JPH0978102A - 成形面に凸型パターンを有する成形型の製造方法 - Google Patents

成形面に凸型パターンを有する成形型の製造方法

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JPH0978102A
JPH0978102A JP25585495A JP25585495A JPH0978102A JP H0978102 A JPH0978102 A JP H0978102A JP 25585495 A JP25585495 A JP 25585495A JP 25585495 A JP25585495 A JP 25585495A JP H0978102 A JPH0978102 A JP H0978102A
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JP
Japan
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pattern
mold
molding
die
powder
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JP25585495A
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Akira Kani
明 可児
Yoshihiro Tejima
芳博 手嶋
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Eagle Industry Co Ltd
Original Assignee
Eagle Industry Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 表面にパターン化された多数のディンプルも
しくは溝を有する焼結体からなる製品を成形するため
に、成形面に凸型パターン61を有する成形型6を提供
する。 【解決手段】 炭化珪素からなるメス型1の型面11
に、パターン化された孔21を有する保護マスク2を被
着し、サンドブラストを施すことによって、型面11孔
21によるマスクパターンと対応する凹型パターン12
を形成する。次にメス型1の型面11でWC−Co粉末
を加圧し、メス型1の凹型パターン12と対応する凸型
パターン61’を有する粉末成形体6’を圧縮成形し、
焼結することによって、凸型パターン61を有する成形
型6が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、成型技術の分野に
属するものであって、例えば硬質の焼結体からなりパタ
ーン化された微細なディンプルや溝等を有する摺動材等
の製品を成形するための成形型を製造する方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】一般に炭化珪素(SiC)等の硬質の焼
結体は、耐熱性、耐腐食性、耐摩耗性等に優れた特性を
有し、カーボンのような良好な自己潤滑性はないが平滑
性に優れ、摩擦係数が小さいため、例えば回転機器にお
けるメカニカルシールや軸受等の摺動材として広く使用
されている。このような摺動材は、相手摺動材に対して
高速で摺動されるが、その摺動面にディンプル加工もし
くは溝加工を施しておくことによって、流体による潤滑
及び冷却作用が促され、寿命を著しく向上することがで
きることは良く知られている。したがって、このような
摺動材の摺動面には、従来から種々の方法により溝等の
加工が行われている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】炭化珪素等の焼結体は
極めて硬質であるため、その表面に多数のディンプルも
しくは溝を形成するには、従来はダイヤモンド砥石を使
用して機械加工をする方法等が採用されているが、この
ような方法ではコストが極めて高くなると共に長時間を
要するため、実用的ではない。その点、摺動材の焼結材
料の粉末成形過程で用いる成形型によって前記ディンプ
ルや溝の形成を行うことができれば、製品ごとに個別に
機械加工等を施す必要がなくなるため、製造コストや工
程上著しく有利であるが、この場合は、成形面に前記デ
ィンプルや溝のパターンと対応する凸型パターンを有す
る成形型を製作する必要があり、そのような成形型の製
造方法が確立されていなかった。
【0004】本発明は、上記のような事情のもとになさ
れたもので、その技術的課題とするところは、表面にパ
ターン化された多数のディンプルもしくは溝を有する焼
結体からなる製品を成形するために、成形面に所望の凸
型パターンを有する成形型を製造可能とすることにあ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】上述した技術的課題は、
本発明によって有効に解決することができる。すなわ
ち、本発明に係る成形面に凸型パターンを有する成形型
の製造方法によれば、まず成形型を成型するためのメス
型の型面に、規則的なパターンで配列した孔を有する保
護マスクを被着してサンドブラストを行い、これによっ
て、前記型面に前記孔によるマスクパターンと対応する
凹型パターンを形成する。前記孔によるマスクパターン
は、本発明の製造方法によって得られた成形型を用いて
製造される最終製品の表面に形成すべき、多数のディン
プル又は溝等のパターンと対応するものである。次に、
このメス型の型面で成型用粉末材料を加圧することによ
って、前記凹型パターンと対応する凸型パターンを有す
る粉末成形体を圧縮成形する。前記凸型パターンは、前
記製品の表面に前記ディンプル又は溝等の凹部を形成す
るための部分となるものである。そして、前記粉末成形
体を焼結することによって、成形面に凸型パターンを有
する成形型が成型される。
【0006】この方法においては、保護マスクを被着し
た型面にサンドブラストに代えてエッチングを行うこと
によっても、メス型の型面に前記保護マスクのマスクパ
ターンと対応する凹型パターンを形成することができ
る。
【0007】また、この方法により製造される成形型
は、典型的には炭化珪素等の焼結体からなる硬質の製品
を成形するのに用いられることから、型寿命を延ばすた
めに、好ましくは超硬合金からなり、したがってこの成
形型を成型するための粉末材料としては超硬合金粉末が
用いられる。
【0008】
【発明の実施の形態】図1は、本発明に係る成形面に凸
型パターンを有する成形型の製造方法の好ましい実施形
態を示すものである。すなわち、まず図1(A)におい
て、参照符号1は図1(F)に示す成形型6を成型する
ための例えば超硬合金又は炭化珪素等のセラミックス焼
結体からなるメス型であり、その型面11は平滑に研磨
されている。また、このメス型1は、図示の断面と直交
する方向を接線方向とし型面11の幅方向を半径方向と
する円環状を呈するものであって、最終製品としての、
例えば図2に示すようなメカニカルシール用摺動材7に
おける摺動面71と対応するものである。
【0009】メス型1の型面11には、例えば円周方向
及び径方向に配列した格子点状あるいは螺旋状等の規則
的なパターンで形成された円形、楕円形あるいはスリッ
ト状等の多数の孔21を有する保護マスク2を被着す
る。保護マスク2は、図2に示す製品としての摺動材7
の摺動面71に形成すべきディンプル等の凹部72と対
応する転写パターンが描画されたフォトマスク(図示省
略)を密着させ、このフォトマスクを介して露光させ、
現像するといったフォトリソグラフィの手法によって、
前記転写パターンによる感光部及び非感光部に対応した
孔21によるマスクパターンが形成されたものである。
【0010】次に図1(B)に示すように、メス型1の
型面11に被着した保護マスク2の上から、微細な砥粒
3を噴射するサンドブラスト加工を施す。これによっ
て、前記型面11のうち保護マスク2の孔21からの露
出面11aのみが砥粒3に削り取られて侵食され、他の
面は保護マスク2によって砥粒3から保護されるため、
図1(C)に示すように、前記型面11には、孔21に
よるマスクパターンと対応して配列した凹型パターン1
2が形成される。このようにして形成される凹型パター
ン12は、保護マスク2の孔21の大きさにもよるが、
通常、中央部分が最も凹んだ形状に形成される。前記凹
型パターン12の形成後は、型面11から保護マスク2
を除去する。
【0011】凹型パターン12の形成は、上述のサンド
ブラストによる方法のほか、エッチングによって保護マ
スク2の孔21からの露出面11aを腐食させることに
よって形成することもできる。
【0012】次に図1(D)に示すように、内部にメス
型1と対応する円環状の成形空間を有する圧縮成形装置
4に、規則的に配列した凹型パターン12を有する型面
11が前記成形空間を向くように所定位置に組み込む。
そして前記成形空間内に、成形型6の成型用粉末材料で
あるWC−Co粉末5を充填し、所定の圧力Pで圧縮成
形する。このとき、成形空間内のWC−Co粉末5の一
部は、メス型1の型面11の各凹型パターン12に加圧
によって侵入するため、図1(E)に示すように、前記
型面11と圧接していた表面に前記凹型パターン12と
対応する凸型パターン61’を有する粉末成形体6’が
予備成形される。
【0013】次に、圧縮成形装置4から取り出した粉末
成形体6’を、WC−Co粉末5の融解温度よりも低い
所定の焼結温度で所定の時間加熱することによって、図
1(F)に示すように、WC−Co焼結体(超硬合金)
からなる成形型6が成型される。この成形型6は、凸型
パターン61’が形成された表面を成形面とするもので
あって、例えば図2に示すような炭化珪素等のセラミッ
クスからなるメカニカルシール用摺動材7を焼結する際
の予備成形(圧縮成形)のために用いられ、この摺動材
7の摺動面71に、凸型パターン61によって、流体膜
による潤滑を促すための格子状あるいは螺旋状等の規則
的なパターンで配列した円形あるいは楕円形等の多数の
ディンプルや螺旋溝等の微細な凹部72を形成するもの
である。なお、上述の粉末成形体6’から成形型6への
焼結過程では、材料粒子が互いに融着接合されることに
よって僅かな体積収縮が見られるため、メス型1やマス
クパターンの設計は、粉末成形体6’の焼結の際の収縮
率を考慮して行われる。
【0014】
【実施例】本発明による具体的な実施例においては、炭
化珪素焼結体からなるメス型の型面をラッピングによっ
て極めて平滑に研磨した後、その型面に、直径70μm
の円形の孔が300μmのピッチで格子状の配列状態に
形成されたサンドブラスト用感光フィルムからなる保護
マスクを貼着してサンドブラストを施すことにより、前
記型面に深さ約20μmの凹型パターンを形成した。前
記サンドブラスト用感光フィルムは、膜厚が100μm
であって、炭酸ナトリウム水溶液による弱アルカリ現像
のものを用いた。次に、前記保護マスクを剥除したこの
メス型をプレス成形装置に組み込んで、WC−7%Co
の粉末材料を5×103 kg/cm2の圧力で圧縮成形
した。そしてこれによって得られた粉末成形体を、水素
ガス雰囲気中で1,500℃で6時間加熱することによ
って焼結したところ、成形面に直径60μm、高さ17
μm、ピッチ260μmの凸型パターンを有する超硬合
金からなる成形型が得られた。
【0015】
【発明の効果】本発明によると、炭化珪素等のセラミッ
クスからなる摺動材等の硬質の製品を成形するための成
形型の成形面に、微細な凸型パターンを形成することが
可能となったため、この成形型を用いることによって、
表面にパターン化された多数のディンプルもしくは溝等
の微細な凹部パターンを有する硬質製品を容易に生産す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る成形面に凸型パターンを有する成
形型の製造方法の好ましい実施形態を示す工程説明図で
ある。
【図2】本発明により製造された成形型によって得られ
る摺動材の摺動面の一部を拡大して示す説明図である。
【符号の説明】
1 メス型 11 型面 12 凹型パターン 2 保護マスク 5 WC−7%Co粉末(成型用粉末材料) 6 成形型 6’ 粉末成形体 61 凸型パターン 7 摺動材(製品) 71 摺動面 72 凹部

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 成形型を成型するためのメス型の型面に
    規則的なパターンで配列した孔を有する保護マスクを被
    着しサンドブラストを行うことによって前記型面に前記
    孔によるマスクパターンと対応する凹型パターンを形成
    し、 このメス型の型面で成型用粉末材料を加圧することによ
    って前記凹型パターンと対応する凸型パターンを有する
    粉末成形体を圧縮成形し、 この粉末成形体を焼結することを特徴とする成形面に凸
    型パターンを有する成形型の製造方法。
  2. 【請求項2】 成形型を成型するためのメス型の型面に
    規則的なパターンで配列した孔を有する保護マスクを被
    着してエッチングを行うことによって前記型面に前記孔
    によるマスクパターンと対応する凹型パターンを形成
    し、 このメス型の型面で成型用粉末材料を加圧することによ
    って前記凹型パターンと対応する凸型パターンを有する
    粉末成形体を圧縮成形し、 この粉末成形体を焼結することを特徴とする成形面に凸
    型パターンを有する成形型の製造方法。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2の記載において、 成型用粉末材料は超硬合金粉末であり、その圧縮成形・
    焼結により得られる成形型が超硬合金からなることを特
    徴とする成形面に凸型パターンを有する成形型の製造方
    法。
JP25585495A 1995-09-08 1995-09-08 成形面に凸型パターンを有する成形型の製造方法 Withdrawn JPH0978102A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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