JPH0966462A - 板ガラスの研磨装置 - Google Patents
板ガラスの研磨装置Info
- Publication number
- JPH0966462A JPH0966462A JP24536795A JP24536795A JPH0966462A JP H0966462 A JPH0966462 A JP H0966462A JP 24536795 A JP24536795 A JP 24536795A JP 24536795 A JP24536795 A JP 24536795A JP H0966462 A JPH0966462 A JP H0966462A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- plate
- plate glass
- surface plate
- sun gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 定盤の研磨表面において板ガラスとの接触面
に偏摩耗が生じず、板ガラスを高い平坦精度で研磨でき
るとともに定盤の使用寿命を長期化させることができ、
更には高速回転による研磨時においても研磨スラリーを
確実に供給できる板ガラスの研磨装置を提供する。 【解決手段】 太陽歯車２０と内歯車２１と、太陽歯車
２０の周りを公転しながら自転するキャリア２２と、キ
ャリア２２を挾んで上下に対向する上定盤２４及び下定
盤２５と、研磨表面２６に研磨スラリーを供給する供給
機構を備えてなる板ガラスＧの研磨装置において、上定
盤２４および下定盤２５は、板ガラスＧの自転中心が通
過する領域が最大で、且つ外周および内周に向けて漸次
狭くなる幅寸法を有する複数の研磨砥２９が形成された
研磨表面２６を有する。
に偏摩耗が生じず、板ガラスを高い平坦精度で研磨でき
るとともに定盤の使用寿命を長期化させることができ、
更には高速回転による研磨時においても研磨スラリーを
確実に供給できる板ガラスの研磨装置を提供する。 【解決手段】 太陽歯車２０と内歯車２１と、太陽歯車
２０の周りを公転しながら自転するキャリア２２と、キ
ャリア２２を挾んで上下に対向する上定盤２４及び下定
盤２５と、研磨表面２６に研磨スラリーを供給する供給
機構を備えてなる板ガラスＧの研磨装置において、上定
盤２４および下定盤２５は、板ガラスＧの自転中心が通
過する領域が最大で、且つ外周および内周に向けて漸次
狭くなる幅寸法を有する複数の研磨砥２９が形成された
研磨表面２６を有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、板ガラス、特に薄板ガ
ラスの両面を平面状に研磨する研磨装置に関するもので
ある。
ラスの両面を平面状に研磨する研磨装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、薄板ガラスの表面を平板状に研磨
するには、図４の（Ａ）、（Ｂ）に示す様な研磨装置を
用いている。
するには、図４の（Ａ）、（Ｂ）に示す様な研磨装置を
用いている。
【０００３】図４の（Ａ）は研磨装置の概略構造を示す
平面図、（Ｂ）はその縦断側面図である。
平面図、（Ｂ）はその縦断側面図である。
【０００４】研磨装置は、同軸配置された太陽歯車１０
と、この太陽歯車１０を取り囲む内歯車１１と、板ガラ
スＧを収納する保持孔１２を有し且つ太陽歯車１０と内
歯車１１とに噛合して太陽歯車１０の周りを公転しなが
ら自転するキャリア１３と、このキャリア１３を挾んで
上下に対向し、その対向面には平坦な研磨表面１４を有
し且つ各々回転駆動される上定盤１５および下定盤１６
とを備えている。上定盤１５には、研磨スラリーを供給
するための複数本の供給管１７が適宜の間隔で取付固定
されており、上定盤１５の回転と同期して回転できるよ
うに、上方でロータリージョイント等の回転結合部材を
介してスラリータンクに配管されている。
と、この太陽歯車１０を取り囲む内歯車１１と、板ガラ
スＧを収納する保持孔１２を有し且つ太陽歯車１０と内
歯車１１とに噛合して太陽歯車１０の周りを公転しなが
ら自転するキャリア１３と、このキャリア１３を挾んで
上下に対向し、その対向面には平坦な研磨表面１４を有
し且つ各々回転駆動される上定盤１５および下定盤１６
とを備えている。上定盤１５には、研磨スラリーを供給
するための複数本の供給管１７が適宜の間隔で取付固定
されており、上定盤１５の回転と同期して回転できるよ
うに、上方でロータリージョイント等の回転結合部材を
介してスラリータンクに配管されている。
【０００５】板ガラスＧを研磨するには、キャリア１３
の保持孔１２に板ガラスＧを保持させて、太陽歯車１０
と内歯車１１によりキャリア１３を遊星運動させ、供給
管１７から研磨スラリーを供給しながら、上定盤１５と
下定盤１６とを回転駆動させることにより、板ガラスＧ
の両面を研磨している。
の保持孔１２に板ガラスＧを保持させて、太陽歯車１０
と内歯車１１によりキャリア１３を遊星運動させ、供給
管１７から研磨スラリーを供給しながら、上定盤１５と
下定盤１６とを回転駆動させることにより、板ガラスＧ
の両面を研磨している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
研磨装置においては、定盤の研磨表面の中央部、具体的
には板ガラスと接触する接触面の中央部が、周辺部に比
べて摩耗量が多く、偏摩耗することから、研磨時間の経
過に伴い、定盤の研磨表面は、その全周に亙って中央部
で凹状となる。従って、被研磨物である板ガラスの表裏
面にも凹凸が生じ、板ガラスを高い平坦精度で研磨する
ことができないという問題がある。また、かかる偏摩耗
が生じると、その都度、研磨作業を中断して、定盤の研
磨表面を平坦面に修正する必要があり、研磨効率を低下
させる原因になっている。更に、従来の研磨装置におい
ては、両定盤の回転数を上げて高速回転研磨を行う場
合、上記の偏摩耗が早期に生じるだけでなく、研磨スラ
リーの供給管が上定盤と同期回転していることにより、
高速回転に伴う遠心力によりスラリーの液滴が供給管の
内壁に貼り付ついた状態となり、滴下し難くなるという
問題がある。また、研磨スラリーが滴下した場合でも高
速回転している定盤の遠心力により、直ぐに定盤外へ飛
び散ってしまうため、定盤と板ガラスとの間に十分な研
磨スラリーの供給ができず、板ガラスを良好に研磨でき
ないという問題がある。
研磨装置においては、定盤の研磨表面の中央部、具体的
には板ガラスと接触する接触面の中央部が、周辺部に比
べて摩耗量が多く、偏摩耗することから、研磨時間の経
過に伴い、定盤の研磨表面は、その全周に亙って中央部
で凹状となる。従って、被研磨物である板ガラスの表裏
面にも凹凸が生じ、板ガラスを高い平坦精度で研磨する
ことができないという問題がある。また、かかる偏摩耗
が生じると、その都度、研磨作業を中断して、定盤の研
磨表面を平坦面に修正する必要があり、研磨効率を低下
させる原因になっている。更に、従来の研磨装置におい
ては、両定盤の回転数を上げて高速回転研磨を行う場
合、上記の偏摩耗が早期に生じるだけでなく、研磨スラ
リーの供給管が上定盤と同期回転していることにより、
高速回転に伴う遠心力によりスラリーの液滴が供給管の
内壁に貼り付ついた状態となり、滴下し難くなるという
問題がある。また、研磨スラリーが滴下した場合でも高
速回転している定盤の遠心力により、直ぐに定盤外へ飛
び散ってしまうため、定盤と板ガラスとの間に十分な研
磨スラリーの供給ができず、板ガラスを良好に研磨でき
ないという問題がある。
【０００７】そこで、本発明の目的は、定盤の研磨表面
において板ガラスとの接触面に偏摩耗が生じず、板ガラ
スを高い平坦精度で研磨できるとともに定盤の使用寿命
を長期化することができ、更には高速回転による研磨時
においても研磨スラリーを確実に供給できる板ガラスの
研磨装置を提供することである。
において板ガラスとの接触面に偏摩耗が生じず、板ガラ
スを高い平坦精度で研磨できるとともに定盤の使用寿命
を長期化することができ、更には高速回転による研磨時
においても研磨スラリーを確実に供給できる板ガラスの
研磨装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題及び
目的に鑑みてなされたもので、同軸配置された太陽歯車
と該太陽歯車を取り囲む内歯車と、板ガラスを収納する
保持孔を有し且つ前記太陽歯車と内歯車とに噛合して、
前記太陽歯車の周りを公転しながら自転するキャリア
と、該キャリアを挾んで上下に対向し、その対向面に前
記板ガラスを研磨する研磨表面を有し、且つ各々回転駆
動される上定盤及び下定盤と、前記研磨表面に研磨スラ
リーを供給する研磨液供給機構とを備えてなる板ガラス
の研磨装置において、前記上定盤および下定盤は、板ガ
ラスの自転中心が通過する領域が最大で、且つ外周およ
び内周に向けて漸次狭くなる幅寸法を有する複数の研磨
砥が形成された研磨表面を有することを特徴とする板ガ
ラスの研磨装置である。
目的に鑑みてなされたもので、同軸配置された太陽歯車
と該太陽歯車を取り囲む内歯車と、板ガラスを収納する
保持孔を有し且つ前記太陽歯車と内歯車とに噛合して、
前記太陽歯車の周りを公転しながら自転するキャリア
と、該キャリアを挾んで上下に対向し、その対向面に前
記板ガラスを研磨する研磨表面を有し、且つ各々回転駆
動される上定盤及び下定盤と、前記研磨表面に研磨スラ
リーを供給する研磨液供給機構とを備えてなる板ガラス
の研磨装置において、前記上定盤および下定盤は、板ガ
ラスの自転中心が通過する領域が最大で、且つ外周およ
び内周に向けて漸次狭くなる幅寸法を有する複数の研磨
砥が形成された研磨表面を有することを特徴とする板ガ
ラスの研磨装置である。
【０００９】また、研磨液供給機構は、上定盤の回転軸
内に付設され、上定盤と共に回転する供給筒と、該供給
筒の上方の定位置に固定され、研磨スラリーを供給筒に
滴下する供給管とからなることを特徴とする。
内に付設され、上定盤と共に回転する供給筒と、該供給
筒の上方の定位置に固定され、研磨スラリーを供給筒に
滴下する供給管とからなることを特徴とする。
【００１０】また、研磨砥が定盤の内周から外周に亙り
定盤の回転方向とは反対方向に湾曲した三日月形状を呈
してなることを特徴とする。
定盤の回転方向とは反対方向に湾曲した三日月形状を呈
してなることを特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明によれば、上定盤および下定盤は、板ガ
ラスの自転中心が通過する領域が最大で、且つ定盤の外
周及び内周に向けて漸次狭くなる幅寸法を有する複数の
研磨砥が形成された研磨表面を有していることにより、
定盤の研磨表面の研磨砥が板ガラスの両面に接触し、研
磨時に板ガラスと接触する研磨砥の接触面は、その全面
において板ガラスとの接触率が一様となり、均等に摩耗
する。即ち、研磨時においては、キャリア内の板ガラス
は公転しながら自転しているため、定盤の研磨表面と板
ガラスとの接触率は、板ガラスの自転中心が公転通過す
る領域が最も大きく、定盤の外周および内周に向けて漸
次減少していることから、前記遊星運動する板ガラスと
の接触率に適合する幅寸法を有する研磨砥を定盤の研磨
表面に形成することにより、定盤の研磨表面における板
ガラスとの接触面の摩耗は一様となる。
ラスの自転中心が通過する領域が最大で、且つ定盤の外
周及び内周に向けて漸次狭くなる幅寸法を有する複数の
研磨砥が形成された研磨表面を有していることにより、
定盤の研磨表面の研磨砥が板ガラスの両面に接触し、研
磨時に板ガラスと接触する研磨砥の接触面は、その全面
において板ガラスとの接触率が一様となり、均等に摩耗
する。即ち、研磨時においては、キャリア内の板ガラス
は公転しながら自転しているため、定盤の研磨表面と板
ガラスとの接触率は、板ガラスの自転中心が公転通過す
る領域が最も大きく、定盤の外周および内周に向けて漸
次減少していることから、前記遊星運動する板ガラスと
の接触率に適合する幅寸法を有する研磨砥を定盤の研磨
表面に形成することにより、定盤の研磨表面における板
ガラスとの接触面の摩耗は一様となる。
【００１２】また、研磨液供給機構が、上定盤の回転軸
内に付設され、上定盤と共に回転する供給筒と、供給筒
の上方の定位置に固定され、研磨スラリーを供給筒に滴
下する供給管とからなることにより研磨スラリーは定盤
の高速回転時においても遠心力の作用を全く受けずに滴
下され、確実に供給される。
内に付設され、上定盤と共に回転する供給筒と、供給筒
の上方の定位置に固定され、研磨スラリーを供給筒に滴
下する供給管とからなることにより研磨スラリーは定盤
の高速回転時においても遠心力の作用を全く受けずに滴
下され、確実に供給される。
【００１３】更に、研磨砥が定盤の内周から外周に亙り
定盤の回転方向とは反対方向に湾曲した三日月形状を呈
していることにより、高速回転時においても研磨スラリ
ーが定盤外に飛び散るのを抑制する。即ち、供給された
研磨スラリーは定盤の遠心力により外方へ飛び散ろうと
するが、研磨砥が定盤の内周から外周に亙り回転方向と
は反対方向に湾曲していることにより、外方へ流れ出よ
うとする研磨スラリーが研磨砥を形成する湾曲辺により
掬い取られて内方へ押し戻される。
定盤の回転方向とは反対方向に湾曲した三日月形状を呈
していることにより、高速回転時においても研磨スラリ
ーが定盤外に飛び散るのを抑制する。即ち、供給された
研磨スラリーは定盤の遠心力により外方へ飛び散ろうと
するが、研磨砥が定盤の内周から外周に亙り回転方向と
は反対方向に湾曲していることにより、外方へ流れ出よ
うとする研磨スラリーが研磨砥を形成する湾曲辺により
掬い取られて内方へ押し戻される。
【００１４】
【実施例】以下実施例に基づいて本発明の研磨装置を説
明する。
明する。
【００１５】図１の（Ａ）は本発明にかかる研磨装置の
概略構造を示す平面図、（Ｂ）はその縦断側面図であ
る。
概略構造を示す平面図、（Ｂ）はその縦断側面図であ
る。
【００１６】２０は太陽歯車、２１は前記太陽歯車２０
と同軸配置され、太陽歯車２０を取り囲む内歯車、２２
は太陽歯車２０と内歯車２１とに噛合して太陽歯車２０
の周りを公転しながら自転するキャリア、２３は板ガラ
スＧを収納するための保持孔、２４、２５はキャリア２
２を挾んで上下に対向し、その対向面に研磨表面２６を
有し、且つ各々回転駆動される上定盤及び下定盤、２７
は上定盤２４の回転軸２４′内に付設され、上定盤２４
と共に回転する供給筒、２８は供給筒２７の上方の定位
置に固定され、研磨スラリーを供給筒２７に滴下する供
給管である。上定盤２４、下定盤２５の研磨表面２６に
は、図２に示すように、板ガラスＧの自転中心Ｏが通過
する領域が最大で、且つ前記定盤２４、２５の外周およ
び内周の両周縁に向けて漸次狭くなる幅寸法を有した複
数の研磨砥２９が形成されている。本実施例において、
上定盤２４および下定盤２５の外径は１８００ｍｍ、内
径は５５０ｍｍである。研磨砥２９の厚さは５ｍｍ、中
央の最大幅は４０ｍｍで、研磨砥２７は、前記定盤２
４、２５の内周から外周に亙り定盤２４、２５の回転方
向とは反対方向に湾曲した三日月形状を呈している。偏
摩耗を防止する観点からは、研磨砥２９の幅寸法は、研
磨時における板ガラスＧとの接触率を基にして適宜選択
すればよく、その形状に関しても一辺が直線で他辺が湾
曲してなる略半月形状、或いは両側辺が同じ曲率で異方
向に湾曲してなる木の葉形状を呈するものであってもよ
いが、研磨スラリーの飛散防止の観点からは三日月形状
がより好ましい。図３は回転軸２４′部の平面図を示す
ものであり、供給筒２７は回転軸２４′内に取付金具２
７′により取り付けられており、その上方の定位置にス
ラリータンクと連結する複数本の供給管２８が固定され
ている。
と同軸配置され、太陽歯車２０を取り囲む内歯車、２２
は太陽歯車２０と内歯車２１とに噛合して太陽歯車２０
の周りを公転しながら自転するキャリア、２３は板ガラ
スＧを収納するための保持孔、２４、２５はキャリア２
２を挾んで上下に対向し、その対向面に研磨表面２６を
有し、且つ各々回転駆動される上定盤及び下定盤、２７
は上定盤２４の回転軸２４′内に付設され、上定盤２４
と共に回転する供給筒、２８は供給筒２７の上方の定位
置に固定され、研磨スラリーを供給筒２７に滴下する供
給管である。上定盤２４、下定盤２５の研磨表面２６に
は、図２に示すように、板ガラスＧの自転中心Ｏが通過
する領域が最大で、且つ前記定盤２４、２５の外周およ
び内周の両周縁に向けて漸次狭くなる幅寸法を有した複
数の研磨砥２９が形成されている。本実施例において、
上定盤２４および下定盤２５の外径は１８００ｍｍ、内
径は５５０ｍｍである。研磨砥２９の厚さは５ｍｍ、中
央の最大幅は４０ｍｍで、研磨砥２７は、前記定盤２
４、２５の内周から外周に亙り定盤２４、２５の回転方
向とは反対方向に湾曲した三日月形状を呈している。偏
摩耗を防止する観点からは、研磨砥２９の幅寸法は、研
磨時における板ガラスＧとの接触率を基にして適宜選択
すればよく、その形状に関しても一辺が直線で他辺が湾
曲してなる略半月形状、或いは両側辺が同じ曲率で異方
向に湾曲してなる木の葉形状を呈するものであってもよ
いが、研磨スラリーの飛散防止の観点からは三日月形状
がより好ましい。図３は回転軸２４′部の平面図を示す
ものであり、供給筒２７は回転軸２４′内に取付金具２
７′により取り付けられており、その上方の定位置にス
ラリータンクと連結する複数本の供給管２８が固定され
ている。
【００１７】かかる研磨装置により板ガラスＧを研磨す
るには、先ず、板ガラスＧをキャリア２２の保持孔２３
に収納し、上定盤２４及び下定盤２５でキャリア２３を
挾む。次いで、上定盤２４、下定盤２５を各々反対方向
に回転駆動させるとともにキャリア２３を遊星運動させ
て、研磨スラリーを供給しながら研磨する。板ガラスＧ
の両面には、両定盤２４、２５の研磨表面２６に形成さ
れた研磨砥２９が接触して研磨する。板ガラスＧが研磨
されるに伴い研磨砥２９の接触面も摩耗するが、研磨砥
２９は板ガラスＧの自転中心Ｏが通過する領域が最大
で、且つ両定盤２４、２５の外周及び内周の両周縁に向
けて漸次狭くなる幅寸法を有していることにより、その
接触面全面において、板ガラスＧとの接触率が一様とな
り、均等に摩耗する。
るには、先ず、板ガラスＧをキャリア２２の保持孔２３
に収納し、上定盤２４及び下定盤２５でキャリア２３を
挾む。次いで、上定盤２４、下定盤２５を各々反対方向
に回転駆動させるとともにキャリア２３を遊星運動させ
て、研磨スラリーを供給しながら研磨する。板ガラスＧ
の両面には、両定盤２４、２５の研磨表面２６に形成さ
れた研磨砥２９が接触して研磨する。板ガラスＧが研磨
されるに伴い研磨砥２９の接触面も摩耗するが、研磨砥
２９は板ガラスＧの自転中心Ｏが通過する領域が最大
で、且つ両定盤２４、２５の外周及び内周の両周縁に向
けて漸次狭くなる幅寸法を有していることにより、その
接触面全面において、板ガラスＧとの接触率が一様とな
り、均等に摩耗する。
【００１８】また、定盤２４、２５を高速回転させて研
磨する場合においても、研磨スラリーを供給筒２７へ供
給するための供給管２８は供給筒２７の上方の定位置に
固定されているため、定盤２４、２５の高速回転による
遠心力の作用を全く受けず、下方の供給筒２７に滴下さ
れ、供給される。更に、供給された研磨スラリーは定盤
２４、２５の遠心力により外方へ飛び散ろうとするが、
研磨砥２９が定盤２４、２５の内周から外周に亙り回転
方向とは反対方向に湾曲した三日月形状を呈しているこ
とにより、図２中に矢印Ａで示すように研磨砥２９を形
成する湾曲辺により、外方へ流れ出ようとする研磨スラ
リーが掬い取られて内方へ押し戻され、定盤２４、２５
と板ガラスＧとの間に流れ込む。
磨する場合においても、研磨スラリーを供給筒２７へ供
給するための供給管２８は供給筒２７の上方の定位置に
固定されているため、定盤２４、２５の高速回転による
遠心力の作用を全く受けず、下方の供給筒２７に滴下さ
れ、供給される。更に、供給された研磨スラリーは定盤
２４、２５の遠心力により外方へ飛び散ろうとするが、
研磨砥２９が定盤２４、２５の内周から外周に亙り回転
方向とは反対方向に湾曲した三日月形状を呈しているこ
とにより、図２中に矢印Ａで示すように研磨砥２９を形
成する湾曲辺により、外方へ流れ出ようとする研磨スラ
リーが掬い取られて内方へ押し戻され、定盤２４、２５
と板ガラスＧとの間に流れ込む。
【００１９】斯様にして、両定盤２４、２５の研磨表面
２６において偏摩耗が生じず、板ガラスＧの両面を平坦
に研磨できるとともに両定盤２４、２５の研磨表面２６
を最大限有効に使用できる。また、高速回転による研磨
時においても研磨スラリーを確実に供給できる。
２６において偏摩耗が生じず、板ガラスＧの両面を平坦
に研磨できるとともに両定盤２４、２５の研磨表面２６
を最大限有効に使用できる。また、高速回転による研磨
時においても研磨スラリーを確実に供給できる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、定盤の
研磨表面において、板ガラスとの接触面に偏摩耗が生じ
ないために、板ガラスを高い平坦精度で研磨できるとと
もに定盤の使用寿命を長期化することができ、更には高
速回転による研磨時においても研磨スラリーを確実に供
給できるという優れた効果を奏する。
研磨表面において、板ガラスとの接触面に偏摩耗が生じ
ないために、板ガラスを高い平坦精度で研磨できるとと
もに定盤の使用寿命を長期化することができ、更には高
速回転による研磨時においても研磨スラリーを確実に供
給できるという優れた効果を奏する。
【図１】（Ａ）は本発明にかかる研磨装置の概略構造を
示す平面図、（Ｂ）はその縦断面図である。
示す平面図、（Ｂ）はその縦断面図である。
【図２】定盤の平面図である。
【図３】回転軸部の平面図である。
【図４】（Ａ）は従来の研磨装置の概略構造を示す平面
図、（Ｂ）はその縦断面図である。
図、（Ｂ）はその縦断面図である。
２０ 太陽歯車 ２１ 内歯車 ２２ キャリア ２３ 保持孔 ２４ 上定盤 ２５ 下定盤 ２６ 研磨表面 ２７ 供給筒 ２８ 供給管 ２９ 研磨砥 Ｇ 板ガラス Ｏ 自転中心
Claims (3)
- 【請求項１】 同軸配置された太陽歯車と該太陽歯車を
取り囲む内歯車と、板ガラスを収納する保持孔を有し且
つ前記太陽歯車と内歯車とに噛合して、前記太陽歯車の
周りを公転しながら自転するキャリアと、該キャリアを
挾んで上下に対向し、その対向面に前記板ガラスを研磨
する研磨表面を有し、且つ各々回転駆動される上定盤及
び下定盤と、前記研磨表面に研磨スラリーを供給する研
磨液供給機構とを備えてなる板ガラスの研磨装置におい
て、前記上定盤および下定盤は、板ガラスの自転中心が
通過する領域が最大で、且つ外周および内周に向けて漸
次狭くなる幅寸法を有する複数の研磨砥が形成された研
磨表面を有することを特徴とする板ガラスの研磨装置。 - 【請求項２】 研磨液供給機構は、上定盤の回転軸内に
付設され、上定盤と共に回転する供給筒と、該供給筒の
上方の定位置に固定され、研磨スラリーを供給筒に滴下
する供給管とからなることを特徴とする請求項１記載の
板ガラスの研磨装置。 - 【請求項３】 研磨砥が定盤の内周から外周に亙り定盤
の回転方向とは反対方向に湾曲した三日月形状を呈して
なることを特徴とする請求項１または２記載の板ガラス
の研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24536795A JPH0966462A (ja) | 1995-08-29 | 1995-08-29 | 板ガラスの研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24536795A JPH0966462A (ja) | 1995-08-29 | 1995-08-29 | 板ガラスの研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0966462A true JPH0966462A (ja) | 1997-03-11 |
Family
ID=17132617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24536795A Pending JPH0966462A (ja) | 1995-08-29 | 1995-08-29 | 板ガラスの研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0966462A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111958490A (zh) * | 2020-08-06 | 2020-11-20 | 泉州市海恩德机电科技发展有限公司 | 可高速运转的圆周供水机构 |
| CN115741415A (zh) * | 2022-12-07 | 2023-03-07 | 西可装备制造(衡阳)有限公司 | 一种新型抛光设备 |
-
1995
- 1995-08-29 JP JP24536795A patent/JPH0966462A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111958490A (zh) * | 2020-08-06 | 2020-11-20 | 泉州市海恩德机电科技发展有限公司 | 可高速运转的圆周供水机构 |
| CN111958490B (zh) * | 2020-08-06 | 2022-01-18 | 泉州市海恩德机电科技发展有限公司 | 可高速运转的圆周供水机构 |
| CN115741415A (zh) * | 2022-12-07 | 2023-03-07 | 西可装备制造(衡阳)有限公司 | 一种新型抛光设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3923107B2 (ja) | シリコンウェーハの製造方法およびその装置 | |
| US20040203325A1 (en) | Conditioner disk for use in chemical mechanical polishing | |
| KR19990013251A (ko) | 웨이퍼의 양면 랩핑 방법 및 장치 | |
| TW201215555A (en) | Plate glass conveyance device and chamfering device provided with same | |
| TW471996B (en) | Method and apparatus for conditioning grinding stones | |
| CN109983562B (zh) | 双面研磨装置用载体、双面研磨装置及双面研磨方法 | |
| US6156659A (en) | Linear CMP tool design with closed loop slurry distribution | |
| JPH0966462A (ja) | 板ガラスの研磨装置 | |
| KR20070062871A (ko) | 양면 연마장치의 캐리어 플레이트 구조 | |
| KR20120135095A (ko) | 판상체의 연마 장치 및 판상체의 연마 방법 | |
| JP5982427B2 (ja) | 両面加工装置に用いられるキャリアプレート | |
| JP5613723B2 (ja) | キャリアプレートおよび円盤状基板の製造方法、円盤状基板の両面加工装置 | |
| JP2002083786A (ja) | 半導体ウェーハの両面研磨装置 | |
| CN111002216B (zh) | 一种研磨设备 | |
| JP4289764B2 (ja) | テープ研磨装置 | |
| JP3587505B2 (ja) | 研磨用キャリア | |
| JP2535949B2 (ja) | 両頭研削装置 | |
| KR102006334B1 (ko) | 브러시형 연마 제품 및 장치 | |
| JPH1128661A (ja) | 研磨方法及び研磨装置 | |
| JP3942956B2 (ja) | 傾斜形平面研磨装置 | |
| JPH07178655A (ja) | ガラス板の研磨方法 | |
| JP4289763B2 (ja) | テープ研磨装置 | |
| JPH11104954A (ja) | 研磨用キャリヤ及び研磨方法 | |
| TW201446415A (zh) | 研磨墊以及研磨方法 | |
| JP2004276133A (ja) | ガラス基板の片面研磨における研磨液の供給方法および片面研磨装置 |