JPH0966478A - Automatic conveying robot - Google Patents
Automatic conveying robotInfo
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- JPH0966478A JPH0966478A JP22237595A JP22237595A JPH0966478A JP H0966478 A JPH0966478 A JP H0966478A JP 22237595 A JP22237595 A JP 22237595A JP 22237595 A JP22237595 A JP 22237595A JP H0966478 A JPH0966478 A JP H0966478A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、予め設定された
プログラムに従って、物品を自動的に搬送する自動搬送
ロボットに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic carrying robot for automatically carrying articles according to a preset program.
【０００２】[0002]
【従来の技術】自動搬送ロボットは、例えば、半導体工
場等において、予め設定されたプログラムに従って、あ
る半導体処理装置から処理後の半導体ウエハを取り出し
て搬送し、次の処理をする半導体処理装置に半導体ウエ
ハを配するというものである。従来の自動搬送ロボット
は、駆動電力供給用の配線がその支持部と接触して摩耗
することにより生ずる塵埃を防止する等のために、電源
として配線不要なバッテリー部を有しており、このバッ
テリー部を駆動源としていた。また、個々の自動搬送ロ
ボットは、モータの回転角等の制御情報を記憶するため
に、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）を有しており、
このＲＡＭへ上記バッテリー部から電力を供給するよう
に構成されていた。2. Description of the Related Art In an automatic transfer robot, for example, in a semiconductor factory or the like, a semiconductor wafer after processing is taken out from a certain semiconductor processing apparatus and transferred according to a preset program, and is transferred to a semiconductor processing apparatus for the next processing. It is to arrange wafers. The conventional automatic transfer robot has a battery section that does not require wiring as a power source in order to prevent dust generated when the wiring for driving power supply comes into contact with its support and wears. The department was the driving source. Further, each automatic transfer robot has a RAM (random access memory) for storing control information such as a rotation angle of a motor,
The RAM is configured to supply power from the battery section.
【０００３】また、自動搬送ロボットに太陽電池を備
え、この太陽電池から供給される電圧により動作する自
動搬送ロボットが考案されている（詳しくは特開平６−
１５５３６６号公報参照）。この種の自動搬送ロボット
は、例えば、半導体処理装置内部のロードロック室と処
理室との間に設けられている中間室に配されて、半導体
ウエハを１枚ずつ、ロードロック室から処理室へ、また
は、処理室からロードロック室へ搬送するものである。Further, an automatic transfer robot equipped with a solar cell and operated by a voltage supplied from the solar cell has been devised (see Japanese Patent Laid-Open No. 6-
(See Japanese Patent No. 155366). This kind of automatic transfer robot is arranged in, for example, an intermediate chamber provided between a load lock chamber and a processing chamber inside a semiconductor processing apparatus, and semiconductor wafers are transferred one by one from the load lock chamber to the processing chamber. Alternatively, it is transferred from the processing chamber to the load lock chamber.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のバッ
テリー部を有する自動搬送ロボットは、バッテリー部の
電圧が低下した場合には、管理者がこのバッテリー部
を、充電が完了しているバッテリー部に交換する必要が
ある。この場合、自動搬送ロボット内のＲＡＭに記憶さ
れている制御情報が失われてしまい、再起動時にアーム
部を制御するための基準点を取得しなければならず、数
分のロスタイムが生じ効率が悪いといった問題があっ
た。また上記太陽電池を備えた自動搬送ロボットは、使
用用途に制限があり、例えば、複数枚の半導体ウエハを
高速に搬送するといった大きな消費電力が要求される用
途には使用不可能であるという問題があった。本発明は
上記事情に鑑みてなされたものであり、大きな消費電力
が要求される用途にも使用でき、バッテリー部を交換し
てもロスタイムが生じない自動搬送ロボットを提供する
ことを目的とする。By the way, in the conventional automatic transfer robot having the battery unit, when the voltage of the battery unit is lowered, the administrator changes the battery unit to the fully charged battery unit. Need to be replaced. In this case, the control information stored in the RAM in the automatic transfer robot is lost, and the reference point for controlling the arm unit must be acquired at the time of restarting, resulting in a loss time of several minutes and an increase in efficiency. There was a problem of being bad. Further, the automatic transfer robot equipped with the above solar cell has a limitation in use applications, and, for example, there is a problem that it cannot be used in applications requiring large power consumption such as high speed transfer of a plurality of semiconductor wafers there were. The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an automatic transfer robot that can be used in applications requiring large power consumption and that does not cause loss time even if the battery unit is replaced.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
物品を把持する把持手段と、前記把持手段を移動させる
移動手段と、制御情報を記憶するとともに、該制御情報
に基づいて前記移動手段を制御して前記把持手段を所定
の位置に移動さる制御手段と、前記移動手段及び前記制
御手段に電力を供給する、交換可能な第１の給電手段と
を有する自動搬送ロボットにおいて、少なくとも前記制
御手段を駆動することが可能な電力を出力する第２の給
電手段と、前記第１の給電手段の出力電圧値を検出する
検出手段と、前記検出手段で検出された前記出力電圧値
が予め定められた電圧値以下である場合には、前記第２
の給電手段の出力電力を前記制御手段の駆動電力とする
切り換え手段とを具備することを特徴とするものであ
る。請求項２記載の発明は、請求項１記載の自動搬送ロ
ボットにおいて、前記第２の給電手段は光エネルギーを
電気エネルギーに変換する光電変換手段であることを特
徴とするものである。According to the first aspect of the present invention,
Holding means for holding an article, moving means for moving the holding means, and control means for storing control information and controlling the moving means based on the control information to move the holding means to a predetermined position. And an exchangeable first power supply means for supplying electric power to the moving means and the control means, the second power supply outputting electric power capable of driving at least the control means. Means, a detecting means for detecting an output voltage value of the first power feeding means, and the second voltage if the output voltage value detected by the detecting means is equal to or lower than a predetermined voltage value.
Switching means for making the output power of the power feeding means the drive power of the control means. According to a second aspect of the invention, in the automatic transport robot according to the first aspect, the second power feeding means is a photoelectric conversion means for converting light energy into electric energy.
【０００６】[0006]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
一実施形態例について説明する。図２は本発明による自
動搬送ロボットの側面図である。図２において、１は自
動搬送ロボット本体である。この自動搬送ロボット本体
１の下部は、移動を行う為の走行部２からなっている。
この走行部２は、例えば四輪の走行車輪２ａ，２ａ（他
の２つの走行車輪は図示を省略している）、及び収納部
２ｂからなるものであり、この走行車輪２ａ，２ａは回
動自在であるように収納部２ｂに取り付けられている。
また収納部２ｂには走行車輪２ａ，２ａを回動させる為
の走行部サーボモータ（図示省略）、及び上記ロボット
制御部７等が収納されている。この走行部２の上面に
は、半導体ウエハ等の製品３を一時的に載置する為の荷
受台４、製品３の移載を行う腕の機能を有するアーム部
５、及び太陽電池パネル８，８が設けられている。上記
アーム部５の先端には、手の機能を有するグリップ部６
が取り付けられている。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 is a side view of the automatic transfer robot according to the present invention. In FIG. 2, reference numeral 1 is an automatic transfer robot main body. The lower part of the automatic transfer robot body 1 is composed of a traveling unit 2 for moving.
The traveling unit 2 includes, for example, four traveling wheels 2a and 2a (the other two traveling wheels are not shown) and a storage unit 2b. The traveling wheels 2a and 2a rotate. It is attached to the storage part 2b so as to be free.
Further, the storage section 2b stores a traveling section servo motor (not shown) for rotating the traveling wheels 2a, 2a, the robot control section 7, and the like. On the upper surface of the traveling unit 2, a cargo table 4 for temporarily mounting a product 3 such as a semiconductor wafer, an arm unit 5 having an arm function for transferring the product 3, and a solar cell panel 8, 8 are provided. At the tip of the arm portion 5, a grip portion 6 having a hand function is provided.
Is attached.
【０００７】上記アーム部５は略円柱形状の取付部５ｂ
に支持されており、この取付部５ｂはその軸が上記走行
部２の上面に対して垂直になるように取り付けられてい
る。このアーム部５は、回動可能な複数の略円柱状の軸
部分５ａ1，５ａ2，５ａ3を有しており、この軸部分５
ａ2，５ａ3が回動することにより腕の上下旋回動作が行
われる。また、軸部分５ａ1が回動することにより手の
振りの動作が行われる。また、アーム部５の略円柱状の
取付部５ｂがその軸を中心として回動することにより腕
の左右旋回動作が行われる。また、上記グリップ部６の
指６ａ，６ａは互いに平行に取り付けられており、グリ
ップ部６は指６ａ，６ａの間隔を狭めることにより、製
品３を把持することができる。またロボット制御部７
は、上記アーム部５および上記走行部２を制御して、製
品３を移載する、または、自動搬送ロボット本体１を移
動させるロボット制御部である。また、８，８は室内の
照明９の光を受光して起電力を発生する太陽電池パネル
である。The arm portion 5 has a substantially cylindrical mounting portion 5b.
The mounting portion 5b is mounted so that its axis is perpendicular to the upper surface of the traveling portion 2. The arm portion 5 has a plurality of substantially cylindrical columnar shaft portions 5a 1 , 5a 2 , 5a 3 which are rotatable.
The vertical turning motion of the arm is performed by the rotation of a 2 and 5a 3 . Further, the swinging motion of the hand is performed by the rotation of the shaft portion 5a 1 . Further, the substantially columnar mounting portion 5b of the arm portion 5 rotates about its axis, whereby the arm is swung left and right. The fingers 6a, 6a of the grip portion 6 are attached in parallel with each other, and the grip portion 6 can hold the product 3 by narrowing the gap between the fingers 6a, 6a. In addition, the robot controller 7
Is a robot control unit that controls the arm unit 5 and the traveling unit 2 to transfer the product 3 or move the automatic transfer robot body 1. Reference numerals 8 and 8 denote solar cell panels that receive the light of the indoor illumination 9 and generate electromotive force.
【０００８】上記ロボット制御部７の詳細について図３
を用いて説明する。図３はロボット制御部７の構成を示
すブロック図である。図３において、ロボット制御部７
はバッテリー部２０、アーム制御部２１、及び走行制御
部２２からなるものである。上記バッテリー部２０は、
上記アーム制御部２１および走行制御部２２へ電圧の供
給を行うものであり着脱が可能である。また、上記アー
ム制御部２１は、図２中のアーム部５の軸部分５ａ1，
５ａ2，５ａ3をそれぞれ動作させるアーム部サーボモー
タ２３ａ1，２３ａ2，２３ａ3を制御するものである。
このアーム制御部２１には上述したバッテリー部２０以
外に太陽電池パネル２４からも電力が供給されている。
上記走行制御部２２は図２中の走行車輪２ａ，２ａを動
作させるための走行用サーボモータ２５，２５を制御す
るものであり、図２中の自動搬送ロボット本体１の位置
情報等からなる移動情報を記憶するＲＡＭ（図示省略）
を有する。Details of the robot controller 7 are shown in FIG.
This will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the robot controller 7. In FIG. 3, the robot controller 7
Is a battery unit 20, an arm control unit 21, and a travel control unit 22. The battery unit 20 is
It supplies voltage to the arm control unit 21 and the traveling control unit 22 and can be attached and detached. Further, the arm control unit 21 includes the shaft portion 5a 1 of the arm unit 5 in FIG.
The arm servo motors 23a 1 , 23a 2 and 23a 3 for respectively operating 5a 2 and 5a 3 are controlled.
Electric power is supplied to the arm control unit 21 not only from the battery unit 20 described above but also from the solar cell panel 24.
The traveling control unit 22 controls the traveling servomotors 25, 25 for operating the traveling wheels 2a, 2a shown in FIG. 2, and the movement based on the position information of the automatic transfer robot main body 1 shown in FIG. RAM for storing information (not shown)
Having.
【０００９】また、上述したアーム制御部２１の詳細を
図１により説明する。図１はアーム制御部２１の構成を
示すブロック図である。アーム制御部２１は電圧検知部
３０、電圧切り換え部３１、及びアーム部サーボモータ
制御部３２からなるものである。電圧検知部３０は、バ
ッテリー部２０の出力電圧値を検知するものであり、バ
ッテリー部２０の出力電圧があらかじめ設定された閾値
より低くなった場合には、切り換え信号３０ａを出力す
る。この切り換え信号３０ａは電圧切り換え部３１に入
力されている。また、この電圧切り換え部３１には、バ
ッテリー部２０及び太陽電池パネル２４から電力の供給
が行われており、上記切り換え信号３０ａに応じて、ア
ーム部サーボモータ３２に、バッテリー部２０から電力
を供給するか或いは太陽電池２４から電力を供給するか
どうかを切り換えるものである。Details of the arm control unit 21 described above will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the arm control unit 21. The arm control unit 21 includes a voltage detection unit 30, a voltage switching unit 31, and an arm servo motor control unit 32. The voltage detection unit 30 detects the output voltage value of the battery unit 20, and outputs the switching signal 30a when the output voltage of the battery unit 20 becomes lower than a preset threshold value. The switching signal 30a is input to the voltage switching unit 31. Electric power is supplied to the voltage switching unit 31 from the battery unit 20 and the solar cell panel 24, and electric power is supplied from the battery unit 20 to the arm servo motor 32 according to the switching signal 30a. Or to supply power from the solar cell 24.
【００１０】このアーム部サーボモータ制御部３２はア
ーム部サーボモータ２３ａ1，２３ａ2，２３ａ3を制御
するものであり、アーム部サーボモータ２３ａ1，２３
ａ2，２３ａ3の回転角等の制御情報を記憶するＲＡＭ
（図示省略）を有する。また、このアーム制御部２１は
警報装置（図示省略）を有しており、上記電圧検知部３
０から出力される切り換え信号３０ａに基づいて警報装
置から警報音を発することが可能である。The arm servo motor control unit 32 controls the arm servo motors 23a 1 , 23a 2 and 23a 3 , and the arm servo motors 23a 1 and 23a 23 are controlled.
RAM for storing control information such as rotation angles of a 2 and 23a 3
(Not shown). The arm control unit 21 has an alarm device (not shown), and the voltage detection unit 3 is provided.
Based on the switching signal 30a output from 0, it is possible to emit an alarm sound from the alarm device.
【００１１】上記構成において、自動搬送ロボット本体
１が製品３を搬送する際の動作は以下の通りである。ま
ず、図３中の走行制御部２２が走行用サーボモータ２
５，２５を動作させて、図２中の走行車輪２ａ，２ａを
回転させ、搬送する製品３が置かれている場所の近傍へ
搬送ロボット本体１を移動させる。次に、図３中のアー
ム制御部２１はアーム部サーボモータ２３ａ1，２３
ａ2，２３ａ3を所定量回転させ、図１中のグリップ部６
の指６ａ，６ａの間に製品３が位置するように制御し、
製品３を指６ａ，６ａにより把持する。そして、アーム
部サーボモータ２３ａ1，２３ａ2，２３ａ3を所定量回
転させ、グリップ部６が荷受台４の上部近傍に位置する
ようにし、製品３が荷受台４に接触するまでグリップ部
６を鉛直下方向に降ろすと製品３の積載が完了する。な
お、搬送する製品３を複数積載する場合は上記動作が繰
り返される。In the above structure, the operation of the automatic transfer robot body 1 when the product 3 is transferred is as follows. First, the traveling control unit 22 in FIG.
5, 25 are operated to rotate the traveling wheels 2a, 2a in FIG. 2 to move the transfer robot main body 1 to the vicinity of the place where the product 3 to be transferred is placed. Next, the arm control unit 21 in FIG. 3 operates the arm servo motors 23a 1 and 23a.
a 2 and 23 a 3 are rotated by a predetermined amount, and the grip portion 6 in FIG.
Control so that the product 3 is positioned between the fingers 6a, 6a of the
The product 3 is gripped by the fingers 6a, 6a. Then, the arm servomotors 23a 1 , 23a 2 , 23a 3 are rotated by a predetermined amount so that the grip portion 6 is located in the vicinity of the upper portion of the load receiving tray 4, and the grip portion 6 is moved until the product 3 comes into contact with the load receiving tray 4. The loading of the products 3 is completed when the product 3 is vertically lowered. When a plurality of products 3 to be conveyed are stacked, the above operation is repeated.
【００１２】次に図３中の走行制御部２２は走行用サー
ボモータ２５，２５を動作させ、搬送ロボット本体１
を、あらかじめ定められた製品３の搬送先近傍まで移動
させる。次に、図３中のアーム制御部２１はアーム部サ
ーボモータ２３ａ1，２３ａ2，２３ａ3を所定量回転さ
せ、グリップ部６の指６ａ，６ａに、荷受台４上に載置
されている製品３を把持させる。そして、アーム部サー
ボモータ２３ａ1，２３ａ2，２３ａ3を所定量回転さ
せ、搬送先に製品３を積み降ろす。Next, the traveling control unit 22 in FIG. 3 operates the traveling servomotors 25, 25, and the transport robot main body 1
Is moved to the vicinity of the predetermined destination of the product 3. Next, the arm control unit 21 in FIG. 3 rotates the arm servo motors 23a 1 , 23a 2 and 23a 3 by a predetermined amount, and the fingers 6a and 6a of the grip unit 6 are placed on the load receiving table 4. Hold the product 3. Then, the arm servo motors 23a 1 , 23a 2 , 23a 3 are rotated by a predetermined amount to load and unload the product 3 on the destination.
【００１３】搬送中、積載中、及び積み降ろし中に限ら
ず、バッテリー部２０から供給される電圧があらかじめ
設定された閾値より低くなった場合は、図１中の電圧検
知部３０は電圧低下を検知して切り換え信号３０ａを出
力する。そして、この切り換え信号３０ａに基づいて警
報音が発せられると共に、電圧切り換え部３１において
アーム部サーボモータ制御部３２への電力供給源は、太
陽電池パネル２４に切り換えられる。この警報音によ
り、管理者はバッテリー部２０を交換する旨を察し、充
電が完了されているバッテリー部２０に交換する。バッ
テリー部２０を交換する際、アーム部サーボモータ制御
部３２への電力供給源は太陽電池パネル２４に切り換ら
れているので、このアーム部サーボモータ制御部３２が
有するＲＡＭ中に記憶されている制御情報は保持される
ことになる。When the voltage supplied from the battery section 20 becomes lower than a preset threshold value, the voltage detection section 30 in FIG. It detects and outputs the switching signal 30a. Then, an alarm sound is emitted based on the switching signal 30a, and the power supply source to the arm servo motor control unit 32 in the voltage switching unit 31 is switched to the solar cell panel 24. With this alarm sound, the administrator knows that the battery unit 20 is to be replaced, and replaces it with the battery unit 20 that has been charged. When the battery unit 20 is replaced, the power supply source to the arm servo motor control unit 32 is switched to the solar cell panel 24, and therefore is stored in the RAM of the arm servo motor control unit 32. The control information will be retained.
【００１４】バッテリー部２０が交換されると、図１中
の電圧検知部３０はバッテリー部２０から供給される電
圧が上記閾値以上であるこを検知し、切り換え信号３０
ａを停止すると共に、電圧切り換え部３１においてアー
ム部サーボモータ制御部３２への電圧供給源がバッテリ
ー部２０に切り換えられる。そして、図１中の自動搬送
ロボット本体１は、再び上述した製品３の搬送を行う。When the battery unit 20 is replaced, the voltage detecting unit 30 in FIG. 1 detects that the voltage supplied from the battery unit 20 is equal to or higher than the threshold value, and the switching signal 30
While stopping a, the voltage switching unit 31 switches the voltage supply source to the arm servo motor control unit 32 to the battery unit 20. Then, the automatic transfer robot body 1 in FIG. 1 again transfers the product 3 described above.
【００１５】上述したように、本実施形態によれば、バ
ッテリー部２０の電圧が低下した場合でも、太陽電池パ
ネル２４からアーム部サーボモータ制御部３２に電力供
給されるので、アーム部サーボモータ制御部３２内のＲ
ＡＭに記憶されている制御情報を保持することが可能と
なる。従って、バッテリー部２０交換の際の制御情報の
初期化が不要となり、自動搬送ロボット本体１の最起動
時におけるロスタイムが生じないようにすることができ
る。As described above, according to the present embodiment, even when the voltage of the battery section 20 is lowered, power is supplied from the solar cell panel 24 to the arm section servo motor control section 32. Therefore, the arm section servo motor control is performed. R in section 32
It becomes possible to hold the control information stored in the AM. Therefore, it is not necessary to initialize the control information when replacing the battery unit 20, and it is possible to prevent the loss time when the automatic transfer robot body 1 is restarted.
【００１６】[0016]
【発明の効果】以上説明したように、この発明による自
動搬送ロボットにおいては、第２の給電手段が設けら
れ、検出手段が第１の給電部の電圧を検出して検出信号
を出力しし、この検出信号に応じて切り換え手段が第１
の給電手段及び第２の給電手段を切り換えている。これ
により、制御手段に記憶されている制御情報を保持する
ことができるという効果がある。As described above, in the automatic transfer robot according to the present invention, the second power feeding means is provided, and the detecting means detects the voltage of the first power feeding portion and outputs the detection signal, The switching means is the first in accordance with the detection signal.
The power feeding means and the second power feeding means are switched. Thereby, there is an effect that the control information stored in the control means can be held.
【図１】アーム制御部２１の構成を示すブロック図であ
る。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an arm control unit 21.
【図２】本発明による自動搬送ロボットの側面図であ
る。FIG. 2 is a side view of an automatic transfer robot according to the present invention.
【図３】ロボット制御部７の構成を示すブロック図であ
る。FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a robot controller 7.
２０ バッテリー部 ２４ 太陽電池パネル ３０ 電圧検知部 ３１ 電圧切り換え部 ３２ アーム部サーボモータ制御部 ２３ａ1，２３ａ2，２３ａ3 アーム部サーボモータ20 Battery Section 24 Solar Cell Panel 30 Voltage Detection Section 31 Voltage Switching Section 32 Arm Section Servo Motor Control Section 23a 1 , 23a 2 , 23a 3 Arm Section Servo Motor
Claims (2)
段を移動させる移動手段と、制御情報を記憶するととも
に、該制御情報に基づいて前記移動手段を制御して前記
把持手段を所定の位置に移動さる制御手段と、前記移動
手段及び前記制御手段に電力を供給する、交換可能な第
１の給電手段とを有する自動搬送ロボットにおいて、 少なくとも前記制御手段を駆動することが可能な電力を
出力する第２の給電手段と、 前記第１の給電手段の出力電圧値を検出する検出手段
と、 前記検出手段で検出された前記出力電圧値が予め定めら
れた電圧値以下である場合には、前記第２の給電手段の
出力電力を前記制御手段の駆動電力とする切り換え手段
とを具備することを特徴とする自動搬送ロボット。1. A gripping means for gripping an article, a moving means for moving the gripping means, and control information stored therein, and controlling the moving means based on the control information to position the gripping means at a predetermined position. In an automatic transfer robot having a control means that moves to a second position and a replaceable first power feeding means that supplies electric power to the moving means and the control means, at least output electric power capable of driving the control means. Second power supply means, a detection means for detecting the output voltage value of the first power supply means, and the output voltage value detected by the detection means is equal to or less than a predetermined voltage value, An automatic transfer robot comprising: a switching unit that uses the output power of the second power supply unit as the drive power of the control unit.
気エネルギーに変換する光電変換手段であることを特徴
とする請求項１記載の自動搬送ロボット。2. The automatic transfer robot according to claim 1, wherein the second power supply unit is a photoelectric conversion unit that converts light energy into electric energy.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22237595A JP3179681B2 (en) | 1995-08-30 | 1995-08-30 | Automatic transfer robot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22237595A JP3179681B2 (en) | 1995-08-30 | 1995-08-30 | Automatic transfer robot |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0966478A true JPH0966478A (en) | 1997-03-11 |
| JP3179681B2 JP3179681B2 (en) | 2001-06-25 |
Family
ID=16781377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22237595A Expired - Fee Related JP3179681B2 (en) | 1995-08-30 | 1995-08-30 | Automatic transfer robot |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3179681B2 (en) |
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- 1995-08-30 JP JP22237595A patent/JP3179681B2/en not_active Expired - Fee Related
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