JPH10109083A - 膜脱気装置の能力診断方法 - Google Patents

膜脱気装置の能力診断方法

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JPH10109083A
JPH10109083A JP28296896A JP28296896A JPH10109083A JP H10109083 A JPH10109083 A JP H10109083A JP 28296896 A JP28296896 A JP 28296896A JP 28296896 A JP28296896 A JP 28296896A JP H10109083 A JPH10109083 A JP H10109083A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 膜脱気装置の能力低下を季節変化に関係なく
常に正確に診断する。 【解決手段】 通水ライン2の途中に膜脱気装置1、通
水ライン2の膜脱気装置1よりも下流に溶存酸素計3、
溶存酸素計3に接続された脱気能力検出装置5をそれぞ
れ設けておき、膜脱気装置1によって脱気し、脱気処理
後の溶存酸素濃度を溶存酸素計3によって測定してお
り、脱気能力検出装置5は溶存酸素計3にて測定された
測定溶存酸素濃度と、別に設定しておいた基準溶存酸素
濃度を比較することで、膜脱気装置の能力を診断してい
る膜脱気装置において、通水ライン2途中に、通水され
ている水の温度を測定する温度検出装置4を設け、温度
検出装置4と脱気能力検出装置5を接続しておき、脱気
能力検出装置5は測定された水温によって基準溶存酸素
濃度の値を調整し、前記測定溶存酸素濃度と調整された
基準溶存酸素濃度を比較することで膜脱気装置の能力を
診断する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、膜脱気装置の能力診断
方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】水中の溶存酸素を除去する装置として膜
脱気装置が知られている。この装置は、微小な孔の開い
た気液分離膜を内蔵した膜モジュールに真空発生装置を
接続しておき、モジュール内の膜の一方側を減圧し他方
側に通水することにより、水中の溶存酸素を減圧側に移
動させて脱気を行うものである。この場合、水中に懸濁
物質などがあると、これが膜の表面に付着し、微小孔が
塞がれるために膜脱気装置の脱気能力が徐々に低下す
る。
【0003】そのため、膜脱気装置から取り出された脱
気水の溶存酸素濃度を測定し、測定溶存酸素濃度が別に
設定しておいた基準溶存酸素濃度を上回ると膜脱気装置
の能力が低下していると判断してその旨の出力を行い、
能力低下の出力を受けて気液分離膜の洗浄などを行うこ
とで脱気能力を回復させている。ところが、膜モジュー
ルで除去される溶存酸素量は水の温度によっても大きく
変化し、溶存酸素計によって測定される溶存酸素濃度は
水温が高いと低く、水温が低いと高くなる。また、膜脱
気装置の設置が増加している小型ボイラの防食用途や、
建物配管の防食用途においては、膜モジュールに通水さ
れる水を温調加熱する例はは少ない。そのため、水温の
高い夏季には能力が低下しているのに能力低下を検出で
きないことがあり、逆に水温の低い冬季には能力が低下
してなくても能力低下と判断してしまうことがあった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、膜脱気装置の能力低下を水温の季節変化に
関係なく常に正確に診断することのできる膜脱気装置の
能力診断方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】通水ラインの途中に気液
分離膜を内蔵し真空発生装置が接続された膜脱気装置、
通水ラインの膜脱気装置よりも下流に水中の溶存酸素濃
度を測定する溶存酸素計、溶存酸素計に接続している脱
気能力検出装置をそれぞれ設けておき、脱気能力検出装
置は溶存酸素計にて測定した脱気水中の溶存酸素濃度で
ある測定溶存酸素濃度と別に設定しておいた基準溶存酸
素濃度を比較することで、膜脱気装置の能力を診断して
いる膜脱気装置において、通水ライン途中に、通水され
ている水の温度を測定する温度検出装置を設け、温度検
出装置と脱気能力検出装置を信号線で接続しておき、脱
気能力検出装置は測定された水温によって基準溶存酸素
濃度の値を調整し、前記測定溶存酸素濃度と調整された
基準溶存酸素濃度を比較することで膜脱気装置の能力を
診断する。
【0006】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を図面を用いて
説明する。通水ライン2の途中に気液分離膜を内蔵した
膜モジュール6を設け、膜モジュール6の下流に脱気水
タンク7を設ける。膜モジュール6内は気液分離膜によ
って減圧側と通水側に分けておき、減圧側に真空発生装
置8を接続しており、膜モジュール6と真空発生装置8
で膜脱気装置1を構成する。膜モジュール6の上流側に
温度検出装置4、膜モジュール6と脱気水タンク7の間
の通水ライン2から分岐させた分岐配管途中には溶存酸
素計3を設ける。また、溶存酸素計3と温度検出装置4
のそれぞれに信号線で接続された脱気能力検出装置5を
設けておく。
【0007】脱気処理を行う場合、真空発生装置8を作
動することで膜モジュール6の減圧側を真空化し、原水
を膜モジュール6の通水側へ送り込むと、通水側の原水
に含まれている溶存酸素が気液分離膜を通して減圧側に
移動する。膜脱気装置1で処理された脱気水は通水ライ
ン2を通して脱気水タンク7へ送られ、脱気水タンク7
より脱気水使用側へ送られる。
【0008】次に、この膜脱気装置における能力診断方
法について説明する。温度検出装置4は水温を測定し、
水温の情報を脱気能力検出装置5へ出力する。溶存酸素
計3へは膜脱気装置1で処理された脱気水の一部がサン
プルとして送られており、溶存酸素計3は脱気水中に残
された溶存酸素の濃度を測定し、測定溶存酸素濃度とし
て脱気能力検出装置5へ出力する。脱気能力検出装置5
では温度検出装置4より送られてきた水温を基準溶存酸
素濃度算出式に代入し、その温度における基準溶存酸素
濃度を演算により求める。脱気能力検出装置5は、演算
により求めた基準溶存酸素濃度と溶存酸素計3にて測定
した測定溶存酸素濃度の比較を行い、基準溶存酸素濃度
の方が測定溶存酸素濃度を上回っていた場合には膜脱気
装置の能力は正常と判断し、測定溶存酸素濃度が基準溶
存酸素濃度を上回った場合には膜脱気装置の能力低下を
出力する。
【0009】図2は水温と処理水溶存酸素濃度の関係を
示したものである。従来の基準溶存酸素濃度は水温に関
係なく一定の値であるため、能力低下していなくても低
水温時には能力低下と判断したり、高水温時には能力が
大きく低下するまで能力低下を検出できない場合がある
が、本発明による基準溶存酸素濃度は、水温が高い場合
には低い値、水温が低い場合には高い値とされるため、
能力低下を正確に検出できる。
【0010】
【発明の効果】本発明を実施することにより、季節変化
によって水温が変化していても膜脱気装置の能力を常に
正確に診断し、能力低下を正確に検出することができ、
適正な時期に膜の洗浄等を行い、必要な能力を保つこと
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例での各機器の配置を示す説明
【図2】本発明による基準溶存酸素と従来の基準溶存酸
素の比較説明図
【符号の説明】
1 膜脱気装置 2 通水ライン 3 溶存酸素計 4 温度検出装置 5 脱気能力検出装置 6 膜モジュール 7 脱気水タンク 8 真空発生装置

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 通水ラインの途中に気液分離膜を内蔵し
    真空発生装置が接続された膜脱気装置、通水ラインの膜
    脱気装置よりも下流に水中の溶存酸素濃度を測定する溶
    存酸素計、溶存酸素計に接続している脱気能力検出装置
    をそれぞれ設けておき、脱気能力検出装置は溶存酸素計
    にて測定した脱気水中の溶存酸素濃度である測定溶存酸
    素濃度と別に設定しておいた基準溶存酸素濃度を比較す
    ることで、膜脱気装置の能力を診断している膜脱気装置
    において、通水ライン途中に、通水されている水の温度
    を測定する温度検出装置を設け、温度検出装置と脱気能
    力検出装置を信号線で接続しておき、脱気能力検出装置
    は測定された水温によって基準溶存酸素濃度の値を調整
    し、前記測定溶存酸素濃度と調整された基準溶存酸素濃
    度を比較することで膜脱気装置の能力を診断することを
    特徴とする膜脱気装置の能力診断方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190103947A (ko) * 2018-02-28 2019-09-05 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 기판 처리 장치, 처리액 배출 방법, 처리액 교환 방법, 및 기판 처리 방법

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KR20190103947A (ko) * 2018-02-28 2019-09-05 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 기판 처리 장치, 처리액 배출 방법, 처리액 교환 방법, 및 기판 처리 방법

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