JP2524393B2 - Carrier transfer device - Google Patents
Carrier transfer deviceInfo
- Publication number
- JP2524393B2 JP2524393B2 JP6710389A JP6710389A JP2524393B2 JP 2524393 B2 JP2524393 B2 JP 2524393B2 JP 6710389 A JP6710389 A JP 6710389A JP 6710389 A JP6710389 A JP 6710389A JP 2524393 B2 JP2524393 B2 JP 2524393B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- hand unit
- pair
- members
- stocker
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 キャリヤ搬送装置に関し、 ストッカーに対するキャリヤの取り出し、収納の自在
性の拡大を可能とすることを目的とし、 略Ｕ字状をなし、開口部より外側に張り出したフラン
ジ部を有するキャリヤ搬送する装置であって、水平で且
つ平行に並んだ状態の一対のフィンガー部材と、該フィ
ンガー部材を先端に有する一対のリンク部材と、該フィ
ンガー部材が近接離間するように該リンク部材を駆動す
る駆動機構とよりなり、該一対のフィンガー部材が接近
して上記キャリヤの両側面のうち上記フランジ部の下側
を挟んで上記キャリヤを横から支持するハンドユニット
と、該ハンドユニットを、上記一対のフィンガー部材を
水平に維持したまま三次元的に移動させる機構とより構
成する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Outline] The present invention relates to a carrier transport device, which has a substantially U-shape and is projected outward from an opening for the purpose of expanding the flexibility of taking out and storing a carrier from a stocker. An apparatus for transporting a carrier having a flange portion, wherein a pair of horizontal and parallel finger members, a pair of link members having the finger members at their tips, and a pair of finger members that are close to and separated from each other are provided. A hand unit configured to drive a link member, the pair of finger members approaching each other, and laterally supporting the carrier by sandwiching the lower side of the flange portion on both side surfaces of the carrier; and the hand unit. Is configured with a mechanism for moving the pair of finger members in a three-dimensional manner while maintaining the finger members horizontally.
本発明はキャリヤ搬送装置に関する。 The present invention relates to a carrier transport device.
半導体製造には第７図に示すようなキャリヤ１が補助
具として使用される。キャリヤ１は、二点鎖線で示すよ
うにウエハを面対向させて保持するのに使用される。In semiconductor manufacturing, a carrier 1 as shown in FIG. 7 is used as an auxiliary tool. The carrier 1 is used to hold the wafer in a face-to-face relationship as shown by a chain double-dashed line.
キャリヤ１は略Ｕ字状をなし、上側のウエハ出し入れ
開口部２より外側に張り出したフランジ部3,4を有する
形状である。5,6は側面である。7,8は側面の開口、９は
底面の開口である。The carrier 1 has a substantially U shape, and has a flange portion 3 and a portion 4 which protrudes outward from the upper wafer loading / unloading opening 2. 5,6 are sides. 7 and 8 are side openings, and 9 is a bottom opening.
このキャリヤ１は、ウエハ処理工程において及び使用
済のキャリヤを洗浄する工程において、更にはキャリヤ
をストッカーに対して出し入れする工程において搬送さ
れる。The carrier 1 is transported in the wafer processing step, the step of cleaning the used carrier, and the step of loading / unloading the carrier into / from the stocker.
キャリヤ搬送装置としては、例えばストッカーに対す
る出し入れの自在性がある構造であることが望ましい。As the carrier transporting device, it is desirable that the carrier transporting device has such a structure that it can be freely taken in and out of the stocker.
第８図は従来例を示す。 FIG. 8 shows a conventional example.
10はハンドユニットである。ハンドユニット10はキャ
リヤを吊り下げて支持する構成であり、下方に向く一対
の鉤状アーム11,12及びこのアーム11,12を開くように動
かす駆動機構13を有する。10 is a hand unit. The hand unit 10 is configured to suspend and support a carrier, and has a pair of hook-shaped arms 11 and 12 facing downward and a drive mechanism 13 that moves the arms 11 and 12 to open.
ハンドユニット10は水平レール14に矢印Ａ方向に移動
可能に設けた移動台15の下側に設けてある。水平レール
14は矢印Ｂで示すように上下方向に移動可能である。The hand unit 10 is provided on the lower side of a moving table 15 provided on the horizontal rail 14 so as to be movable in the direction of arrow A. Horizontal rail
14 is movable up and down as shown by arrow B.
第８図はハンドユニット10をキャリヤ１の洗浄装置に
適用した例を示す。FIG. 8 shows an example in which the hand unit 10 is applied to a cleaning device for the carrier 1.
ハンドユニット10は、鉤状アーム11,12が二点鎖線で
示すすぼまった状態で、下降してストッカー16内の使用
済キャリヤの内側に入る。この後、駆動機構13が動作し
て鉤状アーム11,12が広がるように回動してキャリヤ１
の開口7,8に嵌合してキャリヤ１を掛止する。The hand unit 10 descends and enters the inside of the used carrier in the stocker 16 in a state where the hook-shaped arms 11 and 12 are in a recessed state shown by a chain double-dashed line. After that, the drive mechanism 13 operates to rotate the hook-shaped arms 11 and 12 so as to spread, and the carrier 1
The carrier 1 is hooked by fitting into the openings 7, 8 of the carrier 1.
この後、レール14及び移動台15が規則的に移動し、キ
ャリヤ１はハンドユニット10に吊り下げられた状態で二
点鎖線で示すように移動し、洗浄槽17,水洗槽18,乾燥槽
19を経て、最後は下降してストッカー20内に上方より収
容される。After that, the rails 14 and the moving table 15 move regularly, and the carrier 1 is moved in a state of being suspended by the hand unit 10 as shown by the chain double-dashed line, and the washing tank 17, the washing tank 18, the drying tank.
After going through 19, it finally descends and is accommodated in the stocker 20 from above.
ハンドユニット10はキャリヤ１を上方から吊り下げて
支える構成であるため、キャリヤ１をストッカーより取
り出したり収納したりするときの動きは必ず垂直方向に
限定され、必ず上方からとなる。Since the hand unit 10 is configured to suspend and support the carrier 1 from above, the movement when the carrier 1 is taken out from the stocker or stored is always limited to the vertical direction, and always from above.
このため、取り出し、収納の自在性が少なく、ストッ
カーは符号16,20で示すようにキャリヤ収納部21が平面
的に並んだ構造に限定される。この構成のストッカーは
キャリヤ収納量が少ない。Therefore, there is little flexibility in taking out and storing, and the stocker is limited to a structure in which the carrier storing portions 21 are arranged in a plane as shown by reference numerals 16 and 20. The stocker of this structure has a small carrier storage capacity.
本発明はストッカーに対するキャリヤの取り出し、収
納の自在性の拡大を可能としたキャリヤ搬送装置を提供
することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a carrier transfer device capable of expanding the flexibility of taking out and storing a carrier from a stocker.
本発明は、略Ｕ字状をなし、開口部の両側の淵より夫
々外側に張り出した２つのフランジ部を有するキャリヤ
を搬送する装置であって、 ハンドユニットと、該ハンドユニットを三次元的に移
動させる移動機構とよりなり、 該ハンドユニットは、垂直の面内で回動可能な一対の
リンク部材と、各リンク部材の先端に固定してあり、上
記キャリヤの２つのフランジ部の間隔より離れて、水平
で且つ平行に並んだ状態の一対のフィンガー部材と、該
一対の該フィンガー部材が互いに接近し又互いに離れる
ように上記一対のリンク部材を回動させる駆動機構とよ
りなり、該駆動機構により該一対のリンク部材が回動さ
れて、該一対のフィンガー部材が上記キャリヤの２つの
フランジ部の外側から接近して、上記キャリヤの横側か
ら上記フランジ部の下側に入り込んで、上記キャリヤの
両側面のうち上記フランジ部の下側を挟んでキャリヤを
横から支持する構成であり、 上記移動機構は、上記一対のフィンガー部材を水平に
維持したまま該ハンドユニットを移動させる構成である
構成としたものである。The present invention is a device for transporting a carrier having a substantially U-shape and having two flange portions that project outward from the edges on both sides of the opening. The hand unit and the hand unit are three-dimensionally The hand unit includes a pair of link members that are rotatable in a vertical plane and fixed to the tips of the link members, and the hand unit is separated from the gap between the two flange portions of the carrier. And a driving mechanism for rotating the pair of link members such that the pair of finger members are arranged horizontally and parallel to each other and the pair of finger members approach and separate from each other. The pair of link members are rotated by the pair of finger members so that the pair of finger members come close to each other from the outside of the two flange portions of the carrier, and the side portions of the flange portion of the carrier are provided from the lateral side of the carrier. The carrier is laterally supported by sandwiching the lower side of the flange portion on both sides of the carrier, and the moving mechanism holds the pair of finger members horizontally while maintaining the hand unit. Is configured to be moved.
キャリヤを横から支持してそのままの状態で三次元的
に移動するため、キャリヤをストッカーに出し入れする
ときの自在性が拡大する。Since the carrier is supported from the side and moves three-dimensionally as it is, the flexibility in loading and unloading the carrier is expanded.
これにより、キャリヤ収納部が立体的に配されたスト
ッカーにも適用が可能となる。As a result, the present invention can be applied to a stocker in which the carrier accommodating portion is three-dimensionally arranged.
第１図は本発明の一実施例になるキャリヤ搬送装置を
示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a carrier transfer device according to an embodiment of the present invention.
30はハンドユニットである。 30 is a hand unit.
31,32はリンク部材であり、夫々軸31a,32bにアーム31
b,32b及び二叉状アーム31c,32cが固定された構成であ
り、軸31a,31bを、略台形状のユニットベース33の左右
側に取り付けられて設けてある。Reference numerals 31 and 32 are link members, and the arm 31 is attached to the shafts 31a and 32b, respectively.
The b and 32b and the bifurcated arms 31c and 32c are fixed, and the shafts 31a and 31b are provided by being attached to the left and right sides of a substantially trapezoidal unit base 33.
アーム31b,32bはユニットベース33より下方に寸法ｌ
延出している。Arms 31b and 32b have a dimension l below the unit base 33.
It is extended.
34,35は一対のフィンガー部材であり、上記アーム31
b,32bの先端に植設してあり、水平で且つ平行に並んで
いる。34 and 35 are a pair of finger members, and the arm 31
Planted at the tips of b and 32b, they are arranged horizontally and in parallel.
36は駆動機構としてのエアシリンダであり、ユニット
ベース33の上部に上下逆向きで固定してある。36 is an air cylinder as a drive mechanism, which is fixed to the upper part of the unit base 33 in the upside down direction.
エアシリンダ36のピストンロッド37にピン38が植設し
てあり、このピン38に二叉状アーム31c,32cが係合して
いる。A pin 38 is embedded in a piston rod 37 of the air cylinder 36, and the fork-shaped arms 31c and 32c are engaged with the pin 38.
エアシリンダ36にはその動作位置を検出するリミット
スイッチ39,40が設けてある。The air cylinder 36 is provided with limit switches 39 and 40 for detecting its operating position.
ハンドユニット30は、動作前では、ピストンロッド37
が下方に突出しており、リンク部材31が時計方向、リン
ク部材32が反時計方向に回動しており、フィンガー部材
34,35は二点鎖線で示すように離れて位置している。Before operating the hand unit 30, the piston rod 37
Are projected downward, the link member 31 is rotated clockwise, and the link member 32 is rotated counterclockwise.
34 and 35 are located apart as shown by the chain double-dashed line.
ハンドユニット30が後述する機構により移動されてフ
ィンガー部材34,35が搬送すべきキャリヤ１の両側に対
向する状態とされる。The hand unit 30 is moved by a mechanism which will be described later so that the finger members 34 and 35 face both sides of the carrier 1 to be conveyed.
この状態でエアシリンダ36を駆動させる。これにより
ピストンロッド37が上方に変位し、リンク部材31が反時
計方向に回動され、リンク部材32が時計方向に回動さ
れ、フィンガーロッド34,35が接近し、キャリヤ１の側
面5,6のうちフランジ3,4の下側の部位を挾み込み、キャ
リヤ１を横方向から支持する。In this state, the air cylinder 36 is driven. As a result, the piston rod 37 is displaced upward, the link member 31 is rotated counterclockwise, the link member 32 is rotated clockwise, the finger rods 34, 35 approach, and the side surfaces 5, 6 of the carrier 1 are moved. The lower parts of the flanges 3 and 4 are sandwiched to support the carrier 1 from the lateral direction.
ハンドユニット30は後述するようにフィンガー部材3
4,35が水平を維持したまま移動されるものであり、キャ
リヤ１は第１図に示す水平姿勢を保って搬送される。The hand unit 30 has a finger member 3 as described later.
4, 35 are moved while maintaining the horizontal state, and the carrier 1 is conveyed while maintaining the horizontal posture shown in FIG.
エアシリンダ36を逆方向に駆動すると、ピストンロッ
ド37が下動し、リンク部材31,32が二点鎖線で示すよう
に回動し、フィンガー部材34,35が二点鎖線で示すよう
に互いに離間し、キャリヤ１は挾持を解除される。When the air cylinder 36 is driven in the opposite direction, the piston rod 37 moves downward, the link members 31, 32 rotate as shown by the chain double-dashed line, and the finger members 34, 35 move away from each other as shown by the chain double-dashed line. Then, the carrier 1 is released from holding.
上記の寸法ｌが約120mmと長く、キャリヤ１はハンド
ユニット30よりも一段低い位置で支持される。Since the dimension 1 is as long as about 120 mm, the carrier 1 is supported at a position lower than the hand unit 30.
これにより、ハンドユニット30は処理槽外に位置し、
キャリヤ１だけが処理槽内に入ってウエハの処理が行わ
れる。As a result, the hand unit 30 is located outside the processing tank,
Only the carrier 1 enters the processing tank and the wafer is processed.
50はハンドユニットを三次元的に移動させる機構であ
り、モータ51,エアシリンダ52,ロータリアクチュエータ
53等とよりなる。50 is a mechanism for moving the hand unit three-dimensionally, including a motor 51, an air cylinder 52, and a rotary actuator.
It consists of 53 mag.
54はネジ付のポールであり、垂直に設けてあり、モー
タ51により回転される。54 is a pole with a screw, which is provided vertically and is rotated by the motor 51.
55は立方体状のナット部であり、ネジ付ポール54に螺
合している。Reference numeral 55 is a cube-shaped nut portion, which is screwed into the threaded pole 54.
56はアームであり、ナット部55に固定されてＹ方向に
延出している。56 is an arm, which is fixed to the nut portion 55 and extends in the Y direction.
アーム56の先端に、ハンドユニット30が吊下げ状態で
支持してある。即ちエアシリンダ36の頂部に固定された
軸59をアーム57の先端に回転可能に軸支されて設けてあ
る。The hand unit 30 is supported by the tip of the arm 56 in a suspended state. That is, a shaft 59 fixed to the top of the air cylinder 36 is rotatably supported by the tip of the arm 57.
第２図に併せて示すようにアーム57内に組み込んであ
るロータリアクチュエータ53の出力軸のプーリ60と上記
軸59に固定されたプーリ61との間にタイミングベルト62
が張架してある。As also shown in FIG. 2, the timing belt 62 is provided between the pulley 60 of the output shaft of the rotary actuator 53 incorporated in the arm 57 and the pulley 61 fixed to the shaft 59.
Is stretched.
ネジ付ポール54は、エアシリンダ52により移動される
移動ベース63上に設けてある。The threaded pole 54 is provided on the moving base 63 that is moved by the air cylinder 52.
64はエンコーダである、モータ51の回転を検出して、
ナット部55のＺ方向上の位置を検出する。64 is an encoder, detects the rotation of the motor 51,
The position of the nut portion 55 in the Z direction is detected.
上記構成の移動機構50は以下に述べるように移動す
る。The moving mechanism 50 having the above structure moves as described below.
モータ51が駆動すると、ネジ付ポール54が回転し、ア
ーム56がナット55と共に上下動し、ハンドユニット30が
Ｚで示す上下方向に移動される。When the motor 51 is driven, the threaded pole 54 rotates, the arm 56 moves up and down together with the nut 55, and the hand unit 30 moves in the vertical direction indicated by Z.
エアシリンダ52が駆動されると、移動ベース63がＸ方
向に移動され、ハンドユニット30がＸ方向に移動され
る。When the air cylinder 52 is driven, the moving base 63 is moved in the X direction and the hand unit 30 is moved in the X direction.
従って、モータ51及びエアシリンダ52の駆動により、
ハンドユニット50はＸ−Ｚ平面内を移動する。Therefore, by driving the motor 51 and the air cylinder 52,
The hand unit 50 moves in the XZ plane.
またロータリアクチュエータ63の駆動によりプール6
0,タイミングベルト62,プーリ61を介して、ハンドユニ
ット30は軸59を中心に180度旋回される。The rotary actuator 63 drives the pool 6
The hand unit 30 is rotated 180 degrees about the shaft 59 via the 0, the timing belt 62, and the pulley 61.
即ち、ハンドユニット30は、フィンガー部材34,35を
水平に維持した状態で、Ｘ−Ｚ平面内を移動され、且つ
軸59を中心に180度旋回される。That is, the hand unit 30 is moved in the XZ plane while the finger members 34 and 35 are kept horizontal, and is rotated 180 degrees about the axis 59.
次に上記のキャリヤ搬送装置に適用されるストッカー
及びキャリヤ搬送装置によってキャリヤをストッカーに
収納するときの動作について説明する。Next, the operation of storing the carrier in the stocker by the stocker and the carrier transfer device applied to the above carrier transfer device will be described.
第３図及び第４図に示すように、ストッカー70は、六
角柱体71の角側面より一対の支持ロッド72,73が突出
し、且つ支持ロッド72,73が複数段に設けられた構成で
ある。即ち、ストッカー70は、キャリヤ収納部74が六角
柱体71の周囲に同じ高さ位置に６個所、且つ高さを違え
て複数段に設けられて立体的に設けられた構成である。As shown in FIG. 3 and FIG. 4, the stocker 70 has a configuration in which a pair of support rods 72, 73 project from the corner side surface of the hexagonal prism 71 and the support rods 72, 73 are provided in a plurality of stages. . That is, the stocker 70 has a structure in which the carrier storage portions 74 are three-dimensionally provided around the hexagonal columnar body 71 at six positions at the same height position and in a plurality of stages with different heights.
ハンドユニット30とストッカー70とは、軸59を通りＸ
軸と平行な線75にストッカー70の中心70aを一致させた
配置で設けてある。The hand unit 30 and the stocker 70 pass through the axis 59 and X
The center 70a of the stocker 70 is provided so as to match the line 75 parallel to the axis.
キャリヤ１を支持しているハンドユニット30は、ロー
タリアクチュエータ53により180度旋回され、エアシリ
ンダ52によりストッカー70に横方向から近づき、キャリ
ヤ１に対するクランプを解除する。これより、キャリヤ
１は、第５図に示すように、フランジ部3,4を支持ロッ
ド72,73に支持されて、一のキャリヤ収納部74−１に収
納される。The hand unit 30 supporting the carrier 1 is swung 180 degrees by the rotary actuator 53, approaches the stocker 70 laterally by the air cylinder 52, and releases the clamp on the carrier 1. Than this, the carrier 1, as shown in Figure 5, is supported flanges 3,4 to the support rods 72 and 73 are housed on one of the carrier storage portion 74- 1.
次にハンドユニット30は次のキャリヤ１を搬送してき
て、第４図に示すようにキャリヤ収納部74−１の直ぐ下
側のキャリヤ収納部74−２に対向する高さに到り、キャ
リヤ１はキャリヤ収納部74−２に収納される。Then the hand unit 30 is been conveyed the following carrier 1, led to a height facing the carrier housing portion 74-carrier housing portion 74 - 2 of the immediately lower 1 as shown in FIG. 4, the carrier 1 It is housed in the carrier housing portion 74 - 2.
上記より分かるように、ハンドユニット30が水平のフ
ィンガー部材34,35によりキャリヤ１を横方向より支持
する構成であり、且つハンドユニット30がキャリヤ１を
水平に支持した状態で移動させる構成であるため、スト
ッカーに横方向から近ずくことが可能となり、キャリヤ
のストッカーへの収納の局在性が従来のものに比べて拡
大する。これにより、ストッカー70をキャリヤ収納部74
が立体的に配された構成とし得、多くの数のキャリヤ１
を狭いスペース内に収納することが可能となる。As can be seen from the above, the hand unit 30 is configured to horizontally support the carrier 1 by the horizontal finger members 34 and 35, and the hand unit 30 is configured to move the carrier 1 while horizontally supporting the carrier 1. , It becomes possible to approach the stocker from the lateral direction, and the localization of the storage of the carrier in the stocker is expanded as compared with the conventional one. As a result, the stocker 70 is stored in the carrier storage section 74.
Can be three-dimensionally arranged, and a large number of carriers 1
Can be stored in a narrow space.
第６図は本発明のキャリヤ搬送装置をキャリヤ洗浄装
置に適用した例を示す。FIG. 6 shows an example in which the carrier conveying device of the present invention is applied to a carrier cleaning device.
80は第１のキャリヤ搬送装置である。 80 is a first carrier transfer device.
81は第２のキャリヤ搬送装置である。 81 is a second carrier transfer device.
82は第３のキャリヤ搬送装置である。 Reference numeral 82 is a third carrier transfer device.
83はシーケンサー、84,85はコントローラである。 83 is a sequencer and 84 and 85 are controllers.
第1,第３のキャリヤ搬送装置80,82は第１図に示すも
のと同一構成であり、対応する部分には添字a,bを付し
た同一符号を示し、その説明は省略する。The first and third carrier transfer devices 80 and 82 have the same structure as that shown in FIG. 1, and corresponding parts are denoted by the same reference numerals with subscripts a and b, and the description thereof is omitted.
中央の第２のキャリヤ搬送装置81において86はハンド
ユニット、87はハンドユニット86を横方向に移動させる
ロッドレスシリンダ、88はハンドユニットを上下動させ
るエアシリンダである。In the second carrier transfer device 81 at the center, 86 is a hand unit, 87 is a rodless cylinder for moving the hand unit 86 in the lateral direction, and 88 is an air cylinder for vertically moving the hand unit.
第１のキャリヤ搬送装置80は、ストッカー90より一の
使用済であり汚れているキャリヤを取り出して洗浄槽91
に入れて洗浄する。The first carrier transfer device 80 takes out one used and dirty carrier from the stocker 90 and removes it from the cleaning tank 91.
Put in and wash.
洗浄されたキャリヤは第１のキャリヤ搬送装置80から
第２のキャリヤ搬送装置81に受け渡され、この装置81に
より搬送されて水洗槽92で水洗される。The cleaned carrier is transferred from the first carrier transfer device 80 to the second carrier transfer device 81, is transferred by this device 81, and is washed in the washing tank 92.
水洗されたキャリヤは装置81から第３の装置82に受け
渡されこの装置82により搬送されて乾燥槽93で乾燥さ
れ、その後、ストッカー94に収納される。The washed carrier is transferred from the device 81 to the third device 82, conveyed by the device 82, dried in the drying tank 93, and then stored in the stocker 94.
このキャリヤ洗浄装置では、各処理毎にキャリヤ搬送
装置が別々に設けてあり、各処理工程がキャリヤ搬送装
置についてみると分離してあり、一の処理工程の汚染が
その次の工程に移ることが防止できる。In this carrier cleaning device, a carrier transfer device is provided separately for each process, and each process step is separated when it comes to the carrier transfer device, and contamination of one process step can be transferred to the next step. It can be prevented.
以上説明した様に、本発明によれば、キャリヤの２つ
のフランジ部の間隔より離れて、水平で且つ平行に並ん
だ状態の一対のフィンガー部材が、駆動機構により一対
のリンク部材が回動されることによって、キャリヤの２
つのフランジ部の外側から接近して、キャリヤの横側か
らフランジ部の下側に入り込んで、キャリヤの両側面の
うちフランジ部の下側を挟んでキャリヤを横から支持す
る構成であるため、一対のフィンガー部材がキャリヤを
支持する動作のために空間内を移動する距離が短くて済
み、よって、キャリヤを支持する動作のためにキャリヤ
の周りに必要とされる空間を狭く出来る。また、キャリ
ヤを支持するためにはハンドユニットを移動させなくよ
く、よって、その分、移動機構の動作を少なく出来、ま
た、構成の簡単化を図ることが出来る。また、フィンガ
ー部材は、フランジ部の縁を係止する必要はなく、フラ
ンジ部の下側に入り込んで、単にフランジ部を下側から
支えるだけであるので、フィンガー部材の形状は自由に
出来る。また、キャリヤを横から支持してそのままの状
態で三次元的に移動する構成であるため、キャリヤをス
トッカーに出し入れするときの自在性を拡大することが
出来る。これにより、キャリヤ収納部が立体的に配され
たストッカーにも適用することが出来る。As described above, according to the present invention, the pair of finger members in a state of being arranged horizontally and in parallel apart from the space between the two flange portions of the carrier causes the pair of link members to be rotated by the drive mechanism. 2 of the carrier by
Since the two flange portions approach each other and enter the lower side of the flange portion from the lateral side of the carrier, and sandwich the lower side of the flange portion on both side surfaces of the carrier, the carrier is laterally supported. The finger members need to travel a short distance in the space for supporting the carrier, thus reducing the space required around the carrier for supporting the carrier. Further, the hand unit does not have to be moved in order to support the carrier, and accordingly, the movement mechanism can be operated less, and the configuration can be simplified. In addition, the finger member does not need to lock the edge of the flange portion, but only enters the lower side of the flange portion and merely supports the flange portion from the lower side. Therefore, the finger member can have any shape. Further, since the carrier is laterally supported and three-dimensionally moved in the state of being supported as it is, it is possible to expand the flexibility when the carrier is taken in and out of the stocker. As a result, the present invention can be applied to a stocker in which the carrier accommodating portion is three-dimensionally arranged.
第１図は本発明の一実施例になるキャリヤ搬送装置を示
す斜視図、 第２図は第１図に示す装置の平面図、 第３図は第１図に示す装置のキャリヤ搬送動作の１例を
示す平面図、 第４図は第３図中一部の立面図、 第５図はキャリヤのストッカーへの収納状態を示す図、 第６図は本発明のキャリヤ搬送装置をキャリヤ洗浄装置
に適用した例を示す図、 第７図はキャリヤの斜視図、 第８図はキャリヤ搬送装置の従来例を示す図である。 図において、 １はキャリヤ、 ２は開口部、 3,4はフランジ部、 5,6は側面、 30はハンドユニット、 31,32はリンク部材、 31a,32a,59は軸、 31b,32b,56はアーム、 31c,32cは二叉状アーム、 33はユニットベース、 34,35はフィンガー部材、 36はエアシリンダ、 50はハンドユニット移動機構、 51はモータ、 52はエアシリンダ、 53はロータリアクチュエータ、 54はネジ付ポール、 55はナット部、 60,61はプーリ、 62はタイミングベルト、 63は移動ベース、 70はストッカー、 72,73は支持ロッド、 74はキャリヤ収納部 を示す。FIG. 1 is a perspective view showing a carrier conveying apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of the apparatus shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a carrier conveying operation of the apparatus shown in FIG. FIG. 4 is a plan view showing an example, FIG. 4 is an elevation view of a part of FIG. 3, FIG. 5 is a view showing a state where the carrier is stored in a stocker, and FIG. FIG. 7 is a perspective view of a carrier, and FIG. 8 is a view showing a conventional example of a carrier carrying device. In the figure, 1 is a carrier, 2 is an opening, 3 and 4 are flanges, 5 and 6 are side surfaces, 30 is a hand unit, 31 and 32 are link members, 31a, 32a and 59 are shafts, 31b, 32b and 56. Is an arm, 31c and 32c are forked arms, 33 is a unit base, 34 and 35 are finger members, 36 is an air cylinder, 50 is a hand unit moving mechanism, 51 is a motor, 52 is an air cylinder, 53 is a rotary actuator, 54 is a threaded pole, 55 is a nut part, 60 and 61 are pulleys, 62 is a timing belt, 63 is a moving base, 70 is a stocker, 72 and 73 are support rods, and 74 is a carrier storage part.
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−154139（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−213690（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−63938（ＪＰ，Ｕ)Continuation of the front page (56) References JP-A 61-154139 (JP, A) JP-A 60-213690 (JP, A) Practical application Sho-62-63938 (JP, U)
Claims (1)
より夫々外側に張り出した２つのフランジ部（3,4）を
有するキャリヤ（１）を搬送する装置であって、 ハンドユニット（30）と、該ハンドユニットを三次元的
に移動させる移動機構（50）とよりなり、 該ハンドユニット（30）は、垂直の面内で回動可能な一
対のリンク部材（31,32）と、各リンク部材（31,32）の
先端に固定してあり、上記キャリヤ（１）の２つのフラ
ンジ部（3,4）の間隔より離れて、水平で且つ平行に並
んだ状態の一対のフィンガー部材（34,35）と、該一対
の該フィンガー部材が互いに接近し又互いに離れるよう
に上記一対のリンク部材（31,32）を回動させる駆動機
構（36）とよりなり、該駆動機構（36）により該一対の
リンク部材（31,32）が回動されて、該一対のフィンガ
ー部材が上記キャリヤ（１）の２つのフランジ部（3,
4）の外側から接近して、上記キャリヤの横側から上記
フランジ部（3,4）の下側に入り込んで、上記キャリヤ
（１）の両側面のうち上記フランジ部（3,4）の下側を
挟んでキャリヤを横から支持する構成であり、 上記移動機構（50）は、上記一対のフィンガー部材を水
平に維持したまま該ハンドユニットを移動させる構成で
ある構成としたことを特徴とするキャリヤ搬送装置。1. A device for carrying a carrier (1) having a substantially U-shape and having two flange portions (3, 4) each protruding outward from the edges on both sides of the opening (2), The hand unit (30) includes a hand unit (30) and a moving mechanism (50) that moves the hand unit three-dimensionally. The hand unit (30) includes a pair of link members (31, 31) that are rotatable in a vertical plane. 32) and fixed to the tip of each link member (31, 32) and in a state of being aligned horizontally and in parallel, apart from the space between the two flange portions (3, 4) of the carrier (1). A pair of finger members (34, 35) and a drive mechanism (36) for rotating the pair of link members (31, 32) such that the pair of finger members approach each other and separate from each other, The pair of link members (31, 32) is rotated by the drive mechanism (36), and the pair of fingers is rotated. The members are the two flange parts (3,
4) approaches from the outside of the carrier, enters the lower side of the flange portion (3, 4) from the lateral side of the carrier, and under the flange portion (3, 4) on both side surfaces of the carrier (1). The carrier is laterally supported with the side sandwiched, and the moving mechanism (50) is configured to move the hand unit while keeping the pair of finger members horizontal. Carrier transport device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6710389A JP2524393B2 (en) | 1989-03-17 | 1989-03-17 | Carrier transfer device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6710389A JP2524393B2 (en) | 1989-03-17 | 1989-03-17 | Carrier transfer device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02246135A JPH02246135A (en) | 1990-10-01 |
| JP2524393B2 true JP2524393B2 (en) | 1996-08-14 |
Family
ID=13335221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6710389A Expired - Fee Related JP2524393B2 (en) | 1989-03-17 | 1989-03-17 | Carrier transfer device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2524393B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06298309A (en) * | 1993-04-09 | 1994-10-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Substrate conveyor robot |
| KR20020076021A (en) * | 2001-03-27 | 2002-10-09 | (주)케이.씨.텍 | Wafer gripper of a robot for transferring a semiconductor wafer |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60213690A (en) * | 1984-04-06 | 1985-10-25 | 日立青梅電子株式会社 | Conveyor |
| JPS61154139A (en) * | 1984-12-27 | 1986-07-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | Wafer carrier holding mechanism |
| JPS6263938U (en) * | 1985-10-12 | 1987-04-21 |
-
1989
- 1989-03-17 JP JP6710389A patent/JP2524393B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02246135A (en) | 1990-10-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4999487B2 (en) | Substrate processing equipment | |
| CN101211757B (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
| JP4743939B2 (en) | Method and apparatus for transporting a semiconductor substrate using an input module | |
| US8757180B2 (en) | Substrate processing apparatus | |
| JP4726776B2 (en) | Inversion apparatus and substrate processing apparatus having the same | |
| TWI691389B (en) | Food holding device | |
| KR19990080759A (en) | Multi-chamber system of etching equipment for semiconductor device manufacturing | |
| US20080156361A1 (en) | Substrate processing apparatus | |
| JP4596619B2 (en) | Substrate processing system, method for transferring substrate in system, robot blade for substrate processing system, and robot for substrate processing system | |
| JP3954686B2 (en) | Substrate transport apparatus and substrate transport method | |
| US20150298283A1 (en) | Substrate treatment device | |
| JP2004090186A (en) | Clean transfer robot | |
| JP2524393B2 (en) | Carrier transfer device | |
| KR101503120B1 (en) | Transfer system | |
| JP2000294616A (en) | Alignment mechanism with temporary loading table and polishing device | |
| US6254682B1 (en) | Cassette invertor apparatus | |
| JP2739413B2 (en) | SCARA robot for substrate transfer | |
| JP3971526B2 (en) | Substrate loading / unloading apparatus and transfer system | |
| JPS61140148A (en) | Apparatus for transferring product | |
| JP4869097B2 (en) | Substrate processing equipment | |
| JPH11129174A (en) | Conveying device for article | |
| JP4687120B2 (en) | Article alignment device | |
| JP5385965B2 (en) | Substrate processing equipment | |
| JPH1179391A (en) | Thin workpiece standing-up device | |
| JP2864326B2 (en) | Substrate cleaning equipment |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |