JPH0976076A - Ａｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造方法 - Google Patents

Ａｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造方法

Info

Publication number
JPH0976076A
JPH0976076A JP23425595A JP23425595A JPH0976076A JP H0976076 A JPH0976076 A JP H0976076A JP 23425595 A JP23425595 A JP 23425595A JP 23425595 A JP23425595 A JP 23425595A JP H0976076 A JPH0976076 A JP H0976076A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
alloy
clad
pressure
clad material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP23425595A
Other languages
English (en)
Inventor
Manabu Okui
学 奥井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP23425595A priority Critical patent/JPH0976076A/ja
Publication of JPH0976076A publication Critical patent/JPH0976076A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 素材の前処理が通常の酸洗いや脱脂洗浄だけ
で良く、しかも板状の比較的広い面積のクラッド素材を
反り等の変形なく接合し、安価且つ高品質なＡｌ−Ｔｉ
系クラッド材を提供する。 【解決手段】 拡散接合法によるＡｌ−Ｔｉ系クラッド
材の製造方法で、Ａｌ又はＡｌ合金板とＴｉ又はＴｉ合
金板を素材として準備し、両素材を重ね合せた素材対１
を、減圧雰囲気下に５７０〜６００℃で３００〜５００
ｋｇｆ／ｃｍ2の面圧を負荷する加熱加圧処理によりク
ラッド材とする。予めＴｉ又はＴｉ合金板にステンレス
鋼板を接合した後、Ａｌ又はＡｌ合金板を接合すれば、
Ａｌ−Ｔｉ−ステンレス三層構造のクラッド材となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動車用、事務器
用、化学処理装置用等の部品部材として好適に利用でき
る、軽量且つ高強度のＡｌ−Ｔｉ系クラッド材を、拡散
接合法により製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】拡散接合法によるＡｌ−Ｔｉ系クラッド
材の製造方法については、既に幾つかの文献等に紹介さ
れている。例えば、特開昭６３−２０７４８３号によれ
ば、素材のＴｉ板及びＡｌ板に清浄化及び活性化の予備
処理を施した後、その両素材を重ね合わせ、真空雰囲気
中で０.３ｋｇｆ／ｍｍ2（３０ｋｇｆ／ｃｍ2）以上の
面圧を付加し、５５０℃以上の温度で３０分以上保持し
て拡散接合する方法が紹介されている。
【０００３】同公報には、予備処理の方法として、硝弗
酸を用いた酸洗い又は脱脂処理、及び研磨処理が挙げら
れている。又、接合時の雰囲気としては、通常のロータ
リポンプで得られる程度の排気によって到達されるもの
でも良いとされている。更に、面圧の上限は１００ｋｇ
ｆ／ｃｍ2、温度の上限は６４０℃、時間のそれは２時
間程度とするのが望ましいとされている。実施例によれ
ば、１００ｍｍ長×７５ｍｍ巾でそれぞれの厚みが０.
１ｍｍのサイズのＡｌ板とＴｉ板がクラッド接合されて
おり、１８０度の曲げ試験では剥離しないとされてい
る。
【０００４】又、溶接学会誌、第４６巻（１９７７年）
第２号の３２頁〜３９頁には、ＴｉとＡｌの拡散溶接が
概説さている。それによると、純Ｔｉと純Ａｌの直径２
０ｍｍの丸棒を素材に選び、事前にアセトンによって脱
脂洗浄した両素材面を重ね合せ、１×１０-4Ｔｏｒｒ以
下の真空中で高周波誘導加熱の下、一軸加圧することに
よって拡散溶接している。この研究での接合条件は、１
０-4Ｔｏｒｒの真空中において、温度は４５０〜６００
℃の範囲、及び圧力は０〜５０ｋｇ／ｃｍ2の範囲であ
って、保持時間は１０〜３００分である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来のＡｌとＴｉをクラッドする事例によると、クラッ
ドすべき素材の接合面を予め酸洗い又は脱脂といった一
般的な清浄化処理を施すほかに、特別に表面の研磨処
理、接合表面の酸化物の除去、油汚れの除去が必要であ
り、又これらの処理後における表面活性状態の経時劣化
により、接合性が大きく左右されるという問題がある。
【０００６】又、これらの事例が対象とするクラッド材
の接合面積はせいぜい１００ｃｍ2程度であり、それ以
上に広い面積のクラッド接合においては、各素材間の熱
膨張差による反り、界面での部分的なボイドの発生等の
クラッド時の不具合現象を防止できないのが現状であ
る。
【０００７】本発明は、かかる従来の事情に鑑み、Ａｌ
及びＴｉの素材に特別な前処理を必要とせず、通常の酸
洗いやアルコールでの脱脂洗浄のような簡単な清浄化処
理を施すだけで良好な接合が得られ、しかも板状の比較
的広い面積のクラッド素材を反りやボイドの発生なく接
合し得る、安価且つ高品質なＡｌ−Ｔｉ系クラッド材の
製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、クラッド素材に酸洗や脱脂程度の簡便
な清浄化処理を行った後、接合部が比較的広い面積のＡ
ｌ−Ｔｉ系クラッド材を安価且つ高品質に製造するた
め、以下の方法を採用したものである。
【０００９】即ち、本発明の第一の方法は、拡散接合法
によるＡｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造方法であって、
(１) 素材のＡｌ又はＡｌ合金板とＴｉ又はＴｉ合金板
をアルコールで脱脂洗浄し及び／又は酸洗いする工程
と、(２) 両素材を重ね合せて素材対とする工程と、
(３) 該素材対を減圧雰囲気下に５７０〜６００℃の温
度範囲で加熱すると共に３００〜５００ｋｇｆ／ｃｍ2
の面圧を負荷する加熱加圧処理によりクラッド材とする
工程とを、含むことを特徴とする。
【００１０】この本発明の第１の方法における加熱加圧
処理時における減圧雰囲気の圧力としては、１０-1〜１
０-2Ｔｏｒｒの範囲が好ましく、更にその場合の保持時
間は１〜３時間とするのが好ましい。
【００１１】又、本発明の第２の方法は、Ｔｉ又はＴｉ
合金板の両面のうち、Ａｌ又はＡｌ合金板とクラッドす
る面と反対側の面に予めステンレス鋼板をクラッドし、
その後これにＡｌ又はＡｌ合金板をクラッドして、最終
的にＡｌ又はＡｌ合金／Ｔｉ又はＴｉ合金／ステンレス
鋼の三層構造の複合クラッド材とするものである。
【００１２】即ち、本発明の第２の方法は、拡散接合法
によるＡｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造方法であって、
(１) 素材のＡｌ又はＡｌ合金板と、Ｔｉ又はＴｉ合金
板とステンレス鋼板をアルコールで脱脂洗浄し及び／又
は酸洗いする工程と、(２) Ｔｉ又はＴｉ合金素材の両
面とステンレス鋼素材の片面にそれぞれＮｉメッキを施
す工程と、(３) Ｎｉメッキを施したＴｉ又はＴｉ合金
素材の一面とＮｉメッキを施したステンレス鋼素材の面
とが対向するように重ね合せて素材対とする工程と、
(４) 該素材対を減圧雰囲気下に６５０〜７００℃の温
度範囲で加熱すると共に４００〜８００ｋｇｆ／ｃｍ2
の面圧を負荷する第１の加熱加圧処理により予備クラッ
ド材とする工程と、(５) 得られた該予備クラッド材に
おけるＮｉメッキを施したＴｉ又はＴｉ合金素材のクラ
ッドされていない面に、前記Ａｌ又はＡｌ合金素材の一
方の面を対向するように重ね合せて素材対とする工程
と、(６) 該素材対を減圧雰囲気下に５７０〜６００℃
の温度範囲で加熱すると共に３００〜５００ｋｇｆ／ｃ
ｍ2の面圧を負荷する第２の加熱加圧処理によりクラッ
ド材とする工程とを、含むことを特徴とする。
【００１３】上記第２の方法において、ステンレス鋼板
をＴｉ又はＴｉ合金板に接合して予備クラッド材とする
第１の加熱加圧処理、及びその予備クラッド材をＡｌ又
はＡｌ合金板に接合する第２の加熱加圧処理は、前述の
第１の方法の場合と同様に、その減圧雰囲気の圧力を１
０-1〜１０-2Ｔｏｒｒとするのが好ましく、更にその場
合の保持時間は１〜３時間とすることが好ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明では、クラッドされる両素
材の準備工程において、素材の接合面に予め酸洗及び／
又はアルコール脱脂洗浄程度の簡便な清浄化処理を施
す。通常のＡｌ又はＡｌ合金板及びＴｉ又はＴｉ合金
板、更には通常のステンレス鋼板を素材とする場合、特
に酸化膜及び油汚れの除去処理を行う必要はなく、又表
面研磨等の特別な前処理も不要である。
【００１５】即ち、本発明方法では、素材の表面上に極
く薄い酸化膜が残っていても、良好な接合強度で高品質
のクラッド材を得ることができる。その理由は、接合時
の加熱加圧処理において減圧下に５７０℃以上の加熱と
同時に、特に３００ｋｇ／ｃｍ2以上の高い圧力を負荷
することによって、薄い酸化膜は表面の軟化と共にクラ
ッド途上に破られて活性面が生成し、この活性面の接触
によって充分に金属拡散接合が生じるものと考えられ
る。
【００１６】又、仮に素材表面に極く僅かの油が残る場
合もあるが、この極く僅かの油膜又は油汚れについては
加圧前の減圧下の加熱によってガス化し、系外に追い出
される結果、その後に高い圧力が負荷されて拡散接合が
起こる際には油は殆ど残存せず、そのために接合強度に
は影響しないことが判明した。
【００１７】このように酸化膜や油汚れの除去を行わな
い簡便な本発明方法では、Ａｌ又はＡｌ合金板とＴｉ又
はＴｉ合金板の接合のための加熱加圧処理の条件は、温
度を５７０〜６００℃とし、負荷する面圧を３００〜５
００ｋｇｆ／ｃｍ2とする必要がある。温度が５７０℃
未満又は面圧が３００ｋｇｆ／ｃｍ2未満の場合には、
上記の接合促進現象は安定して生じない。又、６００℃
を越す温度ではＡｌ又はＡｌ合金の軟化が激しくなり、
加圧下での形状の保持が困難となる。同様に５００ｋｇ
ｆ／ｃｍ2を越す圧力を負荷しても形状維持が困難とな
るうえ、それ以上圧力を負荷しても接合強度は向上しな
い。
【００１８】このような条件でクラッドすることにっ
て、Ａｌ又はＡｌ合金板とＴｉ又はＴｉ合金板との界面
で接合強度に優れた拡散接合が得られ、具体的には剥離
強度が３ｋｇｆ／５ｍｍ以上のＡｌ−Ｔｉ系クラッド材
が得られる。尚、接合界面の剥離強度とは、クラッド材
から５ｍｍ巾の試片を切り出し、その一端のクラッド部
を強制的にＡｌ素材とＴｉ素材に剥離して開口両端を引
張試験機のチャックで保持し、開口が他端まで剥離する
間における両端１ｃｍの部分を除く部分の引張強度の最
低値であり、ｋｇｆ／５ｍｍの単位で表わす。
【００１９】このような加熱加圧処理中の接合促進現象
を１５０ｃｍ2以上の広い接合面積に確実に生ぜしめ、
均一な接合を得るためには、減圧雰囲気の圧力を１０-1
〜１０-2Ｔｏｒｒにコントロールする必要がある。更
に、上記剥離強度を１０ｋｇｆ／５ｍｍ以上とするため
には、少なくとも加熱加圧処理における保持時間を１〜
３時間とする必要がある。
【００２０】尚、素材であるＡｌ合金又はＴｉ合金の種
類によって、特に表面酸化膜が強固で接合性が劣る場
合、例えばＡｌ−Ｍｇ合金等のＡｌ合金やα＋βチタン
合金等のＴｉ合金の場合には、それらの素材の接合面に
予めＮｉメッキを施すことにより、その接合性を改善す
る。即ち、これら各素材の接合面にＮｉメッキを施した
後、各素材を重ね合わせて素材対とし、以下上記のごと
く加熱加圧処理によりクラッド材とすることができる。
この場合、各素材にＮｉメッキに必要な通常の前処理を
施す必要があることは勿論である。
【００２１】加熱加圧の方法としては、図１に示すよう
に、減圧された一軸加圧装置内に素材対１を重畳セット
し、加熱及び加圧する方法がある。このように素材対１
を複数重ねてセットする場合には、各素材対１の間にク
ラッド後の分離を容易にするため分離材２を介挿する。
分離材としては、カーボン板、あるいはアルミナ、ジル
コニア、窒化ケイ素等のセラミック板が好適に用いられ
る。尚、分離材の表面は、分離を容易にし且つクラッド
材の面を平滑に保つために、予めその表面粗さをＲmax
で２μｍ以下に平滑にしておくのが望ましい。他の加熱
加圧の方法として、例えば素材対を連続供給する連続加
熱加圧方式も可能である。
【００２２】次に、本発明において、Ｔｉ又はＴｉ合金
板にステンレス鋼板を予めクラッドし、その後Ａｌ又は
Ａｌ合金板をクラッドする第２の方法について説明す
る。この場合には、Ｔｉ又はＴｉ合金板には接合面とそ
の反対面の両面に、及びステンレス鋼板には接合面のみ
に、予めＮｉメッキを施す。予め接合面側にＮｉメッキ
を行う理由は、ステンレス鋼はその表面酸化膜が特に強
固であるため、Ｎｉメッキを行わずに加熱加圧を行って
もクラッド材構成成分の拡散が妨げられ、好ましい拡散
接合が得られないからである。
【００２３】又、Ｔｉ又はＴｉ合金板のステンレス鋼板
との接合面と反対側の面に予めＮｉメッキするのは、そ
の面がＡｌ又はＡｌ合金との接合面となるため、そのＡ
ｌ又はＡｌ合金板とのクラッド時の加熱加圧によっても
破れない程度の厚さ（通常０.１μｍ以上）の酸化膜又
はヒーターや前記分離材がカーボンであればＴｉＣ膜等
が、ステンレス鋼板との加熱加圧クラッド処理時に形成
されるのをＮｉメッキによって防止するためである。
【００２４】これらＮｉメッキは、広い面に均一に成膜
できる電解メッキが望ましい。無電解メッキでは密着強
度が弱く、未着部が発生し易いため、特に接合面が１５
０ｃｍ2以上の広い面積のものでは好ましくない。又、
Ｎｉメッキの厚みは５〜２０μｍとする。５μｍ未満で
は上記した効果にバラツキが生じ易く、２０μｍを越え
ると広面積のものでは膜厚に端部と中央とで差が生じる
ため接合の均一性が低下する場合もあり、また経済上必
ずしも好ましくない。尚、Ｎｉメッキに際しては、素材
にＮｉメッキに必要な通常の前処理を行う。
【００２５】このようにＮｉメッキを施したＴｉ又はＴ
ｉ合金板及びステンレス鋼板の両素材を、互いのＮｉメ
ッキ面を密着させた状態で加熱加圧して接合する。この
第１の加熱加圧処理の温度は６５０〜７００℃とし、負
荷する面圧は４００〜８００ｋｇｆ／ｃｍ2とする。こ
の場合Ｔｉ又はＴｉ合金板とステンレス板の界面ではＮ
ｉの拡散が生じるが、温度６５０℃未満又は圧力４００
ｋｇｆ／ｃｍ2未満ではその拡散が充分に生じず、その
結果接合部の強度が低下する。又、温度が７００℃を越
えるか圧力が８００ｋｇｆ／ｃｍ2を越す場合には、Ｔ
ｉ又はＴｉ合金板とステンレス板の界面にＴｉ−Ｎｉ系
の金属間化合物からなる脆性層が生じるため接合部の強
度が低下すると共に、過温過圧によるＴｉの塑性変形量
が増大し形状の維持が難しくなる。
【００２６】Ｔｉ又はＴｉ合金板とステンレス鋼板の両
素材を接合した予備クラッド材は、次にＴｉ又はＴｉ合
金板のＮｉメッキを施した面のうちステンレス鋼板が接
合されていない面に、Ａｌ又はＡｌ合金板の素材を密着
させ、加熱加圧して接合して複合クラッド材とする。こ
の第２の加熱加圧処理の条件は、前記したステンレス鋼
板を用いないＡｌ又はＡｌ合金板とＴｉ又はＴｉ合金板
の接合の場合と同様である。
【００２７】このような方法でクラッドすることによっ
て、得られるＡｌ又はＡｌ合金／Ｔｉ又はＴｉ合金／ス
テンレス鋼の三層構造からなるクラッド材のＴｉとステ
ンレス鋼の接合界面は、前記Ａｌ又はＡｌ合金板とＴｉ
又はＴｉ合金板の接合界面の剥離強度ほど高くはない
が、３ｋｇｆ／５ｍｍ以上の実用上支障のない程度の剥
離強度を備えている。
【００２８】この三層構造のクラッド材の製造方法にお
ける第１及び第２の加熱加圧処理においても、１５０ｃ
ｍ2以上の広面積のもので均一な接合を得るためには、
減圧雰囲気圧は１０-1〜１０-2Ｔｏｒｒとするのが好ま
しい。又、５ｋｇｆ／５ｍｍ以上の剥離強度を安定して
得るためには、更に保持時間を１〜３時間の範囲とする
必要がある。
【００２９】本発明方法によりクラッドされる各素材の
寸法は、広い面積のものを接合によって反り等の変形を
極めて小さく抑えて、形状を維持しながら安定に製造す
るために、特に各素材の熱膨張並びに変形を考慮して設
定する必要がある。この点はクラッド材を部品として用
いる場合の熱サイクル信頼性の点でも重要である。ちな
みに、Ａｌ、Ｔｉ、及びステレス鋼の熱膨張係数は、そ
れぞれ約２４、８.５、１７×１０-6Ｋであり、ヤング
率はそれぞれ約７、１１、２２×１０3ｋｇｆ／ｍｍ2で
ある。
【００３０】本発明において確認されたところによれ
ば、Ａｌ又はＡｌ合金板、Ｔｉ又はＴｉ合金板、ステン
レス鋼板の各素材の板厚を、それぞれＴａ、Ｔｔ、Ｔｓ
とするとき、Ｔａ／Ｔｔ≧２の条件を満たせばＡｌ又は
Ａｌ合金／Ｔｉ又はＴｉ合金のクラッド材に反り等の変
形が極めて少なく、またＴａ／Ｔｔ≧２且つＴｓ／Ｔｔ
≧４であればＡｌ又はＡｌ合金／Ｔｉ又はＴｉ合金／ス
テンレス鋼のクラッド材に反り等の変形が極めて少ない
ことが判明した。
【００３１】これは、上記の熱膨張係数のそれぞれの大
きさの違いと、熱膨張係数の差を緩和吸収し得る変形能
（ヤング率の低さが関与する）のそれぞれの差によって
生じているものと考えられる。各素材の板厚の比を上記
のごとく選定することは、特に接合面積が１５０ｃｍ2
以上のもので重要である。
【００３２】
【実施例】実施例１ Ａｌ合金板と純Ｔｉ板のクラッド接合を試みた。素材と
して、市販のＡｌ合金板（ＪＩＳ Ａ３００４、直径２
００ｍｍ、板厚１.５ｍｍ）、及び市販の純Ｔｉ板（Ｊ
ＩＳ２種、直径２００ｍｍ、板厚０.５ｍｍ）を用意し
た。
【００３３】まず、接合に先立って、各板の表面をアル
コールで簡単に脱脂洗浄する清浄化処理のみを行った。
尚、試料１９では、各板の表面に脱脂洗浄に加え、更に
硝酸でのエッチングによる活性化処理を施した。これら
の前処理を施した各素材を、図２に示すようにＡｌ合金
板１ａと純Ｔｉ板１ｂを重ねて素材対１とし、複数の素
材対１の間に分離材２を挟んで一軸加圧装置内にセット
した。
【００３４】即ち、図１に示すような一軸加圧装置の断
熱材７を内張りした炉体６内に、ステンレス製の臼３と
ハイス製又は黒鉛製の下杵４及び上杵５を配置し、臼３
内に図２に示すごとく重畳した素材対１と分離材２をセ
ットした。次に、真空ポンプ１０で炉体６内を所定の圧
力まで減圧し、ヒーター８で加熱しながら熱電対１１で
炉体６内を一定温度に保持し、油圧装置９により上杵５
に所定の面圧を負荷して一定時間保持した。それぞれ前
処理を行った各素材の接合の条件、即ち温度、負荷面
圧、減圧雰囲気、及び時間は下記表１に示す通りであ
る。
【００３５】得られた各クラッド材について、接合性の
判定として剥離強度を測定した。その測定方法は、接合
したクラッド材から５ｍｍ巾の試片を切り出し、その一
方の先端をチタン部とアルミ部に引き剥して各々を引張
試験機のチャックでつかみ、その引張強度を測定し、各
試料ごとに試片１０個の平均値をもって剥離強度とし
た。
【００３６】表１に示した剥離強度の判定符号は、◎が
アルミ母材で破断する程に高く１０ｋｇｆ／５ｍｍ以上
のもの、○が同３ｋｇｆ／５ｍｍ以上のものであり、こ
れらはいずれも試片全域又各試片にわたって健全な接合
体の得られたものである。△は試片中央部（すなわちク
ラッド材の中央部）で剥離強度３ｋｇｆ／５ｍｍ未満の
箇所が存在したものである。×は均一に接合されておら
ず又その剥離強度レベルが低く、切断時に既に中心部で
剥離したものである。
【００３７】
【表１】 温度 負荷面圧 減 圧 時間 剥離強度試料 前処理 (℃) (kgf/cm2) (Torr) (Hr) 分離材 (n=10) 備 考 1＊ 脱脂 550 400 10-2 1.0 カーホ゛ン × 接合不良 2 〃 570 400 10-2 1.0 カーホ゛ン ◎ 3 〃 600 400 10-2 1.0 カーホ゛ン ◎ 4＊ 〃 630 400 10-2 1.0 カーホ゛ン ○ Al部変形 5＊ 〃 600 200 10-2 1.0 カーホ゛ン × 接合不良 6 〃 600 300 10-2 1.0 カーホ゛ン ◎ 7 〃 600 500 10-2 1.0 カーホ゛ン ◎ 8＊ 〃 600 550 10-2 1.0 カーホ゛ン ○ Al部変形 9 〃 600 400 10-1 1.0 カーホ゛ン ◎ 10 〃 600 400 0.5 1.0 カーホ゛ン ○ 11 〃 600 400 1 1.0 カーホ゛ン ○ 12 〃 600 400 10-2 0.5 カーホ゛ン ○ 13 〃 600 400 10-2 2.0 カーホ゛ン ◎ 14 〃 600 400 10-2 3.0 カーホ゛ン ◎ 15 〃 600 400 10-2 3.5 カーホ゛ン ○ 16 〃 600 400 10-2 3.0 Al2O3 ◎ 17 〃 600 400 10-2 3.0 ZrO2 ◎ 18 〃 600 400 10-2 3.0 Si3N4 ◎ 19＊ 活性化 600 100 10-2 1.0 カーホ゛ン × 接合不良 （注）表中の＊を付した試料は比較例である。
【００３８】表１の結果より、加熱加圧処理の温度、圧
力が本発明の範囲の下限未満では剥離強度が低下し、同
範囲の上限を越すと接合強度は良好であってもＡｌ部の
形状維持が出来なくなることが判る。又、温度と圧力が
本発明の範囲内であることに加え、保持時間が１〜３時
間、雰囲気圧が１０-2〜１０-1Ｔｏｒｒの場合、より高
い剥離強度のものが得られることがわかる。尚、試料１
９は硝酸でのエッチングにより予めＡｌ合金板と純Ｔｉ
板を活性化処理したものであるが、負荷した面圧が低い
ため本発明のような広面積のものでは充分な剥離強度が
出なかったものである。
【００３９】図３にＥＰＭＡ元素分析で確認した試料３
のＡｌ合金板と純Ｔｉ板の界面での元素の分布状況を示
す。ＴｉとＡｌの界面で両成分が相互に拡散し、接合さ
れていることが判る。
【００４０】実施例２ 前記実施例１と同じＡｌ合金板と純Ｔｉ板、及び市販の
ＳＵＳ３０４のステンレス鋼板（ＪＩＳ ４３０３、直
径２００ｍｍ、板厚２.０ｍｍ厚）を用意した。各板
は、実施例１と同様にアルコールでの脱脂洗浄による前
処理を行った。
【００４１】まず、前記の純Ｔｉ板とＳＵＳ板のクラッ
ド接合を試みた。即ち、Ｎｉメッキの前処理として、予
め板の表面をアルカリ洗浄、酸中和、水洗浄の順に処理
し、通常の電解ニッケルメッキを行い、純Ｔｉ板にはそ
の両面に平均８μｍのＮｉメッキ層をつけ、同様にＳＵ
Ｓ板の純Ｔｉ板と接合する面に同様の方法で平均１０μ
ｍのＮｉメッキ層をつけた。又、比較のため、純Ｔｉ板
及びＳＵＳ板ともに全てメッキ処理をしないもの（表２
の試料３８〜４１）、及びクラッド対向面のＴｉ側のみ
又はＳＵＳ側のみにそれぞれ平均８μｍ、平均１０μｍ
のＮｉメッキ層を設けたもの（表２の試料４２、４３）
も準備した。
【００４２】これらの各素材を用い、図２のＡｌ合金板
１ａとＳＵＳ板を入れかえた状態にセットし、下記表２
に示す条件にて第１の加熱加圧処理を行った。得られた
予備クラット材について、実施例１と同様の方法で接合
性の判定を行った。表２に示す剥離強度の欄の○、△、
×の符号については、表１と同じ意味である。尚、同表
中に◎がないのは、Ｎｉメッキ層を介して接合されてい
るため、１０ｋｇｆ／５ｍｍ以上の剥離強度に達しなか
ったからである。
【００４３】
【表２】 Niメッキ層 温度 負荷面圧 減 圧 時間 剥離強度試料 (厚μm) (℃) (kgf/cm2) (Torr) (Hr) 分離材 (n=10) 備 考 20＊ 両板(10) 600 500 10-2 1.5 カーホ゛ン × 接合不良 21 〃 650 500 10-2 1.5 カーホ゛ン ○ 22 〃 700 500 10-2 1.5 カーホ゛ン ○ 23＊ 〃 750 500 10-2 1.5 カーホ゛ン × Ti部変形 24＊ 〃 650 350 10-2 1.5 カーホ゛ン × 接合不良 25 〃 650 400 10-2 1.5 カーホ゛ン ○ 26 〃 650 600 10-2 1.5 カーホ゛ン ○ 27 〃 650 800 10-2 1.5 カーホ゛ン ○ 28＊ 〃 650 850 10-2 1.5 カーホ゛ン △ Ti部変形 29 〃 650 600 10-1 1.5 カーホ゛ン ○ 30 〃 650 600 1 1.5 カーホ゛ン △ 31 〃 650 600 10-2 0.5 カーホ゛ン △ 32 〃 650 600 10-2 2.0 カーホ゛ン ○ 33 〃 650 600 10-2 3.0 カーホ゛ン ○ 34 〃 650 600 10-2 3.5 カーホ゛ン ○ 35 〃 650 600 10-2 3.0 Al2O3 ○ 36 〃 650 600 10-2 3.0 ZrO2 ○ 37 〃 650 600 10-2 3.0 Si3N4 ○ 38＊ なし 650 600 10-2 1.5 カーホ゛ン × 接合不良 39＊ 〃 700 600 10-2 1.5 カーホ゛ン × 接合不良 40＊ 〃 850 600 10-2 1.5 カーホ゛ン × 接合不良 41＊ 〃 900 600 10-2 1.5 カーホ゛ン △ Ti部変形 42＊ Ti板(8) 650 600 10-2 1.5 カーホ゛ン × 接合不良 43＊ SUS板(10) 650 600 10-2 1.5 カーホ゛ン × 接合不良 44 両板(3) 700 500 10-2 1.5 カーホ゛ン △ 45 両板(22) 700 500 10-2 1.5 カーホ゛ン △ （注）表中の＊を付した試料は比較例である。
【００４４】表２の結果より、加熱加圧処理の温度、加
圧力が本発明の範囲の下限未満では剥離強度が低下し、
同範囲の上限を越えるとＴｉとステンレスの界面にＴｉ
−Ｎｉ系金属間化合物の脆化層が生じて剥離強度が低下
すると共に、Ｔｉ部の変形が生じるため形状維持が難し
くなることが判る。又、処理時間が１〜３時間、雰囲気
圧が１０-2〜１０-1Ｔｏｒｒの場合、より高い剥離強度
のものが得られることが判る。
【００４５】図４に、ＥＰＭＡ元素分析で確認した試料
２２のＴｉとステンレスの界面の元素の分布状況を示
す。ＴｉとＮｉメッキ層の界面及びステンレスとＮｉメ
ッキ層の界面でそれぞれの成分が相互に拡散し、Ｎｉメ
ッキ層を介して接合されていることが判る。
【００４６】又、クラッドされるＴｉ側、ステンレス側
のいずれか１面若しくは両側の面にＮｉメッキ層がない
場合、剥離強度が充分に出ないことが判る。特にステン
レス表面にＮｉメッキを施す効用としては、メッキ前に
行うステンレス表面のアルカリ処理による活性化（表面
酸化皮膜の除去）にあるものと考えられる。尚、前記の
ように純Ｔｉ板は、ＳＵＳ板とクラッドされる面の反対
面についても予めＮｉメッキ層が形成され、後のＡｌ合
金板とのクラッド接合を確実に完遂するために、このス
テンレスとの接合時に表面の変質層膜の生成を抑えてい
る。
【００４７】表２の試料４４、４５のように、Ｎｉメッ
キ層の平均厚みが５〜２０μｍの範囲外では、試料の接
合面内で剥離強度にバラツキが生じる。これは、素材が
２００ｃｍ2以上の接合面を有するため、接合面でメッ
キの厚みがバラつき、薄い場合には未着に近い薄い部分
が生じ、逆に厚い場合には特に端部が極端に厚くなるこ
とに起因するものと考えられる。
【００４８】次に、表２の試料２２と同一条件で予めク
ラッドしたチタン／ステンレスの予備クラッド材と、前
記Ａｌ合金板とを、下記表３の条件でクラッド処理を行
った。尚、前記のように予備クラット材の純Ｔｉ板は、
ＳＵＳ板とクラッドされる面の反対面についても予めＮ
ｉメッキ層が形成されている。
【００４９】即ち、まず、予備クラット材及びＡｌ合金
板の表面を再度アルコールで清浄化し、その後Ａｌ合金
板と予備クラット材の純Ｔｉ板を対向させてセッティン
グし、下記表３に示す条件にて第２の加熱加圧処理を行
った。尚、Ａｌ合金板のクラッド面にはＮｉメッキはし
なかった。得られた各クラット材の接合性（Ａｌ−Ｔｉ
界面）を実施例１と同様に評価し、結果を表３に併せて
示した。表３に示す剥離強度の欄の◎、○、×の符号に
ついては、表１と同じ意味である。
【００５０】
【表３】 温度 負荷面圧 減 圧 時間 剥離強度試 料 (℃) (kgf/cm2) (Torr) (Hr) 分離材 (n=10) 備 考 22−1＊ 530 450 10-2 1.0 カーホ゛ン × 接合不良 22−2 580 450 10-2 1.0 カーホ゛ン ◎ 22−3＊ 620 450 10-2 1.0 カーホ゛ン × 接合不良 22−4＊ 580 250 10-2 1.0 カーホ゛ン × 接合不良 22−5 580 350 10-2 1.0 カーホ゛ン ◎ 22−6＊ 580 550 10-2 1.0 カーホ゛ン ○ Al部変形 22−7 580 450 10-1 1.0 カーホ゛ン ◎ 22−8 580 450 0.5 1.0 カーホ゛ン ○ 22−9 580 450 1 1.0 カーホ゛ン ○ 22−10 580 450 10-2 0.5 カーホ゛ン ○ 22−11 580 450 10-2 1.0 カーホ゛ン ◎ 22−12 580 450 10-2 3.0 カーホ゛ン ◎ 22−13 580 450 10-2 3.5 カーホ゛ン ○ （注）表中の＊を付した試料は比較例である。
【００５１】表３の結果より、Ａｌ合金とＴｉとの界面
のクラッド部における剥離強度は、加熱加圧の温度及び
圧力が本発明の条件内の場合に高い値が得られ、又雰囲
気圧が１０-1〜１０-2Ｔｏｒｒの場合及び保持時間が１
〜３時間の場合より高い剥離強度のものが得られた。
尚、前記の第１の加熱加圧処理の工程でクラッドされた
Ｔｉとステンレスの界面の状態は、この第２の加熱加圧
処理において若干のＮｉの拡散が進んだものの剥離強度
の劣化は認められなかった。
【００５２】実施例３ Ａｌ合金板、純Ｔｉ板、ＳＵＳ板の各板厚による影響を
見るため、以下の実験を行った。用いたＡｌ板、純Ｔｉ
板、ＳＵＳ板は実施例１及び２と同種のもの（直径２０
０ｍｍ、ただし板厚を変更）であり、又得られたクラッ
ド材の接合性の判定に対しては実施例１と同様の方法で
評価し、剥離強度として同様に◎（Ａｌ母材で破断する
程の高い剥離強度で１０ｋｇｆ／５ｍｍ以上）及び○
（試片全体で３ｋｇｆ／５ｍｍ以上）で示し、同時にク
ラッド材の反りを目視評価した。
【００５３】まず、下記表４に示す板厚のＡｌ合金板と
Ｔｉ板にそれぞれ実施例１と同様の脱脂洗浄による清浄
化処理を施し、互いに重ね合わせた複数の素材対を実施
例１と同様に炉内にセットした。全ての試料について、
雰囲気圧１０-2Ｔｏｒｒ、温度６００℃、負荷面圧４０
０ｋｇｆ／ｃｍ2及び保持時間１時間の条件で加熱加圧
処理してクラッド接合させた。
【００５４】
【表４】 （注）表中の＊を付した試料は比較例である。
【００５５】次に、下記表５に示す板厚の純Ｔｉ板とＳ
ＵＳ板を実施例１と同様にアルコールで脱脂洗浄し、実
施例２と同様にそれぞれの面に厚さ８μｍのＮｉメッキ
を施した。これらの純Ｔｉ板とＳＵＳ板を重ね合わせた
複数の素材対を実施例２と同様に炉内にセットし、全て
の試料について雰囲気圧１０-2Ｔｏｒｒ、温度７００
℃、負荷面圧４００ｋｇｆ／ｃｍ2及び保持時間は１.５
時間の条件で第１の加熱加圧処理し、ＳＵＳ／Ｔｉの予
備クラッド材を得た。
【００５６】
【表５】 （注）表中の＊を付した試料は比較例である。
【００５７】上記により得られた試料Ｂ−４の予備クラ
ッド材に、そのＳＵＳ板との接合面と反対側の純Ｔｉ板
の面（Ｎｉメッキ有り）に対向させて前記Ａｌ合金板を
重ね合わせ、その複数の素材対を実施例２と同様に炉内
にセットした。全ての試料について、雰囲気圧１０-2Ｔ
ｏｒｒ、温度６００℃、負荷面圧４００ｋｇｆ／ｃｍ2
及び保持時間は１.５時間の条件で第２の加熱加圧処理
を行い、Ａｌ／Ｔｉ／ＳＵＳの三層構造のクラッド材を
得た。
【００５８】
【表６】 （注）表中の＊を付した試料は比較例である。
【００５９】以上の結果から、本発明の接合方法によれ
ば、１５０ｃｍ2以上の比較的広い面積のＡｌ−Ｔｉ二
層クラッド接合又はＡｌ−Ｔｉ−ＳＵＳ三層クラッド接
合において、Ａｌ又はＡｌ合金板の板厚をＴａ、Ｔｉ又
はＴｉ合金板の板厚をＴｔ、ステンレス板の板厚をＴｓ
とすると、Ａｉ−Ｔｉの二層クラッド材の場合少なくと
もＴａ／Ｔｔが２以上とすること、またＡｌ−Ｔｉ−Ｓ
ＵＳの三層クラッド材の場合は少なくともＴａ／Ｔｔが
２以上且つＴｓ／Ｔｔが４以上とすることにより、反り
等の変形のないクラッド材が得られることが判る。
【００６０】尚、接合面積が１５０ｃｍ2未満のものに
ついても、板厚比を変えてＡｌ合金板とＴｉ板の２層、
及びこれに更にステンレス鋼板を加えた３層のクラッド
接合を同様に行ったが、これらの場合にはそれぞれ板厚
比がＴａ／Ｔｔ２で未満、及びＴｓ／Ｔｔで４未満であ
っても、クラッド材に反りは殆ど生じなかった。
【００６１】実施例４ Ａｌ合金とＴｉ合金の接合において、それらの表面酸化
膜が強固で接合性の悪いものである場合、例えばＡｌ合
金がＡ５０５２、Ａ２０１４等のＡｌ−Ｍｇ合金である
場合、Ｔｉ合金がＴｉ−８Ｍｎ等のα＋βチタン合金で
ある場合には、その接合面にＮｉメッキを施して接合性
を改善する。
【００６２】この実施例では、Ａｌ合金及びＴｉ合金の
材質による影響を調べるため、下記表７に示すＡｌ合金
とＴｉ合金を使用し、各素材の厚さはＡｌ合金が１.５
ｍｍ及びＴｉ合金が１.０ｍｍとし、接合条件はいずれ
も６００℃の温度と４００ｋｇｆ／ｃｍ2の負荷面圧で
１.５Ｈｒ加圧した。尚、各素材の前処理はアルコール
での脱脂洗浄のほか、Ｎｉメッキを施す素材については
通常のＮｉメッキの前処理を行った。
【００６３】得られた各クラッド材について、実施例１
と同様に剥離強度を測定し、その結果を表７に示した。
尚、剥離強度における◎、○、△、×の符号は、実施例
１の表１と同じ意味である。下記表７から、Ａｌ合金が
Ａ５０５２又はＴｉ合金がＴｉ−８Ｍｎ合金のように強
固な表面酸化膜を持つ場合には、そのまま接合しても高
い剥離強度が得られないが、その接合面にＮｉメッキを
施すことによって接合性が改善され、剥離強度が向上す
ることが判る。
【００６４】
【表７】 （注）表中の＊を付した試料は比較例である。
【００６５】
【発明の効果】本発明によれば、拡散接合法によって、
Ａｌ及びＴｉの素材に特別な前処理を必要とせず、通常
の酸洗いや脱脂のような清浄化処理を施すだけで良好な
接合が得られ、しかも板状の比較的広い面積のクラッド
素材を反りやボイドの発生なく接合し、安価且つ高品質
なＡｌ−Ｔｉ系クラッド材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施するための一軸加圧装置を示す概
略断面図である。
【図２】一軸加圧装置内にセットした素材と分離材の配
置例を示す概略断面図である。
【図３】実施例１で得たＡｉ−Ｔｉクラッド材の接合界
面における元素の分布を示すＥＰＭＡ元素分析のグラフ
である。
【図４】実施例２で得たＳＵＳ−Ｔｉ予備クラッド材の
接合界面における元素の分布を示すＥＰＭＡ元素分析の
グラフである。
【符号の説明】
１ 素材対 １ａ Ａｌ合金板 １ｂ 純Ｔｉ板 ２ 分離材 ３ 臼 ４ 下杵 ５ 上杵 ６ 炉体 ７ 断熱材 ８ ヒーター ９ 油圧装置 １０ 真空ポンプ １１ 熱電対

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 拡散接合法によるＡｌ−Ｔｉ系クラッド
    材の製造方法であって、(１) 素材のＡｌ又はＡｌ合金
    板とＴｉ又はＴｉ合金板をアルコールで脱脂洗浄し及び
    ／又は酸洗いする工程と、(２) 両素材を重ね合せて素
    材対とする工程と、(３) 該素材対を減圧雰囲気下に５
    ７０〜６００℃の温度範囲で加熱すると共に３００〜５
    ００ｋｇｆ／ｃｍ2の面圧を負荷する加熱加圧処理によ
    りクラッド材とする工程とを、含むことを特徴とするＡ
    ｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造方法。
  2. 【請求項２】 前記加熱加圧処理における減圧雰囲気の
    圧力が、１０-1〜１０-2Ｔｏｒｒであることを特徴とす
    る、請求項１に記載のＡｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造方
    法。
  3. 【請求項３】 前記加熱加圧処理の保持時間が、１〜３
    時間であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の
    Ａｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造方法。
  4. 【請求項４】 前記クラッド材の接合面が１５０ｃｍ2
    以上であって、前記Ａｌ又はＡｌ合金素材、Ｔｉ又はＴ
    ｉ合金素材の板厚をそれぞれＴａ、Ｔｔとしたとき、Ｔ
    ａ／Ｔｔ≧２であることを特徴とする、請求項１に記載
    のＡｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造方法。
  5. 【請求項５】 拡散接合法によるＡｌ−Ｔｉ系クラッド
    材の製造方法であって、(１) 素材のＡｌ又はＡｌ合金
    板と、Ｔｉ又はＴｉ合金板とステンレス鋼板をアルコー
    ルで脱脂洗浄し及び／又は酸洗いする工程と、(２) Ｔ
    ｉ又はＴｉ合金素材の両面とステンレス鋼素材の片面に
    それぞれＮｉメッキを施す工程と、(３) Ｎｉメッキを
    施したＴｉ又はＴｉ合金素材の一面とＮｉメッキを施し
    たステンレス鋼素材の面とが対向するように重ね合せて
    素材対とする工程と、(４) 該素材対を減圧雰囲気下に
    ６５０〜７００℃の温度範囲で加熱すると共に４００〜
    ８００ｋｇｆ／ｃｍ2の面圧を負荷する第１の加熱加圧
    処理により予備クラッド材とする工程と、(５) 得られ
    た該予備クラッド材におけるＮｉメッキを施したＴｉ又
    はＴｉ合金素材のクラッドされていない面に、前記Ａｌ
    又はＡｌ合金素材の一方の面を対向するように重ね合せ
    て素材対とする工程と、(６) 該素材対を減圧雰囲気下
    に５７０〜６００℃の温度範囲で加熱すると共に３００
    〜５００ｋｇｆ／ｃｍ2の面圧を負荷する第２の加熱加
    圧処理によりクラッド材とする工程とを、含むことを特
    徴とするＡｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造方法。
  6. 【請求項６】 前記第１及び第２の加熱加圧処理におけ
    る減圧雰囲気の圧力が、共に１０-1〜１０-2Ｔｏｒｒで
    あることを特徴とする請求項５に記載のＡｌ−Ｔｉ系ク
    ラッド材の製造方法
  7. 【請求項７】 前記第１及び第２の加熱加圧処理におけ
    る保持時間が、共に１〜３時間であることを特徴とする
    請求項５又は６に記載のＡｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造
    方法。
  8. 【請求項８】 前記クラッド材の接合面が１５０ｃｍ2
    以上であって、前記Ａｌ又はＡｌ合金素材、Ｔｉ又はＴ
    ｉ合金素材及びステンレス鋼素材の板厚をそれぞれＴ
    ａ、Ｔｔ、及びＴｓとしたとき、Ｔａ／Ｔｔ≧２且つＴ
    ｓ／Ｔｔ≧４であることを特徴とする、請求項５に記載
    のＡｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造方法。
JP23425595A 1995-09-12 1995-09-12 Ａｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造方法 Pending JPH0976076A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23425595A JPH0976076A (ja) 1995-09-12 1995-09-12 Ａｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23425595A JPH0976076A (ja) 1995-09-12 1995-09-12 Ａｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0976076A true JPH0976076A (ja) 1997-03-25

Family

ID=16968112

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23425595A Pending JPH0976076A (ja) 1995-09-12 1995-09-12 Ａｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0976076A (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6554178B1 (en) 1999-04-08 2003-04-29 Quallion Llc Battery case feedthrough
US6716554B2 (en) 1999-04-08 2004-04-06 Quallion Llc Battery case, cover, and feedthrough
KR100470146B1 (ko) * 2002-10-24 2005-02-05 한국과학기술연구원 티타늄/철합금 클래드 판재 제조방법
KR100605388B1 (ko) * 2004-09-20 2006-07-28 주식회사 한국클래드텍 티타늄 클래드판과 그 제조 방법
JP2008006445A (ja) * 2006-06-27 2008-01-17 Tohoku Univ チタン合金とアルミニウム材料の接合方法
JP2018196906A (ja) * 2017-03-29 2018-12-13 東洋鋼鈑株式会社 圧延接合体及びその製造方法
KR20200145893A (ko) * 2019-06-19 2020-12-31 주식회사 티씨씨스틸 타이타늄 클래드재 및 이의 제조 방법
CN112321274A (zh) * 2020-12-08 2021-02-05 中北大学 高强韧性煤矸石陶瓷板、其制备方法及制备其复合板方法
KR102213855B1 (ko) * 2019-09-20 2021-02-08 한국기계연구원 전열판 정렬 접합 장치 및 전열판 정렬 접합 방법

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6554178B1 (en) 1999-04-08 2003-04-29 Quallion Llc Battery case feedthrough
US6716554B2 (en) 1999-04-08 2004-04-06 Quallion Llc Battery case, cover, and feedthrough
US7108166B2 (en) 1999-04-08 2006-09-19 Quallion Llc Method for sealing a battery case
KR100470146B1 (ko) * 2002-10-24 2005-02-05 한국과학기술연구원 티타늄/철합금 클래드 판재 제조방법
KR100605388B1 (ko) * 2004-09-20 2006-07-28 주식회사 한국클래드텍 티타늄 클래드판과 그 제조 방법
JP2008006445A (ja) * 2006-06-27 2008-01-17 Tohoku Univ チタン合金とアルミニウム材料の接合方法
JP2018196906A (ja) * 2017-03-29 2018-12-13 東洋鋼鈑株式会社 圧延接合体及びその製造方法
KR20200145893A (ko) * 2019-06-19 2020-12-31 주식회사 티씨씨스틸 타이타늄 클래드재 및 이의 제조 방법
KR102213855B1 (ko) * 2019-09-20 2021-02-08 한국기계연구원 전열판 정렬 접합 장치 및 전열판 정렬 접합 방법
CN112321274A (zh) * 2020-12-08 2021-02-05 中北大学 高强韧性煤矸石陶瓷板、其制备方法及制备其复合板方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5322740A (en) Solid state joint between aluminum alloys and/or magnesium alloys, and a method of making same
JPS6071579A (ja) アルミナと金属との接合方法
JP4256018B2 (ja) アルミニウム・ステンレス鋼クラッド材およびその製造方法
JPH0976076A (ja) Ａｌ−Ｔｉ系クラッド材の製造方法
WO2017057698A1 (ja) 金属積層材及びその製造方法
JP2999760B2 (ja) ベリリウムと銅合金のｈｉｐ接合体の製造方法およびｈｉｐ接合体
JP3799391B2 (ja) ベリリウムと銅または銅合金の接合体の製造方法およびその接合体
JP4594488B2 (ja) スパッタリングターゲット
JP2000164746A (ja) 電子部品用パッケ―ジ、その蓋体用の蓋材およびその蓋材の製造方法
KR100543578B1 (ko) 상이한 금속들의 결합
JP6546953B2 (ja) スパッタリングターゲット−バッキングプレート接合体及びその製造方法
US20090045506A1 (en) Cu-Mo SUBSTRATE AND METHOD FOR PRODUCING SAME
JP4367677B2 (ja) スパッタリング用ターゲット及びその製造方法
JP4155124B2 (ja) 金属クラッド板およびその製造方法
WO2021193528A1 (ja) 接合体の製造方法及び絶縁回路基板の製造方法
JPH0446070A (ja) 金属部材とセラミックス或はサーメット部材の接合方法
JP4331370B2 (ja) ベリリウムと銅合金のｈｉｐ接合体の製造方法およびｈｉｐ接合体
JP6522952B2 (ja) 接合体およびその製造方法
JPS6030593A (ja) 異種材料の接合方法
JP2879725B2 (ja) ＴａとＣｕのクラッド板の製造方法
JP2023044754A (ja) 接合体の製造方法及び絶縁回路基板の製造方法
JP2023044755A (ja) 接合体の製造方法及び絶縁回路基板の製造方法
KR20030082771A (ko) Ｃｕ판을 포함하는 다층의 클래드 판재 제조 방법
KR930009665B1 (ko) 응력완화층을 이용한 세리믹과 금속과의 접합방법
JP2909511B2 (ja) アルミニウム複合材