圧電
グリーンシート６１_-3と、単なる圧電グリーンシート６
１_-4を使用する。

【００８３】グリーンシート６１_-1〜６１_-3におけるス
ルーホール６２の所定部は、グリーンシート６１_-1〜６
１_-3を重ねたとき連通する位置であり、導体パターン６
３_-1はグリーンシート６１_-2の同一所定部に形成された
スルーホール６２の中の複数個（図は整列する５個の中
で左端から４個）のスルーホール６２から手前に延在
し、導体パターン６３_-2は４本の導体パターン６３_-1に
対応し、かつ、所定（図は整列する５個の中の右端）の
スルーホール６２に連通する。

【００８４】グリーンシート６１_-1〜６１_-4は、粒径が
約１．０ｍｍのＰＮＮ系圧電粉末、例えばＰｂ（Ｎｉ
_1/3 Ｎｂ_2/3)Ｏ₃ とＰｂＴｉＯ₃ とＰｂＺｒＯ₃ を、
０．５：０．３５：０．１５の重量比で混合し、さらに
ＰＶＢ（有機バインダ）とＤＢＰ（可塑剤）およびエタ
ノール（有機溶媒）を混合してスラリーとし、そのスラ
リーからドクターブレード法によってシート状とし、所
望寸法に切断して所望枚数のグリーンシート６１_-4を作
成する。

【００８５】グリーンシート６１_-1は、グリーンシート
６１_-4にスルーホール６２を形成してなり、グリーンシ
ート６１_-2は、グリーンシート６１_-4にスルーホール６
２と導体パターン６３_-1を形成してなり、グリーンシー
ト６１_-3は、グリーンシート６１_-4にスルーホール６２
と導体パターン６３_-2を形成してなる。

【００８６】導体パターン６３_-1と６３_-2は、Ａｇ−Ｐ
ｄペーストを印刷しそれを乾燥させたものである。そし
て、同一グリーンシート６１_-2の複数の導体パターン６
３_-1は、圧電基板として完成したとき個々が別のインク
流路溝に対応し、圧電基板の駆動時には電源装置のプラ
ス電圧端子が印加されるようになるのに対し、導体パタ
ーン６３_-2は複数のインク流路溝に対応し、圧電基板の
駆動時には電源装置のアース端子またはマイナス端子に
接続されるようになる。

【００８７】図７において、グリーンシート積層体６６
は、複数枚（図は７枚）のグリーンシート６１_-4を重ね
た上に、グリーンシート６１_-3と６１_-2を交互に複数枚
（図は４枚）ずつ重ね、その上に少なくとも１枚のグリ
ーンシート６１_-1を重ねる。

【００８８】次いで、約１０ＭＰａの押圧力を加え６０
℃で５分間の処理で、重ねられたグリーンシート６１_-1
〜６１_-4を一体化させてから、約１０００℃で１０時間
の焼成処理を施したのち、無電解めっきでスルーホール
６２の内壁にＮｉの導電層６７を形成してなる。

【００８９】なお、導電層６７を形成させるとき焼成済
みグリーンシート積層体６６の上面にもＮｉ層が被着す
るようになるが、そのＮｉ層は研磨処理で除去したの
ち、図中の矢印付きの線に沿ってダイシングソーで切
断、即ちスルーホール６２の整列線に沿う切断と、左右
の不要部を除去する切断と、左右に中央部で二分割する
切断処理を行なう。

【００９０】その結果、焼成したグリーンシート積層体
６６からは、図８に示す圧電基板７１が４個取得でき
る。図８において、（ａ）は前面から見た斜視図、
（ｂ）は後面から見た斜視図であり、前出の圧電基板２
２に相当する圧電基板７１の前面には、インク流路溝に
対応する駆動電極群（図は４組の圧電駆動電極）７２の
端面が露呈し、後面には、駆動電極に電圧を付与する接
続端子７３_-1と７３_-2と７３_-3と７３_-4および７３_-5が
露呈する。

【００９１】接続端子７３_-1〜７３_-5は導電層６７の一
部、即ちグリーンシート積層体６６の前記切断で二分割
された導電層６７の片側である。そして、図６に示す導
体パターン６３_-1の後端部が接続する接続端子７３_-1〜
７３_-4は、図示しない電源装置の圧電基板駆動用プラス
端子に接続し、図６に示す導体パターン６３_-2の後端部
が接続する接続端子７３_-5は、図示しない電源装置のア
ース端子または圧電基板駆動用マイナス端子に接続し、
圧電基板７１が駆動される。

【００９２】かかる圧電基板７１は、電源装置に対する
接続端子７３_-1〜７３_-5が、インク流路溝と同じピッチ
で形成されているため、図１５に示す従来の圧電基板１
０より小形化できる。

【００９３】なお、本発明の第５，第６，第７の実施例
において圧電基板間の接合に、接着剤を使用している。
しかし、本発明の第１および第２の実施例において説明
した如く、圧電基板間は接着剤を使用しない焼成接合が
可能である。従って、本発明の第５，第６，第７の実施
例構成から接着剤をなくすことができる。

【００９４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によるイン
クジェットプリンタヘッドは、駆動時の干渉を低減また
はなくすことで、クロストークを低減し、インク流路溝
のピッチを狭めることが可能となり、さらにスルーホー
ル内の導電層を外部接続端子とすることで、インクジェ
ットプリンタヘッドを小形化させる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１と第２の実施例の説明図

【図２】 本発明の第３と第４の実施例の説明図

【図３】 本発明の第５の実施例の説明図

【図４】 本発明の第６の実施例の説明図

【図５】 本発明の第７の実施例の説明図

【図６】 本発明の第８の実施例に使用するグリーンシ
ートの説明図

【図７】 本発明の第８の実施例の説明図（その１）

【図８】 本発明の第８の実施例の説明図（その２）

【図９】 インクジェットプリンタの概略を示す斜視図

【図１０】 流路板方式の圧電インクジェットヘッドの
分解模式図

【図１１】 図１０に示す圧電インクジェットヘッドの
断面図

【図１２】 圧電インクジェットヘッドにおける干渉の
説明図

【図１３】 インク流路間の干渉防止型圧電インクジェ
ットヘッドの説明図

【図１４】 従来の圧電基板に使用するグリーンシート
の説明図

【図１５】 駆動電極を内蔵する従来の圧電基板の説明
図

【符号の説明】

１０_-1，１０_-2，１０_-3，６１_-1，６１_-2，６１_-3，６
１_-4 グリーンシート １２ インク流路溝 １６_-1，１６_-2，６３_-1，６３_-2 圧電駆動電極用の導
体パターン ２１，２６，３１，３６，４１，４８，５１ インクジ
ェットプリンタヘッド ２２，２３，２７，４２_-1，４２_-2，４９_-1，４９_-2，
４９_-3，４９_-4，７１圧電基板 ２４，２５，２８，４４，４５，４６，５０ 圧電駆動
電極 ３２，３２_-1，３２_-2 接着剤 ６２ スルーホール ６７ スルーホール内の導体層 ７３_-1，７３_-2，７３_-3，７３_-4，７３_-5 圧電基板の
接続端子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 栗原 和明 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 塚田 峰春 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 表 孝司 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 中西 輝 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インク流路溝が形成された第１の圧電基
   板の下面に、第２の圧電基板の上面が接合され、該第１
   の圧電基板内には該インク流路溝の底面に対応する第１
   の圧電駆動電極が形成され、該第２の圧電基板内には該
   インク流路溝に対応する第２の圧電駆動電極が形成され
   たインクジェットプリンタヘッドであって、 該第１の圧電基板が、圧電粉末よりなる複数枚の第１の
   グリーンシートと、該第１のグリーンシートの所定部に
   該第１の圧電駆動電極の電極パターンが形成された複数
   枚の第２のグリーンシートと、該第１のグリーンシート
   の所定部に該インク流路溝となる切り欠きを形成した複
   数枚の第３のグリーンシートを重ねた焼成処理で一体化
   させたものであり、 該第２の圧電基板が、複数枚の該第１のグリーンシート
   と、該第１のグリーンシートの所定部に該第２の圧電駆
   動電極の電極パターンが形成された複数枚の第４のグリ
   ーンシートを重ねた焼成処理で一体化させたものである
   こと、 を特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
2. 【請求項２】 インク流路溝が形成された第１の圧電基
   板の下面に、第２の圧電基板の上面が接合され、該第１
   の圧電基板内には、該インク流路溝の底面に対応する第
   １の圧電駆動電極と、該インク流路溝の側方に位置する
   第３の圧電駆動電極が形成され、該第２の圧電基板内に
   は、該インク流路溝に対応する第２の圧電駆動電極が形
   成されたジェットプリンタヘッドであって、 該第１の圧電基板が、圧電粉末よりなる複数枚の第１の
   グリーンシートと、該第１のグリーンシートの所定部に
   該第１の圧電駆動電極の電極パターンが形成された複数
   枚の第２のグリーンシートと、該第１のグリーンシート
   の所定部に該インク流路溝となる切り欠きおよび該第３
   の圧電駆動電極の電極パターンが形成された複数枚の第
   ３のグリーンシートを重ねた焼成処理で一体化させたも
   のであり、 該第２の圧電基板が、複数枚の該第１のグリーンシート
   と、該第１のグリーンシートの所定部に該第２の圧電駆
   動電極の電極パターンが形成された複数枚の第４のグリ
   ーンシートを重ねた焼成処理で一体化させたものである
   こと、 を特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
3. 【請求項３】 上面にインク流路溝が形成された複数の
   第１の圧電基板が積み重ねて接合され、最上位の該第１
   の圧電基板の上面に第２の圧電基板を接合し、該第１の
   圧電基板内には、該インク流路溝の底面に対応する第１
   の圧電駆動電極と、下位の該第１の圧電基板のインク流
   路溝に対応する第２の圧電駆動電極が形成され、該第２
   の圧電基板内には、該最上位の第１の圧電基板のインク
   流路溝に対応する第２の圧電駆動電極が形成されたイン
   クジェットプリンタヘッドであって、 該第１の圧電基板が、圧電粉末よりなる複数枚の第１の
   グリーンシートと、該第１のグリーンシートの所定部に
   該インク流路溝となる切り欠きを形成した複数枚の第２
   のグリーンシートと、該第１のグリーンシートの所定部
   に該第１の圧電駆動電極の電極パターンが形成された複
   数枚の第３のグリーンシートと、該第１のグリーンシー
   トの所定部に該第２の圧電駆動電極の電極パターンが形
   成された複数枚の第４のグリーンシートを重ねた焼成処
   理で一体化させたものであり、 該第２の圧電基板が、複数枚の該第１のグリーンシート
   と複数枚の該第４のグリーンシートを重ねた焼成処理で
   一体化させたものであること、 を特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
4. 【請求項４】 上面にインク流路溝が形成された複数の
   第１の圧電基板が積み重ねて接合され、最上位の該第１
   の圧電基板の上面に第２の圧電基板が接合され、該第１
   の圧電基板内には、該インク流路溝の底面に対応する第
   １の圧電駆動電極と、下位の該第１の圧電基板のインク
   流路溝に対応する第２の圧電駆動電極と、該インク流路
   溝の側方に位置する第３の圧電駆動電極とが形成され、
   該第２の圧電基板内には、該最上位の第１の圧電基板の
   インク流路溝に対応する第２の圧電駆動電極が形成され
   たインクジェットプリンタヘッドであって、 該第１の圧電基板が、圧電粉末よりなる複数枚の第１の
   グリーンシートと、該第１のグリーンシートの所定部に
   該インク流路溝となる切り欠きおよび該第３の圧電駆動
   電極の電極パターンが形成された複数枚の第２のグリー
   ンシートと、該第１のグリーンシートの所定部に該第１
   の圧電駆動電極の電極パターンが形成された複数枚の第
   ３のグリーンシートと、該第１のグリーンシートの所定
   部に該第２の圧電駆動電極の電極パターンが形成された
   複数枚の第４のグリーンシートを重ねた焼成処理で一体
   化させたものであり、 該第２の圧電基板が、複数枚の該第１のグリーンシート
   と複数枚の該第４のグリーンシートを重ねた焼成処理で
   一体化させたものであること、 を特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
5. 【請求項５】 請求項１〜４に記載の接合が、焼成によ
   る接合であることを特徴とするインクジェットプリンタ
   ヘッド。
6. 【請求項６】 内部に圧電駆動電極を有する圧電基板の
   製造に際し、 圧電粉末よりなり所定部に整列する複数の第１のスルー
   ホールを形成した少なくとも１枚の第１のグリーンシー
   トを、圧電粉末よりなり該第１のスルーホールのそれぞ
   れに連通する複数の第２のスルーホールと該第２のスル
   ーホールの形成部から延在し該圧電駆動電極の電極パタ
   ーンを形成した複数枚の第２のグリーンシートに重ね、
   該複数枚の第２のグリーンシートを圧電粉末よりなる複
   数枚の第３のグリーンシートに重ねた焼成処理で、一体
   化された焼成体を形成する工程と、 連通する該第１のスルーホールと第２のスルーホールの
   内壁に導電層を形成する工程と、 該複数のスルーホールの整列方向に該焼成体を分割する
   工程、 を含むこと特徴とする圧電基板の製造方法。