JPH0975782A - 遠心機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、超遠心機等のようにロータの高速
回転中に誤ってエアリークバルブが動作するのを防止す
るエアリークバルブの安全制御装置に関するものであ
り、エアリークバルブを制御するＣＰＵが誤動作しても
エアリークバルブを動作させないインタロック装置を備
える遠心機を提供することである。 【解決手段】 ロータ１と、ロータ１を収容するチャン
バ５３と、チャンバ５３を大気圧に開放するエアリーク
バルブ５２と、エアリークバルブ５２の開閉及びその他
を制御するＣＰＵ８を備えた遠心機において、インタロ
ック手段５６及び回転数検出手段１６を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空に引いたチャンバ
を大気圧に開放するためのエアリークバルブが、誤動作
することを防止するエアリークバルブの安全制御装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の超遠心機は、高速に回転するロー
タの風損を極力減少させるため、ロータを収納するチャ
ンバを真空ポンプ或いはデヒュージョンポンプ等で高真
空に引き、この状態でロータを高速回転させ、一方ロー
タをチャンバから取り出す操作は、真空ポンプの動作を
止めた後、チャンバと大気中を連通するエアリークバル
ブを動作させチャンバ内を大気圧に開放した後、作業者
がチャンバの上部に設けられているドアを開き行なって
いた。そして、これらの遠心機では、上記の真空ポン
プ、デヒュージョンポンプとエアリークバルブの動作及
びロータの高速回転制御等は超遠心機に内蔵されたＣＰ
Ｕが操作パネルからのキー操作により指令を受けて制御
装置に動作内容を出力し制御を行なうものであった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来のこのような遠心
機に於ては、ＣＰＵの制御指令によって制御装置が動作
するものであるから、遠心機に到来する外来ノイズ或い
は内蔵の制御装置から発する内来ノイズ等によりＣＰＵ
が誤動作し、高真空状態に維持されたチャンバ内でロー
タが高速回転中に誤ってエアリークバルブが動作し、チ
ャンバ内で回転中のロータが流入した空気により浮力或
いは風損による摩擦力によりクラウンから離脱し、ロー
タ自身，チャンバ或いはロータの回転駆動部が破損する
という問題があった。

【０００４】本発明の目的は、上記した従来技術の欠点
をなくし、ＣＰＵが誤動作してもエアリークバルブを動
作させないインタロック装置を備える遠心機を提供する
ことである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的は、ロータを収
納し真空引きし密閉可能なチャンバと、このチャンバを
大気圧に開放するエアリークバルブと、このエアリーク
バルブの開閉その他真空ポンプの動作、ロータの回転数
制御を行なうＣＰＵを備えた遠心機において、ＣＰＵか
ら上記エアリークバルブに出力される制御ライン上にイ
ンタロック手段を設け、インタロック手段は上記ＣＰＵ
及びロータの回転数検出手段から出力されるバルブ開放
信号の２つの信号により動作することで達成される。

【０００６】

【作用】上記のように構成された遠心機における安全装
置は、上記回転数検出手段は上記ＣＰＵの制御動作とは
独立し別個にロータの回転数を検出し、ロータの回転数
が十分に低い所定の回転数以下である時、バルブ開放信
号を出力するように動作するからロータが高速回転中に
ＣＰＵが何らかの原因で誤動作し誤ってエアリークバル
ブを開放するためのバルブ開放信号をインタロック手段
に出力しても、このインタロック手段の他の入力端へは
回転数検出手段からバルブ開放信号が出力されていない
ため、この様な場合エアリークバルブが誤って動作する
ことは防止され、一方エアリークバルブを動作させチャ
ンバを大気圧に開放しドアを開けロータを取り出す際
は、ロータの回転は停止しており回転数検出手段からは
インタロック手段へバルブ開放信号が出力されているか
らＣＰＵが操作パネルからのキー操作によりエアリーク
の指令を受け取ればＣＰＵからバルブ開放信号がインタ
ロック手段へ出力されエアリークバルブが動作するよう
に作用する。

【０００７】

【実施例】本発明の具体的実施例を以下図面に就き詳細
に説明する。本発明の具体的実施例を示す図１におい
て、遠心機のエアリークバルブの安全制御装置全体を１
００で示し、１はロータ、２はロータ１を回転駆動する
モータ、３はモータ２に回転エネルギを供給するインバ
ータ等のモータ駆動装置、４はロータ１の下面に埋設さ
れた識別子で、本実施例においてはマグネット、５はマ
グネット４の存在を検出するホール素子或いは磁気抵抗
素子或いはピックアップコイル等から成る第１のセンサ
であり、６はキーボード・ディスプレイ等から成る操作
パネル、７は真空ポンプ、デヒュージョンポンプから成
る真空引き装置であり、８はＣＰＵとなる第１のプロセ
ッサである。第１のプロセッサ８は、操作パネル６から
入力される運転指令に従ってモータ駆動装置３に制御線
９を介して回転数制御信号を出力し、第１のセンサ５の
出力信号を入力しロータ１のいわゆるｉＤとなるロータ
の種類コード、実回転数を計測すると共に真空引き装置
７，エアリークバルブ５２を制御する。１０はモータの
駆動装置３からモータ２へ回転エネルギの補給を第１の
プロセッサ８が任意に遮断するための第１の遮断装置で
あり、１１は第１のプロセッサ８から第１の遮断装置１
０へ遮断動作信号を出力する制御線である。１５は第１
のセンサ５と同様のマグネット４の存在を検出する第２
のセンサ、１６はロータ１の回転数検出手段となる第２
のプロセッサであり、上記の第１のプロセッサとは独立
して第２のセンサ１５の出力信号を入力しロータ１のい
わゆるｉＤとなるロータの種類コード、実回転数を計測
する。１７はモータの駆動装置３からモータ２への回転
エネルギの供給を第２のプロセッサ１６が任意に遮断す
るための第２の遮断装置であり、第１の遮断装置１０と
は別個で独立に設けられており、第１の遮断装置１０と
第２の遮断装置１７はモータ駆動装置３からモータ２へ
の回転エネルギの供給を遮断するための回転エネルギの
制御供給路に対して互いに直列に配置されており、いず
れかの遮断装置が動作すると、モータ２への回転エネル
ギの供給は遮断されモータ２は回転を停止する。１８は
第２のプロセッサ１６から第２の遮断装置１７へ遮断動
作信号を出力する制御線である。第１のプロセッサ８と
操作パネル６、真空引き装置７間の制御線をそれぞれ１
２、１３で示す。１４はモータ駆動装置３とモータ２の
間の回転エネルギの供給線であり、５０は回転エネルギ
の供給線１４のうち１４Ａに介在して設けられた供給エ
ネルギを検出するセンサで、本実施例では例えば巻線式
或いはホールセンサと適当な増幅平滑回路を持つ電流セ
ンサであり、第２のプロセッサ１６のＡ／Ｄ変換入力端
子ＡＤ２にその出力信号が入力される。

【０００８】５３はロータ１，モータ２を収納するチャ
ンバ，５９はロータ１を出し入れするためのドアであ
り、チャンバ５３からは真空引き装置７及びエアリーク
バルブ５２に配管５４が植立されている。５５はエアリ
ークバルブ５２の開閉操作を行なうドライバ，５６はド
ライバ５５に信号を出力するアンドゲート等のインタロ
ック手段であり、インタロック手段５６には第１のプロ
セッサ、即ちＣＰＵ８及び第２のプロセッサ、即ち回転
数検出手段１６からそれぞれ制御線５７，５８を介して
バルブ開放・閉成信号がインタロック手段５６に出力さ
れる。なお、エアリークバルブ５２の開放、即ちチャン
バ５３を大気圧に開放する動作は、制御線５７及び５８
に共に一致し「Ｌｏ」レベルの論理のバルブ開放ＯＮ信
号がそれぞれＣＰＵ８，回転数検出手段１６から出力さ
れ、インタロック手段５６で論理積を取りその信号出力
が「Ｌｏ」レベルとなり、これによりドライバ５５が動
作しエアリークバルブ５２が通電されてバルブが開くこ
とによりなされる。

【０００９】図２は、図１に示す遠心機のエアリークバ
ルブの安全制御装置全体１００のうち、操作パネル６、
真空引き装置７を除いた部分のブロック回路図を示した
ものであり、図１と同一の機能の部分には同一の番号が
符してあり、モータ駆動装置３に於て１９は交流電源等
のモータ駆動装置３の電源、２０はインバータ制御装
置、２１、２２、２３はそれぞれ誘導モータ２に３相電
力を供給するための例えば、パワートランジスタ、ＩＧ
ＢＴ、ＧＴＯ等のパワー素子から構成されるパワーブリ
ッジであり、パワーブリッジ２１、２２、２３の各アー
ムからモータ２へ回転エネルギの供給線１４としてそれ
ぞれ１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃが接続されており、電流セ
ンサ５０はこの場合、回転エネルギの供給線１４Ａにク
ランプされている。パワーブリッジ２１を代表し、パワ
ーブリッジ構成する上アーム、下アームのｉＧＢＴの場
合のパワー素子を２４、２５で示し、２６、２７はそれ
ぞれパワー素子２４、２５のゲート制御回路であり、こ
れらはそれぞれホトカプラ２８、２９から点孤信号が送
られるようになっている。３０はホトカプラ２８、２９
の発光素子を点灯するための電源であり、発光素子はそ
れぞれ抵抗器３１、３２を介してインバータ制御装置２
０に接続されており、ホトカプラ２８、２９の発光素子
の点孤によりそれぞれパワー素子２４、２５が導通しモ
ータ２に回転エネルギが供給されるようになっている。
従って電源３０と抵抗器３１、３２の間に介して接続さ
れたトランジスタ等の半導体スイッチ、リレー等から成
る第２の遮断装置１７が制御線１８により遮断状態にな
るとパワーブリッジ２１、２２、２３の発光素子を点孤
するための電源供給が遮断され、回転数制御信号の制御
線９からインバータ制御装置２０にいかなる指令が入力
されようとも、モータ２への回転エネルギの供給が遮断
されるようになっている。同様にして、トライアック等
の半導体スイッチ、リレー等から成る第１の遮断装置１
０は電源１９とインバータ制御装置２０の間に介して設
けられており、第１の遮断装置１０が制御線１１により
遮断状態になるとモータ２への回転エネルギの供給が遮
断されるようになっている。第１のプロセッサ８に於
て、３３はＣＰＵ、３４はクロック発生器、３５はリセ
ット回路であり、それぞれＣＰＵ３３に信号を出力し、
クロック発生器３４の信号出力は分周器３６を介してＣ
ＰＵ３３のタイマ割り込み端子Ｔ１に出力されている。
３７は第１のセンサ５の２分周器であり、信号出力はそ
れぞれＣＰＵ３３のイベント割り込み入力端子ＥＶ１
１、ＥＶ１２、ＥＶ１３に入力されている。同様にして
第２のプロセッサ１６に於て、３８はＣＰＵ、３９はク
ロック発生器、４０はリセット回路であり、それぞれＣ
ＰＵ３８に信号を出力し、クロック発生器３９の信号出
力は分周器４１を介してＣＰＵ３８のタイマ割り込み端
子Ｔ２に出力されており、４２は第２のセンサ１５の２
分周器であり、その信号出力はそれぞれＣＰＵ３８のイ
ベント割り込み入力端子ＥＶ２１、ＥＶ２２、ＥＶ２３
に入力されている。なお、電流センサ５１の出力は第１
のプロセッサ８のＡ／Ｄ変換端子ＡＤ１にその出力信号
が入力されている。

【００１０】図３はロータ１の回転信号の検出の構成に
ついて示したものであり、図１及び図２と同一の機能の
部分には同一の番号が符してあり、ロータ１の底面には
同一周上に埋設された複数個の識別子であるマグネット
４が第１のセンサ５、第２のセンサ１５に対してＳ極を
向けた４ＡＳ及び４ＢＳが回転中心Ｏに対して角度θを
なすように配置してあり、またマグネット４ＡＳ、４Ｂ
Ｓに対してカウンタバランスを取る位置、即ちマグネッ
ト４ＡＳ、４ＢＳに対して点対称となる位置にバランサ
４ＡＮ、４ＢＮが配置されている。

【００１１】本実施例では、第１のセンサ５及び第２の
センサ１５は、ロータ１の回転に伴ないマグネット４Ａ
Ｓ及び４ＢＳが通過するのを検出するものであるが、バ
ランサ４ＡＮ、４ＢＮを第１のセンサ５、第２のセンサ
１５に対してＮ極を向けたマグネットで構成し、例えば
第１のセンサ５がＳ極のマグネット、即ちマグネット４
ＡＳ及び４ＢＳを検出し、第２のセンサ１５がＮ極のマ
グネット、即ちマグネット４ＡＮ、４ＢＮを検出するこ
ととすることもできる。当然、このＳＮの関係は逆にし
ても同じである。このように構成することにより、例え
ばマグネットからの信号の欠損、マグネットの磁力低
下、マグネット自体の欠損といったマグネット自体から
生じる問題を解消することができる。

【００１２】上記のように構成された具体的実施例の動
作について図４に示す回転センサ１５の信号出力に対す
る第２のプロセッサ１６の処理タイムチャート、図５乃
至図７に示す第２のプロセッサ１６の処理フローを参照
しながら説明すると、モータ駆動装置３からモータ２に
回転エネルギが供給されロータ１が回転すると、図４の
第２のセンサ１５の信号出力４３に示すようにロータ１
の１回転につき２コのパルスが第２のセンサ１５から出
力され、２分周器４２の信号出力４４に示すように２分
周器４２からＣＰＵ３８のイベント割り込み端子ＥＶ２
１、ＥＶ２２、ＥＶ２３に分周信号が与えられる。ＣＰ
Ｕ３８としては三菱電機製のマイクロコンピュータＭ３
７４５１を用いる例で示すと、ＣＰＵ３の信号入力端子
ＥＶ２１に与えられる２分周器４２の信号出力４４の立
ち上がり部４４Ｈに於て、ロータ１の１回転につき図５
の処理フローのパルス周期測定モードのイベント割り込
みＥＶＲ１が発生し、処理１０１により図４に示すロー
タ１の１回転分の時間Ｔ区間のＲＣＮＴのクロックカウ
ント数範囲４５中のクロック発生器３４のクロックを分
周した周波数のクロック例えば３ＭＨｚのクロック数を
ＣＰＵ３８内のメモリＲＣＮＴに転送する。同様にして
ＣＰＵ３８の信号入力端子ＥＶ２２に与えられる２分周
器４２の信号出力４４の立ち上がり部４４Ｈに於て、ロ
ータの１回転につき図５の処理フローの論理「Ｈｉ」区
間のパルス幅測定モードのイベント割り込みＥＶＲ２が
発生し、処理１０２により図４に示すＴＨ区間のｉＤＨ
ＣＮＴのクロックカウント数範囲４６中のクロック数を
ＣＰＵ３８内のメモリｉＤＨＣＮＴに転送する。更に同
様にして、ＣＰＵ３の信号入力端子ＥＶ２２に与えられ
る立ち下がり部４４Ｌに於て、論理「Ｌｏ」区間のパル
ス幅測定モードのイベント割り込みＥＶＲ３が発生し、
処理１０３により図４に示すＴＬ区間のｉＤＬＣＮＴの
クロックカウント数範囲４７のクロック数をＣＰＵ３８
内のメモリｉＤＬＣＮＴに転送する。続いて、分周器４
１の信号出力がＣＰＵ３８のＴ２タイマ割り込み端子に
出力されることにより例えば１００ｍｓｅｃ程度の周期
で図６に示すタイマ割り込みｉＮＴ１が発生し、処理１
０４によりメモリＲＣＮＴの値からロータ１の実回転数
を下記に示す数式（１）により計算し、

【００１３】

【数１】

【００１４】メモリＲＲＰＭに格納する。処理１０５に
より、メモリｉＤＨＣＮＴ及びｉＤＬＣＮＴの値から図
５の角度θに対応するロータ１の種類コードｉＤθを下
記に示す数式（２）、数式（３）により判別計算し、メ
モリに格納する。

【００１５】

【数２】

【００１６】

【数３】

【００１７】続いて処理１０６により、メモリｉＤθの
値からロータ１の最高許容回転数ＲＭＡＸを例えば下記
に示す数式（４）により割り出し、メモリに格納する。

【００１８】

【数４】

【００１９】図７はＣＰＵ３８がロータ１の回転中に逐
次求めたロータ１の実回転数ＲＲＰＭ、種類コードｉＤ
θ、種類コードから割り出した最高許容回転数ＲＭＡＸ
に基づき、第２の遮断装置１７に遮断動作信号及び回転
数検出手段１６が制御線５８からエアリークバルブ５２
の開放信号を出力するか否かを判断するＣＨＥＣＫ処理
フローを示したものであり、処理１０７により遮断信号
及びバルブ開放信号はまずＯＦＦされ、制御線１８によ
り第２の遮断装置１７は非遮断状態になり、パワーブリ
ッジ２１のホトカプラ２８、２９は電源３０に接続され
インバータ制御装置２０の制御動作により動作可能な状
態になり、一方エアリークバルブ５２は閉成状態にな
る。処理１０８の１秒タイマにより判断処理の周期が適
切な間隔に調節され、判断１１４によりロータの実回転
数が０でない回転中は判断１０９に分岐し、判断１０９
によりロータ１の実回転数が低い回転数、例えば１００
０回転以下の場合は、遠心機にセットするロータの交換
作業のため処理１１８により回転数検出手段１６の制御
線５８からエアリークバルブ５２の開放信号がＯＮ出力
されエアリークバルブ５２のコントロールはＣＰＵ８の
出力に従い、また停電によるロータ１の回転数の低下、
計測誤差等のため遮断動作の判断処理を禁止する。ロー
タ１の実回転数が１０００回転を越えた状態に於ては処
理１１７によりエアリークバルブ５２の開放信号はＯＦ
ＦされＣＰＵ８から開放信号が出力されてもエアリーク
バルブ５２は開かず、更に遠心機の何らかの不具合によ
り実回転数ＲＲＰＭが最高回転数ＲＭＡＸを越えると判
断１１０により処理１１３を実行し、遮断信号がＯＮ
し、制御線１８により第２の遮断装置１７が遮断状態に
なりモータ２のモータ駆動装置３からの回転エネルギの
供給は遮断され、ロータ１の回転数は下降停止し、遠心
機のロータ１の過回転に対する安全が確保される。この
時、遮断信号ＯＮの処理１１３は繰り返し実行されるた
め、制御装置１００の電源を一旦落とし、リセット回路
４０からリセット信号が再び入力されるまで、遮断装置
１７は遮断状態を保ち安全が保護されるようになってい
る。またロータ１の種類コードｉＤθが、一例として８
゜以下、或いは１７５゜以上等の不当な場合は、それぞ
れ判断処理１１１、１１２により処理１１３が実行され
る。このような状態は、図３に於てマグネット４ＡＳ、
４ＢＳのいずれかが落下欠損するか或いは第２センサ１
５のマグネット４ＡＳ、４ＢＳのいずれかに対する感度
不良等により、図４の第２センサ１５の信号出力４３
が、ロータ１の１回転につき１パルスとなり２分周器４
２の信号出力４４の論理で、「Ｈｉ」、「Ｌｏ」のデュ
ーティが５０％となり、ｉＤθの計測値がθ゜、１８０
゜に近い値となるのを検出することも含まれている。一
方判断１１４によりロータ１の実回転数が毎分０回転、
即ちロータ１の回転が停止している場合は処理１１６に
よりエアリークバルブ５２の開放信号がＯＮされＣＰＵ
８からの開放信号に従ってエアリークバルブ５２は制御
され、判断１１５に分岐しＣＰＵ３８はＡＤ２端子から
電流センサ５０のアナログ出力をＡ／Ｄ変換しデジタル
量として認識すると共に所定の値と比較しモータ２に駆
動エネルギが供給されているか否かをチェックし、電流
有と判断した場合は処理１１３に分岐し、上記と同様に
して制御線１８により第２の遮断装置１７が遮断状態に
なりモータ２のモータ駆動装置３からの回転エネルギの
供給は遮断される。このような状態は図３において、マ
グネット４ＡＳ、４ＢＳのいずれもが落下欠損するか或
いは第２のセンサ１５のマグネット４ＡＳ、４ＢＳのい
ずれもに対する感度不良等により、図４の第２センサ１
５の信号出力がロータの回転にもかかわらず現われない
ことに相当する。上記の判断１１５において、ＣＰＵ３
８が電流無と判断した場合は処理１０８に分岐し、上記
判断、処理を繰返し実行するが、このような状態はモー
タ２にエネルギが供給されず単にロータ１が回転を停止
している正常な状態に相当することはいうまでもない。
ここで、上記の具体的実施例においては、電流センサ５
０の出力をＣＰＵ３８に入力しロータ１の過回転防止を
図っているが、更に電流センサ５０とは別個に同様の電
流センサを例えば回転エネルギの供給線１４のうちの１
４Ｂ或いは１４Ｃに介在して電流センサ５１として設け
ＣＰＵ３８に電流センサ５０の出力信号を入力するのと
同様、ＣＰＵ３３に入力しＣＰＵ３３側でも判断１１
４、判断１１５、処理１１３に相当する判断処理を並行
して同時に実行させ、マグネット４ＡＮ、４ＢＮ或いは
第１のセンサ５の不具合に起因するロータ１の過回転防
止を図ることも可能であることは、本発明の思想に照ら
して明白である。

【００２０】上記の具体的実施例の動作については、回
転センサ１５の信号出力に対する第２のプロセッサ１６
の動作について説明したが、回転センサ５の信号出力に
対する第１のプロセッサ８のロータ１の過回転防止制御
動作についても、操作パネル６から入力される運転指令
に従ってモータ駆動装置３に制御線９を介して回転数制
御信号を出力したり、真空引き装置７の制御の実行に関
する通常の遠心機の制御処理を除けば、上述の第２のプ
ロセッサの動作と同様である。

【００２１】本発明のその他の実施例を部分的に示すブ
ロック回路図９に於て、図２と同一の機能を示す部分に
は同一の番号が符してあり、回転数検出手段１６として
ＣＰＵ３８に換えて、第２のセンサ１５の信号出力を周
波数−電圧変換器（以下Ｆ／Ｖコンバータと称す）６０
とこのＦ／Ｖコンバータ６０の出力をコンパレータ６１
で基準電圧源６２との比較を取り、ロータ１の回転数が
低い所定回転数以下の場合はコンパレータ６１の出力制
御線５８は「Ｌｏ」レベルにあり、また逆の場合には
「Ｈｉ」レベルになるような構成と動作を行なう。一方
インタロック手段５６についてもその他の実施例を示し
てあり、ドライバ５５は直流源ＶＣＣからトランジスタ
６４を通して電源が供給され、ＣＰＵ８の制御線５７の
「Ｌｏ」レベルの信号出力により動作するようになって
おり、コンパレータ６１の出力制御線５８の出力が「Ｌ
ｏ」レベルにあると抵抗器６３を介してトランジスタ６
４にベース電流が流れ、ドライバ５５に電源ＶＣＣが供
給されドライバ５５が動作可能となるインタロックを取
る。以上の説明の通り、いずれの実施例の場合に於ても
回転数検出手段１６により、ロータ１が所定回転数以下
であれば、ＣＰＵ８の制御線５７の信号出力に従ってド
ライバ５５が動作し、エアリークバルブ５２は任意に制
御されるが、ロータ１が所定回転数以上になると、イン
タロック手段５６の作用により、ＣＰＵ８が誤って制御
線５７にバルブ開放信号を出力してもドライバ５５は動
作せずエアリークバルブ５２は決して開放されずロータ
１の回転中のエアリークが防止され安全が保たれる。

【００２２】図２のその他の実施例を部分的に示すブロ
ック回路図の図８に於て、図２と同一の機能を示す部分
には同一の番号が符してあり、第１の遮断装置１０とし
てスリーステートゲートバッファ等のドライバ４８、４
９を用いた例を示す。第１の遮断装置１０と第２の遮断
装置１７はホトカプラ２８、２９の発光素子の点灯路に
対して直列に設けられており、制御線１１の論理「Ｈ
ｉ」の信号出力によりドライバ４８、４９は高抵抗状態
になり上記と同様にしてモータ２へのモータ駆動装置３
からのエネルギの供給は遮断される。

【００２３】また、第３のプロセッサ、第３のセンサを
用い、ロータの過回転検出並びにロータの種類コードの
異常を判別し、モータ駆動装置３からモータ２への回転
エネルギの供給を遮断するための回転エネルギの制御供
給路に対して互いに直列に配置された第１の遮断装置１
０、第２の遮断装置１７に対して直列に第３の遮断装置
を設け、この遮断装置に第３のプロセッサが異常判別時
に遮断信号を出力する等の冗長な構成も本発明の思想に
なるものである。

【００２４】またロータの種類コード及び実回転数を計
測するための検知機構に関しては、本実施例のような磁
気的検出の他に、光学的検出、超音波による検出、電磁
波による検出等を採用することによっても、本発明が実
施可能であることはいうまでもなく、更にはロータに設
けられたインデックスの位置や角度又はその数、複合的
なインデックスパターン、磁気的な記憶媒体、光学的記
憶媒体により検出する手段を採用しても、本発明は実施
可能である。

【００２５】

【発明の効果】本発明によれば、チャンバを大気圧に開
放するエアリークバルブの開閉制御にＣＰＵからの制御
出力とロータの回転数を検出し、ロータが所定の回転数
以下であればバルブ開放信号を出力し、それ以外の状態
ではバルブ開放信号を出力しないロータの回転数検出手
段の制御出力の一致を取るインタロック手段を設けたの
で、ロータの高速回転中にＣＰＵが誤動作しエアリーク
バルブを開放するような制御出力を出力してもエアリー
クバルブは動作しないから、ロータが高速回転中にエア
リークバルブが開きロータがクラウンから離脱したり、
ロータ自身、チャンバ及び駆動部が破損するような不具
合を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明になるエアリークバルブの安全制御装
置の一実施例を示すブロック図である。

【図２】 図１のブロック図を更に部分的に示すブロッ
ク図である。

【図３】 ロータの回転信号の構成を示す説明図であ
る。

【図４】 回転センサの信号出力に対する回転数検出手
段の処理を示すタイムチャートである。

【図５】 回転数検出手段の処理を示すフローである。

【図６】 回転数検出手段の処理を示すフローである。

【図７】 回転数検出手段の処理を示すフローである。

【図８】 図２のブロック図の他の実施例を示すブロッ
ク図である。

【図９】 本発明になる他の実施例を部分的に示すブロ
ック図である。

【符号の説明】

１はロータ、２はＣＰＵ、１６は回転数検出手段、５２
はエアリークバルブ、５３はチャンバ、５６はインタロ
ック手段である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高村 努 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内 (72)発明者 藤巻 貴弘 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ロータと、該ロータを収容するチャンバ
   と、該チャンバを大気圧に開放するエアリークバルブ
   と、該エアリークバルブの開閉等の制御を行なうＣＰＵ
   とを備えた遠心機において、インタロック手段と回転数
   検出手段を設けると共に、該インタロック手段は前記Ｃ
   ＰＵから出力されるバルブ開放信号と該回転数検出手段
   から出力されるバルブ開放信号の２つの信号の一致によ
   り前記エアリークバルブを開放し、該回転数検出手段は
   前記ロータの回転数が所定の低回転数以下であるとバル
   ブ開放信号を出力するようにしたことを特徴とする遠心
   機。