JPH10106437A - ガス放電表示パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複雑な形状を備えた放電セルの内面に対して
も、蛍光体を広い範囲に必要な厚さで容易かつ強固に被
着でき、後処理によって放電電極を損傷させる危険性も
少ないガス放電表示パネルの製造方法を実現する。 【解決手段】 複数の透明陽極24を形成した透明絶縁材
よりなる前面基板14と、複数の畦状陰極20を形成した絶
縁材よりなる背面基板12とを、間隙を隔てて対向配置し
て両電極間に複数の放電セル30を形成し、背面基板12の
対向面に各放電セル30を囲繞するバリアリブ22を形成
し、両基板の周縁を気密封止して外囲器16となし、外囲
器16内に蛍光体24と紫外線放射ガスを封入した放電表示
パネル10の製造方法であって、蛍光体24を、プラズマ溶
射によってバリアリブ22の内面及び畦状陰極の先端部20
ｂの表面に被着させた後、先端部20ｂの表面を覆ってい
る蛍光体24を除去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、放電セル内の放
電生成によって発生した紫外線で蛍光体を励起させ、以
て所望の表示色を実現するガス放電表示パネルの製造方
法に係り、特に、蛍光体の被着方法に特徴を有してい
る。

【０００２】

【従来の技術】図１２に示すように、従来のガス放電表
示パネル60は、例えば平板ガラス等の絶縁材よりなる背
面基板12と、同じく平板ガラス等の透明絶縁材よりなる
前面基板14とを、所定の間隙を隔てて対向配置し、両基
板周縁を低融点ガラス等の図示しない封着材によって気
密封止して外囲器16を形成し、該外囲器16の内部空間に
紫外線放射ガスを主体とした放電ガスを封入することを
基本構成とする。

【０００３】上記背面基板12の対向面には、Ａｇ・Ｐｄ
系ペースト等よりなる帯状の陰極引出パターン18が、所
定の間隔をおいて複数本並設されている。また、各陰極
引出パターン18の上面には、ＧｄＢ₆とＢａＡｌ₂Ｏ₄を
約２：１の比率で混合したエミッタ物質よりなる柱状陰
極62が、一定の間隔をおいて複数本立設されている。こ
の柱状陰極62は、円筒状の基端部62ａが、背面基板12の
対向面上を覆う陰極保持層64内に埋没していると共に、
略半球状の先端部62ｂは、該陰極保持層64外に突出して
いる。この陰極保持層64は、ガラス等の絶縁材によって
構成されている。

【０００４】この陰極保持層64の表面には、バリアリブ
66が形成されている。このバリアリブ66は、ガラス等の
絶縁材よりなり、各柱状陰極62を取り囲む孔部66ａが複
数形成されている。この孔部66ａは、その下方（陰極保
持層64側）から上方（前面基板14側）に向けて孔径が徐
々に拡大するよう形成された、いわゆる漏斗形状をなし
ており、この孔部66ａ内の略中央に柱状陰極の先端部62
ｂが収容されている。バリアリブ66は、陰極保持層64の
表面に密着した第１の層68と、順次積層された第２の層
70及び第３の層72よりなる３層構造を備えており、各層
にはそれぞれ孔径の異なる貫通孔が形成されている。そ
して、最も孔径の小さい第１の層の貫通孔68ａ、次に孔
径の小さい第２の層の貫通孔70ａ、最も孔径の大きい第
３の層の貫通孔72ａが、それぞれ同心円状に連続するよ
う位置決めされ、もって孔径が下方から上方に向けて徐
々に拡大するバリアリブの孔部66ａが形成される。この
バリアリブの孔部66ａの内面と、陰極保持層64の表面
（柱状陰極62の付根周辺）には、所望の発光色に対応し
た蛍光体24が所定の厚さで被着されている。

【０００５】上記前面基板14の対向面には、ＮＥＳＡ膜
（ＳｎＯ₂）やＩＴＯ膜（Ｉｎ₂Ｏ₃・ＳｎＯ₂）等よりな
る帯状の透明陽極28が、所定の間隔をおいて複数本並設
されている。上記した各柱状陰極の先端部62ｂは、所定
の間隙を隔てて透明陽極28と対向しており、この柱状陰
極62と透明陽極28との対向部分毎に、バリアリブの孔部
66ａによって区画された放電セル74が形成されている。
上記バリアリブ66の上面には、ガラス等の絶縁材よりな
る複数のスペーサ26が配置されている。各スペーサ26の
端面は、前面基板14の対向面に当接しているため、前面
基板14とバリアリブ66との間には、スペーサ26の高さに
相当する隙間32が形成されている。

【０００６】しかして、図示しない電源より透明陽極28
及び柱状陰極62間に直流電圧を印加すると、放電セル74
内で放電が生成し、紫外線が発生する。この紫外線が放
電セル74内の蛍光体24を励起し、所定の発光色を有する
光が透明陽極28及び前面基板14を透過して外部に放射さ
れる。この電圧印加を、図示しない制御・駆動回路を介
して選択的に実行することにより、所望の放電セル74に
おいて放電発光を生成させ、前面基板14上に任意の文字
や図形を表示することができる。

【０００７】この際、柱状陰極の先端部62ｂは、その頂
点のみならず側周面も放電に関与することとなる。した
がって、放電によって発生した紫外線は、バリアリブの
内面のみならず、陰極保持層64の表面に被着された蛍光
体24にも遍く照射されることとなり、平面状の非突出型
陰極を用いた場合に比べてより高輝度な表示が可能とな
る。また、各放電セル74を区画するバリアリブ66の孔部
66ａが、下方から上方に向かって孔径が徐々に拡大する
漏斗形状をなしており、放電により生じた光はこの孔部
66ａの内面で反射されて前面基板14側に集光されるた
め、極めて高輝度な表示が可能となる。さらに、柱状陰
極の先端部62ｂが半球状に湾曲しているため、表面の電
界強度が均一化し、放電特性が安定化する利点もある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、放電セ
ル74内の放電生成によって生じた紫外線によって蛍光体
24を励起し、以て必要な表示色を得る方式のガス放電表
示パネル60にあっては、放電セル74内のできるだけ広い
範囲に蛍光体24を被着させることが、表示の高輝度化に
は欠かせない条件となる。特に、上記のように柱状陰極
62を採用する場合、バリアリブ66の最下層部分や柱状陰
極62の付け根付部分にも十分に蛍光体24を被着させなけ
れば、突出陰極を採用した利点が減殺されてしまう。そ
の一方で、柱状陰極の先端部62ｂの表面が隠れるほど放
電セル74内を蛍光体24で満たしてしまうと、今度は放電
生成に支障を来すこととなる。したがって、蛍光体24
は、柱状陰極の先端部62ｂの表面を除いた、放電セル74
の内面にできるだけ広くかつ適当な厚さで被着させるこ
とが肝要となる。

【０００９】この蛍光体24を放電セル74内に被着させる
方法として、厚膜印刷法やフォト法が従来から知られて
いる。厚膜印刷法とは、バリアリブ66を形成した背面基
板12の対向面に、バリアリブの孔部66ａに対応した部分
が開口したマスクを被せ、その上からバインダと混練さ
せたペースト状の蛍光体24をスキージやローラを介して
何度も塗り込み、バリアリブの孔部66ａ内に蛍光体24を
充填させる方法である（図示省略）。またフォト法と
は、感光性の樹脂と蛍光体24をバインダを介してペース
ト状にしたものを、バリアリブ66の上面全域に被着させ
た後に、バリアリブの孔部66ａに対応した部分のみが透
光性を帯びると共に、他の部分には遮光性のパターンが
印刷されたマスクフィルムを被せ、上から紫外線露光を
施してバリアリブの孔部66ａ内に被着された蛍光体24の
みを硬化させ、つぎに特殊な現像液に漬けて硬化されて
いない蛍光体24を溶解・除去させ、結果的にバリアリブ
の孔部66ａ内のみに蛍光体24を配置させる方法である
（図示省略）。

【００１０】しかしながら、上記従来の方法は、何れも
ある程度の粘性を備えたペースト状の蛍光体24をバリア
リブ66の上面から孔部66ａ内に塗り込めることを基本と
しているため、一定の深さを備えた孔部66ａの奥部内面
にまで蛍光体24を一定の厚さで被着させることは、極め
て困難であった。すなわち、孔部66ａの上層付近には蛍
光体24が被着し易い反面、最下層部分には蛍光体24が届
き難いためである。このため従来は、図１３に示すよう
に、一旦バリアリブの孔部66ａ内に必要な量に比べてか
なり多めに蛍光体24を充填させた上で、焼成を施して余
計なバインダ成分を飛ばした後に、研磨材を噴射させて
不要な蛍光体24を削り取るという手法を用いていた。こ
の場合、柱状陰極先端部62ｂの側周面とバリアリブ66の
内面との間に詰まった蛍光体24を確実に除去しなけれ
ば、当該側周面は蛍光体24の中に埋もれてしまうことと
なり、突出陰極としての実効性を確保できなくなるた
め、余剰蛍光体24の除去作業を高精度で制御する必要が
ある。しかしながら、図示のように深く堆積された蛍光
体24を、バリアリブ66の内面全域にわたって適度な厚さ
になるまで削ぎ取っていくことは決して容易な作業とは
いえず、削り残しや削り過ぎが生じる可能性が高いもの
であった。特に、上記のようにバリアリブ66の内面が上
から下にに向かって狭まる漏斗形状をなしていると共
に、陰極も突出した柱状をなしており、両者によって複
雑な形状が現出されている場合には、その分緻密な作業
が要求され、少しでも加減を誤ると柱状陰極の先端部62
ｂを損ねてしまう危険性があった。

【００１１】さらに、従来の被着方法は、ペースト状の
蛍光体24を塗布して焼成させるだけなので、被着面に対
する蛍光体24の接着強度が比較的弱く、放電生成に伴う
スパッタリング等の衝撃で剥離し易いという欠点があっ
た。

【００１２】この発明は、従来の製造方法において生じ
ていた上記問題を解決せんとするものであり、バリアリ
ブや放電電極の形状が複雑な場合であっても、放電セル
内面の広い範囲にわたって、蛍光体を必要な厚さで比較
的容易かつ強固に被着でき、しかも後処理によって放電
電極を損傷させる危険性の少ないガス放電表示パネルの
製造方法を実現することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明に係るガス放電表示パネルの製造方法は、
一面に複数の透明な放電電極を形成した透明絶縁材より
なる前面基板と、一面に複数の放電電極を形成した絶縁
材よりなる背面基板とを、所定の間隙を隔てて対向配置
して両放電電極間に複数の放電セルを形成し、上記前面
基板及び背面基板の少なくとも一方の対向面に各放電セ
ルを囲繞するバリアリブを形成し、両基板の周縁を気密
封止して外囲器となし、該外囲器内に蛍光体と紫外線放
射ガスを封入してなるガス放電表示パネルの製造方法で
あって、上記蛍光体を、バリアリブを形成した上記前面
基板及び背面基板の少なくとも一方の対向面にプラズマ
溶射して、上記バリアリブの内面及び放電電極の表面に
所定の厚さで被着させた後、上記放電電極の表面を覆っ
ている蛍光体を除去することを特徴とする。上記蛍光体
として、ＢａＭｇＡｌ₁₄Ｏ₂₃：Ｅｕ²⁺やＢａＡｌ
₁₂Ｏ₁₉：Ｍｎ、または（ＹＥｕ）₂Ｏ₃を用いることが望
ましい。

【００１４】プラズマ溶射は、アルゴン、ヘリウムなど
の不活性ガスをアークによってプラズマ化し、これを細
いノズルから噴出させて形成した超高温、高速流のジェ
ット中に粉末状の溶射物質を送給し、これを溶融させつ
つ加速して基材の表面に皮膜を形成する技術であり、高
密度、高強度の皮膜を形成することができる。そして、
溶射物質を無数の微細な粒子状にして噴き飛ばすため、
噴射の際の圧力を調節したり、噴射時間を加減すること
により、被着の厚さを比較的自由に制御できる利点を備
えている。また、蛍光体のみを被着させることができる
ため、バインダの添加によってある程度の粘性が生じた
ペースト状の蛍光体を被着させる従来の方法に比べ、複
雑な表面形状を備えている基材の表面にも満遍なく被着
できる利点を備えている。このため、蛍光体を前面基板
や背面基板の対向面にプラズマ溶射すれば、例えバリア
リブや放電電極の表面が複雑な形状を備えていても、略
意図した通りの厚さで蛍光体を被着させることができ
る。この結果、放電電極の表面を覆っている蛍光体を除
去する作業も僅かで済み、蛍光体に深く埋没した放電電
極を掘り出す従来の方法に比べ、誤って放電電極を傷つ
ける危険性が少なく、簡単かつ短時間で完了させること
ができる。

【００１５】しかも、溶融した蛍光体は、対象面に相当
の勢いで到達させられるものであり、その一部は対象面
にめり込む形で定着することとなるため、単に表面を覆
っている場合に比べて接着強度が高まる特徴を備えてい
る。

【００１６】

【発明の実施の態様】以下にこの発明に係るガス放電表
示パネルを、添付図面に基づいて説明する。図１は、ガ
ス放電表示パネル10を示す概略断面図であり、このガス
放電表示パネル10は、平板ガラス等の絶縁材よりなる背
面基板12と、同じく平板ガラス等の透明絶縁材よりなる
前面基板14を、所定の間隙を隔てて対向配置し、両基板
周縁を低融点ガラス等の図示しない封着材によって気密
封止して外囲器16を形成し、該外囲器16の内部空間に紫
外線放射用のＸｅガスに、Ｈｅ及びＡｒを所定の比率で
混合した放電ガスを封入することを基本構成とする。

【００１７】上記背面基板12の対向面には、Ａｇ・Ｐｄ
系ペースト等よりなる帯状の陰極引出パターン18が複数
列並設されている。各陰極引出パターン18の上面には、
所定の高さを備えた畦状陰極20が立設されている。この
畦状陰極20は、ＧｄＢ₆とＢａＡｌ₂Ｏ₄を約２：１の比
率で混合したエミッタ物質よりなる。また、畦状陰極20
は断面略「逆Ｕ字」形状を備えており、背面基板12の部
分斜視図である図２に示すように、陰極引出パターン18
の長手方向に沿って長く連なるように形成されている。

【００１８】上記背面基板12の表面には、ガラス等の絶
縁材より成るバリアリブ22が形成されている（図１）。
このバリアリブ22は、背面基板12の表面と接するベース
部22ａと、各畦状陰極20を長さ方向に所定の間隔で区切
る複数の第１の隔壁22ｂと、各畦状陰極20相互間を仕切
る複数の第２の隔壁22ｃと、第１の隔壁22ｂ及び第２の
隔壁22ｃによって囲繞された凹部空間22ｄとを備えてい
る。図３の拡大部分断面図に示すように、上記畦状陰極
20の基端部20ａはバリアリブ22のベース部22ａ内に埋設
されていると共に、先端部20ｂは上記凹部空間22ｄ内に
突出している。バリアリブの第１の隔壁22ｂ及び第２の
隔壁22ｃは、背面基板12の対向面から垂直に立設されて
いるわけではなく、背面基板12に近づくにつれて厚さが
増すように形成されている。この結果、上記凹部空間22
ｄは、背面基板12側から前面基板14側に向けて徐々に広
がる断面略漏斗形状をなしており、該凹部空間22ｄ内面
は反射面を構成している。上記凹部空間22ｄの内面に
は、所望の発光色に対応した蛍光体24が、略全域にわた
って被着されている。また、上記バリアリブ22の上面
で、第１の隔壁22ｂ及び第２の隔壁22ｃが交差する部分
には、図２に示すように、所定の高さを備えたガラス等
より成るスペーサ26が配置されている。

【００１９】上記前面基板14の対向面には、ＮＥＳＡ膜
（ＳｎＯ₂）やＩＴＯ膜（Ｉｎ₂Ｏ₃・ＳｎＯ₂）等よりな
る帯状の透明陽極28が形成されている。図１において
は、１本の透明陽極28の断面のみが表れているが、実際
には所定の間隔をおいて複数本の透明陽極28が並設され
ている。この複数本の透明陽極28と上記した各畦状陰極
20とは、それぞれ所定の間隙を隔てて交差するよう位置
決めされており、各交差部分毎にバリアリブ22によって
囲繞された放電セル30が形成されている。なお、前面基
板14の対向面にはスペーサ26の端面が当接しているた
め、前面基板14とバリアリブ22の上面との間には、スペ
ーサ26の高さに相応した隙間32が形成されている。

【００２０】しかして、図示しない電源より、透明陽極
28及び畦状陰極20間に直流電圧を印加すると、放電セル
30内で放電が生成し、紫外線が発生する。この紫外線が
放電セル30内の蛍光体24を励起し、所定の発光色を有す
る光が透明陽極28及び前面基板14を透過して外部に放射
される。この電圧印加を、図示しない制御・駆動回路を
介して選択的に実行することにより、所望の放電セル30
において放電発光を生成させ、前面パネル14上に任意の
文字や図形を表示することができる。

【００２１】この際、畦状陰極20の先端部20ｂは、その
頂面のみならず側面部分も放電に関与することとなる。
この結果、放電セル30内の比較的広い範囲で放電生成が
実現されることとなり、放電によって発生した紫外線は
バリアリブの凹部空間22ｄ内面に被着された蛍光体24の
略全体に十分照射されるため、極めて高輝度な表示が可
能となる。

【００２２】また、バリアリブの凹部空間22ｄが上記の
ように下方から上方に向かって徐々に広がる断面略漏斗
形状をなしており、その内面が反射面を構成しているた
め、放電によって発生した光はこの内面で反射されて前
面基板14側に集光されることとなり、さらに高輝度な表
示が可能となる。

【００２３】図３に示すように、畦状陰極の下端部20ａ
はバリアリブのベース部22ａに埋没し、該ベース部22ａ
によって確実に保持されている。したがって、単に陰極
引出パターン18の表面に畦状陰極20の下端面を接続する
場合に比べ、陰極引出パターン18への接続強度は格段に
高くなり、容易に抜け難いものとなっている。このた
め、放電セル30の細密化に対応して畦状陰極20を細く形
成しても、十分な接続強度を確保できる。また、上記の
通り、畦状陰極20は陰極引出パターン18に沿って長く連
なるように形成されているため、従来の柱状陰極に比べ
てそれ自体の強度が増している。

【００２４】さらに、畦状陰極の先端部20ｂが断面略半
円状に形成されているため、陰極表面の電界強度が略均
一となり、放電特性の安定化が図れる。もちろん、畦状
陰極先端部20ｂの形状を断面略半円状に整形することな
く、単に断面矩形状のまま用いても陰極としての機能を
果たすことは可能である。しかし、陰極先端にエッジ部
分を残しておくと、そこに電界集中が生じるため該エッ
ジ部分と陽極間の電界強度が他の部分よりも高まり、放
電特性が不安定となる恐れがある。そこで、畦状陰極先
端部20ｂの表面をエッジを落とした曲面に形成し、電界
強度の均一化を図ることが望ましいのである。なお、放
電セル30内で放電が生成した際には、上記隙間32を介し
て各放電セル30間のイオンの流通が確保される。

【００２５】つぎに、このガス放電表示パネル10の、特
に背面基板12側の製造方法について説明する。まず、図
４に示すように、背面基板12の一面に、Ａｇ・Ｐｄ系ペ
ーストを印刷等することにより、帯状の陰極引出パター
ン18を被着形成すると共に、ガラスペーストやセラミッ
クペースト等の絶縁材料を厚膜印刷等することにより、
バリアリブの第１の素地40を所定の厚さで配置してお
く。この際、バリアリブの第１の素地40は陰極引出パタ
ーン18が被着された箇所を避けて配置されるため、陰極
引出パターン18に沿ってバリアリブの第１の素地40が配
置されていない溝42が形成され、該溝42の底には陰極引
出パターン18の表面が露出している。つぎに、上記バリ
アリブの第１の素地40の表面に、ＧｄＢ₆とＢａＡｌ₂Ｏ
₄との混合物よりなるエミッタ物質44をプラズマ溶射に
よって吹き付ける（図５）。この結果、上記溝42内に畦
状陰極の素地46が充填される。

【００２６】その後、バリアリブの第１の素地40の表面
に堆積したエミッタ物質44を研磨し、これを削除する
（図６）。この結果、上記溝42内に充填されたエミッタ
物質（畦状陰極の素地46）のみが残されることとなる。

【００２７】つぎに、図７に示すように、バリアリブの
第１の素地40の表面に、ガラス等の絶縁材料を厚膜印刷
することにより、バリアリブの第２の素地48を所定の厚
さで配置させる。また、このバリアリブの第２の素地48
の表面には、感光性樹脂より成るフォトレジストフィル
ム50が一面に被着される。つぎに、上記フォトレジスト
フィルム50の表面に格子状パターンの印刷されたマスク
を密着させて紫外線による露光処理を施し（図示省
略）、当該パターンに対応する硬化部分を形成した後、
これを所定の現像液に漬けて硬化されていない部分を除
去することにより、図８に示すように、略正方形状の貫
通孔52がドット・マトリクス状に多数配置された格子状
のマスク54を形成する。

【００２８】つぎに、図９に示すように、上記マスク54
の上方に配置されたノズル56より研磨材を吹き付ける、
いわゆるサンドブラスト処理を施す。上記バリアリブの
第２の素地48及び第１の素地40は、ガラスペーストを単
に乾燥させただけの状態にあり、未だ焼成による硬化を
行っていないため、上記サンドブラスト処理を施される
と、マスク54で覆われていない露出部分（マスクの貫通
孔52に該当する部分）が掘り下げられていく。これに対
し、畦状陰極の素地46の方はプラズマ溶射を経て堆積さ
れており、バリアリブの素地に比べて高い硬度を備えて
いるため、上記サンドブラスト処理によって大きく損な
われることはない。上記サンドブラスト処理は、微細な
口径のノズルを用いて個々の貫通孔52毎に実施しても勿
論よいが、図示のように比較的口径の大きなノズル56
（例えば20〜30φ）を用い、複数の貫通孔52に対して同
時に研磨材を吹き付ける方が効率的に遂行できる。この
場合、ノズル56は各貫通孔52の上方を何回も往復移動す
ることにより、各貫通孔52に対応したバリアリブの第２
の素地48及び第１の素地40を徐々に掘り下げていく。

【００２９】バリアリブの第１の素地40の掘り下げ量
は、ノズル56の往復回数を加減したり、ノズル56の移動
速度や研磨材の噴射速度を調節することにより、あるい
は研磨材の粒径や材質を適宜選択することにより、自由
に制御することが可能となり、この結果として畦状陰極
の素地46の突出量を柔軟に設定できる。例えば、バリア
リブの第１の素地40及び第２の素地48をそれぞれ約１０
０μｍの高さに積層させた上で、第１の素地40を表面か
ら約６０μｍ程掘り下げることにより、畦状陰極の素地
46の先端部を約６０μｍの高さで突出させる。もちろ
ん、必要であればさらに深く第１の素地40を掘り下げ
て、畦状陰極の素地46の突出度を高めることも可能であ
る。この場合、第１の素地40をより深く掘り下げる分、
畦状陰極の素地46の基端部と陰極引出パターン18との接
続強度が低下することとなるが、初めから第１の素地40
をより厚く堆積させておけば問題ない。

【００３０】上記のサンドブラスト処理において、一定
の速度でノズル56を移動させれば、貫通孔52の中心付近
ほど研磨材が多く吹き付けられ、周辺付近ほどマスク54
で邪魔される確率が高くなるため、丁度畦状陰極の素地
46の周辺部分が最も深く掘られることとなる。この結
果、畦状陰極の素地46の先端部を露出させるのと同時
に、自然に断面略漏斗形状の凹部空間22ｄを形成するこ
とができる。また、上記サンドブラスト処理を通じて、
畦状陰極の素地46の先端部分も若干ではあるが研磨され
ることとなり、その角が落ちて自然に断面略半円状の湾
曲面が形成される。

【００３１】つぎに、上記マスク54を剥離した上で背面
基板12全体に加熱処理を施し、バリアリブの第１の素地
40、第２の素地48、及び畦状陰極の素地46をそれぞれ焼
成させてバリアリブ22及び畦状陰極20を完成させた後
に、バリアリブの凹部空間22ｄの内面（反射面）に所定
の蛍光体24を被着させる。この蛍光体24の被着に際して
は、まず図１０に示すように、バリアリブの凹部空間22
ｄに向けてノズル58から蛍光体24をプラズマ溶射させ
る。この結果、図１１に示すように、凹部空間22ｄの内
面及び畦状陰極先端部20ｂの表面に蛍光体24が膜状に被
着される。最後に、畦状陰極の先端部20ｂの表面及びバ
リアリブ22の上面を覆っている蛍光体24をサンドブラス
ト等の手段を用いて除去することにより、バリアリブ22
の内面の略全域に蛍光体24を被着させることができる。

【００３２】プラズマ溶射は、上記のように噴射の際の
圧力を調節したり噴射時間を加減することにより、皮膜
の厚さを比較的自由に制御できると共に、複雑な表面形
状を備えている対象物の表面にも満遍なく被着できる利
点を備えている。したがって、断面略漏斗形状を備えた
バリアリブ22の内面及び畦状陰極の先端部20ｂの表面
に、略意図した通りの厚さで蛍光体24を被着させること
ができる。この結果、先端部20ｂの表面を覆っている蛍
光体24を除去する作業も僅かで済み、その分誤って畦状
陰極の先端部20ｂを傷つける危険性が少なく、簡単かつ
短時間で完了させることができる。

【００３３】また、溶融した高温の蛍光体粒子は、相当
の勢いでバリアリブ22の内面に衝突するものであり、そ
の一部はその内面にめり込む形で定着することとなるた
め、単に蛍光体を表面に塗布する場合に比べて接着強度
が格段に高まる特徴を備えている。さらに、蛍光体24そ
のものを溶射でき、つなぎとなるバインダを混練する必
要がないため、バインダを焼成して除去する工程を省く
ことができる。

【００３４】なお、プラズマ溶射法を用いる場合、蛍光
体24としては還元雰囲気中でも変化しないものを用いる
必要があり、例えば青色発光用としてＢａＭｇＡｌ₁₄Ｏ
₂₃：Ｅｕ²⁺が、緑色発光用としてＢａＡｌ₁₂Ｏ₁₉：Ｍｎ
が、また赤色発光用として（ＹＥｕ）₂Ｏ₃などが該当す
る。

【００３５】この発明は、上記のように放電電極の先端
部が突出したり、バリアリブの内面が反射面を形成する
といった複雑な構造を備えたガス放電表示パネルの製造
に限定されるものではなく、より単純な構造のガス放電
表示パネルの製造にも適用できることはいうまでもな
い。

【００３６】

【発明の効果】本発明に係るガス放電表示パネルの製造
方法にあっては、バリアリブの表面に蛍光体をプラズマ
溶射によって被着させるため、複雑な表面形状の対象面
に対しても蛍光体を必要な厚さで被着させることが可能
となる。この結果、放電電極表面を露出させるためにそ
の表面を覆っている蛍光体を除去する作業も最小限で済
み、放電電極を誤って損傷させる危険性もほとんどな
い。また、対象面への接着強度が高まるため、ガス放電
表示パネルの寿命特性の向上にも資する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るガス放電表示パネルの一例を示す
概略断面図である。

【図２】上記ガス放電表示パネルの背面基板側を示す部
分斜視図である。

【図３】上記ガス放電表示パネルの畦状陰極周辺を示す
概略拡大断面図である。

【図４】上記ガス放電表示パネルの背面基板側の製造工
程を示す概略断面図である。

【図５】上記ガス放電表示パネルの背面基板側の製造工
程を示す概略断面図である。

【図６】上記ガス放電表示パネルの背面基板側の製造工
程を示す概略断面図である。

【図７】上記ガス放電表示パネルの背面基板側の製造工
程を示す概略断面図である。

【図８】上記ガス放電表示パネルの背面基板側の製造工
程を示す概略断面図である。

【図９】上記ガス放電表示パネルの背面基板側の製造工
程を示す概略断面図である。

【図１０】上記ガス放電表示パネルの背面基板側の製造
工程を示す概略断面図である。

【図１１】上記ガス放電表示パネルの背面基板側の製造
工程を示す概略拡大断面図である。

【図１２】従来のガス放電表示パネルを示す概略断面図
である。

【図１３】従来のガス放電表示パネルの柱状陰極周辺を
示す概略拡大断面図である。

【符号の説明】

10 ガス放電表示パネル 12 背面基板 14 前面基板 16 外囲器 20 畦状陰極 22 バリアリブ 24 蛍光体 28 透明陽極 30 放電セル

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一面に複数の透明な放電電極を形成した
   透明絶縁材よりなる前面基板と、一面に複数の放電電極
   を形成した絶縁材よりなる背面基板とを、所定の間隙を
   隔てて対向配置して両放電電極間に複数の放電セルを形
   成し、上記前面基板及び背面基板の少なくとも一方の対
   向面に各放電セルを囲繞するバリアリブを形成し、両基
   板の周縁を気密封止して外囲器となし、該外囲器内に蛍
   光体と紫外線放射ガスを封入してなるガス放電表示パネ
   ルの製造方法であって、上記蛍光体を、バリアリブを形
   成した上記前面基板及び背面基板の少なくとも一方の対
   向面にプラズマ溶射して、上記バリアリブの内面及び放
   電電極の表面に所定の厚さで被着させた後、上記放電電
   極の表面を覆っている蛍光体を除去することを特徴とす
   るガス放電表示パネルの製造方法。
2. 【請求項２】 上記蛍光体が、ＢａＭｇＡｌ₁₄Ｏ₂₃：Ｅ
   ｕ²⁺であることを特徴とする請求項１に記載のガス放電
   表示パネルの製造方法。
3. 【請求項３】 上記蛍光体が、ＢａＡｌ₁₂Ｏ₁₉：Ｍｎで
   あることを特徴とする請求項１に記載のガス放電表示パ
   ネルの製造方法。
4. 【請求項４】 上記蛍光体が、（ＹＥｕ）₂Ｏ₃であるこ
   とを特徴とする請求項１に記載のガス放電表示パネルの
   製造方法。