JPH097973A - 半導体装置の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【構成】 多数の半導体ペレット９を整列状態で保持し
た可撓性粘着シート８を半導体ペレット９の配列方向に
所定のピッチで移動させる移動機構１１と、この移動領
域内で上下動して粘着シート８を介して半導体ペレット
９を突上げる突上げピン１２と、その上方に配置され、
上下動並びに水平動し、突上げピン１２により粘着シー
ト８から引き剥がされた半導体ペレット９を吸着して取
り出す吸着コレット１３と、粘着シート８の半導体ペレ
ット保持面側で粘着シート８に対して光軸を傾斜させて
配置され熱出力が調整可能な赤外線光を半導体ペレット
９を介して粘着シート８の粘着層８ａに付与する赤外線
光源１５とを備える半導体装置の製造装置。 【効果】 粘着力が適正でない粘着シートを用いてもペ
レットの外形寸法に対応した適正な粘着力が得られ、ペ
レットを突上げて取出す際に剥落、位置ずれ、取出し不
能を無くす。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は粘着シート上に整列状態
で貼着された半導体ペレットを取り出す装置に関し、特
に粘着シート裏面から突上げピンにて粘着シートを介し
て半導体ペレットを突上げ、半導体ペレットを貼着シー
トから剥離させて取り出すようにした半導体装置の製造
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置は半導体ペレットの電極を外
部リードに電気的に接続し半導体ペレットを含む主要部
分を外装被覆して製造される。この半導体ペレットは、
多数の半導体素子を形成した半導体ウエハを粘着シート
に貼り付け、この粘着シート上で半導体ウエハを所定の
寸法形状に切断分離して製造され、粘着シート上で整列
状態を保って貼着された半導体ペレットは一つずつ粘着
シートから引き剥がされて取り出される。図２は半導体
ペレットの取出し装置の一例を示す。図において、１は
粘着シートで、粘着層１ａに多数個の半導体ペレット２
が貼着されている。

【０００３】３は粘着シート１を張設した粘着シート保
持リング、４は粘着シート保持リング３を支持し所定の
ピッチでＸＹ方向に移動させる移動装置、５は移動装置
４による粘着シート１の移動領域の下方の所定ポジショ
ンで上下動して粘着シート１を介して半導体ペレット２
を突上げる突上げピン、６は粘着シート１を介して突上
げピン５の上方に配置され、上下動並びに水平動し、突
上げピン５により粘着シート１から引き剥がされた半導
体ペレット２を吸着して取り出す吸着コレット、７は吸
着コレット６と入れ替わりに取出し予定の半導体ペレッ
ト２上に位置し、半導体ペレット２を撮像する撮像カメ
ラを示す。この撮像カメラ７は図示省略するが、撮像光
軸と同軸に照明用の光を照射する照明装置を備え、判別
回路に接続されて撮像信号から半導体ペレット２上の電
極位置などの情報を得る。突上げピン５、吸着コレット
６、撮像カメラ７は図示省略しているが各機構が相互に
関連して動作する。以下にこの装置の動作を説明する。
先ず、撮像カメラ７によって取出しポジションにある半
導体ペレット２を撮像して、外形形状が定型か不定型か
を判別し、不定型の場合には、１ピッチ粘着シート１を
移動させ、定型の場合にはその電極位置などを撮像信号
から検出してメモリ（図示せず）に記録し、撮像カメラ
７を退避させて、取出しポジションに吸着コレット６を
配置し所定の高さ位置に待機させる。

【０００４】この状態で、突上げピン５を作動させる
と、突上げピン５の先端は粘着シート１を突上げ、取出
し予定の半導体ペレット２に粘着した粘着層を半導体ペ
レット２の周縁から引き剥がしつつ半導体ペレット２を
粘着シート１を介して押し上げ、上方で待機した吸着コ
レット６の下端面に半導体ペレット２を近接または当接
させ、吸着させて、粘着シート１から一つの半導体ペレ
ット２を取り出す。突上げピン５が降下すると粘着シー
ト１は平面状態に戻り、移動装置４により次の取出し予
定の半導体ペレット２が突上げピン５の上方位置に来
る。吸着コレット６によって取り出れた半導体ペレット
２は図示しないがリードフレームなどの支持部材にマウ
ントされる。このようにして、一つの半導体ペレットを
取り出すと、粘着シート１を所定ピッチ移動させ、上記
動作を繰返し、半導体ペレットを一つずつ取り出す。こ
の半導体ペレット２は取り扱う電力や内部の素子数によ
って外形寸法がまちまちで、小信号用では０．５ｍｍ程
度、大電力用では７．０ｍｍを越えるものがあり、最小
寸法のペレットを基準とした寸法比率は１５倍を越え
る。

【０００５】一方、ペレットを突上げピン５にて突上げ
て剥離させる際の粘着強度はペレットの寸法に関連し、
ペレットの外形寸法が小さいと容易に剥離できるが、ペ
レットの寸法が大きくなると剥離しにくくなるため、ペ
レットの寸法に合わせて適切な粘着力が得られるように
粘着剤を選定している。このように全てのペレット寸法
に対応させて多数種類の粘着シートを用意することが最
善ではあるが、ペレットの寸法比が１５倍を越えると多
種類の粘着シートが必要となる。また、ペレットの寸法
によってウエーハ１枚当たりの半導体ペレットの数が異
なり、小ペレットでは粘着シートの必要枚数は少なくて
済むのに対して、大ペレットでは多数枚の粘着シートが
必要となる。このように粘着シートはペレットの外形寸
法によって消費量が異なるため粘着シートの種類を多く
することはコスト面と管理面の両面から好ましくない。
また、粘着力を細分設定しても粘着剤の製造ロット間の
ばらつきや保管状態により、異なる種類の粘着シート間
で実質的な粘着力の差異が認められないことがあるとい
った問題があった。そのためペレットの寸法をいくつか
の段階に区分して、各区分毎の粘着シートを使用してい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、小寸法
の半導体ペレットでは、区分された中間寸法の半導体ペ
レットを基準に粘着剤の粘着強度を設定すると、それよ
り小寸法の半導体ペレットでは粘着力が不足して剥離し
易い状態となり、図３に示すように突上げピン５によっ
て突上げられた半導体ペレット２が完全剥離し吸着コレ
ット６に吸着される前に剥落したり、取出し予定の半導
体ペレット２だけでなくその周縁の半導体ペレット２ａ
も位置ずれする虞があった。また、小ペレットに対して
吸着コレット６の吸着部分の寸法が半導体ペレット２の
寸法とほぼ同じかそれより小さいと、半導体ペレット２
を確実に吸着することはできないため、予め粘着シート
１を引き延ばし、半導体ペレット２の隣接間隔を拡げて
いるが、前記問題が顕著となるため改善が望まれてい
た。そのため、粘着性の強力な粘着剤を用いることも考
えられるが、この場合には、径大のペレットが突上げピ
ンにより突上げられた状態でも粘着シートから剥離でき
ず、突上げピンが降下すると半導体ペレットは粘着シー
トに保持されたまま降下し吸着コレット６による取出し
ができないことがあるという問題もあった。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題の解決
を目的として提案されたもので、一方の面に貼着した半
導体ウエハを所定の寸法形状に分割形成した多数の半導
体ペレットを整列状態で保持した可撓性粘着シートを半
導体ペレットの配列方向に所定のピッチで移動させる移
動機構と、粘着シートの移動領域内でその下方定位置に
配置され、上下動して粘着シートを介して半導体ペレッ
トを突上げる突上げピンと、粘着シートを介して突上げ
ピンの上方に配置され、上下動並びに水平動し、突上げ
ピンにより粘着シートから引き剥がされた半導体ペレッ
トを吸着して取り出す吸着コレットと、粘着シートの半
導体ペレット保持面側で粘着シートに対して光軸を傾斜
させて配置され熱出力が調整可能な赤外線光を半導体ペ
レットを介して粘着シートの粘着層に付与する赤外線光
源とを備えたことを特徴とする半導体装置の製造装置を
提供する。上記装置の赤外線光源は、粘着シートの移動
に対応してその熱出力が調整可能である。また、赤外線
光源は、半導体ペレットの外形寸法によりその熱出力が
設定される。

【０００８】

【作用】上記課題解決手段により、赤外線光源により、
半導体ペレットの温度を制御し、この熱により粘着シー
トの粘着剤の粘着力を増加させ、特に小ペレットの突上
げによる不所望な剥落、位置ずれを防止できる。

【０００９】

【実施例】以下に本発明の実施例を図１から説明する。
図において、８は可撓性を有するベースシート８ａの一
方の面に粘着層８ｂを形成した粘着シートで、粘着層８
ｂに多数個の半導体ペレット９が整列状態で保持されて
いる。１０は粘着シート８を張設した粘着シート保持リ
ング、１１は粘着シート保持リング１０を支持し所定の
ピッチでＸＹ方向に移動させる移動装置、１２は移動装
置１１による粘着シート８の移動領域の下方の所定ポジ
ションで上下動して粘着シート８を介して半導体ペレッ
ト９を突上げる突上げピン、１３は粘着シート８を介し
て突上げピン１２の上方に配置され、上下動並びに水平
動し、突上げピン１２により粘着シート８から引き剥が
された半導体ペレット９を吸着して取り出す吸着コレッ
ト、１４は吸着コレット１３と入れ替わりに取出し予定
の半導体ペレット９上に位置し、半導体ペレット９を撮
像する撮像カメラを示す。この撮像カメラ９は撮像光軸
と同軸に照明用の光を照射する照明装置を備えているが
図示省略している。１５は本発明の特徴部分である赤外
線光源で、粘着シート８に対して傾斜配置され、粘着シ
ート８上の半導体ペレット９全面を照射する。

【００１０】またこの赤外線光源１５に供給される電力
は図示しない電力調整手段により熱出力が調整可能で、
光軸は粘着シート８に対して傾斜し、赤外線光が撮像カ
メラ９の撮像信号の障害とならないように設定されてい
る。以下に、この装置の動作を説明する。まず、半導体
ペレット９を整列状態で貼り付けた粘着シート８を粘着
シート保持リング１０に張設し、この粘着シート保持リ
ング１０を移動装置１１に装着する。そして、移動装置
１１により粘着シート８上の半導体ペレット９を原点位
置に位置させる。この時、赤外線光源１５を作動させ、
半導体ペレット９の表面を加熱しこの熱を粘着層８ｂに
伝達させる。粘着層８ｂは温度上昇して半導体ペレット
９に対する粘着力が増し、小ペレットでも不所望な剥落
が防止される。赤外線光源１５は熱出力の調整が可能で
あるため、取出し予定の半導体ペレット９の表面温度が
所定の温度に到達すると、熱出力を絞り粘着層の温度が
適正に保たれる。

【００１１】この装置は、図２で説明した従来装置と同
様に半導体ペレットの取出しが行われるが、赤外線光は
撮像カメラ１４に直射しないため半導体ペレット９の位
置検出が適正に行われ、また突上げピン１２による半導
体ペレット９の取出しもスムーズに行われる。また、相
対的に粘着力が増大する径大のペレットに対しては、赤
外線光源の熱出力を絞ることにより、適正な粘着力を与
えることができる。このようにして、数種類の寸法の半
導体ペレット９を一種類の粘着シート８によって対応さ
せる場合に、各寸法の半導体ペレット９に対してそれぞ
れ適正な粘着力を付与することができ、半導体ペレット
９の取出しを確実にできる。尚、本発明は上記実施例に
のみ限定されることなく、例えば赤外線光源１５による
赤外線光は、半導体ペレット９の配列領域全面を照射し
てもよいし、取出し予定の半導体ペレット近傍のみを選
択的に照射してもよい。また、赤外線光を全面照射する
とともに、取出し予定の半導体ペレット周縁部分に赤外
光を集束して全体的な加熱と局部的加熱と同時に行うよ
うにしてもよい。また、熱出力の調整は、赤外線光の連
続的な照度調整の他に、オンオフ時間の調整によっても
可能である。

【００１２】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、粘着力
が適正でない粘着シートを用いてもペレットの外形寸法
に対応した適正な粘着力が得られ、ペレットを突上げて
取出す際に不所望な剥落、位置ずれ、取出し不能を無く
すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例を示す半導体装置の製造装置
の側断面図

【図２】 本発明の前提となる半導体ペレット取出し装
置の側断面図

【図３】 従来装置による半導体ペレットの取り出し状
態を示す要部拡大側断面図

【符号の説明】

８ 粘着シート ８ａ 粘着層 ９ 半導体ペレット １１ 移動装置 １２ 突上げピン １３ 吸着コレット １４ 撮像カメラ １５ 赤外線光源

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一方の面に貼着した半導体ウエハを所定の
   寸法形状に分割形成した多数の半導体ペレットを整列状
   態で保持した可撓性粘着シートを半導体ペレットの配列
   方向に所定のピッチで移動させる移動機構と、粘着シー
   トの移動領域内でその下方定位置に配置され、上下動し
   て粘着シートを介して半導体ペレットを突上げる突上げ
   ピンと、粘着シートを介して突上げピンの上方に配置さ
   れ、上下動並びに水平動し、突上げピンにより粘着シー
   トから引き剥がされた半導体ペレットを吸着して取り出
   す吸着コレットと、粘着シートの半導体ペレット保持面
   側で粘着シートに対して光軸を傾斜させて配置され熱出
   力が調整可能な赤外線光を半導体ペレットを介して粘着
   シートの粘着層に付与する赤外線光源とを備えたことを
   特徴とする半導体装置の製造装置。
2. 【請求項２】赤外線光源の熱出力が、粘着シートの移動
   に対応して調整可能であることを特徴とする請求項１に
   記載の半導体装置の製造装置。
3. 【請求項３】赤外線光源の熱出力が、半導体ペレットの
   外形寸法により設定されることを特徴とする請求項１に
   記載の半導体装置の製造装置。