JPH0971896A - リードフレームの搬送装置 - Google Patents

リードフレームの搬送装置

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JPH0971896A
JPH0971896A JP24861695A JP24861695A JPH0971896A JP H0971896 A JPH0971896 A JP H0971896A JP 24861695 A JP24861695 A JP 24861695A JP 24861695 A JP24861695 A JP 24861695A JP H0971896 A JPH0971896 A JP H0971896A
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lead frame
chains
trays
plating
tray
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JP24861695A
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Kenichi Suzuki
憲一 鈴木
Akihisa Hongo
明久 本郷
Atsushi Chono
篤 丁野
Naomitsu Ozawa
直光 小沢
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 比較的簡単な構造で、リードフレームを槽内
で安定に支持して搬送し、リードフレームを並列に配置
して効率良くめっきすることができ、かつ、電極とのコ
ンタクトが確実でめっき処理の高速化に対応でき、さら
に、複数の槽を通して同じ搬送装置で搬送が行えるよう
な半導体リードフレームの搬送装置を提供する。 【解決手段】 処理槽2a〜2e中を水平方向に走行す
るチェーン3と、このチェーンに取り付けられ、リード
フレームLを水平状態で収容する複数のトレー1とが設
けられ、このトレー1は少なくともその一部が流体の流
通を可能とするように形成され、側部に囲いが設けられ
ている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、半導体
リードフレームの外装部にはんだめっきを行うめっき装
置に用いるリードフレームの搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体リードフレームの外装部にはんだ
めっきを施す場合、洗浄槽、エッチング槽、めっき槽、
中和処理槽、乾燥炉などを搬送路に沿って配置してお
き、リードフレームをこれらの装置に順次移動させてこ
れらの処理を連続的に行うようにしている。リードフレ
ームを搬送する装置としては、図8に示すようなものが
ある。図8(a)及び(b)は、めっき槽上にワイヤ又
は金属製ベルトを走行させ、これにリードフレームを吊
持しながら搬送するものであり、同図(c)及び(d)
は、めっき槽の液面下に複数のローラを配置して、これ
により搬送を行なうものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような方法においては、それぞれ次のような解決すべき
課題があった。すなわち、図8(a)及び(b)の場合
は、リードフレームをワイヤに取り付ける作業が煩雑で
あること、ワイヤから吊り下げるので全長が大きくな
り、設備コストが高くなること、そして、槽壁を越える
際の上下幅も大きくなり、搬送ラインが上下するのでま
た、リードフレームを途中で落下させたり、引っ掛けた
りしやすいなどの欠点がある。
【0004】また、図8の(c)及び(d)の場合、駆
動されるローラをめっき槽の中に設置するので、槽の構
造が複雑になり、また、槽間の移動には別の手段を用い
なければならない。また、ローラ間の移動が比較的不安
定であり、めっきの効率を上げるべくリードフレームの
短辺を進行方向に向けて搬送する場合、ローラのピッチ
を狭くしても落下を完全に防止することはできない。さ
らに、電極との電気的コンタクトを確実に行なうのが難
しいという問題もある。
【0005】本発明は、比較的簡単な構造で、リードフ
レームを槽内で安定に支持して搬送し、リードフレーム
を並列に配置して効率良くめっきすることができ、か
つ、電極とのコンタクトが確実でめっき処理の高速化に
対応でき、さらに、複数の槽を通して同じ搬送装置で搬
送が行えるような半導体リードフレームの搬送装置を提
供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、処理槽中を水平方向に走行するチェーンと、このチ
ェーンに取り付けられ、リードフレームを水平状態で収
容する複数のトレーとが設けられ、このトレーは少なく
ともその一部が流体の流通を可能とするように形成さ
れ、側部に囲いが設けられていることを特徴とするリー
ドフレームの搬送装置である。この発明においては、リ
ードフレームはトレー内に収容され、槽内で姿勢を一定
にして安定に支持されながら搬送される。
【0007】請求項2に記載の発明は、上記チェーン
が、上記処理槽の槽壁に形成された開口部を挿通して走
行するようなっていることを特徴とする請求項1に記載
のリードフレームの搬送装置である。この発明によれ
ば、搬送装置が全体として高さを低く維持することがで
き、設備コストを軽減できる。請求項3に記載の発明
は、上記トレーの底部に、電極棒が通過可能な隙間が形
成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の
リードフレームの搬送装置であり、簡単な構造で電極と
のコンタクトが確実に行えるので、めっき処理の高速化
に対応できる。請求項4に記載の発明は、上記トレーの
短辺が進行方向と平行であることを特徴とする請求項1
ないし3のいずれかに記載のリードフレームの搬送装置
である。請求項5に記載の発明は、上記処理槽に、上記
トレー上方を落下防止部材が設けられていることを特徴
とする請求項1ないし4のいずれかに記載のリードフレ
ームの搬送装置である。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の1つの実施の形態
のリードフレームの搬送装置を図1ないし図7を参照し
て説明する。図1ないし図7は、本発明のリードフレー
ムの搬送装置を示すもので、符号1は搬送トレーであ
り、処理槽2a〜2eの中を走行する左右一対の無端状
のコンベアチェーン3,3に取り付けられている。コン
ベアチェーン3は、処理槽2a〜2eの両側に設置した
スプロケット4に巻き掛けられて、電動機5によって循
環走行するようになっている。
【0009】搬送トレー1は、図2に示すように側壁6
と底部7から浅い皿状に構成されている。側壁6は、板
状の囲いであり、短辺側の側壁6にはコンベアチェーン
3に取り付けるためのピン8が設けられ、長辺側の側壁
には、ガイドバー(落下防止部材)9を挿通させるため
の切欠部10が形成されている。底部7は、側壁6の間
に張り渡された細い線材又は金網により構成され、処理
液や気体の流通及びめっき電流の流れを阻害しないよう
になっている。搬送トレー1は、対象となるリードフレ
ーム(いくつかのIC素子がつながったもの)Lを1つ
収容する程度の大きさになっている。底部7の線材又は
金網には、幅方向所定箇所において一部が短辺に平行な
隙間部1が形成されており、これは、後述する電極棒を
通過させるために設けられている。
【0010】上記搬送用トレー1は、その短辺が進行方
向に対して平行となるように所定の間隔に複数個配置さ
れ、トレー両端部分を挟むようにして、左右一対の無端
状コンベアチェーン3に連結されている。ガイドバー9
は、各処理槽間における槽壁とリードフレームLの引っ
掛かり防止と、エッチング槽内などにおいてスプレー等
でリードフレームに処理液を吹き付ける場合、又はブロ
ー、乾燥の場合にリードフレームが浮き上がって落下す
るのを防止する目的で、処理槽に設けられている。
【0011】図1において符号2a,2bは洗浄槽、エ
ッチング槽などのめっき前処理槽、符号2cはめっき
槽、符号2d,2eは、中和処理槽、乾燥炉などのめっ
き後処理槽である。図4に示すように、前後及び槽間の
壁12に開口部13が形成され、これを挿通してチェー
ン3及び搬送トレー1が出入りするようになっている。
【0012】図5ないし図6はめっき槽2c及びその付
属装置を示すもので、めっき槽2cの上方には、電極棒
14をめっき槽2cの一端から他端、さらに剥離槽15
の他端から一端に循環して搬送する電極移動装置16が
設けられている。めっき槽2c及び剥離槽15の上方に
は、めっき用及び剥離用の電源につながる電極バーと、
電極棒14の姿勢を制御するためのカム17が設けられ
ている。
【0013】コンベアチェーン3はめっき槽2cの一端
側から他端側へ、壁18に形成されたオリフィス19を
挿通して走行するので、図7に示すように、このオリフ
ィス19からは常にめっき液が流出しており、この流出
しためっき液は循環してめっき槽2cに補給されてい
る。このような構成により、この搬送装置ではめっき槽
2cへの出入りにおいても搬送ラインを上下させる必要
がなく、搬送装置の簡略化と搬送の高速化が図られてい
る。
【0014】次に、上記のように構成されたリードフレ
ームの搬送装置の作用を説明する。リードフレームL
は、まずローディング部において、ローディング装置2
0や人手によりトレー1上に置かれる。コンベアチェー
ン3の走行により、トレー1がめっき処理に必要な前処
理槽2a,2bを通過し、めっき槽2cに移動する。
【0015】めっき電極14の移動装置16は、リード
フレームLのコンベアチェーン3と同期して走行する。
電極棒14が進行すると、カム17と図示しないコイル
バネの作用によって電極棒14が回転し、下端が液中の
トレー1中に浸漬し、更に進行すると電極棒14はさら
に付勢されて下端がトレー1の後方に向かう。電極棒1
4の下端は底部7の隙間11の中を移動してリードフレ
ームLに接触し、リードフレームLは電極棒14を介し
て通電されてめっきが進行する。このように、このめっ
き装置では、電極棒14がトレー1の底部の隙間を通
り、コイルバネの付勢によりリードフレームLと確実に
コンタクトするので、高速めっきが安定的に行える。
【0016】めっき槽2cの壁から搬出されたリードフ
レームLは、さらに後処理槽2d,2eで後処理を施さ
れ、アンローディング部においてアンローディング装置
21あるいは人手を介してトレー1から取り出される。
リードフレームが取り出されたトレー1は、処理工程ラ
インの上、下又は横を通って再度ローディング部に戻
る。動作サイクルは、停止せずに連続式としてもよい
し、また、一定枚数分送った後に停止しながら各々処理
を行ってもよい。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、リードフレームが槽内で安定に支持されながら搬送
されるので、並列に密度高く配置して槽面積を有効に活
用しためっきを行なうことができる。また、リードフレ
ームを着脱する作業も簡単で、作業能率も高い。めっき
の前後の処理のための槽を含めた複数の槽を同じ搬送装
置で搬送することも容易である。さらに、搬送装置が全
体として高さを低く維持することができ、設備コストを
軽減できる。そして、トレーの底部に、電極棒が通過可
能な隙間を形成することにより、簡単な構造で電極との
コンタクトが確実に行えるので、めっき処理の高速化に
対応できるなどの優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の1つの実施の形態を示す斜視図であ
る。
【図2】この発明の要部であるトレーの構造を示す斜視
図である。
【図3】トレー及びコンベアチェーンの平面図である。
【図4】処理槽の断面図である。
【図5】めっき槽の平面図である。
【図6】めっき槽の正面図である。
【図7】めっき槽の断面図である。
【図8】従来の搬送装置の例を示す図である。
【符号の説明】
1 トレー 2a,2b 前処理槽 2c めっき槽 2d,2e 後処理槽 3 コンベアチェーン 4 スプロケット 6 側壁 7 底部 9 ガイドバー(落下防止部材) 11 隙間 13 開口部 14 電極棒 L リードフレーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/68 H01L 21/68 U (72)発明者 小沢 直光 神奈川県平塚市黒部丘1番14号 株式会社 ワイテック内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 処理槽中を水平方向に走行するチェーン
    と、 このチェーンに取り付けられ、リードフレームを水平状
    態で収容する複数のトレーとが設けられ、 このトレーは少なくともその一部が流体の流通を可能と
    するように形成され、側部に囲いが設けられていること
    を特徴とするリードフレームの搬送装置。
  2. 【請求項2】 上記チェーンは、上記処理槽の槽壁に形
    成された開口部を挿通して走行するようなっていること
    を特徴とする請求項1に記載のリードフレームの搬送装
    置。
  3. 【請求項3】 上記トレーの底部には、電極棒が通過可
    能な隙間が形成されていることを特徴とする請求項1又
    は2に記載のリードフレームの搬送装置。
  4. 【請求項4】 上記トレーの短辺が進行方向と平行であ
    ることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載
    のリードフレームの搬送装置。
  5. 【請求項5】 上記処理槽に、上記トレー上方を覆う防
    止部材が設けられていることを特徴とする請求項1ない
    し4のいずれかに記載のリードフレームの搬送装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002327295A (ja) * 2001-04-27 2002-11-15 Macoho Co Ltd ワーク表面処理装置
CN103594404A (zh) * 2013-11-20 2014-02-19 西安永电电气有限责任公司 一种塑封式智能功率模块上下料系统及配套的引线框架
CN114855232A (zh) * 2022-04-14 2022-08-05 南通盛杰拉链有限公司 一种基于自动循环的金属拉链镀金装置
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