JPH0963053A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 金属蒸着型磁性薄膜を有する磁気記録媒体の
製造に於いて、Ｃ／Ｎの向上を図る。 【解決手段】 非磁性支持体上に蒸着型金属磁性薄膜よ
りなる磁性層を有する磁気記録媒体の製造方法におい
て、蒸着時に非磁性支持体５を冷却しながら案内移送す
るための冷却キャン３の温度を−４０℃〜−１００℃と
して非磁性支持体５上に磁性層を成膜する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、非磁性支持体上に
磁性層として蒸着型金属磁性薄膜を有する、いわゆる金
属磁性薄膜型の磁気記録媒体の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばビデオテープレコーダ等の分野に
おいては、高画質化を図るために、高密度化が一層強く
要求されており、これに対する磁気記録媒体として、金
属あるいはＣｏＮｉ等の合金からなる磁性材料を鍍金や
真空薄膜形成技術（例えば真空蒸着法、スパッタリング
法、イオンプレーティング法等）により、直接に非磁性
支持体上に被着せしめて磁性層を形成する、いわゆる金
属磁性薄膜型の磁気記録媒体が提案されている。

【０００３】この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は、保
磁力、角型比及び短波長域における電磁変換特性に優れ
るばかりでなく、磁性層の薄膜化が可能であるために磁
性材料の充填密度を高くできること等、数々の利点を有
している。

【０００４】その中でも真空蒸着法によって磁性層を形
成する蒸着テープは、高生産効率と安定した特性のため
に、既にハイバンド８ミリ用テープ及びディジタルマイ
クロテープ（ＮＴテープ）として商品化されている。

【０００５】蒸着テープの磁性層は、真空中で電子線等
で磁性材料を加熱して蒸発させ、非磁性支持体上に付着
させることによって形成される。このような蒸着テープ
の磁気特性を制御するのには、蒸着の際に酸素ガスを導
入して金属蒸気の一部を酸化させる方法が一般的であ
る。導入酸素量を増加させると磁性層の保磁力は増加
し、飽和磁化量は減少する傾向があるので、適当な磁気
特性をもった磁性層を形成することができる。

【０００６】また、磁性層は、真空中で電子線等で磁性
材料を加熱して蒸発させ、非磁性支持体上に付着させる
ことによって形成させる。この時、非磁性支持体は蒸着
粒子により多大な熱負荷を受けるため、冷却キャンは通
常０°以下、−３０℃程度までに冷却し、非磁性支持体
がダメージを受け変形するのを避けている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】蒸着テープの有効記録
深さはλ／４（λ＝記録波長）といわれており、蒸着層
の厚みとしては、これ以上であることが高い再生出力を
得るための必要条件である。ところが、蒸着層の厚みを
大きくすると、磁性層の形成とともに粒子単位が大きく
なる傾向にあり、ノイズが増大する。また、粒子の配向
性が悪いとノイズは増加する傾向にあることが知られて
いる。従って、蒸着テープのＣ／Ｎを良くするために
は、出力を高くしても、ノイズを低く抑える手法が必要
である。

【０００８】本発明は、上述の点に鑑み、蒸着粒子を微
細化し、ノイズ低減を可能にした磁気記録媒体の製造方
法を提供するものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、非磁性支持体
上に蒸着型金属磁性薄膜よりなる磁性層を有する磁気記
録媒体の製造方法において、蒸着時に非磁性支持体を冷
却しながら案内移送するための冷却キャンの温度を−４
０℃〜−１００℃にして非磁性支持体上に磁性層を成膜
する。

【００１０】冷却キャンの温度を−４０℃〜−１００℃
にして非磁性支持体を通常より低温にし、この状態で非
磁性支持体上に磁性層を蒸着することにより、非磁性支
持体上で、蒸着粒子の運動エネルギーを抑え、粒子サイ
ズを小さくし、粒子の配向性よく蒸着層を形成すること
ができる。したがって、出力が高くなってもノイズを低
く抑えた、Ｃ／Ｎのよい蒸着型金属磁性薄膜を有する磁
気記録媒体が製造できる。

【００１１】

【発明の実施の形態】蒸着テープでのノイズを下げる方
法として、磁性層成膜時に冷却キャンの温度を下げ、非
磁性支持体上で、蒸着粒子の運動エネルギーを抑え、粒
子サイズを小さくし、粒子の配向性良く蒸着する方法が
考えられる。

【００１２】そこで、本発明者らは、鋭意研究の結果、
磁性層成膜時に冷却キャンの温度を下げる蒸着方法を案
出した。即ち、冷却キャンの温度を−４０℃〜−１００
℃に下げて蒸着する。

【００１３】具体的には、金属磁性薄膜により磁性層の
蒸着方法において、熱交換用の冷媒として、流動点の低
い物質を用いることによって実現する。これによって、
非磁性支持体上で、蒸着粒子の運動エネルギーを抑え、
粒子サイズを小さくし、粒子の配向性よく蒸着層を形成
でき、出力が高くなってもノイズを低く抑えた、Ｃ／Ｎ
のよい蒸着テープを作成することができる。

【００１４】冷却キャンの温度としては、蒸着粒子の運
動エネルギーを抑え粒子サイズを小さくする点からいえ
ば低温ほどよいが、しかし、低温になりすぎると非磁性
支持体の機械的特性を破壊する懼れがある。従って、本
発明では冷却キャンの温度としては−４０℃〜−１００
℃の範囲内がよい。即ち、−４０℃より高いとＣ／Ｎの
改善が小さく、−１００℃より低温になりすぎると非磁
性支持体の機械的特性を破壊する懼れが生じる。

【００１５】次に、図面を参照して本発明の実施例につ
いて説明する。

【００１６】図１は、本実施例に係る磁気記録媒体、即
ち磁気テープを作成する際に適用される連続巻き取り蒸
着装置の概略的構成を示す。図２は、その要部の拡大図
を示す。

【００１７】この蒸着装置１は、高真空とされる蒸着室
２内に、非磁性支持体を冷却しながら案内移送する冷却
キャン３が配され、この冷却キャン３に対向して金属磁
性蒸着源４が配されると共に、非磁性支持体５の蒸着部
に近接するように酸素ガス供給ノズル９が配されて成
る。１０は酸素ガス供給ノズル９に接続された酸素ガス
導入管、１１は遮蔽部材、１２は電子銃を示す。

【００１８】この蒸着装置１では、非磁性支持体５が供
給ロール７から供給され、冷却キャン３に沿って冷却さ
れながら案内移送され、巻き取りロール８に巻き取られ
る。蒸着室２内が真空排気された状態で、電子銃１２か
らの電子ビーム１３で蒸着源４が加熱溶解して蒸発し、
之が非磁性支持体５上に蒸着される。蒸着時、酸素ガス
供給ノズル９から酸素ガス１４が導入され、金属磁性蒸
気１５の一部を酸化しながら蒸着される。蒸着の入射角
は、非磁性支持体５の法線方向から９０°〜４５°まで
ある。

【００１９】上記蒸着装置１を用いて、蒸着室２を１０
^-3Ｐａに排気して非磁性支持体５としてのＰＥＴ（ポリ
エチレンテレフタレート）ベースフィルムを２５ｍ／分
の送り速度で移送し、金属磁性蒸着源４である例えば、
るつぼ内のコバルトを電子ビーム１３で蒸発させて、そ
の厚みが２００ｎｍとなるようなレートでコバルト磁性
層を蒸着した。

【００２０】そして、比較例１として、エチレングリコ
ールを冷媒とし、冷媒温度を−２０℃として冷却キャン
３を冷却して膜厚２００ｎｍのコバルト単層磁性層を蒸
着してなる蒸着テープ（Ａ）を作成した。

【００２１】次に、実施例１として、エチレングリコー
ルを冷媒とし、冷媒温度を−４０℃として冷却キャン３
を冷却し、膜厚２００ｎｍのコバルト単層磁性層を蒸着
してなる蒸着テープ（Ｂ）を作成した。

【００２２】更に、実施例２として、住友３Ｍ社製フロ
リナートＦＣ−７７を冷媒とし、冷媒温度を−１００℃
として冷却キャン３を冷却し、膜厚２００ｎｍのコバル
ト単層磁性層を蒸着してなる蒸着テープ（Ｃ）を作成し
た。

【００２３】上記各サンプルの蒸着テープ（Ａ）〜
（Ｃ）の作成工程のフローチャートを図３に示す。工程
（Ｉ）でＰＥＴベースフィルムの一面上にコバルト磁性
層を蒸着する。次に、工程（II）でＰＥＴベースフィル
ムの磁性層と反対側の面にバックコートを施し、工程(I
II) で磁性面に対して防錆処理を施す。次に、工程（I
V) で磁性層の面と、ＰＥＴベースフィルムの裏面であ
るバックコート面に潤滑剤を塗布する。そして、工程
（Ｖ）で得られた幅広の蒸着テープを所定幅にスリット
し（いわゆる裁断し）て目的の蒸着テープを得る。

【００２４】表１に上記各蒸着テープ（Ａ），（Ｂ），
（Ｃ）の成膜条件を示す。

【００２５】

【表１】

【００２６】表２に上記各蒸着テープ（Ａ），（Ｂ），
（Ｃ）における磁気特性と、電磁変換特性の測定結果を
示す。

【００２７】

【表２】

【００２８】磁気特性は試料振動型測定機、電磁変換特
性はソニー製ハイバンド８ミリビデオデッキＥＶ−Ｓ９
００を改造したもので行った。相対速度は３．８ｍ／
秒、記録周波数は７ＭＨｚで行い、再生出力と、ノイズ
として６ＭＨｚでの出力を測定した。記録電流は、各蒸
着テープ（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）について最も高い再生
出力が得られる値に設定した。

【００２９】表２から明らかなように、本実施例１及び
２の蒸着テープ（Ｂ）及び（Ｃ）は、比較例１の蒸着テ
ープ（Ａ）と比べて、磁気特性は比較例１と同等である
も、電磁変換特性では出力が高く、ノイズが低く、その
結果Ｃ／Ｎが高くなっていることが認められる。特に蒸
着テープ（Ｃ）の場合には、比較例１に比してＣ／Ｎが
３ｄＢも高くなる。

【００３０】上例では、蒸着層としてＣｏについてのも
のであるが、本蒸着法によって粒子サイズを小さくして
ノイズを低くすることは、Ｃｏの他に、Ｆｅ，Ｎｉ等の
金属やＣｏ−Ｎｉ系合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ系合金、Ｆ
ｅ−Ｃｏ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｂ系合金、Ｆｅ−
Ｃｏ−Ｂ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｂ系合金等からな
る面内磁化記録金属磁性膜や、Ｃｏ−Ｃｒ系合金薄膜、
Ｃｏ−Ｏ系薄膜等の垂直磁化記録金属磁性薄膜に関する
場合においても、きわめて有効であることは容易に考え
られる。

【００３１】

【発明の効果】本発明によれば、蒸着時に冷却キャンの
温度を−４０℃〜−１００℃まで下げて非磁性支持体上
で蒸着粒子の運動エネルギーを抑え、粒子サイズを小さ
くし、粒子の配向性よく蒸着層を形成することにより、
ノイズが著しく低減した磁気記録媒体を製造することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に適用される連続巻取り式蒸着装置の構
成図である。

【図２】図１の要部の拡大図である。

【図３】蒸着テープの作成工程のフローチャートであ
る。

【符号の説明】

１ 蒸着装置 ２ 蒸着室 ３ 冷却キャン ４ 蒸着源 ５ 非磁性支持体 ７ 供給ロール ８ 巻取りロール ９ 酸素ガス供給ノズル １２ 電子銃 １３ 電子ビーム

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非磁性支持体上に蒸着型金属磁性薄膜よ
   りなる磁性層を有する磁気記録媒体の製造方法におい
   て、蒸着時に前記非磁性支持体を冷却しながら案内移送
   するための冷却キャンの温度を−４０℃〜−１００℃に
   して前記非磁性支持体上に前記磁性層を成膜することを
   特徴とする磁気記録媒体の製造方法。