JPH097963A - 電気炉のデータ処理方法 - Google Patents
電気炉のデータ処理方法Info
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- JPH097963A JPH097963A JP17551695A JP17551695A JPH097963A JP H097963 A JPH097963 A JP H097963A JP 17551695 A JP17551695 A JP 17551695A JP 17551695 A JP17551695 A JP 17551695A JP H097963 A JPH097963 A JP H097963A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定された温度データ等をメモリ８に格納す
るに際してはこれを圧縮し、格納された温度データ等を
利用するに際してはこれを伸長させ、格納に必要とされ
るメモリ容量を減少させつつも支障の無いデータ利用を
実現する。 【構成】 ヒータ２で加熱される電気炉１の温度をセン
サ３、４で計測し、計測した温度データＡ、Ｂに結果に
基づいて制御データＡ、Ｂを求め、制御データに基づい
てヒータ２へ電力を供給する電気炉１において、前記デ
ータを一定の時間間隔で分割した要素を比較して、要素
間のデータ変化量（変化加速度）が所定値を上回る場合
には当該要素のデータをメモリ８に格納する一方、格納
されたデータを電力制御に利用する際には、隣接する要
素のデータに基づいて欠落した要素のデータを補間して
前記データを再構成する。
るに際してはこれを圧縮し、格納された温度データ等を
利用するに際してはこれを伸長させ、格納に必要とされ
るメモリ容量を減少させつつも支障の無いデータ利用を
実現する。 【構成】 ヒータ２で加熱される電気炉１の温度をセン
サ３、４で計測し、計測した温度データＡ、Ｂに結果に
基づいて制御データＡ、Ｂを求め、制御データに基づい
てヒータ２へ電力を供給する電気炉１において、前記デ
ータを一定の時間間隔で分割した要素を比較して、要素
間のデータ変化量（変化加速度）が所定値を上回る場合
には当該要素のデータをメモリ８に格納する一方、格納
されたデータを電力制御に利用する際には、隣接する要
素のデータに基づいて欠落した要素のデータを補間して
前記データを再構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造用の拡散装
置やＣＶＤ装置等に用いられる電気炉に関し、特に、加
熱制御に用いられるデータを格納のために圧縮し、利用
のために伸長させるデータ処理方法に関する。
置やＣＶＤ装置等に用いられる電気炉に関し、特に、加
熱制御に用いられるデータを格納のために圧縮し、利用
のために伸長させるデータ処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＣＶＤ装置等のように電気炉を有する半
導体製造装置にあっては、炉内の適切な温度管理が必要
であるため、従来より、炉内温度と設定温度とに基づい
て加熱用ヒータに供給する電力をカスケード制御してい
る。すなわち、ヒータによって加熱される電気炉に対し
て、炉内或いは炉内及び炉外に温度センサを設け、これ
ら温度センサで測定される温度データと外部から設定さ
れる設定値とに基づいて、ヒータに供給する電力（温度
制御パターンデータ）を制御して炉内温度が設定値に従
って管理されるようにしている。
導体製造装置にあっては、炉内の適切な温度管理が必要
であるため、従来より、炉内温度と設定温度とに基づい
て加熱用ヒータに供給する電力をカスケード制御してい
る。すなわち、ヒータによって加熱される電気炉に対し
て、炉内或いは炉内及び炉外に温度センサを設け、これ
ら温度センサで測定される温度データと外部から設定さ
れる設定値とに基づいて、ヒータに供給する電力（温度
制御パターンデータ）を制御して炉内温度が設定値に従
って管理されるようにしている。
【０００３】ここで、半導体製造においては、ワーク
（ウェーハやガラス基板等）への処理が終了すると、こ
れを未処理のワークと交換して、同一の半導体製造装置
で同一の処理を繰り返し行う。このため、一旦得られた
温度データや温度制御パターンデータをメモリに格納し
ておき、これらデータを次回の処理において参照する等
して利用すれば、制御の正確化及び迅速化が図れる。こ
のような事情から、従来より、一旦得られた温度データ
や温度制御パターンデータをメモリに格納しておくこと
が行われていた。
（ウェーハやガラス基板等）への処理が終了すると、こ
れを未処理のワークと交換して、同一の半導体製造装置
で同一の処理を繰り返し行う。このため、一旦得られた
温度データや温度制御パターンデータをメモリに格納し
ておき、これらデータを次回の処理において参照する等
して利用すれば、制御の正確化及び迅速化が図れる。こ
のような事情から、従来より、一旦得られた温度データ
や温度制御パターンデータをメモリに格納しておくこと
が行われていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おいては、得られた温度データや温度制御パターンデー
タをそのままメモリに格納していたため、大容量のメモ
リが必要となって装置コストが増大してしまうという問
題があった。特に、半導体製造の１工程は比較的長時間
を要することから、得られる温度データや温度制御パタ
ーンデータはかなり膨大なものとなり、これらデータを
格納するメモリもかなり膨大な容量が必要とされてい
た。
おいては、得られた温度データや温度制御パターンデー
タをそのままメモリに格納していたため、大容量のメモ
リが必要となって装置コストが増大してしまうという問
題があった。特に、半導体製造の１工程は比較的長時間
を要することから、得られる温度データや温度制御パタ
ーンデータはかなり膨大なものとなり、これらデータを
格納するメモリもかなり膨大な容量が必要とされてい
た。
【０００５】本発明は上記従来の事情に鑑みなされたも
ので、温度データや温度制御パターンデータを格納する
に際してはこれを圧縮し、格納された温度データや温度
制御パターンデータを利用するに際してはこれを伸長さ
せ、格納に必要とされるメモリ容量を減少させつつも支
障の無いデータ利用を実現することを目的とする。
ので、温度データや温度制御パターンデータを格納する
に際してはこれを圧縮し、格納された温度データや温度
制御パターンデータを利用するに際してはこれを伸長さ
せ、格納に必要とされるメモリ容量を減少させつつも支
障の無いデータ利用を実現することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る電気炉のデータ処理方法は、ヒータで
加熱される電気炉の温度をセンサで計測し、当該計測し
た温度データに結果に基づいて制御データを求め、当該
制御データに基づいてヒータへ電力を供給する電気炉に
おいて、前記データを一定の時間間隔で分割した要素を
比較して、要素間のデータ変化量が所定値を上回る場合
には当該要素のデータをメモリに格納する一方、当該格
納されたデータを電力制御に利用する際には、隣接する
要素のデータに基づいて欠落した要素のデータを補間し
て前記データを再構成することを特徴とする。
め、本発明に係る電気炉のデータ処理方法は、ヒータで
加熱される電気炉の温度をセンサで計測し、当該計測し
た温度データに結果に基づいて制御データを求め、当該
制御データに基づいてヒータへ電力を供給する電気炉に
おいて、前記データを一定の時間間隔で分割した要素を
比較して、要素間のデータ変化量が所定値を上回る場合
には当該要素のデータをメモリに格納する一方、当該格
納されたデータを電力制御に利用する際には、隣接する
要素のデータに基づいて欠落した要素のデータを補間し
て前記データを再構成することを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明では、センサで計測された温度データ、
或いは、この温度データに基づいて求められた制御デー
タの、いずれか一方若しくは両方を圧縮してメモリに格
納する。この圧縮処理は、連続したデータを一定の時間
間隔で分割した時系列の要素として捉え、これら要素の
データ値を隣接する要素同士で比較して、データ変化量
が所定値以下の要素は破棄し、所定値を上回る要素のデ
ータのみをメモリに格納することで行い、破棄した要素
のデータ量を減少させてメモリに格納する。ここに、デ
ータ変化量とは、連続するデータの変化に関する加速度
であり、時系列に隣接する３つの要素のデータがある場
合、２番目の要素のデータ変化量（変化加速度）は、
（（３番目の要素のデータ値）−（２番目の要素のデー
タ値））−（（２番目の要素のデータ値）−（１番目の
要素のデータ値））で求められる。
或いは、この温度データに基づいて求められた制御デー
タの、いずれか一方若しくは両方を圧縮してメモリに格
納する。この圧縮処理は、連続したデータを一定の時間
間隔で分割した時系列の要素として捉え、これら要素の
データ値を隣接する要素同士で比較して、データ変化量
が所定値以下の要素は破棄し、所定値を上回る要素のデ
ータのみをメモリに格納することで行い、破棄した要素
のデータ量を減少させてメモリに格納する。ここに、デ
ータ変化量とは、連続するデータの変化に関する加速度
であり、時系列に隣接する３つの要素のデータがある場
合、２番目の要素のデータ変化量（変化加速度）は、
（（３番目の要素のデータ値）−（２番目の要素のデー
タ値））−（（２番目の要素のデータ値）−（１番目の
要素のデータ値））で求められる。
【０００８】一方、メモリに格納されたデータは、破棄
されて欠落した要素のデータを補間することにより、元
のデータを再構成して利用される。この補間処理は、欠
落した要素に時系列上で隣接する要素のデータに基づい
て、直線補間や曲線補間等といった公知の補間手法によ
って行われ、これによって、元の連続したデータが再構
成される。ここに、補間される要素はデータ変化量（す
なわち、変化加速度）が小さいデータであり、データ曲
線では直線的な部分である。このため、上記の補間処理
には、比較的単純な直線補間を用いることができ、高い
精度をもってデータを再構成することができる。
されて欠落した要素のデータを補間することにより、元
のデータを再構成して利用される。この補間処理は、欠
落した要素に時系列上で隣接する要素のデータに基づい
て、直線補間や曲線補間等といった公知の補間手法によ
って行われ、これによって、元の連続したデータが再構
成される。ここに、補間される要素はデータ変化量（す
なわち、変化加速度）が小さいデータであり、データ曲
線では直線的な部分である。このため、上記の補間処理
には、比較的単純な直線補間を用いることができ、高い
精度をもってデータを再構成することができる。
【０００９】
【実施例】本発明の一実施例を図面を参照して説明す
る。本実施例のデータ処理方法を実施するＣＶＤ装置
は、図１に示すように、ヒータ２によって加熱される電
気炉１に対して、炉内に熱電対等の温度センサ３が設け
られ、更には、ヒータ２の近傍にも熱電対等の温度セン
サ４が設けられ、これら温度センサ３、４で測定される
温度データＡ及びＢと外部から設定される設定値とに基
づいて、ヒータ２に供給する電力（温度制御パターン
Ｂ）をカスケード制御する第１と第２の制御器５、６が
設けられている。
る。本実施例のデータ処理方法を実施するＣＶＤ装置
は、図１に示すように、ヒータ２によって加熱される電
気炉１に対して、炉内に熱電対等の温度センサ３が設け
られ、更には、ヒータ２の近傍にも熱電対等の温度セン
サ４が設けられ、これら温度センサ３、４で測定される
温度データＡ及びＢと外部から設定される設定値とに基
づいて、ヒータ２に供給する電力（温度制御パターン
Ｂ）をカスケード制御する第１と第２の制御器５、６が
設けられている。
【００１０】第１制御器５と第２制御器６はＰＩＤ（比
例、積分、微分）演算器であり、電気炉１の適切な加熱
パターンを示す設定値と各センサ３、４で測定された温
度データＡ、Ｂとに基づいて、ヒータ２への供給電力を
定める温度制御パターンデータＢを算出する。すなわ
ち、第１制御器５は、設定値と測定された温度データＡ
との偏差をＰＩＤ演算して１次操作量としての温度制御
パターンデータＡを算出し、第２制御器６は、温度制御
パターンデータＡと測定された温度データＢとの偏差を
ＰＩＤ演算して２次操作量としての温度制御パターンデ
ータＢを算出する（図２参照）。
例、積分、微分）演算器であり、電気炉１の適切な加熱
パターンを示す設定値と各センサ３、４で測定された温
度データＡ、Ｂとに基づいて、ヒータ２への供給電力を
定める温度制御パターンデータＢを算出する。すなわ
ち、第１制御器５は、設定値と測定された温度データＡ
との偏差をＰＩＤ演算して１次操作量としての温度制御
パターンデータＡを算出し、第２制御器６は、温度制御
パターンデータＡと測定された温度データＢとの偏差を
ＰＩＤ演算して２次操作量としての温度制御パターンデ
ータＢを算出する（図２参照）。
【００１１】また、このＣＶＤ装置には圧縮伸長器７が
設けられており、この圧縮伸長器７を通して温度データ
Ａ、温度データＢ、温度制御パターンデータＡ、温度制
御パターンデータＢはＲＡＭ等から成るメモリ８に格
納、或いは、メモリ８から読み出される。なお、以下で
は、明瞭化のために、温度データＡを例にとって説明す
る。圧縮伸長器７は、入力された温度データＡを圧縮し
てメモリ８に格納する機能と、メモリ８に格納された温
度データＡを読み出して伸長させる機能とを有してお
り、この圧縮伸長器７には圧縮処理の基準を定める設定
加速度（絶対値）が操作パネル等を用いて外部から入力
される。
設けられており、この圧縮伸長器７を通して温度データ
Ａ、温度データＢ、温度制御パターンデータＡ、温度制
御パターンデータＢはＲＡＭ等から成るメモリ８に格
納、或いは、メモリ８から読み出される。なお、以下で
は、明瞭化のために、温度データＡを例にとって説明す
る。圧縮伸長器７は、入力された温度データＡを圧縮し
てメモリ８に格納する機能と、メモリ８に格納された温
度データＡを読み出して伸長させる機能とを有してお
り、この圧縮伸長器７には圧縮処理の基準を定める設定
加速度（絶対値）が操作パネル等を用いて外部から入力
される。
【００１２】圧縮伸長器７は、予め設定された一定の時
間間隔を計測するタイマを有しており、入力された温度
データＡをこの一定時間間隔（本実施例では、５秒間
隔）で分割して時系列の要素データ化して圧縮する。す
なわち、要素のデータ値を隣接する要素同士で比較して
これら要素データ間の変化加速度を求め、この加速度を
設定加速度と比較して、図３に○印で示すように、連続
する温度データＡ中のデータ変化量が所定値を上回る部
分を求める。具体的には、時系列に隣接する３つの要素
のデータ値（平均値）が８００℃、７９９．５℃、７９
８℃である場合、２番目の要素のデータ変化量（変化加
速度）は、（（７９８）−（７９９．５））−（（７９
９．５）−（８００））＝−１．０であり、設定加速度
が０．９（絶対値）のときには、２番目の要素はデータ
変化量が大きい部分として評価される。
間間隔を計測するタイマを有しており、入力された温度
データＡをこの一定時間間隔（本実施例では、５秒間
隔）で分割して時系列の要素データ化して圧縮する。す
なわち、要素のデータ値を隣接する要素同士で比較して
これら要素データ間の変化加速度を求め、この加速度を
設定加速度と比較して、図３に○印で示すように、連続
する温度データＡ中のデータ変化量が所定値を上回る部
分を求める。具体的には、時系列に隣接する３つの要素
のデータ値（平均値）が８００℃、７９９．５℃、７９
８℃である場合、２番目の要素のデータ変化量（変化加
速度）は、（（７９８）−（７９９．５））−（（７９
９．５）−（８００））＝−１．０であり、設定加速度
が０．９（絶対値）のときには、２番目の要素はデータ
変化量が大きい部分として評価される。
【００１３】そして、圧縮伸長器７は、データ変化量が
所定値以下の要素は図４中にＣで示すように破棄し、デ
ータ変化量が所定値を上回る要素のデータのみをメモリ
８に格納する。なお、メモリ８に格納する要素には、元
の温度データＡ中での時間データ（例えば、各要素の時
間軸上での始点データ）が付属される。この結果、温度
データＡは、変化が激しい部分は細かく、変化があまり
激しくない部分は粗くサンプリングされた状態で、図５
の左側のグラフに示すように、要素を間引いた圧縮が施
されてメモリ８に格納される。
所定値以下の要素は図４中にＣで示すように破棄し、デ
ータ変化量が所定値を上回る要素のデータのみをメモリ
８に格納する。なお、メモリ８に格納する要素には、元
の温度データＡ中での時間データ（例えば、各要素の時
間軸上での始点データ）が付属される。この結果、温度
データＡは、変化が激しい部分は細かく、変化があまり
激しくない部分は粗くサンプリングされた状態で、図５
の左側のグラフに示すように、要素を間引いた圧縮が施
されてメモリ８に格納される。
【００１４】一方、メモリ８に格納した温度データＡを
利用する際には、圧縮伸長器７によってメモリ８に格納
された温度データＡを読み出して、これを直線補間によ
って伸長させる。すなわち、温度データＡの各要素をメ
モリ８から時系列で読み出すと、各要素の時間データの
差を上記の要素分割に際しての一定時間間隔（５秒間
隔）と比較して、これら要素間に間引かれて欠落した要
素が存在するかを調べる。具体的には、時系列に沿って
２つの要素を読み出したときに、１番目の要素の時間デ
ータが２０秒で２番目の要素の時間データが２５秒であ
る場合には、この時間差（５秒）は分割に際しての一定
時間間隔（５秒）以下であるので、これら要素間には欠
落した要素が無く、これら要素は連続している。これに
対し、１番目の要素の時間データが２０秒で２番目の要
素の時間データが４０秒である場合には、この時間差
（２０秒）は分割に際しての一定時間間隔（５秒）を上
回っているので、これら要素間には欠落した要素があ
り、これら要素は不連続となっている。
利用する際には、圧縮伸長器７によってメモリ８に格納
された温度データＡを読み出して、これを直線補間によ
って伸長させる。すなわち、温度データＡの各要素をメ
モリ８から時系列で読み出すと、各要素の時間データの
差を上記の要素分割に際しての一定時間間隔（５秒間
隔）と比較して、これら要素間に間引かれて欠落した要
素が存在するかを調べる。具体的には、時系列に沿って
２つの要素を読み出したときに、１番目の要素の時間デ
ータが２０秒で２番目の要素の時間データが２５秒であ
る場合には、この時間差（５秒）は分割に際しての一定
時間間隔（５秒）以下であるので、これら要素間には欠
落した要素が無く、これら要素は連続している。これに
対し、１番目の要素の時間データが２０秒で２番目の要
素の時間データが４０秒である場合には、この時間差
（２０秒）は分割に際しての一定時間間隔（５秒）を上
回っているので、これら要素間には欠落した要素があ
り、これら要素は不連続となっている。
【００１５】そして、圧縮伸長器７は、欠落した要素が
存在する要素間については、欠落した要素部分に時系列
上で隣接するこれら要素のデータに基づいて、そのデー
タ値を補間する。本実施例では、２つの要素のデータを
直線的に繋げる直線補間を行っており、図５の右側のグ
ラフに点線で示すように、欠落した要素のデータを補っ
て元の連続した温度データＡを再構成している。この再
構成された温度データＡは、データ変化があまり激しく
ない部分を補間したものであるため、元の温度データＡ
を精度良く再現しており、支障の無いデータ利用が実現
できる。
存在する要素間については、欠落した要素部分に時系列
上で隣接するこれら要素のデータに基づいて、そのデー
タ値を補間する。本実施例では、２つの要素のデータを
直線的に繋げる直線補間を行っており、図５の右側のグ
ラフに点線で示すように、欠落した要素のデータを補っ
て元の連続した温度データＡを再構成している。この再
構成された温度データＡは、データ変化があまり激しく
ない部分を補間したものであるため、元の温度データＡ
を精度良く再現しており、支障の無いデータ利用が実現
できる。
【００１６】なお、上記の実施例では、温度データＡを
例にとって説明したが、温度データＢ、温度制御パター
ンデータＡ、温度制御パターンデータＢについても上記
と同様に圧縮伸長処理を行える。また、上記実施例は、
電気炉の温度をカスケード制御するＣＶＤ装置について
説明したが、他の温度制御方式や他の形式の半導体製造
装置にも本発明を適用することができる。また、本発明
では、要素に分割する時間間隔や設定加速度の値は任意
に設定すれば良い。
例にとって説明したが、温度データＢ、温度制御パター
ンデータＡ、温度制御パターンデータＢについても上記
と同様に圧縮伸長処理を行える。また、上記実施例は、
電気炉の温度をカスケード制御するＣＶＤ装置について
説明したが、他の温度制御方式や他の形式の半導体製造
装置にも本発明を適用することができる。また、本発明
では、要素に分割する時間間隔や設定加速度の値は任意
に設定すれば良い。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る電気
炉のデータ処理方法によると、計測した温度データや演
算した制御データを圧縮してメモリに格納し、利用し際
してはこれを伸長するようにしたため、データ格納に必
要とされるメモリ容量を減少させて装置コストを低減さ
せることができる。そして、圧縮によって間引くデータ
の要素部分は比較的変化の少ない部分であるため、伸長
処理において元のデータを精度良く再構成することがで
き、支障の無いデータ利用を実現することができる。
炉のデータ処理方法によると、計測した温度データや演
算した制御データを圧縮してメモリに格納し、利用し際
してはこれを伸長するようにしたため、データ格納に必
要とされるメモリ容量を減少させて装置コストを低減さ
せることができる。そして、圧縮によって間引くデータ
の要素部分は比較的変化の少ない部分であるため、伸長
処理において元のデータを精度良く再構成することがで
き、支障の無いデータ利用を実現することができる。
【図１】本発明の一実施例に係るＣＶＤ装置の構成図で
ある。
ある。
【図２】処理対象のデータを示すグラフである。
【図３】データの変化率の大きい部分を説明するグラフ
である。
である。
【図４】要素を間引いたデータを示すグラフである。
【図５】圧縮されたデータと伸長されたデータとを示す
グラフである。
グラフである。
１ 電気炉、 ２ ヒータ、 ３、４ センサ、 ７ 圧縮伸長器、 ８ メモリ、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/205 Ｈ０１Ｌ 21/205 (72)発明者 秋田 幸男 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 ヒータで加熱される電気炉の温度をセン
サで計測し、当該計測した温度データに結果に基づいて
制御データを求め、当該制御データに基づいてヒータへ
電力を供給する電気炉において、 前記データを一定の時間間隔で分割した要素を比較し
て、要素間のデータ変化量が所定値を上回る場合には当
該要素のデータをメモリに格納する一方、当該格納され
たデータを電力制御に利用する際には、隣接する要素の
データに基づいて欠落した要素のデータを補間して前記
データを再構成することを特徴とする電気炉のデータ処
理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17551695A JPH097963A (ja) | 1995-06-19 | 1995-06-19 | 電気炉のデータ処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17551695A JPH097963A (ja) | 1995-06-19 | 1995-06-19 | 電気炉のデータ処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH097963A true JPH097963A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=15997427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17551695A Pending JPH097963A (ja) | 1995-06-19 | 1995-06-19 | 電気炉のデータ処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH097963A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003527738A (ja) * | 1998-07-13 | 2003-09-16 | エーケーティー株式会社 | 基板ハンドリングチャンバ内の基板支持体の加熱 |
| US6847015B2 (en) | 2000-09-27 | 2005-01-25 | Tokyo Electron Limited | Heat treatment apparatus and controller for heat treatment apparatus and control method for heat treatment apparatus |
| WO2006070552A1 (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-06 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | 温度調整方法、熱処理装置、半導体装置の製造方法 |
| WO2007102454A1 (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-13 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | 温度調整方法 |
| JP2011217151A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Fujitsu Ltd | データ変換装置、データ変換方法、およびデータ変換プログラム |
| JP2017174983A (ja) * | 2016-03-24 | 2017-09-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 制御装置、基板処理システム、基板処理方法及びプログラム |
-
1995
- 1995-06-19 JP JP17551695A patent/JPH097963A/ja active Pending
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