JPH0968685A

JPH0968685A - 反射型空間光変調素子および該空間光変調素子を用いた投射光学装置

Info

Publication number: JPH0968685A
Application number: JP8101858A
Authority: JP
Inventors: Motoo Koyama; 元夫小山
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1995-06-22
Filing date: 1996-04-01
Publication date: 1997-03-11

Abstract

(57)【要約】【課題】表面からの反射光とは異なる方向に信号光を
取り出すことのできる反射型空間光変調素子を提供する
こと。【解決手段】入射光を光変調して射出する反射型空間
光変調素子において、前記入射光に対する前記空間光変
調素子の反射面からの正反射光を実質的に消失させる反
射型回折光学素子を備え、前記入射光に対して前記回折
光学素子により発生した回折光を信号光として射出す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は空間光変調素子およ
び該空間光変調素子を用いた投射光学装置に関し、特に
液晶プロジェクターのような、空間光変調素子で変調を
受けた光をスクリーン等の被照射面に投射する投射光学
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８は、従来の投射光学装置の構成を概
略的に示す図である。図８の投射光学装置は、ほぼ平行
な照明光を供給する光源部８１を備えている。光源部８
１からの照明光は、照明レンズ８２を介して集光され、
照明光絞り８３Ａに達する。この照明光絞り８３Ａを介
した光は、投射光学系の第１レンズ群８４を介して平行
光となり、その光軸上に配置された反射型空間光変調素
子、たとえばライトバルブ９３を照明する。

【０００３】反射型散乱タイプのライトバルブ９３で光
変調された光は、第１レンズ群８４を介して集光され、
その光軸に関して照明光絞り８３Ａと反対側に配置され
た開口絞り８３Ｂに達する。この開口絞り８３Ｂを介し
た光は、投射光学系の第２レンズ群８６を介してスクリ
ーン８７上に投射される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述のような従来の反
射型空間光変調素子として、たとえばポリマー分散型液
晶素子が用いられる。ポリマー分散型液晶素子では、光
変調層の上に保護ガラスのような透過部材が形成されて
いる。したがって、ポリマー分散型液晶素子のような従
来の反射型空間光変調素子を用いた投射光学装置では、
照明光に対する透過部材の表面での反射光が有害光（迷
光）となってスクリーン上に達してしまう。その結果、
スクリーン上での像のコントラストが低下してしまうと
いう不都合があった。

【０００５】また、上述のような従来の反射型散乱タイ
プの空間光変調素子では、その反射面での正反射光が光
変調された光としてスクリーンに向かって射出される。
したがって、空間光変調素子への入射光の光路と空間光
変調素子からの射出光の光路とを分離するために、空間
光変調素子の反射面の法線に対して照明光を傾けて入射
する必要がある。その結果、投射光学装置の構成が複雑
になるという不都合があった。

【０００６】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
のであり、表面からの反射光とは異なる方向に信号光を
取り出すことのできる反射型空間光変調素子を提供する
ことを目的とする。また、本発明の反射型空間光変調素
子を用いて、その表面からの正反射光が有害光となるこ
となく、スクリーン上においてコントラストの優れた像
を得ることのできる簡易な投射光学装置を提供すること
を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、第１の発明においては、入射光を光変調して射出す
る反射型空間光変調素子において、前記入射光に対する
前記空間光変調素子の反射面からの正反射光を実質的に
消失させる反射型回折光学素子を備え、前記入射光に対
して前記回折光学素子により発生した回折光を信号光と
して射出することを特徴とする反射型空間光変調素子を
提供する。

【０００８】第１の発明の好ましい態様によれば、前記
回折光学素子は、前記空間光変調素子の反射面上におい
て規則的に配列された位相シフターで構成され、前記位
相シフターは、前記位相シフターを介して前記反射面で
反射された光と前記位相シフターを介することなく前記
反射面で反射された光との位相差が実質的に１／２波長
となるように構成されている。

【０００９】また、本発明の別の局面によれば、第２の
発明においては、照明光を供給するための照明光供給手
段と、該照明光供給手段からの照明光を光変調するため
の反射型空間光変調素子と、該空間光変調素子で光変調
された光をスクリーン上に投影するための投射光学系と
を備えた投射光学装置において、前記空間光変調素子
は、前記照明光に対する前記空間光変調素子の反射面か
らの正反射光を実質的に消失させる反射型回折光学素子
を備え、前記照明光に対して前記回折光学素子により発
生した回折光を信号光として前記投射光学系を介して前
記スクリーン上に投影することを特徴とする投射光学装
置を提供する。

【００１０】第２の発明の好ましい態様によれば、前記
投射光学系は、前記空間光変調素子側から順に、第１レ
ンズ群と、開口絞りと、第２レンズ群とを備え、前記照
明光供給手段は、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群
との間の光路中に配置された照明光絞りを有し、前記照
明光絞りおよび前記第１レンズ群を介して前記空間光変
調素子を照射し、前記投射光学系は、前記空間光変調素
子からの前記信号光を、前記第１レンズ群、前記開口絞
りおよび前記第２レンズ群を介して前記スクリーンに導
く。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の反射型空間光変調素子で
は、入射光に対する反射面からの正反射光を実質的に消
失させるように構成された反射型回折光学素子が設けら
れている。そして、入射光に対して回折光学素子により
発生した回折光を空間光変調素子で変調された光として
射出する。このように、本発明の反射型空間光変調素子
では、入射光に対する正反射光の代わりに一次回折光ま
たは高次の回折光が、光変調を受けた信号光として得ら
れる。すなわち、表面からの反射光とは異なる方向に信
号光を取り出すことができる。

【００１２】したがって、本発明の反射型空間光変調素
子を投射光学装置に適用した場合、空間光変調素子から
の回折光が開口絞りを介して信号光としてスクリーンに
達するが、空間光変調素子の表面からの反射光は回折光
とは方向が異なるので開口絞りで遮られてスクリーンに
達することがない。その結果、有害光を抑えてスクリー
ン上においてコントラストの優れた像を得ることができ
る。

【００１３】また、本発明の反射型空間光変調素子で
は、その反射面に垂直に入射した照明光に対して、信号
光（回折光）は反射面の法線に対して傾いて射出され
る。したがって、本発明の反射型空間光変調素子を投射
光学装置に適用した場合、照明光供給手段を投射光学系
に対して同軸に構成することができる。すなわち、投射
光学装置として簡易な構成が可能となり、各光学部材の
調整等が容易になる。

【００１４】以下、本発明の実施例を、添付図面に基づ
いて説明する。図１は、本発明の第１実施例にかかる反
射型空間光変調素子の構成を概略的に示す断面図であ
る。また、図２は、図１の位相シフターの配列の様子を
示す上面図である。図１の空間光変調素子では、反射面
１２上において、図２に示すように、位相シフター１１
が市松模様を形成するように規則的に配列されている。
図２において破線で囲む領域１３は、スクリーン上での
１画素に対応した空間光変調素子上の領域の大きさを例
示的に示している。

【００１５】反射面１２上には、複数の位相シフター１
１を挟んで、ポリマー分散型液晶層１０が形成されてい
る。また、ポリマー分散型液晶層１０の上には、保護ガ
ラス層９が形成されている。さらに、光電導体層、透明
電導体（ＩＴＯ）膜、遮光層、反射防止膜等（いずれも
不図示）の機能膜が、必要に応じて併設される。

【００１６】なお、入射光が位相シフター１１を一度通
過すると約１／４波長の位相差が生じるように、位相シ
フター１１の厚さが設定されている。したがって、使用
波長（入射光の波長）に対して、入射光が位相シフター
１１を介して反射面１２で反射し再び位相シフター１１
を介して射出されたときの光の位相と、入射光が位相シ
フター１１を介することなく反射面１２で反射して射出
されたときの光の位相との差が約１／２波長になるよう
に構成されている。

【００１７】図１において、保護ガラス層９を介して、
ポリマー分散型液晶層１０に入射した光は、液晶層１０
の状態に応じて光変調を受ける。そして、光変調を受け
た光は、液晶層１０を通過した後、反射面１２で反射さ
れ、再び液晶層１０および保護ガラス層９を介して射出
される。このとき、上述のように、位相シフター１１を
通過した反射面１２での反射光と、位相シフター１１を
通過しない反射面１２での反射光とは、約１／２波長の
位相差を有する。したがって、これらの２つの反射光は
互いに打ち消し合い、反射面１２からの０次光すなわち
正反射光は実質的に消失する。

【００１８】一方、市松模様を形成するように規則的に
配列された位相シフター１１は、反射型回折光学素子を
構成している。したがって、反射面１２からの正反射光
の代わりに、入射光に対する反射型回折光学素子の回折
作用により一次回折光や二次回折光などが射出される。
すなわち、入射光に対する正反射光とは異なる方向に射
出される回折光、たとえば一次回折光を光変調を受けた
信号光として取り出すことができる。

【００１９】したがって、第１実施例の反射型空間光変
調素子を投射光学装置に適用した場合、空間光変調素子
からの回折光が開口絞りを介して信号光としてスクリー
ンに達するが、空間光変調素子の表面からの正反射光は
回折光とは方向が異なるので開口絞りで遮られてスクリ
ーンに達することがない。その結果、有害光を抑えてス
クリーン上においてコントラストの優れた像を得ること
ができる。

【００２０】図３は、本発明の第２実施例にかかる反射
型空間光変調素子の構成を概略的に示す断面図である。
第２実施例の空間光変調素子は、第１実施例と類似の構
成を有する。しかしながら、反射面での正反射光を消失
させるように構成された反射型回折光学素子を、第１実
施例では位相シフターで構成しているのに対し、第２実
施例では凹凸部で構成している点が基本的に相違する。

【００２１】第２実施例では、図３に示すように、反射
面１２において規則的に形成された凹部１２ａおよび凸
部１２ｂが反射型回折光学素子を構成している。すなわ
ち、凹部１２ａおよび凸部１２ｂは、第１実施例の位相
シフターと同様、たとえば市松模様状に反射面１２に直
接形成されている。そして、使用波長（入射光の波長）
に対して、入射光が反射面１２の凹部１２ａで反射して
射出されたときの光の位相と、入射光が反射面１２の凸
部１２ｂで反射して射出されたときの光の位相との差が
約１／２波長になるように構成されている。

【００２２】保護ガラス層９を介して、ポリマー分散型
液晶層１０に入射した光は、液晶層１０の状態に応じて
光変調を受ける。そして、光変調を受けた光は、液晶層
１０を通過した後、反射面１２の凹部１２ａまたは凸部
１２ｂで反射され、再び液晶層１０および保護ガラス層
９を介して射出される。このとき、上述したように、凹
部１２ａでの反射光と凸部１２ｂでの反射光とは、約１
／２波長の位相差を有する。したがって、第２実施例に
おいても、これらの２つの反射光は互いに打ち消し合
い、反射面１２からの０次光すなわち正反射光は実質的
に消失する。

【００２３】なお、上述の第１実施例および第２実施例
において、位相シフター１１や凹部１２ａおよび凸部１
２ｂがそれぞれ正方形状を有し、全体として市松模様を
形成している。しかしながら、位相シフター１１や凹部
１２ａおよび凸部１２ｂの各形状は、正方形に限定され
るものではない。また、全体配置についても、市松模様
状に限定されるものではなく、位相シフター１１や凹部
１２ａおよび凸部１２ｂが周期性をもって規則的に且つ
二次元的に配置されていれば、空間光変調素子の反射面
からの正反射光を実質的に消失させるようになった反射
型回折光学素子を構成することができることは明らかで
ある。

【００２４】また、上述の第１実施例および第２実施例
では、片道光路において約１／４波長の位相差を生じる
ような位相シフター１１や凹部１２ａおよび凸部１２ｂ
を用いている。しかしながら、これらの位相シフター１
１や凹１２ａおよび凸部１２ｂに代えて、多段階の厚さ
を有する位相シフターや凹凸部からなるバイナリーオプ
ティクスを用いてもよい。この場合、特定の次数の回折
光を強めることができ、光の利用効率を向上させること
ができる。また、多段階のバイナリーオプティクスの形
状を、段階的なすなわち不連続な形状ではなく連続的な
形状にすることにより、さらに光の利用効率を向上させ
ることも可能である。

【００２５】なお、本発明中で用いられる位相シフター
およびミラーの凹凸構造は、たとえばフォトリソグラフ
ィーの手法で作製することができる。また、位相シフタ
ーの材料としては、液晶変調層との屈折率差があり且つ
使用波長における吸収が問題のない材料であれば、種々
の材料を使用することができる。たとえば、液晶変調層
にポリマーとしてエポキシ樹脂を主体としたＰＤＬＣ
（ポリマー分散型液晶）を用いたとき、ＰＤＬＣのｄ線
に対する屈折率ｎ１は約１．５２４である。したがっ
て、可視域で用いる場合、位相シフターの材料として
は、たとえば屈折率が２程度のSi₃N₄を主体とした窒化
シリコンを用いることができる。窒化シリコンは、プロ
セスのコントロールにより、その屈折率ｎ２の値を約
１．８〜２．０程度の範囲で任意に設定することができ
る。

【００２６】ＰＤＬＣの屈折率をｎ１とし、位相シフタ
ーの屈折率をｎ２とし、１／４波長の位相シフターの厚
さをｄとすると、次の式（１）で示す関係が成立する。ｎ２・ｄ−ｎ１・ｄ＝（１／４＋Ｎ）・λ （１）ここで、Ｎ：０以上の整数（ｎ１＜ｎ２のとき） λ：使用波長したがって、１／４波長の位相シフターの厚さｄは、次
の式（２）で表される。ｄ＝（１／４＋Ｎ）・λ／（ｎ２−ｎ１）（２）

【００２７】図４は、本発明の第３実施例にかかる投射
光学装置の構成を概略的に示す図である。第３実施例の
投射光学装置には、たとえば第１実施例または第２実施
例に示すような本発明の反射型空間光変調素子が用いら
れている。また、図５は、図４の照明光絞りおよび開口
絞りの構成を示す図であって、図４の投射光学系の光軸
ＡＸに沿って見た図である。

【００２８】図４の投射光学装置は、ほぼ平行な照明光
を供給するための光源部１を備えている。リフレクター
タイプの光源部１は、照明レンズ２の光軸上に配置され
ている。そして、光源部１からの平行照明光は、照明レ
ンズ２を介して集光され、折り曲げミラー８で反射され
た後、光源像を形成する。光源像が形成される位置に
は、照明光絞り３Ａが配置されている。

【００２９】照明光絞り３Ａを介した光源像からの光
は、投射光学系の第１レンズ群４を介して平行光とな
り、投射光学系の光軸ＡＸ上に配置された反射型空間光
変調素子５を照明する。このように、光源部１、照明レ
ンズ２、折り曲げミラー８および照明光絞り３Ａは、空
間光変調素子５に照明光を供給するための照明光供給手
段を構成している。

【００３０】さらに、図４の投射光学装置は、画像情報
を入力する入力部４０と、この入力部４０からの画像情
報に基づいて空間光変調素子５を制御する制御部４１と
を備えている。入力部４０として、たとえば磁気記憶媒
体（ＦＤやビデオテープ等）、光学的記憶媒体（フォト
ＣＤ、ＭＯ（光磁気記憶媒体）等）、電気的記憶媒体
（ＩＣカード等）が有する画像情報を読み出す手段を適
用することができる。また、入力部４０を投射光学装置
本体とは別体に構成し、たとえば端子を介して投射光学
装置本体に接続されるように構成することもできる。ま
た、空間光変調素子５としては、例えば入力部からの画
像情報を電気的に変調するもの、この画像情報を例えば
ＣＲＴやＬＣＤ等の画像表示手段に表示して、この画像
表示手段に表示された画像からの光を空間光変調素子に
導いて空間光変調を行う形式、いわゆる光書込み形式の
変調素子などを適用することができる。

【００３１】空間光変調素子５で光変調を受けて射出さ
れた光すなわち信号光は、第１レンズ群４を介して集光
され、一旦結像する。この結像位置には、開口絞り３Ｂ
が配置されている。この開口絞り３Ｂを介した信号光
は、投射光学系の第２レンズ群６を介して、投射光学系
の光軸ＡＸ上に配置されたスクリーン７上に投射され
る。こうして、入力された画像情報に基づいて、空間光
変調素子５の光変調作用に応じた明暗のパターンがスク
リーン７上に画像として形成される。

【００３２】図８に示す従来の反射型空間光変調素子を
用いた投射光学装置では、光変調を受けた信号光と光変
調素子の表面での反射光（図中破線で示す）とがほぼ同
一経路を介して開口絞りに達する。その結果、光変調素
子の表面での反射光すなわち有害光が信号光とともにス
クリーン上に導かれ、像のコントラストを低下させる原
因となっていた。

【００３３】しかしながら、第３実施例では、信号光は
空間光変調素子の反射面からの正反射光ではなく、空間
光変調素子内の反射型回折光学素子により発生した回折
光である。したがって、光変調を受けた信号光と光変調
素子の表面での反射光とは、互いに実質的に異なる経路
を介して開口絞り３Ｂに達することになる。図５に示す
ように、開口絞り３Ｂはたとえば４つの開口部を有す
る。そして、各開口部３Ｂを信号光である回折光が通過
し、第２レンズ群６を介してスクリーン７上に導かれ
る。

【００３４】一方、図４および図５を参照しても明らか
ように、光変調素子の表面での反射光すなわち有害光
は、開口絞り３Ｂの４つの開口部の中央の点Ｐに達す
る。その結果、有害光は開口絞り３Ｂに遮られてスクリ
ーン７に達することがなく、スクリーン７上においてコ
ントラストの優れた像を得ることができる。

【００３５】図６は、本発明の第４実施例にかかる投射
光学装置の構成を概略的に示す図である。第４実施例の
投射光学装置にも、たとえば第１実施例または第２実施
例に示すような本発明の反射型空間光変調素子が用いら
れている。また、図７は、図６の照明光絞りおよび開口
絞りの構成を示す図であって、図６の投射光学系の光軸
ＡＸに沿って見た図である。

【００３６】図６の投射光学装置は、第３実施例の装置
と類似の構成を有する。しかしながら、第３実施例では
光源部および照明レンズが投射光学系の光軸ＡＸ上に配
置されることなく光軸ＡＸに関して非対称な全体構成を
有するのに対し、第４実施例では光源部および照明レン
ズが光軸ＡＸ上に配置され光軸ＡＸに関して対称な全体
構成を有する点が基本的に相違する。なお、第４実施例
において、入力部および制御部の図示を省略するととも
に、第３実施例と同様の機能を有する要素には同じ参照
符号を付している。

【００３７】図６の投射光学装置では、投射光学系
（４，６）の光軸ＡＸ上に配置された光源部１からの平
行光束が、同じく光軸ＡＸ上に配置された照明レンズ２
を介して集光され、光源像を形成する。光源像が形成さ
れる光軸ＡＸ上の位置には、照明光絞り３Ａが配置され
ている。照明光絞り３Ａを介した光は、第１レンズ群４
を介して平行光となり、光軸ＡＸ上に配置された反射型
空間光変調素子５を照明する。

【００３８】空間光変調素子５で光変調を受けて射出さ
れた回折光すなわち信号光は、第１レンズ群４、開口絞
り３Ｂおよび第２レンズ群６を介して、投射光学系の光
軸ＡＸ上に配置されたスクリーン７上に投射される。図
７に示すように、照明光絞り３Ａは光軸ＡＸを中心とし
て形成され、開口絞り３Ｂは光軸ＡＸを中心とする正方
形の各頂点位置を中心として形成された４つの開口部を
有する。

【００３９】したがって、第４実施例では、信号光であ
る回折光が開口絞り３Ｂの各開口部を通過し、第２レン
ズ群６を介してスクリーン７上に導かれる。一方、図６
を参照して明らかように、光変調素子５の表面での反射
光すなわち有害光は、照明光絞り３Ａを介して再び光源
部１の側に戻され、スクリーン７に達することがない。
その結果、第４実施例においても、スクリーン７上にお
いてコントラストの優れた像を得ることができる。この
ように、第４実施例では、照明光供給手段を投射光学系
に対して同軸に構成することができるので、装置として
簡易な構成が可能となり、各光学部材の調整等が容易に
なる。

【００４０】なお、上述の第３実施例および第４実施例
における開口絞り３Ｂの各開口部の個数、形状および配
置は単に例示的であって、空間光変調素子５からの回折
光のパターンに依存して適宜変更されるべき設計事項で
あることはいうまでもない。また、上述の第４実施例に
おいて、光軸ＡＸに対して対称な全体構成を崩さずにそ
の光路を折曲げミラー等で曲げてもよい。たとえば図６
において、光源部１と照明光絞り３Ａとの間の光路中に
折曲げミラーを設け、光軸ＡＸを横切る方向から照明光
絞り３Ａに照明光を導いてもよい。

【００４１】さらに、フルカラー投射光学装置に本発明
を適用する場合、一般には、Ｒ、Ｇ、Ｂの波長光線に対
してそれぞれ空間光変調素子が必要となる。この場合、
投射光学系の第１レンズ群の瞳面（開口絞りの面）に形
成される回折光のパターンは、Ｒ、Ｇ、Ｂの各バンド内
の波長毎に若干異なる。このため、開口絞りの各開口部
の形状および配置を適宜選択することにより、通過する
光の波長を制御することができる。その結果、カラーバ
ランスの調整あるいは色純度の制御を行うことも可能で
ある。

【００４２】なお、上述の第３実施例および第４実施例
では、ほぼ平行な照明光を供給する光源部を用いた例を
示している。しかしながら、ほぼ平行な照明光を供給す
る光源部に必ずしも限定されることなく、被照射面であ
るスクリーンとの光学的な共役関係を適宜変化させるこ
とにより、たとえば発散光を供給する光源部を用いるこ
ともできる。また、第３実施例および第４実施例では、
リフレクタータイプの光源部を用いた例を示したが、他
の適当なタイプの光源部を用いることもできる。

【００４３】

【効果】以上説明したように、本発明の反射型空間光変
調素子では、入射光に対する正反射光の代わりに回折光
が信号光として得られる。すなわち、表面からの反射光
とは異なる方向に信号光を取り出すことができる。した
がって、本発明の反射型空間光変調素子を投射光学装置
に適用した場合、空間光変調素子の表面からの反射光は
回折光とは方向が異なるので開口絞りで遮られてスクリ
ーンに達することがない。その結果、有害光を抑えてス
クリーン上においてコントラストの優れた像を得ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例にかかる反射型空間光変調
素子の構成を概略的に示す断面図である。

【図２】図１の位相シフターの配列の様子を示す上面図
である。

【図３】本発明の第２実施例にかかる反射型空間光変調
素子の構成を概略的に示す断面図である。

【図４】本発明の第３実施例にかかる投射光学装置の構
成を概略的に示す図である。

【図５】図４の照明光絞りおよび開口絞りの構成を示す
図であって、図４の投射光学系の光軸ＡＸに沿って見た
図である。

【図６】本発明の第４実施例にかかる投射光学装置の構
成を概略的に示す図である。

【図７】図６の照明光絞りおよび開口絞りの構成を示す
図であって、図６の投射光学系の光軸ＡＸに沿って見た
図である。

【図８】従来の投射光学装置の構成を概略的に示す図で
ある。

【符号の説明】

１光源部２照明レンズ３Ａ照明光絞り３Ｂ開口絞り４投射光学系の第１レンズ群５反射型光変調素子６投射光学系の第２レンズ群７スクリーン４０入力部４１制御部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】入射光を光変調して射出する反射型空間
光変調素子において、前記入射光に対する前記空間光変調素子の反射面からの
正反射光を実質的に消失させる反射型回折光学素子を備
え、前記入射光に対して前記回折光学素子により発生した回
折光を信号光として射出することを特徴とする反射型空
間光変調素子。
【請求項２】前記回折光学素子は、前記空間光変調素
子の反射面上において規則的に配列された位相シフター
で構成され、前記位相シフターは、前記位相シフターを介して前記反
射面で反射された光と前記位相シフターを介することな
く前記反射面で反射された光との位相差が実質的に１／
２波長となるように構成されていることを特徴とする請
求項１に記載の空間光変調素子。
【請求項３】前記回折光学素子は、前記空間光変調素
子の反射面上において規則的に形成された凹部および凸
部で構成され、前記凹部および凸部は、反射面の凹部で反射された光と
前記反射面の凸部で反射された光との位相差が実質的に
１／２波長となるように構成されていることを特徴とす
る請求項１に記載の空間光変調素子。
【請求項４】照明光を供給するための照明光供給手段
と、該照明光供給手段からの照明光を光変調するための
反射型空間光変調素子と、該空間光変調素子で光変調さ
れた光をスクリーン上に投影するための投射光学系とを
備えた投射光学装置において、前記空間光変調素子は、前記照明光に対する前記空間光
変調素子の反射面からの正反射光を実質的に消失させる
反射型回折光学素子を備え、前記照明光に対して前記回折光学素子により発生した回
折光を信号光として前記投射光学系を介して前記スクリ
ーン上に投影することを特徴とする投射光学装置。
【請求項５】前記投射光学系は、前記空間光変調素子
側から順に、第１レンズ群と、開口絞りと、第２レンズ
群とを備え、前記照明光供給手段は、前記第１レンズ群と前記第２レ
ンズ群との間の光路中に配置された照明光絞りを有し、
前記照明光絞りおよび前記第１レンズ群を介して前記空
間光変調素子を照射し、前記投射光学系は、前記空間光変調素子からの前記信号
光を、前記第１レンズ群、前記開口絞りおよび前記第２
レンズ群を介して前記スクリーンに導くことを特徴とす
る請求項４に記載の投射光学装置。
【請求項６】前記照明光供給手段は、前記第１レンズ
群と前記第２レンズ群との間の光路中において前記投射
光学系の光軸上に配置されていることを特徴とする請求
項５に記載の投射光学装置。