JPH0975695A

JPH0975695A - オゾン水生成装置

Info

Publication number: JPH0975695A
Application number: JP24216195A
Authority: JP
Inventors: Shintarou Tsujimi; 信太郎辻見; Mitsutoshi Masuda; 充利増田; Masayuki Hayashida; 雅之林田; Yasuhiro Sumikake; 泰洋角掛; Noriko Nagura; 紀子名倉
Original assignee: Tokico Ltd
Current assignee: Tokico Ltd
Priority date: 1995-09-20
Filing date: 1995-09-20
Publication date: 1997-03-25

Abstract

(57)【要約】【課題】一定濃度のオゾン水を安定供給することがで
きるオゾン水生成装置を提供すること。【解決手段】水道水は、電磁弁１，流量計２を介し
て、ミキシングポンプ３へ導かれる。一方、酸素は、オ
ゾナイザ５でオゾン化された後、電磁弁６，逆止弁７を
介して、ミキシングポンプ３へ導かれる。ミキシングポ
ンプ３では、回転羽によりオゾンガスと水道水とが攪拌
・混合され、オゾン水が生成される。該オゾン水は、一
方は、逆止弁１９，電磁弁９，絞り弁２０を介して、系
外に吐出され、オゾン水として利用される。もう一方
は、気泡分離器１０で微細気泡を除去し、濃度計１１に
てオゾン水濃度を計測した後、系外に排出する。制御盤
ａは、この計測された濃度と予め設定されたオゾン水濃
度との差異より、オゾナイザ５の出力を調整する信号を
送り、オゾン水濃度を一定に保つ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はオゾン水生成装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のオゾン水生成装置は、エゼクタ，
散気管，スタティックミキサ，ミキシングポンプ等を用
いて、オゾンガスと水を混合していた。これらの溶解効
率は、散気管が１０％程度、エゼクタやスタティックミ
キサが３０％程度、ミキシングポンプが８０〜９０％と
なっている。また、従来のオゾン水生成装置は、オゾン
水濃度を測定し、それをフィードバックしてオゾン発生
量を制御し、一定濃度のオゾン水を安定供給する濃度コ
ントロール機能を搭載している。そのため、連続式の濃
度計をオゾン水吐出口に設ける必要がある。上記濃度計
におけるオゾン水濃度測定方法としては、連続式では隔
膜式ポーラロ電極方式および紫外線吸収方式が、バッチ
式では滴定電極方式が利用されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のオゾ
ン水生成装置においては、上述したように、ミキシング
ポンプの溶解効率が最も良いが、混合時に微細気泡が生
成されるため、この微細気泡が、上記オゾン水濃度測定
に影響を与えると、いう問題があった。例えば、隔膜式
の場合、気液混合時に生じた気泡が隔膜を透過し、誤差
要因になり、紫外線吸収式の場合、気泡が紫外線を散乱
し、ドリフトやバラツキの要因となる。また、バッチ式
の電流法の場合、気泡の影響はないが、計測に時間がか
かるため、連続式には向かない、という問題点があっ
た。

【０００４】この発明は、このような背景の下になされ
たもので、一定濃度のオゾン水を安定供給することがで
きるオゾン水生成装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
オゾンガスを生成するオゾンガス生成手段と、前記オゾ
ンガス生成手段が生成したオゾンガスと水とを混合する
気液混合手段と、前記気液混合手段が生成したオゾン水
中のオゾン濃度を測定する濃度測定手段と、前記濃度測
定手段の測定値に基づいて、前記オゾンガス生成手段の
オゾンガス生成量をフィードバック制御することによ
り、オゾン水中のオゾン濃度を一定に保つ濃度制御手段
とからなるオゾン水生成装置において、前記気液混合手
段より発生した微細な気泡を除去する気液分離手段を、
該気液混合手段の下流側に設けたことを特徴とする。

【０００６】請求項２記載の発明は、請求項１記載のオ
ゾン水生成装置において、前記気液混合手段の下流側を
２方に分岐し、一方をオゾン水吐出流路とし、もう一方
を前記濃度測定手段に導入する流路とし、前記濃度測定
手段の前段に、前記気液分離手段を設けたことを特徴と
する。

【０００７】請求項３記載の発明は、請求項１または請
求項２記載のオゾン水生成装置において、前記気液分離
手段は、多孔質性ホースの中に、別の多孔質性ホースの
束を挿入して構成した脱気手段と、濃度測定に必要な流
量を確保すると共に、前記脱気手段を加圧する定量ポン
プとからなることを特徴とする。

【０００８】請求項４記載の発明は、請求項１ないし請
求項３のいずれかに記載のオゾン水生成装置において、
前記濃度測定手段は、水溶液中でオゾンと反応すること
で、水素と化合する物質を生成する試薬を、前記気液混
合手段が生成したオゾン水に投入する試薬投入手段と、
前記試薬投入後のオゾン水に電圧を印加する電極と、前
記電圧の電気分解により前記電極の表面に生じた水素
と、前記試薬から遊離した元素とが化合することによ
り、該水素が該電極表面から除かれ、これにより該電極
間を流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電流検
出手段が検出した電流値に基づいて、前記オゾン水中の
オゾン濃度を求める計測手段とからなることを特徴とす
る。

【０００９】請求項５記載の発明は、請求項４記載のオ
ゾン水生成装置において、前記電極は平板電極であるこ
とを特徴とする。

【００１０】請求項６記載の発明は、請求項１ないし請
求項５のいずれかに記載のオゾン水生成装置において、
前記気液混合手段にミキシングポンプを用いたことを特
徴とする。

【００１１】

【発明の実施の形態】

§１．第１実施形態図１は、この発明の第１実施形態によるオゾン水生成装
置の構成例を示すブロック図である。この図において、
原水である水道水は、電磁弁１，流量計２を介して、ミ
キシングポンプ３へ導かれる。一方、原料ガスである空
気もしくは酸素は、電磁弁４を介して、オゾナイザ５へ
導かれて、オゾン化された後、電磁弁６，逆止弁７を介
して、ミキシングポンプ３へ導かれる。ミキシングポン
プ３では、図２に示すように、回転羽によりオゾンガス
と水道水とが攪拌・混合され、オゾン水が生成される。
また、このとき、溶解しきれなかったオゾンガスは、激
しい攪拌により微細な気泡となってオゾン水に混合す
る。

【００１２】微細気泡を含むオゾン水は、バイパス８に
導かれ、一方は、逆止弁１９，電磁弁９，絞り弁２０を
介して、系外に吐出され、オゾン水として利用される。
もう一方は、気泡分離器１０で微細気泡を除去し、濃度
計１１にてオゾン水濃度を計測した後、系外に排出す
る。このとき、この排出をオゾン水吐出ラインに戻し、
吐出口を１つとしてもよい。また、濃度計１１で計測さ
れたオゾン水濃度は、信号化されて制御盤ａに送られ
る。制御盤ａは、この計測された濃度と予め設定された
オゾン水濃度との差異より、オゾナイザ５の出力を調整
する信号を送り、オゾン発生量を制御して、オゾン水濃
度を一定に保つ構成となっている。

【００１３】図３は、気泡分離器１０の詳細例を示す説
明図である。この図において、１０ａより導入されたオ
ゾン水は、５０μｍ以下の細かい目のフィルタ１０ｂを
通過した後、１０ｃより吐出される。このとき、該オゾ
ン水に含まれる微細気泡はフィルタ１０ｂにより分離さ
れるので、１０ｃより吐出されたオゾン水には微細気泡
が含まれない。但し、このようにフィルタを設けた場
合、フィルタの保守・交換が必要となってくる。

【００１４】図４は、図１に示すオゾン水生成装置に、
上記フィルタ１０ｂを逆洗する機構を設けた構成例を示
すブロック図である。この図に示すオゾン水生成装置の
通常運転時における動作は、図１に示したオゾン水生成
装置の動作と同様である。そして、気泡分離器１０内に
設けられたフィルタ１０ｂの逆洗をする時は、電磁弁１
３が開いて水道水が導かれ、バイパス１４から気泡分離
器１０へ、通常運転時とは反対側から通水されて、逆洗
される。この水道水は、バイパス８，逆止弁１９，電磁
弁９，絞り弁２０を介して、系外へ排出される。このと
き、電磁弁１２および電磁弁１５は閉じており、逆洗し
た水が装置内を汚染しないようになっている。

【００１５】図５は、濃度計１１の詳細例を示す説明図
である。この図において、気泡分離器１０により気泡が
除かれたオゾン水は、１１ａより導かれ、セル１１ｂを
通って、１１ｃより出ていく。このとき、発光器１１ｄ
より発光された紫外線は、ハーフミラー１１ｅを介し、
一部は屈折してセンサ１１ｆで受光され、残りはセル１
１ｂを通過して、センサ１１ｇで受光される。そして、
センサ１１ｆで受光された光の強度を基準値（ゼロ点）
とし、この値とセンサ１１ｇで受光された光の強度とを
比較することで、セル１１ｂ内を通過するオゾン水濃度
を求める。

【００１６】図６は、本実施形態によるオゾン水生成装
置の応用例を示すブロック図である。ここでは、一例と
して、（回路基板等の）洗浄に使用したオゾン水を再利
用する応用例を示す。例えば、オゾン水を貯留し、その
貯留槽で物を洗浄し、その水を再利用する場合は、逆止
弁１９を介して電磁弁９よりオゾン水を導き、絞り弁２
１を介して貯留槽１６に貯留する。ここで、洗浄に使用
された水は、フィルタ１８でゴミを除去した後、電磁弁
１より再びオゾン水生成装置内へ戻され、流量計２を介
してミキシングポンプ３へ導かれる。また、貯留槽１６
内に沈澱する様な大きなゴミは、電磁弁１７より排出さ
れる。

【００１７】§２．第２実施形態図７は、この発明の第２実施形態によるオゾン水生成装
置の構成例を示すブロック図である。この図において、
３１は原料空気を圧縮する圧縮機であり、３２は除湿を
行うドライヤーである。ここで圧縮，除湿された空気
は、電磁弁３３，３４を通り、吸着塔３５，３６へ導入
される。ここで、空気からＯ₂のみを取り出し、電磁弁
３７，３８を経由してバッファタンク３９に導かれる。
ここで、バッファタンク３９内に貯留された酸素は、電
磁弁４０を通り、オゾナイザ４１によりオゾン化され、
電磁弁４２を介して、ミキシングポンプ４３に導かれ
る。このオゾンは、ミキシングポンプ４３で、水道水と
混合され、絞り４４，流量計４５を介して、オゾン水と
して吐出される。なお、オゾナイザ４１は、電磁弁４６
より水道水を導き、吐出口４７より該水道水を排出する
ことにより冷却され、放電による発熱を抑制している。

【００１８】ミキシングポンプ４３より吐出されたオゾ
ン水は、定量ポンプ４８を介して、脱気装置４９に導入
される。ここで脱泡されたオゾン水は、濃度計５０でオ
ゾン水濃度を測定される。なお、定量ポンプ４８は、濃
度計測に必要な流量を確保するためと、脱気装置４９を
加圧するために設けた。そして、濃度計５０より計測さ
れたオゾン水濃度は、制御盤Ａへ送られ、該濃度が設定
値より高い値のときは、電圧調整器Ｂを介して、オゾナ
イザ４１の電源をＯＦＦにする。

【００１９】図８は、脱気装置４９の詳細例を示す説明
図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）に示すＸ−Ｘ’に
おける脱気装置４９の断面図である。この図において、
４９ａより濃度測定用オゾン水が導入され、該オゾン水
は、数本の束になった多孔質性ホース４９ｂの外側をさ
らに多孔質性ホース４９ｃでまとめられた構造を持つ部
分に、加圧されて導入される。ここで、微細な気泡は、
多孔質性ホースより押し出され、外部に排出される。

【００２０】図９は、濃度計５０の詳細例を示す説明図
である。この図において、脱気装置４９より脱泡された
オゾン水は、濃度計の５０ａを通り、測定用セル５０ｂ
に導入される。ここで、水銀ランプ５０ｃより一定波長
の紫外線が測定用セル５０ｂに対し、オゾン水の流路に
対して垂直方向から照射される。受光器５０ｄは、測定
用セル５０ｂを透過した紫外線の波長を測定し、計測部
５０ｅで、ランバートベールの法則により、オゾン水濃
度を測定する。

【００２１】図１０は、本実施形態によるオゾン水生成
装置の制御手順例を示すフローチャートである。ステッ
プＳＡ１では、装置の運転スイッチをＯＮにする。ステ
ップＳＡ２では、オゾン水濃度を設定する。ここでは、
仮にａ（ｍｇ／Ｌ）に設定したとする。ステップＳＡ３
では、システムを起動する。ステップＳＡ４では、酸素
ガスが吐出される。ステップＳＡ５では、水道水が供給
され、オゾン水が生成される。オゾン水が生成される
と、ステップＳＡ６では、オゾン水濃度の測定が行われ
る。

【００２２】ステップＳＡ７では、ステップＳＡ６の測
定値ＡとステップＳＡ２の設定値ａとを比較する。ここ
で、測定値Ａが設定値ａよりも小さいならば、ステップ
ＳＡ９に進む。ステップＳＡ９では、オゾナイザ１１の
電源を引き続きＯＮにしたまま、ステップＳＡ６に戻
り、オゾン水濃度の測定を再び行う。一方、測定値Ａが
設定値ａ以上であるならば、ステップＳＡ８に進む。ス
テップＳＡ８では、オゾナイザ１１の電源をＯＦＦにし
た後、ステップＳＡ１０に進む。ステップＳＡ１０で
は、オペレータによりシステムが停止されれば、運転を
終了し、停止されない場合は、ステップＳＡ６に戻り、
オゾン水濃度の測定を再び行う。

【００２３】§３．第３実施形態図１１は、この発明の第３実施形態によるオゾン水生成
装置の構成例を示すブロック図である。この図におい
て、６１は原料空気を圧縮する圧縮機であり、６２は除
湿を行うドライヤーである。ここで圧縮，除湿された空
気は、電磁弁６３，６４を通り、吸着塔６５，６６へ導
入される。ここで、空気からＯ₂のみを取り出し、電磁
弁６７，６８を経由してバッファタンク６９に導かれ
る。ここで、バッファタンク６９内に貯留された酸素
は、電磁弁７０を通り、オゾナイザ７１によりオゾン化
され、エゼクタ７２に導かれる。このオゾンは、エゼク
タ７２で水道水と混ぜ合わされ、溶解タンク７３で十分
に混合され、オゾン水が生成される。ここで、生成され
たオゾン水は、ポンプ７４を介した後、電磁弁７５およ
び流量計７６を通して、外部へ吐出される。また、生成
されたオゾン水は、フィードバックによる濃度制御を行
うために、検出器７７によりオゾン濃度を測定される。
一方、溶解しきれなかったオゾンガスは、オゾンガス分
解塔７８により酸素に変えられ、装置外へ放出される。

【００２４】図１２は、検出器７７の詳細例を示す説明
図である。この図において、まず、オゾン水は定量ポン
プ７７ａにより一定流量で送られ、また、薬液タンク７
７ｂ内のヨウ化カリウム溶液は定量ポンプ７７ｃにより
一定流量で送られ、両者は混合される。この混合によ
り、オゾンとヨウ化カリウムが、Ｏ₃＋２ＫＩ＋Ｈ₂Ｏ→Ｏ₂＋２ＫＯＨ＋Ｉ₂ というように反応し、ヨウ素が遊離する。この混合水
は、同流量で２つの流路に分けられ、その一方は上限電
界セル７７ｄを通り、他方は下限電界セル７７ｅを通
る。また、上限電界セル７７ｄには電流値Ａ₁が、下限
電界セル７７ｅには電流値Ａ₂がそれぞれ設定される。
ここで、電流値Ａ₁および電流値Ａ₂は、オゾン水設定濃
度ｃに対する上限濃度および下限濃度の検出に必要な電
流値を計算により求めた値である。

【００２５】ここで、一定電位を与えた電極を上記混合
水につけると、２ｅ^-＋２Ｈ⁺→Ｈ₂ というように反応し、電極表面に水素被膜が発生する。
そして、この水素被膜の水素と、混合液中の遊離ヨウ素
とが反応し、Ｈ₂＋Ｉ₂→２ＨＩのようにヨウ素が消費される。また、この反応により、
電極表面の水素被膜が除かれ、新たな水素被膜が発生す
る際に、電流が再び流れる。この原理は、ＪＩＳのＫ６
３０１に示されたものである。ここで、この原理に基づ
き、上限電界セル７７ｄ，下限電界セル７７ｅを通過し
た混合水は、上限センサ７７ｆ，下限センサ７７ｇによ
り通電する／通電しないという判断が行われ、これによ
り、遊離ヨウ素の有無が検出される。そして、この遊離
ヨウ素量に対応した濃度のオゾンがオゾン水中に存在す
ることになる。

【００２６】図１３は、上限電界セル７７ｄを、図１２
に示すIII−III’で切断した場合における断面図であ
る。この図において、７７ｄ’は陰極で平板電極であ
り、７７ｄ”は陽極で平板電極である。混合水は、この
２つの平板電極の間を一定流量で通る。このとき、設定
された電流Ａ₁が一定時間かけられ、該混合水は電解さ
れる。なお、図１３では上限電解セル７７ｄについて説
明したが、下限電解セル７７ｅも上限電解セル７７ｄと
同じ構造であり、２つの平板電極の間に印加される設定
電流がＡ₂である点が異なる。

【００２７】図１４は、本実施形態によるオゾン水生成
装置の制御手順例を示すフローチャートである。まず、
ステップＳＢ１では、装置の運転スイッチをＯＮにす
る。ステップＳＡ２では、オゾン水濃度を設定する。こ
こでは、仮にｃ（ｍｇ／Ｌ）に設定したとする。ステッ
プＳＡ３では、システムを起動し、システム全体の電源
をいれると、ステップＳＡ４で酸素ガスが吐出される。
ステップＳＡ５では、システム内に水道水が供給され、
オゾン水が生成される。

【００２８】ステップＳＡ６では、上限電解セル７７ｄ
の上限電解電流Ａ₁と、下限電解セル７７ｅの下限電解
電流Ａ₂を設定する。ステップＳＢ７では、上限センサ
７７ｆが通電したか否かを判断する。この判断結果が
「ＹＥＳ」の場合、つまり、上限センサ７７ｆが通電し
たならば、ステップＳＢ８に進む。ステップＳＢ８で
は、オゾナイザ１１の電圧を下降させた後、ステップＳ
Ｂ７に戻る。一方、ステップＳＢ７の判断結果が「Ｎ
Ｏ」の場合、つまり、上限センサ７７ｆが通電していな
いならば、ステップＳＢ９に進む。

【００２９】ステップＳＢ９では、下限センサ７７ｇが
通電したか否かを判断する。この判断結果が「ＮＯ」の
場合、つまり、下限センサ７７ｇが通電していないなら
ば、ステップＳＢ１０に進む。ステップＳＢ１０では、
オゾナイザ１１の電圧を上昇させた後、ステップＳＢ７
に戻る。一方、ステップＳＢ９の判断結果が「ＹＥＳ」
の場合、つまり、下限センサ７７ｇが通電したならば、
ステップＳＢ１１に進む。

【００３０】ステップＳＢ１１では、装置を停止するか
否かを判断する。この判断結果が「ＹＥＳ」ならば装置
を停止する。一方、ステップＳＢ１１の判断結果が「Ｎ
Ｏ」ならば、ステップＳＢ１２に進む。ステップＳＢ１
２では、濃度設定を変更するか否かを判断する。この判
断結果が「ＹＥＳ」ならばステップＳＢ２に戻り、「Ｎ
Ｏ」ならばステップＳＢ７に戻る。

【００３１】以上、この発明の実施形態を図面を参照し
て詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限ら
れるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の
設計の変更等があってもこの発明に含まれる。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、以下に示す効果が期待できる。気液混合手段としてミキシングポンプを用いたの
で、オゾンガスの溶解効率が向上する。また、これによ
り、オゾンガスと水との接触時間を稼ぐためのバッファ
タンク等が不要となる。気液分離手段を設けたので、濃度測定手段として紫
外線吸収方式のオゾン水濃度計を用いた場合、オゾン水
中の気泡の影響を受けずに濃度測定ができ、ミキシング
ポンプを利用したオゾン水生成装置においても、濃度フ
ィードバック制御が可能となる。洗浄等に利用するオゾン水は気液分離手段を介さず
に吐出するので、該オゾン水中には微細気泡が存在す
る。これにより、該オゾン水中におけるオゾンの高濃度
状態が長く続き、殺菌力が向上する。多孔質性ホースの径や定量ポンプの圧力を調整する
ことにより、気泡の大きさによらず、気泡の分離が可能
である。電流法を利用し、平板電極を用いたので、気泡に影
響されずに濃度測定を行うことができる。電解セルを用いたことで、バッチ式の電流法が連続
式になり、連続的に濃度制御を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施形態によるオゾン水生成装
置の構成例を示すブロック図である。

【図２】同実施形態によるミキシングポンプ３が、オゾ
ンガスと水道水とを攪拌・混合する様子を示す説明図で
ある。

【図３】同実施形態による気泡分離装置１０の詳細例を
示す説明図である。

【図４】同実施形態によるオゾン水生成装置に、気泡分
離装置１０内のフィルタ１０ｂを逆洗する機構を設けた
構成例を示すブロック図である。

【図５】同実施形態による濃度計１１の詳細例を示す説
明図である。

【図６】同実施形態によるオゾン水生成装置の応用例を
示すブロック図である。

【図７】この発明の第２実施形態によるオゾン水生成装
置の構成例を示すブロック図である。

【図８】同実施形態による脱気装置４９の詳細例を示す
説明図である。

【図９】同実施形態による濃度計５０の詳細例を示す説
明図である。

【図１０】同実施形態によるオゾン水生成装置の制御手
順例を示すフローチャートである。

【図１１】この発明の第３実施形態によるオゾン水生成
装置の構成例を示すブロック図である。

【図１２】検出器７７の詳細例を示す説明図である。

【図１３】上限電解セル７７ｄの断面図である。

【図１４】第３実施形態によるオゾン水生成装置の制御
手順例を示すフローチャートである。

【符号の説明】

２……流量計、３，４３……ミキシングポンプ、５，
４１，７１……オゾナイザ、１０……気泡分離器、１
０ｂ……フィルタ、１１，５０……濃度計、３１，６
１……空気圧縮器、４９……脱気装置、７２……エ
ゼクタ、７３……溶解槽、７４……ポンプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｃ０２Ｆ 1/50 ５５０Ｃ０２Ｆ 1/50 ５５０Ｌ 1/78 1/78 (72)発明者林田雅之神奈川県綾瀬市小園1116番地トキコ株式会社相模工場内 (72)発明者角掛泰洋神奈川県川崎市川崎区富士見１丁目６番３号トキコ株式会社内 (72)発明者名倉紀子神奈川県川崎市川崎区富士見１丁目６番３号トキコ株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】オゾンガスを生成するオゾンガス生成手
段と、前記オゾンガス生成手段が生成したオゾンガスと水とを
混合する気液混合手段と、前記気液混合手段が生成したオゾン水中のオゾン濃度を
測定する濃度測定手段と、前記濃度測定手段の測定値に基づいて、前記オゾンガス
生成手段のオゾンガス生成量をフィードバック制御する
ことにより、オゾン水中のオゾン濃度を一定に保つ濃度
制御手段とからなるオゾン水生成装置において、前記気液混合手段より発生した微細な気泡を除去する気
液分離手段を、該気液混合手段の下流側に設けたことを
特徴とするオゾン水生成装置。
【請求項２】請求項１記載のオゾン水生成装置におい
て、前記気液混合手段の下流側を２方に分岐し、一方をオゾ
ン水吐出流路とし、もう一方を前記濃度測定手段に導入
する流路とし、前記濃度測定手段の前段に、前記気液分離手段を設けた
ことを特徴とするオゾン水生成装置。
【請求項３】請求項１または請求項２記載のオゾン水
生成装置において、前記気液分離手段は、多孔質性ホースの中に、別の多孔質性ホースの束を挿入
して構成した脱気手段と、濃度測定に必要な流量を確保すると共に、前記脱気手段
を加圧する定量ポンプとからなることを特徴とするオゾ
ン水生成装置。
【請求項４】請求項１ないし請求項３のいずれかに記
載のオゾン水生成装置において、前記濃度測定手段は、水溶液中でオゾンと反応することで、水素と化合する物
質を生成する試薬を、前記気液混合手段が生成したオゾ
ン水に投入する試薬投入手段と、前記試薬投入後のオゾン水に電圧を印加する電極と、前記電圧の電気分解により前記電極の表面に生じた水素
と、前記試薬から遊離した元素とが化合することによ
り、該水素が該電極表面から除かれ、これにより該電極
間を流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電流検出手段が検出した電流値に基づいて、前記オ
ゾン水中のオゾン濃度を求める計測手段とからなること
を特徴とするオゾン水生成装置。
【請求項５】請求項４記載のオゾン水生成装置におい
て、前記電極は平板電極であることを特徴とするオゾン水生
成装置。
【請求項６】請求項１ないし請求項５のいずれかに記
載のオゾン水生成装置において、前記気液混合手段にミキシングポンプを用いたことを特
徴とするオゾン水生成装置。