JPH095339A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
- Publication number
- JPH095339A JPH095339A JP19180396A JP19180396A JPH095339A JP H095339 A JPH095339 A JP H095339A JP 19180396 A JP19180396 A JP 19180396A JP 19180396 A JP19180396 A JP 19180396A JP H095339 A JPH095339 A JP H095339A
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- Japan
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- sample
- probe
- displacement
- measuring
- beam member
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 微小部分の微小を高精度に検出する。
【構成】 試料を保持する試料台６と、上記試料台に向
いた探針を有するはり部材２と、上記はり部材を支持す
る支持部５と、上記はり部材の上記試料台のある側と反
対側の面を被測定領域として光てこ式で上記はり部材の
変位を測定する変位測定器を備える。
いた探針を有するはり部材２と、上記はり部材を支持す
る支持部５と、上記はり部材の上記試料台のある側と反
対側の面を被測定領域として光てこ式で上記はり部材の
変位を測定する変位測定器を備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は微小領域の力を測定する
測定装置に係り、特に絶縁物表面の計測に好適な微小領
域の力を測定し、これに基づいて試料表面構造等を観察
することのできる測定装置に関する。
測定装置に係り、特に絶縁物表面の計測に好適な微小領
域の力を測定し、これに基づいて試料表面構造等を観察
することのできる測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、微小領域の力検出については、フ
ィジカル、レビュー、レター５６,（１９８６年）第９
３０頁から第９３３頁（Ｐｈｙｓ.Ｒｅｖ,Ｌｅｔｔ,５
６,（１９８６）pp９３０-９３３）において論じられて
いる。
ィジカル、レビュー、レター５６,（１９８６年）第９
３０頁から第９３３頁（Ｐｈｙｓ.Ｒｅｖ,Ｌｅｔｔ,５
６,（１９８６）pp９３０-９３３）において論じられて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は図２に
示すごとく、はり支持具５により一端支点とされたはり
（板材）２の先端に鋭利な探針１を具備する。試料３の
接近に伴なって、原子間力によりはり２が変位し、該変
位を走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）のごとくトンネル
電流を一定に流し、はり２と探針１４との間隙を一定に
保つことにより測定する。このような非接触間隙測定方
式を用いることで、力を変位に変換し、変位を測定する
ことによって微小領域の力検出が実行されていた。
示すごとく、はり支持具５により一端支点とされたはり
（板材）２の先端に鋭利な探針１を具備する。試料３の
接近に伴なって、原子間力によりはり２が変位し、該変
位を走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）のごとくトンネル
電流を一定に流し、はり２と探針１４との間隙を一定に
保つことにより測定する。このような非接触間隙測定方
式を用いることで、力を変位に変換し、変位を測定する
ことによって微小領域の力検出が実行されていた。
【０００４】この技術は、変位測定のための安定性、即
ち、はり２の測定表面の表面粗さによる測定誤差の点に
ついて配慮がされておらず、検出精度に問題があった。
すなわち、従来の図２の技術では、はリ２が変位するこ
とにより、ＳＴＭ用探針１４先端がはり２上で原子オー
ダで横にずれる。いいかえると、ＳＴＭ用探針１４先端
は、はり２の背面上を面方向に動く。ところで、はり２
の背面には通常、原子オーダで見れば大きな起伏（数ｎ
ｍ以上）が存在することが避けえない。従って、ＳＴＭ
用探針１４は面方向に大きな分解能を有するために、は
り２背面の起伏を検出してしまい、はり２の変位検出に
誤差が混入してしまう。
ち、はり２の測定表面の表面粗さによる測定誤差の点に
ついて配慮がされておらず、検出精度に問題があった。
すなわち、従来の図２の技術では、はリ２が変位するこ
とにより、ＳＴＭ用探針１４先端がはり２上で原子オー
ダで横にずれる。いいかえると、ＳＴＭ用探針１４先端
は、はり２の背面上を面方向に動く。ところで、はり２
の背面には通常、原子オーダで見れば大きな起伏（数ｎ
ｍ以上）が存在することが避けえない。従って、ＳＴＭ
用探針１４は面方向に大きな分解能を有するために、は
り２背面の起伏を検出してしまい、はり２の変位検出に
誤差が混入してしまう。
【０００５】さらに、従来技術では力検出のための探針
１の剛性について間題があった。
１の剛性について間題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題は、試料を保持
する試料台と、上記試料台に向いた探針を有するはり部
材と、上記はり部材を支持する支持部と、上記はり部材
の上記試料台のある側と反対側の面を被測定領域として
光てこ式で上記はり部材の変位を測定する変位測定器を
備えることにより解決できる。
する試料台と、上記試料台に向いた探針を有するはり部
材と、上記はり部材を支持する支持部と、上記はり部材
の上記試料台のある側と反対側の面を被測定領域として
光てこ式で上記はり部材の変位を測定する変位測定器を
備えることにより解決できる。
【０００７】さらには、はり部材を２点で支持する支持
部を有し、２点の支持部の間に前記探針を配置すること
が望ましい。
部を有し、２点の支持部の間に前記探針を配置すること
が望ましい。
【０００８】上述したように、従来技術では面方向に大
きな分解能を有するＳＴＭの原理を利用して変位を測定
しているために、はり２のたわみと共に発生する横方向
のずれと、はり２の背面の原子オーダの凸凹が測定値に
影響する。
きな分解能を有するＳＴＭの原理を利用して変位を測定
しているために、はり２のたわみと共に発生する横方向
のずれと、はり２の背面の原子オーダの凸凹が測定値に
影響する。
【０００９】一方、本願発明で用いる光てこ式の光学変
位測定手段は、はり部材の微小な変位を非接触で高感度
に測定することを可能とする。しかも、はり部材裏面の
比較的広い範囲の変位を検出し、大面積で微小変位を測
定できる非接触変位測定手段であるために、はり２の変
位測定での表面凹凸による微小変位測定誤差を防止する
ことができ、はりの測定表面の表面粗さによる測定誤差
の問題を回避できる。
位測定手段は、はり部材の微小な変位を非接触で高感度
に測定することを可能とする。しかも、はり部材裏面の
比較的広い範囲の変位を検出し、大面積で微小変位を測
定できる非接触変位測定手段であるために、はり２の変
位測定での表面凹凸による微小変位測定誤差を防止する
ことができ、はりの測定表面の表面粗さによる測定誤差
の問題を回避できる。
【００１０】また、光てこ式の光学変位測定手段によれ
ば、カンチレバー及び試料が真空中でも、気体または液
体中でも同様に変位を測定できるという利点がある。こ
れにより測定の応用範囲が広がり、探針と試料間の力を
調節したり、化学的な観察と複合した測定も行なうこと
ができる。
ば、カンチレバー及び試料が真空中でも、気体または液
体中でも同様に変位を測定できるという利点がある。こ
れにより測定の応用範囲が広がり、探針と試料間の力を
調節したり、化学的な観察と複合した測定も行なうこと
ができる。
【００１１】さらに、図２のはり２の剛性を向上するた
め、少なくともはり２の両端を固定し、中央部に探針１
を設置することも望ましい。両端支持のはり２は、両端
支持のため探針軸方向に自由度を持ち、ねじれ等の運動
を防止することができる。このため、はり２の剛性が向
上する。
め、少なくともはり２の両端を固定し、中央部に探針１
を設置することも望ましい。両端支持のはり２は、両端
支持のため探針軸方向に自由度を持ち、ねじれ等の運動
を防止することができる。このため、はり２の剛性が向
上する。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１により説明す
る。図１は微小領域の３次元形状測定器に本発明を応用
した例を示す。
る。図１は微小領域の３次元形状測定器に本発明を応用
した例を示す。
【００１３】図１において、力の検出部ははり２の両端
を支持具５で支持し、その中央部にダイヤモンド製の先
端が非常に尖った探針１を設置し、はり２を介して探針
１と反対側に容量変位計のような非接触変位計４を設け
る構造とした。
を支持具５で支持し、その中央部にダイヤモンド製の先
端が非常に尖った探針１を設置し、はり２を介して探針
１と反対側に容量変位計のような非接触変位計４を設け
る構造とした。
【００１４】試料３は粗動機構１１の上に設けた３次元
微動機構上の試料台６に搭載される。３次元微動機構は
Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸ピエゾ素子７，８，９を台座１０に図
の様に設置してトライポット型の構成としている。さら
に、力による変位を検出して、その力を一定、即ち、変
位を一定にする様にＺ軸ピエゾ素子９を制御するととも
に、２次元走査や探針１に試料３を近づける粗動機構１
１を制御する制御装置１２を有する。表示装置１３は試
料の３次元構造を３次元表示する。
微動機構上の試料台６に搭載される。３次元微動機構は
Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸ピエゾ素子７，８，９を台座１０に図
の様に設置してトライポット型の構成としている。さら
に、力による変位を検出して、その力を一定、即ち、変
位を一定にする様にＺ軸ピエゾ素子９を制御するととも
に、２次元走査や探針１に試料３を近づける粗動機構１
１を制御する制御装置１２を有する。表示装置１３は試
料の３次元構造を３次元表示する。
【００１５】はり２を厚さ１０μｍ，幅０.５ｃｍ，長
さ５ｃｍの銀等で構成すると、約１０-12Ｎ（ニュート
ン）の力で約１Åの変化が生じる。一方、非接触変位測
定手段４には被測定部分が大面積である容量変位計、光
てこ式の光学変位測定器が使用される。構成は、力によ
るはり２の弾性変位を測定するために、はり２を構成す
る板材に対して探針１と反対側に非接触でかつ板材の大
面積部分を被測定領域とする非接触変位測定手段を配置
する。大面積の変位検出部分を持つ非接触変位測定器は
はり２表面の凹凸や原子の配列の影響を受けることなく
測定することができる。また、粗動機構１１には尺取り
虫機構やネジ式あるいは縮小変位機構を使用したものを
使用する。
さ５ｃｍの銀等で構成すると、約１０-12Ｎ（ニュート
ン）の力で約１Åの変化が生じる。一方、非接触変位測
定手段４には被測定部分が大面積である容量変位計、光
てこ式の光学変位測定器が使用される。構成は、力によ
るはり２の弾性変位を測定するために、はり２を構成す
る板材に対して探針１と反対側に非接触でかつ板材の大
面積部分を被測定領域とする非接触変位測定手段を配置
する。大面積の変位検出部分を持つ非接触変位測定器は
はり２表面の凹凸や原子の配列の影響を受けることなく
測定することができる。また、粗動機構１１には尺取り
虫機構やネジ式あるいは縮小変位機構を使用したものを
使用する。
【００１６】上記の粗動機構１１により探針１に試料３
を近接し、数Å程度までに接近すると、双方の表面原子
で最近接同士の原子間に力が働き、はり２の変位が起
り、非接触変位測定手段で検出される。この変化を一定
に保つ様に制御装置１２でＺ軸ピエゾ素子９を駆動し、
探針１と試料３との間隙を一定に保つ。この状態を保ち
つつ、Ｘ軸，Ｙ軸ピエゾ素子７，８で２次元走査する
と、試料３の表面形状に基づいてＺ軸ピエゾ素子が変化
して試料表面の３次元形状が得られ、表示装置１３に微
細構造を表示することができる。実際の原子間力は１０
-9〜１O-10Ｎと言われており、上述のはり構造及び変位
計で十分、表面の原子構造を観察できる。
を近接し、数Å程度までに接近すると、双方の表面原子
で最近接同士の原子間に力が働き、はり２の変位が起
り、非接触変位測定手段で検出される。この変化を一定
に保つ様に制御装置１２でＺ軸ピエゾ素子９を駆動し、
探針１と試料３との間隙を一定に保つ。この状態を保ち
つつ、Ｘ軸，Ｙ軸ピエゾ素子７，８で２次元走査する
と、試料３の表面形状に基づいてＺ軸ピエゾ素子が変化
して試料表面の３次元形状が得られ、表示装置１３に微
細構造を表示することができる。実際の原子間力は１０
-9〜１O-10Ｎと言われており、上述のはり構造及び変位
計で十分、表面の原子構造を観察できる。
【００１７】尚、本実施例は重力の影響を受けるような
構成としたが、９０゜回転し重力の影響を受けない構成
とすることもできる。また、微小機構や粗動機構を試料
側あるいは力測定部に設置しても良い。探針１はダイヤ
モンド以外に硬度の高いものが良く、先端を鋭く尖らせ
ることが重要であり、イオンエッチングや化学エッチン
グあるいは精密加工技術によって製作されることが望ま
しい。さらに、探針を絶緑物以外のものにすれば、走査
型トンネル顕微鏡としても利用できる。
構成としたが、９０゜回転し重力の影響を受けない構成
とすることもできる。また、微小機構や粗動機構を試料
側あるいは力測定部に設置しても良い。探針１はダイヤ
モンド以外に硬度の高いものが良く、先端を鋭く尖らせ
ることが重要であり、イオンエッチングや化学エッチン
グあるいは精密加工技術によって製作されることが望ま
しい。さらに、探針を絶緑物以外のものにすれば、走査
型トンネル顕微鏡としても利用できる。
【００１８】本システムは計算機と結合してデータ処理
を行なうことにより、より良い像を得ることができる。
を行なうことにより、より良い像を得ることができる。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、測定面積の大きい非接
触変位測定手段を用いるため、はりの表面の凹凸の影響
を除くことができるので、高精度な微小部分の微小を検
出することができる。また、探針の機械的剛性が増加
し、力の影響を正確に変位に変換する。
触変位測定手段を用いるため、はりの表面の凹凸の影響
を除くことができるので、高精度な微小部分の微小を検
出することができる。また、探針の機械的剛性が増加
し、力の影響を正確に変位に変換する。
【００２０】また、３次元形状測定器に応用することに
より、全ての材料が測定可能となる。また、上記の非接
触変位測定手段は通常、大気中で安定に動作するのでＳ
ＴＭのように真空中での動作の必要がなくなる。
より、全ての材料が測定可能となる。また、上記の非接
触変位測定手段は通常、大気中で安定に動作するのでＳ
ＴＭのように真空中での動作の必要がなくなる。
【図１】本発明の一実施例の構成を示す要部構成図。
【図２】従来の力測定装置の原理的構成を示す要部構成
図。
図。
１…探針、２…はり、３…試料、４…測定面積の大きい
非接触変位測定手段、５…はり支持具、６…試料台、７
…Ｘ軸ピエゾ素子、８…Ｙ軸ピエゾ素子、９…Ｚ軸ピエ
ゾ素子、１０…台座、１１…粗動機構、１２…制御回
路、１３…表示手段。
非接触変位測定手段、５…はり支持具、６…試料台、７
…Ｘ軸ピエゾ素子、８…Ｙ軸ピエゾ素子、９…Ｚ軸ピエ
ゾ素子、１０…台座、１１…粗動機構、１２…制御回
路、１３…表示手段。
Claims (3)
- 【請求項１】試料を保持する試料台と、上記試料台に向
いた探針を有するはり部材と、上記はり部材を支持する
支持部と、上記はり部材の上記試料台のある側と反対側
の面を被測定領域として光てこ式で上記はり部材の変位
を測定する変位測定器を備えたことを特徴とする測定装
置。 - 【請求項２】上記支持部は上記はり部材を２点で支持す
ることを特徴とする請求項１記載の測定装置。 - 【請求項３】試料を保持する試料台と、絶縁物以外の材
料で作られた探針を上記試料台に向くよう配置されたは
り部材と、上記はり部材を支持する支持部と、上記はり
部材の上記試料台のある側と反対側の面を被測定領域と
して光てこ式で上記はり部材の変位を測定する変位測定
器を有することを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8191803A JP2925114B2 (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8191803A JP2925114B2 (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | 測定装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62170942A Division JPH0752102B2 (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 | 微小部力測定方法及び装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34806298A Division JP3272314B2 (ja) | 1987-07-10 | 1998-12-08 | 測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH095339A true JPH095339A (ja) | 1997-01-10 |
| JP2925114B2 JP2925114B2 (ja) | 1999-07-28 |
Family
ID=16280798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8191803A Expired - Fee Related JP2925114B2 (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | 測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2925114B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61206148A (ja) * | 1985-03-07 | 1986-09-12 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 走査型トンネル効果顕微鏡 |
| JPS62130302A (ja) * | 1985-11-26 | 1987-06-12 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | サンプルの表面を検査する方法及び装置 |
-
1996
- 1996-07-22 JP JP8191803A patent/JP2925114B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61206148A (ja) * | 1985-03-07 | 1986-09-12 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 走査型トンネル効果顕微鏡 |
| JPS62130302A (ja) * | 1985-11-26 | 1987-06-12 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | サンプルの表面を検査する方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2925114B2 (ja) | 1999-07-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |