JPH10109257A - 板状体の研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送手段による搬送中に板状体を研磨手段に
より自動的に研磨できるようにして、板状体を容易且つ
確実に能率的に研磨できる板状体の研磨装置を提供す
る。 【解決手段】 板状体2 を搬送する搬送手段3 と、この
搬送手段3 上の板状体2を搬送手段3 側に吸着する吸着
手段6 と、搬送手段3 上の板状体2 を上側から研磨する
研磨手段7 とを備え、吸着手段6 と研磨手段7 とを搬送
手段3 の搬送部側の上下両側に対応させて配置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、板状体の研磨装置
に関し、搬送手段による搬送中に、板状体の表面を研磨
手段により研磨するようにしたものである。

【０００２】

【従来の技術】プリント基板を製造する場合、ベークラ
イト板等の薄い板状体の片面又は両面にメッキ等で導体
層を形成し、これを１枚毎に又は複数枚積層した状態で
穿孔機に送ってドリル等で所定位置の多数の小孔を穿孔
した後、導体層の表面に、除去部分を除くように適宜イ
ンクによりパターンの印刷を施す。そして、この印刷後
の板状体を次の除去工程に送り、インクによるパターン
以外の部分の導体層を除去して、板状体の表面に導体層
のパターンを形成する。

【０００３】導体層の表面は、通常、鏡面状態であるた
め、導体層の表面にパターンを印刷する場合、導体層の
表面にインクが定着し難くなる。また導体層が両面にあ
る場合、一方側からドリル等で小孔を穿孔すれば、他方
側の導体層にバリが発生し、このバリが後処理の邪魔に
なる。そこで、従来は作業者がペーパー等の適宜研磨材
を使用して導体層の表面を研磨し、導体層の表面を粗面
状に仕上げたり、導体層にできたバリを除去する方法を
採っている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来は、作業者が研磨
材を使用して手作業によって板状体の導体層を研磨して
いるため、作業が非常に煩わしく熟練を必要とすると共
に、作業能率が著しく低下し、多数枚の板状体を処理す
るには多くの人手を必要とする欠点がある。また多くの
作業者が手作業で導体層を研磨するため、作業者相互間
で研磨状態にバラツキが生じ易く、その結果、導体層の
表面の仕上がり状態にムラができたり、導体層の表面に
バリの一部が残る等問題があり、プリント基板自体の品
質に影響する等の恐れもある。

【０００５】本発明は、かかる従来の課題に鑑み、搬送
手段による搬送中に板状体を研磨手段により自動的に研
磨できるようにして、板状体を容易且つ確実に能率的に
研磨できる板状体の研磨装置を提供することを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、板状体2 を搬送する搬送手段3 と、この搬送手段3
上の板状体2 を該搬送手段3 側に吸着する吸着手段6
と、搬送手段3 上の板状体2 を上側から研磨する研磨手
段7 とを備え、吸着手段6 と研磨手段7 とを搬送手段3
の搬送部側の上下両側に対応させて配置したものであ
る。

【０００７】請求項２に記載の本発明は、請求項１に記
載の発明において、駆動ドラム25と従動ドラム26とに跨
がって搬送ベルト27を捲回して搬送手段3 を構成し、搬
送ベルト27の搬送側の下側に、この搬送ベルト27を下側
から支持するベルト案内板40を設け、このベルト案内板
40の下側に吸着手段6 を設けたものである。請求項３に
記載の本発明は、請求項１又は２に記載の発明におい
て、搬送ベルト27を多孔金属ベルトにより構成し、この
搬送ベルト27の内周側の幅方向の両端部に駆動ベルト37
を周方向に設け、この駆動ベルト37が嵌合するベルト溝
33,34を駆動ドラム25と従動ドラム26とに設けたもので
ある。

【０００８】請求項４に記載の本発明は、請求項１、２
又は３に記載の発明において、ベルト案内板40に、搬送
ベルト27の吸着孔38と連通する吸引孔43を設け、このベ
ルト案内板40の下側に、吸着手段6 の吸引室45を構成す
る吸引箱46を装着したものである。請求項５に記載の本
発明は、請求項１、２、３又は４に記載の発明におい
て、研磨手段7 を支持する支持枠53を搬送手段3 の上方
に幅方向に配置し、搬送手段3 の幅方向の一側の側枠8
に、支持枠53の一端側を略水平方向のヒンジ軸66廻りに
反転自在に枢支し、搬送手段3 の幅方向の他側の側枠8
に、支持枠53の他端側を固定する固定具69を設けたもの
である。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳述する。本発明の研磨装置は、図１乃至図
４に示すように、基台1 と、この基台1 上に配置され且
つ板状体2 を搬送する搬送手段3 と、搬送手段3 の上手
側で基台1 に装着された投入台4 と、投入台4 上の板状
体2 を上側から１枚づつ搬送手段3 上に供給する供給手
段5 と、搬送手段3 の搬送部上の板状体2 を下側から搬
送手段3 に吸着する吸着手段6 と、搬送手段3 に吸着さ
れて一体に移動する板状体2 の導体層を研磨する研磨手
段7 とを備えている。

【００１０】基台1 は箱型であって、その上側に板状の
側枠8 が幅方向に一対固定されている。投入台4 は、基
台1 に固定された一対の支柱9 に沿って昇降自在に支持
されると共に、上端の板状体2 が略一定高さとなるよう
に、昇降用のネジ機構10を介して昇降モータ11により昇
降制御可能になっている。ネジ機構10は、上下両端で基
台1 に支持されたネジ軸12と、このネジ軸12に螺合する
ナット13とを備えている。なお、投入台4 と基台1 との
間には、投入台4 上に載置された板状体2 を基台1 側に
移動しないように規制する規制板14が設けられている。

【００１１】供給手段5 は、図５に示すように、板状体
2 を挟んで搬送手段3 側に送る上下一対の送りローラ15
と、投入台4 上の板状体2 の先端部側を上側から真空吸
着して送りローラ15側に案内する吸着カップ16と、吸着
カップ16による板状体2 の吸着時に、その板状体2 を上
側から押さえる押さえローラ17とを備えている。送りロ
ーラ15は両端の支持側板18により支持され、板状体2 を
上下から挟んで搬送手段3 側に送るように、内蔵モータ
により送り方向に駆動されている。各支持側板18は上端
が横板19に固定され、横板19は一対の支柱9 間に支架さ
れている。

【００１２】吸着カップ16は送りローラ15の近傍で幅方
向に２個配置され、吸着シリンダ20を介して可動板21に
昇降自在に取り付けられている。可動板21は案内機構22
を介して横板19の下側に搬送方向に移動自在に装着さ
れ、横板19上の送りシリンダ23により搬送方向に往復移
動自在である。

【００１３】押さえローラ17は横板19から突出する一対
の支持アーム24により回転自在に支持され、吸着カップ
16に対して送りローラ15と反対側で板状体2 を下側に押
さえるようになっている。搬送手段3 は板状体2 を水平
方向に搬送するためのもので、一対の側枠8 間に配置さ
れた駆動ドラム25及び従動ドラム26と、これら駆動ドラ
ム25及び従動ドラム26間に跨がって捲回された搬送ベル
ト27とを有する。

【００１４】駆動ドラム25は、一対の側枠8 に軸受を介
して回転自在に支持された駆動軸28に固定され、また駆
動軸28はプーリー29、ベルト30、プーリー31を介して基
台1上の搬送モータ32に連動連結されている。従動ドラ
ム26は、一対の側枠8 に軸受を介して回転自在に支持さ
れた従動軸35に固定されている。

【００１５】各ドラム25,26 には、図６に示すように、
搬送ベルト27の幅方向の両端部に対応するようにＶ溝状
のベルト溝33,34 が周方向に形成されている。なお、駆
動軸28のプーリー29,31 と反対側は、側枠8 の外側で基
台1 上に固定された側板36によっても支持されている。

【００１６】搬送ベルト27はスチールベルト等の多孔金
属ベルトにより構成されている。そして、この搬送ベル
ト27には、図７、図１１及び図１２に示すように、その
幅方向の両端部の内周側にＶベルト等の駆動ベルト37が
周方向に装着されると共に、この各駆動ベルト37間の略
全面に多数の吸着孔38が一定間隔をおいて千鳥状に形成
されている。駆動ベルト37は各ドラムのベルト溝33,34
に嵌合されており、駆動ドラム25の回転時に、この駆動
ベルト37を介して従動ドラム26側に動力を伝達するよう
になっている。

【００１７】各側枠8 の内側には、搬送手段3 の搬送ベ
ルト27の幅方向の端縁を上側から押さえる押さえ板39が
夫々設けられている。この押さえ板39はナイロン等の耐
磨耗性の合成樹脂材料によ構成されており、この押さえ
板39で搬送ベルト27の幅方向の端縁の浮き上がりを防止
するようになっている。なお、押さえ板39は、搬送ベル
ト27の搬送部側の略全長に亘って設けられ、また搬送ベ
ルト27の端縁から駆動ベルト37の部分までオーバーラッ
プしている。

【００１８】搬送手段3 の搬送部の下側には、搬送ベル
ト27を下側から支持するベルト案内板40が設けられ、こ
のベルト案内板40の下側に吸着手段6 が装着されてい
る。ベルト案内板40は、駆動ドラム25と従動ドラム26と
の間で各側枠8 に跨がって配置されている。ベルト案内
板40は、図８、図１０及び図１１に示すように、幅方向
の両端側に厚手の端板41を備え、この各端板41に、搬送
ベルト27の駆動ベルト37が嵌合案内されるベルト溝42が
夫々形成されている。

【００１９】ベルト案内板40の搬送方向の中央部には、
搬送ベルト27の吸着孔38に連通する吸引孔43が多数形成
されている。即ち、各吸引孔43は、図８に示すように、
搬送方向に長い長孔状であって、幅方向の吸引孔列44を
搬送方向に４列形成するように、幅方向及び搬送方向に
整然と配列して設けられている。各吸引孔列44の吸引孔
43は、図１１に示すように、搬送ベルト27の各吸着孔38
と上下に対応すべく幅方向に一定ピッチで形成されてい
る。

【００２０】吸着手段6 は、図８乃至図１１に示すよう
に、ベルト案内板40の下側に吸引室45を備え、その吸引
室45は吸引箱46により形成されている。吸引箱46は吸引
室45を形成すべくベルト案内板40の下側に固着され、両
端が補強兼用の取り付け板47により閉塞されている。各
取り付け板47にはＬ字状に下向きに屈曲する吸引管48が
固定され、この吸引管48が側枠8 の外側に突出するよう
に、各取り付け板47が各側枠8 の内側に固定されてい
る。各吸引管48は吸引ダクト49を介してブロアー等の吸
引手段（図示省略）に接続されている。吸引手段は基台
1 内に取り付けられている。

【００２１】研磨手段7 は、図７にも示すように、研磨
ヘッド50と、この研磨ヘッド50に着脱自在に装着したサ
ンドペーバー等のシート状の研磨材51と、研磨ヘッド50
を板状体2 の表面に沿って円運動により振動させる振動
部52とを備え、支持枠53の下側に昇降シリンダ54により
昇降自在に装着されている。

【００２２】研磨ヘッド50は幅方向長い側面視凸状であ
って、下側と両側にゴム等の弾性材55,56 が装着され、
ヘッド支持体57の下側に固定されている。研磨材51は、
研磨ヘッド50の下側の弾性材55から両側の弾性材56に亘
って巻き付けられ、その各弾性材56と、これに対応する
挟持部材58との間で着脱自在に挟持されている。挟持部
材58は幅方向の４箇所に配置された押さえボルト59の先
端側に支持され、また各押さえボルト59は研磨ヘッド50
の両側でヘッド支持体57の下側に固定された４個のナッ
ト体60に螺合されている。

【００２３】振動部52は電動式であって、この振動部52
のブラケット60a の下側に防振ゴム61を介してヘッド支
持体57が装着されている。振動部52のブラケット60a は
その上側の昇降板62に取り付け部材を介して固定されて
いる。昇降板62は、上側に突出する４個のガイド棒63を
有し、この各ガイド棒63が支持枠53に固定された４個の
ガイド筒64に上下摺動自在に挿入されている。昇降シリ
ンダ54は４個のガイド筒の中央部で支持枠53に固定さ
れ、この昇降シリンダ54のピストンロッドが昇降板62に
連結されている。

【００２４】支持枠53は搬送手段3 の上方に幅方向に配
置されており、この支持枠53の一端側がＬ字状のヒンジ
金具65、ヒンジ軸66を介して、一方の側枠8 上のヒンジ
金具67に枢支され、このヒンジ軸66廻りに搬送手段3 の
側方に反転自在である。ヒンジ軸66は搬送手段3 の搬送
方向と略平行に水平に設けられている。支持枠53の他端
は、他方の側枠8 から上方に突出する受け台68上に載置
され、ネジ式の固定具69により受け台68上に着脱自在に
固定されている。

【００２５】支持枠53の側方には反転受け台70が側枠8
の外側近傍で基台1 上に突設され、研磨ヘッド50が上向
き状態になるように支持枠53を搬送手段3 の外側に反転
させた時に、反転受け台70で支持枠53を受けて支持する
ように構成されている。

【００２６】研磨ヘッド50の上手側近傍には、搬送ベル
ト27上の板状体2 を検出する到着センサー71が配置され
ている。到着センサー71は制御装置に接続され、また制
御装置は、到着センサー71の検出出力により昇降シリン
ダ54及び振動部52を制御するようになっている。即ち、
制御装置は、到着センサー71による板状体2 の先端検出
時点から一定時間が経過して、板状体2 の先端が研磨ヘ
ッド50の下側に到着する直前に昇降シリンダ54によって
研磨ヘッド50を降ろし、振動部52を作動させると共に、
到着センサー71による板状体2 の後端検出時点から一定
時間が経過して、板状体2 の後端が研磨ヘッド50の下側
に通過した後に昇降シリンダ54によって研磨ヘッド50を
上げ、振動部52を停止させるようになっている。なお、
搬送手段3 の搬送方向の両端側には、ガイド部材73,74
が設けられている。また搬送手段3 の下手側には、研磨
後の板状体2 を次工程に搬送するコンベア75が配置され
ている。

【００２７】上記研磨装置による研磨作業を説明する。
板状体2 に形成された導体層の表面を研磨して粗面に仕
上げる場合には、研磨ヘッド50に６００番、８００番等
のサンドペーパーを研磨材51として装着し、この研磨材
51により板状体2 の導体層を研磨する。この研磨作業に
際しては、先ず多数枚の板状体2 を積層した状態で投入
台4 上に載置した後、上端の板状体2 が押さえローラ17
に当接するか、又は押さえローラ17に近接する高さま
で、昇降モータ11により投入台4 を上昇させる。

【００２８】次に吸着シリンダ20により吸着カップ16を
下降させて、この吸着カップ16により上端の板状体2 の
先端部分を吸着し、吸着シリンダ20により吸着カップ16
を上昇させる。すると吸着カップ16と共に上側の板状体
2 の先端側が上昇する時に、この上側の板状体2 が押さ
えローラ17により押さえられるので、板状体2 の押さえ
ローラ17から先端側が図５に示す如く上側に湾曲して、
上側の板状体2 とその下側の板状体2 との間に空気が入
り、上側の板状体2 が下側の板状体2 から分離し易くな
る。

【００２９】上側の板状体2 の先端側が一対の送りロー
ラ15間に対応する高さまで上昇すると、送りシリンダ23
を収縮させて可動板21を送りローラ15側へとａ矢示方向
に移動させて、板状体2 の先端部を送りローラ15間に挿
入すると同時に、吸着カップ16による板状体2 の吸着を
解除する。板状体2 の先端側が送りローラ15間に入る
と、この送りローラ15が内蔵モータにより送り方向に回
転しているので、板状体2 はその送り作用によって搬送
手段3 の搬送ベルト27上へとａ矢示方向に供給されて行
く。

【００３０】搬送手段3 の搬送ベルト27は搬送モータ32
によってａ矢示方向に駆動されているので、板状体2 の
先端側が搬送ベルト27上に乗ると、この板状体2 は送り
ローラ15と搬送ベルト27との送り作用によってａ矢示方
向へと搬送される。そして、板状体2 の先端側が到着セ
ンサー71まで到着すると、この到着センサー71が板状体
2 を検出する。

【００３１】板状体2 の先端側が到着センサー71の下側
を通過して吸着手段6 側に到達すると、吸引手段が作動
して、ベルト案内板40の吸引孔43から吸引室45を介して
外気を吸入しているため、搬送ベルト27上の板状体2 が
搬送ベルト27の吸着孔38、吸引孔43を介して搬送ベルト
27側に吸着されて、板状体2 が搬送ベルト27に固定状態
となって搬送ベルト27と一体に搬送方向に移動し始め
る。

【００３２】この時、吸引室45の両側に吸引管48があ
り、これに吸引手段のダクト49を接続して両側から吸引
しているので、ベルト案内板40の吸引孔43群の全域で略
均等に板状体2 を吸着でき、搬送ベルト27上に板状体2
を確実に固定できる。一方、到着センサー71が板状体2
の先端側を検出してから一定時間が経過し、板状体2 の
先端側が研磨手段7 の研磨ヘッド50の下側に到達する直
前に、制御装置からの信号によって吸着シリンダ20が伸
長して研磨ヘッド50が下降すると共に、振動部52が作動
して研磨ヘッド50を水平面内で円運動により振動させ
る。

【００３３】そして、搬送ベルト27と一体に移動する板
状体2 の上側に振動状態の研磨ヘッド50が当接して、こ
の研磨ヘッド50が板状体2 の導体層の表面に沿って振動
するので、搬送ベルト27と一体に板状体2 が移動するに
伴って、サンドペーバー等の研磨材51により導体層の表
面を一端側から他端側へと順次研磨する。従って、導体
層の表面を適当な粗面状に研磨したり、またバリがあれ
ば、そのバリを確実に除去できる。

【００３４】到着センサー71が板状体2 の後端側を検出
すると、その検出時点から一定時間が経過して板状体2
の後端側が研磨ヘッド50の下側を通過した後に、昇降シ
リンダ54が収縮して研磨ヘッド50が上昇し、また振動部
52が振動を停止して、１枚の板状体2 の導体層の研磨動
作が終了する。なお、搬送手段3 を通過した板状体2
は、コンベア75を経て次工程へと搬送されて行く。

【００３５】研磨ヘッド50の研磨材51が損耗した場合に
は、固定具69を外して支持枠53をヒンジ軸66廻りに側方
へと反転回動させて、研磨手段7 の研磨ヘッド50が支持
枠53の上側になるように、支持枠53を搬送手段3 の側方
に反転させる。そして、支持枠53を反転受け台70上に乗
せて反転状態に保持する。次に研磨ヘッド50の両側の押
さえボルト59を緩めて、挟持部材58による研磨材51の挟
持を解除した後、古い研磨材51を研磨ヘッド50から取り
外して新しいものと交換する。

【００３６】研磨材51を交換した後は、ヒンジ軸66廻り
に支持枠53を回動させて搬送手段3の上側に戻し、受け
台68上に固定具69で固定すれば良い。この実施形態で
は、次のような利点がある。即ち、搬送手段3 の搬送ベ
ルト27で板状体2 を搬送する間に、研磨手段7 により板
状体2 を自動的に研磨できるので、多数枚の板状体2 を
容易且つ確実に能率的に研磨すること可能である。また
搬送手段3 上の板状体2 を、その下側の吸着手段6 によ
り搬送ベルト27側に吸着した状態で研磨できるため、搬
送ベルト27上での板状体2 の移動等による研磨むらを防
止でき、板状体2 の表面の仕上がり状態が均一になり、
また板状体2 の表面にバリがある場合には、そのバリを
確実に除去できる

【００３７】搬送ベルト27の上下両側に吸着手段6 と研
磨手段7 とを対応させて配置しているため、全体の構成
を簡単にできる。また搬送ベルト27を下側にベルト案内
板40で案内し、このベルト案内板40を介して吸着手段6
により搬送ベルト27上の板状体2 を下側から吸着するた
め、搬送ベルト27に過大な加重が上下方向にかかること
もなく、しかも搬送ベルト27上での板状体2 の安定性が
良くなり、研磨手段7により板状体2 を均一に研磨でき
る。

【００３８】搬送ベルト27の駆動時には、駆動ドラム25
と従動ドラム26とのベルト溝33,34に嵌合する駆動ベル
ト37を介して、駆動ドラム25により搬送ベルト27を搬送
方向に駆動する。このため、搬送ベルト27と駆動ドラム
25との間の滑り等がなく、搬送ベルト27を確実且つ円滑
に駆動でき、搬送速度のバラツキ等による研磨むらを防
止できる。また駆動ベルト37が駆動ドラム25と従動ドラ
ム26とのベルト溝33,34 に嵌合しているため、搬送ベル
ト27の幅方向のずれ等もない。

【００３９】ベルト案内板40に、搬送ベルト27の吸着孔
38と連通する吸引孔43を設けているため、ベルト案内板
40を桟状に構成したり、吸着手段6 の上側に大きな開口
を設けたりする必要がなく、ベルト案内板40で搬送ベル
ト27を確実に支持しながらも、搬送ベルト27上の板状体
2 を確実に吸着できる。

【００４０】搬送ベルト27はその幅方向の両端部を押さ
え板39で上側から押さえているため、搬送ベルト27に多
数の吸着孔38を有する薄手のスチールベルト等を使用し
ても、この押さえ板39によって搬送ベルト27の端縁側の
上下方向の波打ちを防止できる。このため搬送ベルト27
に屈曲性の良い薄手のスチールベルト等を使用できると
共に、吸着手段6 により搬送ベルト27上の板状体2 を確
実に吸着することができる。

【００４１】以上、本発明の実施形態について説明した
が、本発明はこの実施形態に限定されるものではない。
例えば、搬送手段3 は、緩衝体付きのチェーン、丸ベル
ト等を幅方向に複数本配置して構成しても良い。吸着手
段6 は、搬送方向に同期して移動する複数個の吸着カッ
プ16により構成しても良い。

【００４２】研磨手段7 に装着する研磨材51は、粗面仕
上げ用、平滑仕上げ用等の内から、目的に応じたものを
適宜選択して使用すれば良い。振動部52は、モータを利
用した電動式等の他、エアー駆動式の何れを採用しても
良い。実施形態では、板状体2 の表面に形成した導電層
を研磨するようにしているが、板状体2 自体の表面を研
磨するうにしても良い。

【００４３】

【発明の効果】請求項１に記載の本発明によれば、板状
体2 を搬送する搬送手段3 と、この搬送手段3 上の板状
体2 を該搬送手段3 側に吸着する吸着手段6 と、搬送手
段3 上の板状体2 を上側から研磨する研磨手段7 とを備
え、吸着手段6 と研磨手段7 とを搬送手段3 の搬送部側
の上下両側に対応させて配置しているので、次のような
顕著な効果を奏する。 搬送手段3 による搬送中に板状体2 を研磨手段7 に
より自動的に研磨できるので、板状体2 を容易且つ確実
に能率的に研磨でき、研磨作業の能率化、省力化を図る
ことができる。 搬送手段3 の下側の吸着手段6 によって、搬送手段
3 上の板状体2 を搬送手段3 側に吸着するようにしてい
るので、板状体2 を搬送手段3 上に固定した状態で研磨
でき、板状体2 の研磨むらを防止でき確実に研磨でき、
板状体2 の表面の仕上がり状態が良好になると共に、バ
リ等のある板状体2 の場合には、そのバリ等を確実に除
去でき、品質が著しく向上する 搬送手段3 の下側に吸着手段6 を設け、搬送手段3
により搬送される板状体2 を吸着手段6 で下側から吸着
するため、板状体2 を搬送手段3 によって単に搬送する
だけで板状体2 を自動的に吸着し、またその吸着を解除
できる。 搬送手段3 の上下に対応させて吸着手段6 と研磨手
段7 とを配置しているため、全体の構成を簡単にでき
る。

【００４４】請求項２に記載の本発明によれば、請求項
１に記載の発明において、駆動ドラム25と従動ドラム26
とに跨がって搬送ベルト27を捲回して搬送手段3 を構成
し、搬送ベルト27の搬送側の下側に、この搬送ベルト27
を下側から支持するベルト案内板40を設け、このベルト
案内板40の下側に吸着手段6 を設けているので、次のよ
うな顕著な効果を奏する。 駆動ドラム25と従動ドラム26とに跨がって搬送ベル
ト27を捲回して搬送手段3 を構成しているため、搬送手
段3 の構成が簡単である。 搬送ベルト27の下側にベルト案内板40があり、この
ベルト案内板40の下側に吸着手段6 があるため、搬送ベ
ルト27に過大な加重がかかることもなく、耐久性が向上
すると共に、搬送ベルト27上での板状体2 の安定性が向
上し、研磨手段7 により板状体2 を均一に研磨できる。 請求項３に記載の本発明によれば、請求項１又は２に記
載の発明において、搬送ベルト27を多孔金属ベルトによ
り構成し、この搬送ベルト27の内周側の幅方向の両端部
に駆動ベルト37を周方向に設け、この駆動ベルト37が嵌
合するベルト溝33,34 を駆動ドラム25と従動ドラム26と
に設けているので、次のような顕著な効果を奏する。 搬送ベルト27を多孔金属ベルトにより構成している
ため、下側の吸着手段6 により板状体2 を確実に吸着で
きる。 搬送ベルト27の内周側の幅方向の両端部に駆動ベル
ト37を周方向に設け、この駆動ベルト37が嵌合するベル
ト溝33,34 を駆動ドラム25と従動ドラム26とに設けてい
るので、搬送ベルト27を確実且つ円滑に搬送方向に駆動
でき、搬送速度のバラツキ等による研磨むらを防止でき
る。 搬送ベルト27の駆動ベルト37が駆動ドラム25と従動
ドラム26とのベルト溝33,34 に嵌合して回動するように
なっているため、搬送ベルト27の幅方向のずれ等を防止
できる。

【００４５】請求項４に記載の本発明によれば、請求項
１〜３の何れかに記載の発明において、ベルト案内板40
に、搬送ベルト27の吸着孔38と連通する吸引孔43を設
け、このベルト案内板40の下側に、吸着手段6 の吸引室
45を構成する吸引箱46を装着しているので、次のような
顕著な効果を奏する。 ベルト案内板40に、搬送ベルト27の吸着孔38と連通
する吸引孔43を設けているので、ベルト案内板40を桟状
に構成したり、吸着手段6 の上側に大きな開口を設ける
必要がなく、ベルト案内板40で搬送ベルト27を確実に支
持しながらも、搬送ベルト27上の板状体2 を確実に吸着
できる。 ベルト案内板40の下側に、吸着手段6 の吸引室45を
構成する吸引箱46を装着しているため、吸着手段6 の構
造及び取り付けを簡単にできる。 請求項５に記載の本発明によれば、請求項１〜４の何れ
かに記載の発明において、研磨手段7 を支持する支持枠
53を搬送手段3 の上方に幅方向に配置し、搬送手段3 の
幅方向の一側の側枠8 に、支持枠53の一端側を略水平方
向のヒンジ軸66廻りに反転自在に枢支し、搬送手段3 の
幅方向の他側の側枠8 に、支持枠53の他端側を固定する
固定具69を設けているので、次のような顕著な効果を奏
する。 支持枠53に装着した研磨手段7 を搬送手段3 の側方
に反転でき、研磨材51の交換、その他のメンテナンスを
容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示す全体の正面図であ
る。

【図２】本発明の一実施形態を示す全体の平面図であ
る。

【図３】本発明の一実施形態を示す全体の左側面図であ
る。

【図４】本発明の一実施形態を示す全体の右側面図であ
る。

【図５】本発明の一実施形態を示す供給手段の正面断面
図である。

【図６】本発明の一実施形態を示す搬送手段の平面断面
図である。

【図７】本発明の一実施形態を示す吸着、研磨部分の断
面図である。

【図８】本発明の一実施形態を示す案内、吸着部分の平
面図である。

【図９】本発明の一実施形態を示す案内、吸着部分の断
面図である。

【図１０】本発明の一実施形態を示す案内、吸着部分の
一部破断側面図である。

【図１１】本発明の一実施形態を示す案内、吸着部分の
要部拡大断面図である。

【図１２】本発明の一実施形態を示す搬送ベルトの平面
図である。

【符号の説明】

2 板状体 3 搬送手段 6 吸着手段 7 研磨手段 8 側枠 25 駆動ドラム 26 従動ドラム 27 搬送ベルト 33,34 ベルト溝 37 駆動ベルト 38 吸着孔 40 ベルト案内板 43 吸引孔 45 吸引室 46 吸引箱 53 支持枠 66 ヒンジ軸 69 固定具

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状体(2) を搬送する搬送手段(3) と、
   この搬送手段(3) 上の板状体(2) を該搬送手段(3) 側に
   吸着する吸着手段(6) と、搬送手段(3) 上の板状体(2)
   を上側から研磨する研磨手段(7) とを備え、吸着手段
   (6) と研磨手段(7) とを搬送手段(3) の搬送部側の上下
   両側に対応させて配置したことを特徴とする板状体の研
   磨装置。
2. 【請求項２】 駆動ドラム(25)と従動ドラム(26)とに跨
   がって搬送ベルト(27)を捲回して搬送手段(3) を構成
   し、搬送ベルト(27)の搬送側の下側に、この搬送ベルト
   (27)を下側から支持するベルト案内板(40)を設け、この
   ベルト案内板(40)の下側に吸着手段(6) を設けたことを
   特徴とする請求項１に記載の板状体の研磨装置。
3. 【請求項３】 搬送ベルト(27)を多孔金属ベルトにより
   構成し、この搬送ベルト(27)の内周側の幅方向の両端部
   に駆動ベルト(37)を周方向に設け、この駆動ベルト(37)
   が嵌合するベルト溝(33)(34)を駆動ドラム(25)と従動ド
   ラム(26)とに設けたことを特徴とする請求項１又は２に
   記載の板状体の研磨装置。
4. 【請求項４】 ベルト案内板(40)に、搬送ベルト(27)の
   吸着孔(38)と連通する吸引孔(43)を設け、このベルト案
   内板(40)の下側に、吸着手段(6) の吸引室(45)を構成す
   る吸引箱(46)を装着したことを特徴とする請求項１、２
   又は３に記載の板状体の研磨装置。
5. 【請求項５】 研磨手段(7) を支持する支持枠(53)を搬
   送手段(3) の上方に幅方向に配置し、搬送手段(3) の幅
   方向の一側の側枠(8) に、支持枠(53)の一端側を略水平
   方向のヒンジ軸(66)廻りに反転自在に枢支し、搬送手段
   (3) の幅方向の他側の側枠(8) に、支持枠(53)の他端側
   を固定する固定具(69)を設けたことを特徴とする請求項
   １、２、３又は４に記載の板状体の研磨装置。