JPH0979931A - 分布型圧力センサの感度校正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】感圧部がマトリクス状に配列された分布型圧力
センサの全感圧部の感度を短時間で校正する。 【解決手段】ベルト状の導電性ゴムを縦横に対向してマ
トリクス上に配列し、これら導電性ゴムにより形成され
る交点部が、加圧力に応じて接触抵抗値が変化する感圧
部となる分布型圧力センサの感度を校正する際、全ての
感圧部を一度に加圧可能な加圧用ピン４２が前記感圧部
と同一配列形状で配列された加圧用治具４５を用意し、
この加圧用治具４５により、前記感圧部の全てを所定の
加圧力で加圧し、感圧部の全てを電気的に走査して所定
の加圧力に対する接触抵抗値を測定し、この接触抵抗値
に基づく測定感度と基準加圧力に係る感度とを比較し、
その比較結果に応じて校正値データを作成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、抵抗溶
接ロボット等、ワークを所定圧力で把持する工業用ロボ
ットのハンド部に装着され、このハンド部のワーク加圧
力を予め測定する際等に使用される分布型圧力センサの
感度校正方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１に、この種の分布型圧力センサ１１
の一般的な斜視構成例を示す。この分布型圧力センサ１
１は、一方向（例えば、横方向とする。）にｎ行配置さ
れたベルト状の導電性ゴム１２と、この導電性ゴム１２
に対向して直交する方向（したがって、縦方向とす
る。）にｍ列配置されたベルト状の導電性ゴム１３が２
層状に配列された構成とされている（ｍは、ｎと同一の
値でもよい。）。

【０００３】図２は、図１に示す分布型圧力センサ１１
の一部を拡大した平面視構成図であり、網点を施した交
点部分が感圧部１４を示している。感圧部１４が配列さ
れた面に対し垂直方向に加えられた圧力に対応して、感
圧部１４の接触抵抗値が変化する。これを利用して加圧
力を検出することができる。

【０００４】したがって、例えば、この分布型圧力セン
サ１１を、抵抗溶接ロボットのワークを把持するガンの
先端面に取り付けることで、ガンの先端面の圧力分布を
測定することができる。

【０００５】このような分布型圧力センサ１１は、それ
ぞれの感圧部１４の感度Ｒ／Ｆ（Ｒは接触抵抗値であっ
て単位は［Ω］、Ｆは加圧力であって単位は［ｇ／ｃｍ
² ］である。）が異なり、したがって、高精度の圧力セ
ンサとしては用いられず、もっぱら、低精度、中精度の
圧力センサとしてのみ採用されていた。

【０００６】しかも、実際には、加圧力Ｆが異なるとそ
の加圧力Ｆにおける微分感度ΔＲ／ΔＦ（ΔＲは接触抵
抗値の変化分であって単位は［Ω］、ΔＦは加圧力の変
化分であって単位は［ｇ／ｃｍ² ］である。）も異な
る、言い換えれば、感度が加圧力の変化に対して直線的
な変化ではなく、緩やかな曲線的、例えば、２次曲線的
に変化する特性を有している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】そこで、このような分
布型圧力センサ１１を高精度の圧力センサとして使用す
る場合には、分布型圧力センサ１１の全ての感圧部１４
について測定値を校正する必要がある。

【０００８】このため、本発明者等は、従来、感圧部１
４の各１点（１箇所）毎に、加圧用ピンにより、例え
ば、順次大きくなる３つの感度校正加圧力を加え、この
３つの感度校正加圧力に対する感度を測定し、これらの
測定感度が、感度校正加圧力に対応した値になる校正値
を算出し、これを校正値データ、例えば、感度校正率
（感度補正率）として保持するようにしていた。なお、
３つの測定値間の感度校正率は、直線補間により算出す
ることができる。直線補間により算出した感度校正率を
用いることにより、微分感度が一定でない分布型圧力セ
ンサ１１を構成する各感圧部１４について、±１％の精
度で感度の校正を行うことができる。

【０００９】しかしながら、この従来技術に係る分布型
圧力センサの感度校正方法は、感圧部１４の全てを各１
点毎に、しかも、３つの異なる感度校正加圧力を加えて
測定値を得、この測定値から校正値データを得る方法で
あるために、作業が繁雑で手間がかかり、結果的に、１
箇の分布型圧力センサについて、全ての感圧部１４の校
正値データを得るまでに相当の時間がかかるという問題
があった。この場合、測定回数は、感圧部１４が１００
箇所あるとすると、１００箇所×３＝３００回にもな
る。

【００１０】この発明はこのような課題を考慮してなさ
れたものであり、分布型圧力センサの感度の校正を容易
かつ速やかに（短時間に）行うことを可能とする分布型
圧力センサの感度校正方法を提供することを目的とす
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明は、相互に交差
するように対向して配列された線状またはベルト状の導
電性部材の各交点間に、加圧力に応じて抵抗値が変化す
る感圧部が配置された構成を有する分布型圧力センサの
感度校正方法において、前記感圧部の配列形状に対応し
て、加圧用ピンが同一配列形状で配列された加圧用治具
により、前記感圧部の全てを一時に所定感度校正用の所
定圧力で加圧し、この所定圧力で加圧した状態におい
て、前記各感圧部の抵抗値を、順次、選択的に測定する
ことで、前記所定感度に対する前記全ての感圧部の感度
校正値データを作成することを特徴とする。

【００１２】この発明では、分布型圧力センサを構成す
るマトリクス状に配列された感圧部の全てを、前記配列
形状に対応して加圧用ピンが同一配列形状で配列された
加圧用治具により一時に所定感度校正用の所定圧力で加
圧し、全ての前記感圧部の感度を測定し、各感圧部の感
度の校正値データを作成するようにしている。

【００１３】この場合、前記所定感度校正用の所定圧力
を、異なる複数の値の所定圧力とすることで、例えば、
直線補間により、感圧部の全感度範囲（使用範囲）での
感度の校正値を得ることができる。

【００１４】特に、前記複数の値を、３つの値にした場
合には、感圧部の全感度範囲に対して、比較的正確な感
度の校正値データを得ることができる。

【００１５】なお、分布型圧力センサとしては、線状ま
たはベルト状の導電性ゴムが相互に交差するように対向
して配列された構成のものを使用することができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態に
ついて、図面を参照して説明する。なお、上記の図１お
よび図２は、この発明にも採用される分布型圧力センサ
１１を示すものであるので、それら、図１および図２を
も参照して説明する。

【００１７】図１は、上述したように、分布型圧力セン
サ１１の斜視構成例を示す。分布型圧力センサ１１は、
一方向（例えば、横方向とする。）にｎ行配置されたベ
ルト状の導電性ゴム１２と、この導電性ゴム１２に対向
して、例えば、直交する方向（したがって、縦方向とす
る。）にｍ列（ｍは、ｎと同一の値でもよく、この実施
の形態においては、ｍ＝ｎ＝１０である。）配置された
ベルト状の導電性ゴム１３とが２層状に配列された構成
とされている。

【００１８】なお、上下に配置された導電性ゴム１２と
導電性ゴム１３における上述の横方向と縦方向とは、直
交する方向に限らず、形成される格子が菱形になる方向
も含まれるものとし、相互に交差する方向であればよ
い。また、導電性ゴム１２、１３の形状は、ベルト状に
限らず、線状（棒状も含む。）でもよい。さらに、分布
型圧力センサ１１は、導電性ゴム１２、１３を使用した
ものに限らず、例えば、半導体ストレインゲージ等、素
子の歪で抵抗値が変化する素子を用い、この素子を前記
交点部分に配置し、この素子を上下の網状の導線パター
ンで連結する構成としたものを用いることもできる。

【００１９】図２は、図１に示す分布型圧力センサ１１
の一部を拡大した平面視構成例を示しており、網点を施
した交点部分が感圧部１４となる部分である。そして、
このように構成される分布型圧力センサ１１の感圧部１
４が配列された面に対し、垂直方向に加えられた圧力に
対応して感圧部１４の接触抵抗値が変化する。これを利
用して加圧力を検出することができる。なお、この実施
の形態において、分布型圧力センサ１１の各感圧部１４
の感度Ｒ／Ｆ（Ｒは接触抵抗値であって単位は［Ω］、
Ｆは加圧力であって単位は［ｇ／ｃｍ² ］である。）の
定格値は、圧力範囲が４０ｇ／ｃｍ² 〜１０４０ｇ／ｃ
ｍ² を検出できるものが採用されている。 図３は、こ
の発明方法が適用された分布型圧力センサ校正装置２１
の全体構成を示している。

【００２０】この分布型圧力センサ校正装置２１は、加
圧装置制御インタフェース２３およびサーボドライバ２
４を通じて加圧装置２２の加圧力を制御するとともに、
センサ出力インタフェース２５を通じて分布型圧力セン
サ１１から測定データを取得し、所定校正値データの算
出のための演算等を行う感度校正制御手段としてのパー
ソナルコンピュータ（以下、パソコンという。）２６を
有する。パソコン２６は、周知のように、表示手段とし
てのディスプレイ２７と、入力手段としてのキーボード
２８と、これらに接続されるＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等
を有する制御手段としての本体部２９とから構成されて
いる。

【００２１】図４は、図３中の加圧装置２２の側面構成
を示し、図５は、その加圧装置２２の正面構成を示して
いる。

【００２２】図４および図５から分かるように、加圧装
置２２は、図示しない水平面上に配置される定盤３１を
有し、この定盤３１上に２本のガイドポスト３２の下端
側が固定されている。

【００２３】ガイドポスト３２の上端側は、定盤３１に
平行に配されるモータ取付板３３に固定されている。モ
ータ取付板３３には、アブソリュートエンコーダ付のサ
ーボモータであるモータ３４が取り付けられている。モ
ータ３４の回転軸はガイドポスト３２と平行に延びるボ
ールネジ３５に連結されている。

【００２４】ボールネジ３５には、センサ校正用ハウジ
ング３６が螺合されている。センサ校正用ハウジング３
６は、ガイドポスト３２上を矢印方向（垂直方向、上下
方向）に摺動自在なスライド部材３７から水平方向に延
びる支持部材３８により支持される構成になっている。

【００２５】したがって、加圧装置２２を構成するセン
サ校正用ハウジング３６は、モータ３４の回転に応じて
ガイドポスト３２に沿って矢印方向（垂直方向）に移動
する。

【００２６】センサ校正用ハウジング３６の下部側に
は、永久磁石等から構成される保持部４０が固定され、
この保持部４０に対して、磁性体で作られた加圧用治具
４５が取り付けられている。そこで、保持部４０に、直
方体状の空間部を設け、この空間部に、以下に説明する
加圧用治具４５の基底部４１がはまりこむように設計し
て置くことにより、加圧用治具４５の位置決め固定を容
易に行うことができる。

【００２７】図６に示すように、加圧用治具４５は、基
底部４１上に複数の、この場合、分布型圧力センサ１１
の感圧部１４の数に等しい数の加圧用ピン４２が植設固
定された構成になっている。詳しく説明すると、加圧用
治具４５は、分布型圧力センサ１１を構成する感圧部１
４のマトリクス状の配列形状に対して、加圧用ピン４２
が同一配列形状で同数配置された構成になっている。

【００２８】ここで、基底部４１と加圧用ピン４２と
は、構造上の強度を高くするために、一体的に構成する
ことが好ましい。また、加圧用ピン４２の形状は、図７
Ａに示すような円柱状の加圧用ピン４２Ａ、図７Ｂに示
すような四角柱状の加圧用ピン４２Ｂのような形状とし
てもよく、構造上の強度を高くするために、基底部４１
側を太くした図７Ｃに示す円錐台状の加圧用ピン４２
Ｃ、図７Ｄに示す四角錐台状の加圧用ピン４２Ｄのよう
な形状としてもよい。

【００２９】加圧用ピン４２の感圧部１４を押す部分の
形状は、図８のハッチングを施した枠で示すように、感
圧部１４の形状に対応した形状４４とされ、感圧部１４
の全てを覆う面積が確保できる面積とされる。感圧部１
４の感度を正しく測定するためである。

【００３０】この実施の形態において、感圧部１４の形
状は、０．５×０．５ｍｍ² の正方形の形状とされ、加
圧用ピン４２の形状は、この正方形の形状と同一の断面
形状が０．５×０．５ｍｍ² の四角柱状の形状のものを
採用している。

【００３１】そして、図４に示すように、加圧用治具４
５の加圧用ピン４２側の軸方向下方の位置に配されてい
る定盤３１上に、その加圧用ピン４２に対して分布型圧
力センサ１１を構成する感圧部１４のそれぞれが正確に
対向するように、分布型圧力センサ１１が位置決め配置
され固定される。

【００３２】この分布型圧力センサ１１には、センサコ
ネクタ４９が接続されている。センサコネクタ５１は、
上述のセンサ出力インタフェース２５（図３参照）に接
続されている。

【００３３】図９は、図３に示した分布型圧力センサ校
正装置２１のうち、パソコン２６とセンサ出力インタフ
ェース２５と、供試体（被測定体、被測定素子）として
の分布型圧力センサ１１の電気的接続構成を示し、特
に、分布型圧力センサ１１とセンサ出力インタフェース
２５の詳細な電気的構成を示している。

【００３４】図９において、パソコン２６からの指令に
応じて、制御ロジック５１が作動し、カウンタ５２へ感
圧部１４選択用の計数用パルス信号を供給する。カウン
タ５２の出力信号Ｓ１、Ｓ２（それぞれ４ビットの信
号）が、それぞれ、行方向マルチプレクサ５３のスイッ
チ切換制御端子と列方向マルチプレクサ５４のスイッチ
切換制御端子に供給される。

【００３５】この実施の形態において、カウンタ５２
は、８ビット出力のカウンタが用いられており、その上
位４ビットの出力信号Ｓ１が行方向マルチプレクサ５
３、下位４ビットの出力信号Ｓ２が列方向マルチプレク
サ５４に供給されることで、所望のマトリクス要素に対
応する感圧部１４を選択することができる。

【００３６】例えば、図９において、行方向マルチプレ
クサ５３と列方向マルチプレクサ５４を構成するスイッ
チが図示のように接続されて選択された感圧部１４ａに
対して、行方向マルチプレクサ５３から電源電圧＋Ｅが
印加され、この電源電圧＋Ｅが、感圧部１４ａの接触抵
抗（接触抵抗値ともいう。）Ｒａの一端側に印加され、
接触抵抗Ｒａの他端側が、列方向マルチプレクサ５４を
通じて、高精度の負荷抵抗（負荷抵抗値ともいう。）Ｒ
ｂの一端側に接続される。負荷抵抗Ｒｂの他端側は接地
されている。

【００３７】そして、負荷抵抗Ｒｂの電圧発生側（ホッ
ト側）に発生する電圧信号Ｓ３がアナログデジタル変換
器（以下、ＡＤ変換器という。）５５によりデジタル信
号である電圧信号Ｓ４に変換され、制御ロジック５１を
通じてパソコン２６に取り込まれる。

【００３８】パソコン２６には、予め、分布型圧力セン
サ校正装置２１自体の校正時に算出した電圧信号Ｓ４の
電圧値に対する加圧力の算出式を格納しておく。この場
合、各加圧用ピン４２に対応して算出式を格納しておく
ことで、超高精度の校正が可能となる。この実施の形態
においては、各加圧用ピン４２の算出式が、校正しよう
とする精度範囲内で係数が同一の式になるように、測定
系、すなわち、分布型圧力センサ校正装置２１を構築し
ている。この実施の形態において、校正しようとする精
度範囲は±１％以内を実現することができる。

【００３９】次に、上述の実施の形態の動作について、
図１０に示す校正値データの作成フローチャートを参照
して説明する。なお、制御主体は、パソコン２６であ
る。

【００４０】まず、パソコン２６上のキーボード２８の
操作による校正値データの作成用のスタートコマンドの
入力を待つ（ステップＳ１）。

【００４１】入力を確認したとき（ステップＳ１「ＹＥ
Ｓ」）、感度校正用加圧力Ｆ１＝４００ｇ／ｃｍ² で分
布型圧力センサ１１を校正する全ての感圧部１４を一時
に加圧する（ステップＳ２）。

【００４２】この場合、図３において、パソコン２６か
らの校正用加圧力Ｆ１に係る指令が加圧装置制御インタ
フェース２３に供給され、この指令に応じた信号がサー
ボドライバ２４に出力される。サーボドライバ２４の出
力信号により、モータ３４が所定回数回転する。モータ
３４の回転により、ボールネジ３５が回転し、センサ校
正用ハウジング３６がガイドポスト３２に沿って、所定
位置まで下降する。これにより、センサ校正用ハウジン
グ３６の先端部に取り付けられている加圧用治具４５の
各加圧用ピン４２が、分布型圧力センサ１１を構成する
対応する全ての感圧部１４を一時に加圧力Ｆ１により加
圧する。

【００４３】この状態において、図９を参照して説明し
たように、全ての感圧部１４の接触抵抗値Ｒａに係る電
圧信号Ｓ３が、順次、取り込まれ、デジタルの電圧信号
Ｓ４が、パソコン２６において予め格納されている算出
式に基づき校正加圧力Ｆ１＝４００ｇ／ｃｍ² に対する
各感圧部１４に対応する測定データとしての測定加圧力
Ｆ１ｍに変換されて記憶される（ステップＳ３）。

【００４４】以下、同様にして、加圧力Ｆ２＝７００ｇ
／ｃｍ² を印加して（ステップＳ４）、測定加圧力Ｆ２
ｍを記憶する（ステップＳ５）。さらに、加圧力Ｆ３＝
１０００ｇ／ｃｍ² を印加して（ステップＳ６）、測定
加圧力Ｆ３ｍを記憶する（ステップＳ７）。次に、分布
型圧力センサ１１のヒステリシスを考慮して、加圧力を
加圧力Ｆ２＝７００ｇ／ｃｍ² にもどして（ステップＳ
８）、測定加圧力Ｆ２ｍ′を記憶する（ステップＳ
９）。同様に、加圧力を加圧力Ｆ１＝４００ｇ／ｃｍ²
にもどして（ステップＳ１０）、測定加圧力Ｆ１ｍ′を
記憶する（ステップＳ１１）。

【００４５】そして、感度校正値データを算出する（ス
テップＳ１２）。この感度校正値データの算出過程で
は、まず、ステップＳ３とステップＳ１１で求めた各感
圧部１４毎の測定加圧力Ｆ１ｍと測定加圧力Ｆ１ｍ′と
を各感圧部１４毎に相加平均し、これを加圧力Ｆ１＝４
００ｇ／ｃｍ² における各感圧部１４毎の平均測定加圧
力Ｆ１ｍａとする。このようにして求めた加圧力Ｆ１＝
４００ｇ／ｃｍ² に対する平均測定加圧力Ｆ１ｍａを図
１１に視覚的に棒グラフで示す。

【００４６】同様に、ステップＳ５とステップＳ９で求
めた各感圧部１４の測定加圧力Ｆ２ｍと測定加圧力Ｆ２
ｍ′とを相加平均し、これを加圧力Ｆ２＝７００ｇ／ｃ
ｍ²における平均測定加圧力Ｆ２ｍａとする。このよう
にして求めた加圧力Ｆ２＝７００ｇ／ｃｍ² に対する平
均測定加圧力Ｆ２ｍａを図１２に視覚的に棒グラフで示
す。さらに、ステップＳ７で求めた各感圧部１４の加圧
力Ｆ３＝１０００ｇ／ｃｍ² に対する測定加圧力Ｆ３ｍ
ａを図１３に視覚的に棒グラフで示す。

【００４７】そこで、各加圧力に対する各感圧部１４の
感度校正値データは、ある感圧部１４について、基準加
圧力（例えば、４００ｇ／ｃｍ² ）からその平均測定加
圧力Ｆ１ｍａ、Ｆ２ｍａまたは測定加圧力Ｆ３ｍａを減
算した値の符号を変えた値とすればよい。また、各感圧
部１４の測定加圧力以外の所望の加圧力に対する校正値
データは、各感圧部１４について、３点で測定した平均
測定加圧力Ｆ１ｍａ、Ｆ２ｍａと測定加圧力Ｆ３ｍａの
基準加圧力との差を比例配分的な直線補間により算出し
て作成することができる。

【００４８】このようにして、分布型圧力センサ１１の
感度を校正する各感圧部１４の感度校正値データを得る
ことができる（ステップＳ１２終了）。

【００４９】図１４、図１５、図１６は、それぞれ、測
定加圧力Ｆ１＝４００、７００、１０００ｇ／ｃｍ² を
分布型圧力センサ１１に印加したときの、感度校正値デ
ータにより、各感圧部１４の測定データを校正した後の
加圧力データＦ１ｃ、Ｆ２ｃ、Ｆ３ｃを視覚的に棒グラ
フに示している。

【００５０】感度校正後の加圧力データＦ１ｃ、Ｆ２
ｃ、Ｆ３ｃの精度は、±１％以内と高精度にすることが
できた。また、各感圧部１４間の精度の誤差も±１％程
度以内にすることができた。

【００５１】このように上述の実施の形態によれば、ベ
ルト状の導電性ゴム１２、１３を相互に交差するように
対向してマトリクス上に配列し、これら導電性ゴム１
２、１３により形成される交点部が加圧力に応じて接触
抵抗値が変化する感圧部１４となる分布型圧力センサ１
１の感度を校正する際、加圧用ピン４２が前記感圧部１
４と同一配列形状でマトリクス状に配列された加圧用治
具４５を準備する。

【００５２】そして、この加圧用治具４５により、前記
感圧部１４の全てを所定の加圧力で加圧し、感圧部１４
の全てを電気的に走査して、所定の加圧力に対する感度
（この場合、接触抵抗値に係る分圧電圧）を測定した
後、測定データ（接触抵抗値に係る分圧電圧に基づく測
定感度）を基準加圧力に係る感度と比較し、その比較結
果に応じて校正値データを作成するようにしている。

【００５３】この場合、各感圧部１４毎に校正値データ
を作成する従来の方法によれば、１００箇所の感圧部１
４を有する分布型圧力センサ１１についてのある所定圧
力に対する校正値データを得るまでの時間が約３時間か
かっていたものが、この実施の形態の方法によれば約３
０秒で終了するという効果が達成された。

【００５４】なお、この発明は上述の実施の形態に限ら
ず、この発明の要旨を逸脱することなく種々の構成を採
り得ることはもちろんである。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、分布型圧力センサを構成するマトリクス状に配列さ
れた感圧部の全てを、加圧用ピンが同一配列形状で配列
された加圧用治具により一時に（一度に）校正用の所定
圧力で加圧することで、全ての前記感圧部の感度を一度
に測定し、感圧部の感度の校正値データを作成するよう
にしている。このため、分布型圧力センサの感度の校正
を容易かつ速やかに（短時間に）行えるという効果が達
成される。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施の形態に係る分布型圧力セン
サの構成例を示す斜視図である。

【図２】図１例の分布型圧力センサの一部を拡大した平
面視構成例を示す図である。

【図３】この発明方法が適用された分布型圧力センサ校
正装置の全体構成を示す図である。

【図４】分布型圧力センサ校正装置を構成する加圧装置
の側面構成を示す図である。

【図５】その加圧装置の正面構成を示す図である。

【図６】加圧用治具の構成例を示す斜視図である。

【図７】加圧用ピンの構成例を示す図であって、図７Ａ
は、円柱状の加圧用ピンの形状を示す図、図７Ｂは、四
角柱状の加圧用ピンの形状を示す図、図７Ｃは、円錐台
状の加圧用ピンの形状を示す図、図７Ｄは、四角錐台状
の加圧用ピンの形状を示す図である。

【図８】感圧部と加圧用ピンの接触対応関係の説明に供
される図である。

【図９】図３に示す分布型圧力センサ校正装置のうち、
センサ出力インタフェースの詳細な電気的構成を含む回
路図である。

【図１０】図３例の動作説明に供されるフローチャート
である。

【図１１】加圧力４００ｇ／ｃｍ² における各感圧部の
平均測定加圧力データを示すグラフである。

【図１２】加圧力７００ｇ／ｃｍ² における各感圧部の
平均測定加圧力データを示すグラフである。

【図１３】加圧力１０００ｇ／ｃｍ² における各感圧部
の測定加圧力データを示すグラフである。

【図１４】加圧力４００ｇ／ｃｍ² における各感圧部の
感度校正後の加圧力データを示すグラフである。

【図１５】加圧力７００ｇ／ｃｍ² における各感圧部の
感度校正後の加圧力データを示すグラフである。

【図１６】加圧力１０００ｇ／ｃｍ² における各感圧部
の感度校正後の加圧力データを示すグラフである。

【符号の説明】

１１…分布型圧力センサ １２、１３…導電性
ゴム １４、１４ａ…感圧部 ２１…分布型圧力セ
ンサ校正装置 ２２…加圧装置 ２３…加圧装置制御
インタフェース ２４…サーボドライバ ２５…センサ出力イ
ンタフェース ２６…パーソナルコンピュータ ３１…定盤 ３２…ガイドポスト ３４…モータ ３５…ボールネジ ３６…センサ校正用
ハウジング ４１…基底部 ４２、４２Ａ〜Ｄ…
加圧用ピン ４５…加圧用治具

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】相互に交差するように対向して配列された
   線状またはベルト状の導電性部材の各交点間に、加圧力
   に応じて抵抗値が変化する感圧部が配置された構成を有
   する分布型圧力センサの感度校正方法において、 前記感圧部の配列形状に対応して、加圧用ピンが同一配
   列形状で配列された加圧用治具により、前記感圧部の全
   てを一時に所定感度校正用の所定圧力で加圧し、 この所定圧力で加圧した状態において、前記各感圧部の
   抵抗値を、順次、選択的に測定することで、前記所定感
   度に対する前記全ての感圧部の感度校正値データを作成
   することを特徴とする分布型圧力センサの感度校正方
   法。
2. 【請求項２】前記所定感度校正用の所定圧力は、異なる
   複数の値の所定圧力としたことを特徴とする請求項１記
   載の分布型圧力センサの感度校正方法。
3. 【請求項３】前記複数の値は、３つの値としたことを特
   徴とする請求項２記載の分布型圧力センサの感度校正方
   法。
4. 【請求項４】前記分布型圧力センサは、線状またはベル
   ト状の導電性ゴムが相互に交差するように対向して配列
   された構成であることを特徴とする請求項１〜３のいず
   れか１項に記載の分布型圧力センサの感度校正方法。