JPH09503306A - 較正されたセンサユニットの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 加速度センサの出力信号をオートメーション化された製造装置によって較正する方法である。この方法では較正のために重力が利用され、その際、互いに傾斜されている加速度センサの２つの姿勢における出力信号が測定され、その測定結果が互いに比較される。センサユニットには、加速度信号の供給に用いられる電子ユニットともに加速度センサが含まれている。そして上記の比較から較正値を得るようにし、その後、電子ユニットは電気的なパルスの印加により較正値に応じて調整される。

Description

【発明の詳細な説明】 較正されたセンサユニットの製造方法 本発明は、センサユニットに、慣性質量体を有する加速度センサと、該加速度 センサの出力信号を評価し加速度信号を供給するために用いられる電子ユニット が設けられている、大量生産においてオートメーション化された製造装置により 較正されたセンサユニット（Ｓ，Ｅ／Ｔ）を製造する方法に関する。 この種のセンサユニットは、加速度ないし減速度の測定に用いられる。このよ うなセンサユニットは、それらをたとえば車両の乗員保護システムのトリガを制 御するために、つまりたとえばエアバッグのトリガを制御するために用いるとき には、狭い許容範囲を有していなければならないことが多い。 公知の加速度センサは種々異なる方式にしたがって動作する。すべてに共通す るのは、製造公差に起因して基本エレメントが加速度感度に関して著しいばらつ きを有することである。製造技術に起因してそれらの感度がこのように著しく大 きくばらつくことが、この種のセンサユニットの主要な問題点である。それらの 感度はたとえばμＶ／ａ（加速度単位ごとのマイクロボルト）で表すことができ 、ここでμＶは出力信号レベルであり、ａは加速度ないし減速度の大きさに対応 し、これはたとえば重力加速度ｇの倍数ではかられる。 大量生産で製造された加速度センサの個々のサンプルにおける感度μＶ／ａは 、たとえば±２５％程度のばらつきを有している。しかしながらたとえば車両の エアバッグの制御のためには、これよりもきわめて狭い許容偏差がどうしても必 要である。あとで付加的な調整を行わずに、やはり大量生産で製造された電子ユ ニットと組み合わようとするとき、このことは殊に重要である。その際、これら の電子ユニットはたとえばセンサ信号を処理し、および／または、それぞれ全く 特有の構造的特徴を有する全く固有の車両形式の乗員保護装置におけるトリガを 精確に制御するためにそのまま用いられる。 ドイツ連邦共和国特許出願公開第３８４４３５１号公報によれば、感度クラス に応じた事前のクラス分けを行うことなく、単に微調整によってのみ加速度用セ ンサを調整することが知られている。しかしこの微調整もセンサの製造後、付加 的に別個に行われる。 したがって本発明の課題は、感度におけるこのような許容偏差をセンサユニッ トのオートメーション化された大量生産中にすでに、製造されたすべてのセンサ ユニットが最終的にほぼ同じ狭い勾配を有するよう、相応の較正によって著しく 狭めることにある。 この課題は、冒頭で述べた方法において請求項１に 記載の特徴により解決される。 本発明によれば、許容偏差を狭めるための上述の煩雑さないしコストが回避さ れる。このため本発明は、較正されたセンサユニットをわずかなコストで大量生 産するのにとりわけ適している。 本発明は基本的にあらゆる加速度センサに利用でき、殊にディジタル出力信号 を有するセンサユニットに適している。 従属請求項には本発明のその他の実施形態が示されている。 本発明の利点を要約すれば以下の通りとなる。すなわち、著しく簡単かつ大量 生産に適したやり方で電子ユニットを調整できるし、著しく簡単かつ大量生産に 適したやり方で測定に必要とされる電圧を供給でき、しかも著しく簡単かつ大量 生産に適したやり方で、センサユニットがそれらの測定ステーションを通過する よう各センサユニットを案内できる。 また、きわめて高い調整精度をわずかなコストで達成できる。 さらに、大量生産に著しく適したやり方で、まずはじめは加速度センサと電子 ユニットとの接続だけが形成され、センサユニットの各端子との接続はまだ形成 されないので、第１の測定中、該当するセンサユニットと（たとえばベルト上に 取り付けられた）その他のセンサユニットとが互いに障害を及ぼしながら作用し 合うことはなく、および／または、そうでなければ生じることになるそれらの各 端子間の短絡は生じない。 また、大量生産にきわめて適したやり方で、調整すべきセンサユニットをベル ト上に取り付け、調整し、続いて互いに分離することができる。 しかも、大量生産にきわめて適したやり方で、調整されたセンサユニットが周 囲環境の影響から保護されるし、著しくスペースの節約されたセンサユニットの 構造がもたらされ、さらに許容偏差のきわめて僅かなセンサユニットを実現でき る。 次に、図面に示された実施例に基づき本発明を詳細に説明する。 図１はセンサユニットの平面図である。 図２は同じセンサユニットの側面図である。 図３は、Ｓ字状に動かされるベルトを備えた、本発明による方法を実施するた めの製造装置の概略図である。 図４は、達成可能な調整精度を２つの測定ステーションにおけるセンサユニッ トの姿勢に依存して示す図である。 図３には製造装置に関する１つの実例が示されており、ここにおいて加速度セ ンサの出力信号がセンサユニットの大量生産の状況で完全に自動的に本発明にし たがって較正される。この実例では、それぞれ固有のロボットを装備した５つの 作業ステーションＢ１，Ｍ １，Ｍ２，Ｂ２，Ｖが設けられており、この場合、それらの作業ステーションは 一部は空間的に隣り合っており、一部は上下に配置されている（図３に示されて いる地球の引力ないし重力の方向ｇを参照）。 図示されているすべてのケーシング部材Ｇにはそれぞれ１つのセンサユニット Ｓ，Ｅ／Ｔ（図１，２で示したセンサユニットの実例参照）が含まれており、そ の際、すべてのケーシング部材ＧはベルトＬの上に一列に相前後して取り付けら れている。これらのセンサユニットはそれぞれ１つの加速度センサＳを有してお り、これは出力信号ｂ（図１参照）をこの加速度センサにおける目下の加速度な いし減速度に応じて送出する。センサユニットはさらにそれぞれ１つの電子ユニ ットＥ／Ｔを有しており、これは出力信号ｂの評価と加速度信号の供給に用いら れる（電子ユニットＥの出力端子Ｃ参照）。図示されているセンサユニットＳ自 体はそれぞれ慣性質量体を有しており、これは図２では弾性のレバーアームに取 り付けられた球体Ｋとしてシンボリックに表されている。しかしながら通常は、 この慣性質量体Ｋは別の形状をとることになるし、異なるやり方で加速度センサ に取り付けられることになる。 ベルトＬは右下から左上へＳ字状に、５つの作業ステーションのところを通過 しながら走行する。 重力の方向ｇは本発明においては重要な意味をもつ ものであり、その理由はこれがセンサユニットＳ，Ｅ／Ｔの較正に利用されるか らである。つまりこの場合、加速度センサＳの出力信号Ｂ（図１参照）は、加速 度センサＳがそれぞれ互いに逆に傾けられた２つの姿勢（図３に示された２つの 測定ステーションＭ１，Ｍ２のところでの姿勢を参照）で測定され、次にその測 定結果が互いに比較されるのである。 最初の作業ステーションＢ１において、図３に示されている実例では所定のボ ンディングワイヤＢが個々のセンサユニットＳ，Ｅ／Ｔに取り付けられる（加速 度センサＳの電気端子Ｐと、半導体チップＴ上に集積されて取り付けられた電子 ユニットＥの電気端子Ｐとの間の図１におけるボンディングワイヤＢを参照）。 次の作業ステーションＭ１においてセンサユニットＳ，Ｅ／Ｔの第１の測定が 行われ、その間、該当するセンサユニットは製造装置によって、慣性質量体Ｋが 重力ｇにより下へ向かう第１の水平方向姿勢に保持される。その際に測定ロボッ トの触手を介して図１に示されている端子Ｍへ動作電圧が導かれ、これによりこ の種の端子Ｍを介して間接的または直接的に重力＋１ｇによってトリガされる当 該加速度センサＳの出力信号ｂが測定される（図２参照）。このようにして測定 された第１の測定値は、両方の測定ロボットＭ１，Ｍ２に共通の図示されていな い電子測定回路のメモリに一時的に記憶される。 その後、ベルトＬは湾曲部を上へ向かって走行し、このことで同じセンサユニ ットＳ，Ｅ／Ｔは次に第２の測定ステーションＭ２のところを１８０度傾けられ て通過するようになる。したがってこの製造装置は出力信号ｂの第２の測定Ｍ２ の間、第２の姿勢でセンサユニットＳ，Ｅ／Ｔを保持する。この第２の姿勢は第 １の姿勢に対し、慣性質量体Ｋが重力ｇにより逆方向へ向かうように傾けられる 姿勢であって、この方向は第１の測定ステーションＭ１で与えられた重力方向と は明確に異なるものである。図示の実例の場合、第１の測定ステーションＭ１で は＋１ｇの力が、第２の測定ステーションでは−１ｇの力が慣性質量体Ｋへ加わ り、その結果、出力信号ｂの差は慣性質量体Ｋにおける力２ｇに相応し、つまり この場合、重力加速度ｇの２倍である。第２の測定を実行するために、第２の測 定ステーションＭ２のところに設けられた別の測定ロボットの触手を介して、図 １に示されている端子Ｍへ動作電圧が同様に導かれ、この種の端子Ｍを介して間 接的または直接的に重力−１ｇによりトリガされた当該加速度センサＳの出力信 号ｂが測定される。 その後、測定ステーションＭ２と接続された測定回路によって、第１および第 ２の測定Ｍ１，Ｍ２においてこの加速度センサＳで測定された各出力信号ｂが比 較される。この比較の結果ないしこの比較から導出された値が、出力信号ｂに及 ぼす重力ｇの作用を表す較 正値となる。 そして最後に本発明によれば、電子ユニットＥ／Ｔ（および／または加速度セ ンサＳ）がその較正値に応じて（たとえば較正用の電気端子Ａを介して）電気的 なパルスが印加されることで、電子ユニットＥ／Ｔが後になって出力信号ｂを較 正された加速度信号へ変えることができるよう調整される。この場合、較正され た加速度信号は端子Ｃに生じる。 較正値に応じた電子ユニットＥおよび／または加速度センサＳの調整について は種々の可能な構成がある。 殊に好適であると判明したのは、その目的で電子ユニット内または電子ユニッ トのところに少なくとも１つの分圧器を取り付けることであり、この場合、分圧 器は比較結果に応じて後から次のように調整される。すなわち、それによって電 子ユニットＥ／Ｔが後になって出力信号ｂを較正された加速度信号ｃへ変えるこ とができるよう調整される。これについてはたとえば２つの好適な変形実施例が ある。 まずはじめに、較正値に応じて分圧器を調整するために電圧パルスにより短絡 状態へ変えることのできるツェナダイオードＺを用いて、分圧器の個々の区間を 橋絡させることができる。このようにして、較正値に合わせられた電圧パルスを 用いることで分圧器の個々の区間を後から所期のように橋絡させることができ、 その際、このようにして調整された分圧器により端子Ｃから送出される加速度信 号の振幅が制御され、つまりそれらの加速度信号が較正される。 しかしながら、分圧器の個々の区間を低抵抗の半導体経路により橋絡すること もでき、この場合には、較正値に応じて分圧器を調整するために、それらの橋絡 区間における個々の区間を１つまたは複数の電圧パルスにより遮断できる。電圧 パルスによってこのように調整された分圧器によっても、加速度信号を較正する ことができる。 しかし分圧器を複数のＭＯＳＦＥＴのチャネルの直列接続回路から成るように 構成することもでき、その際、たとえばやはり半導体経路の遮断により、あるい はツェナダイオードを短絡状態へ変えることにより、供給された電圧パルスを用 いてそれらのＦＥＴにおける制御電圧を調整できる。 感度の調整中、同じプロセスステップにおいて、つまりたとえば測定ステーシ ョンＭ２において（それらの付加的な特性に応じて）セルフテスト、オフセット 、非線形性ないしはディジタル出力信号の場合のクロック周波数のような、それ らのセンサユニットの別の値も同様に調整できる。 本発明にしたがって調整に利用される各電圧パルスはたとえば、製造装置にお ける自動装置を介して、電子ユニットＥ／Ｔの１つまたは複数の端子へ導くこと ができるし、あるいは電子ユニットＥ／Ｔ内で自動装置によってじかに発生させ ることができる。このためには著しく僅かなコストしか必要とされず、このこと は大量生産にとってきわめて好適である。 電子ユニットＥ／Ｔを相応に動作させる目的で、以下のようにすれば大量生産 に適した著しく簡単なやり方で測定に必要な電圧を供給できる。すなわち、測定 Ｍ１，Ｍ２のために動作電圧（および必要に応じて付加的に必要とされる電圧） を、少なくとも１つの単一の触手を装備したロボットアームを介して電子ユニッ トＥ／Ｔへ導くのである。 本発明による方法によれば、以下のようにすることで著しく高い調整精度を著 しく僅かなコストで達成できる。すなわち、図３に基づき実例として示してきた ように、第１の測定Ｍ１と第２の測定Ｍ２との間でセンサユニットをほぼ１８０ 度だけ傾斜させ、その際、加速度センサの慣性質量体が重力の影響下でできるか ぎり強く運動するよう、センサユニットがその両方の姿勢で測定Ｍ１，Ｍ２の間 、そのつど保持されるのである。このようにした場合、測定された出力信号の差 は最大である。つまりその差は、重力加速度の２倍つまり２ｇが慣性質量体に及 ぼされる作用に対応するものである。しかもこの場合には、センサユニットの測 定精度は殊に高い。 図４には、加速度センサＳにおける傾斜角度ｗの変 化がこの加速度センサＳの出力信号ｂに及ぼす影響について示されている。これ については図３も参照されたい。加速度センサＳが第１の測定ステーションＭ１ のところにあれば、あるいは１８０度傾斜されて第２の測定ステーションＭ２の ところにあれば、その慣性質量体Ｋは一方の方向または他方の逆の方向へ向かっ て最大に振れ、出力信号ｂは両方の測定ステーションのところで極めて大きい。 なお、この場合、図４に示されているように、これら両方の測定ステーションに おいてそれぞれ傾斜角度ｗが不慮に僅かに変化しても、出力信号ｂのレベルに対 しごく僅かにしか影響が及ぼされない。 しかし加速度センサＳが第１の測定ステーションでの姿勢に対し９０度だけし か傾斜されなければ（図３のベルトＬにおける位置Ｍ０参照）、そこでは慣性質 量体Ｋは重力ｇによっても一方の方向および他方の逆の方向へは全く振れない。 この場合、出力信号ｂはゼロとなり（図４のＭ０参照）、その際、そこでは傾斜 角度ｗのいかなる僅かな変化でもそれぞれ出力信号ｂのレベルに対してはかえっ て大きな作用を有している。したがって加速度センサＳの測定精度の点でも、図 ３で示した測定ステーションＭ１，Ｍ２における加速度センサＳの姿勢に対応す る傾斜角度で、第１および第２の測定を行うのが好適である。 このため測定ステーションＭ１，Ｍ２の最適な空間 的配置は、ベルトＬの表面に関連して慣性質量体Ｋが振れる方向に依存する。図 ３に示されている実例はたとえば、慣性質量体Ｋが図３に応じてケーシング部材 Ｇの底部に対し垂直につまりベルトＬに対し垂直に振れ動くことのできる加速度 センサＳに係わるものである。ここで最適であるのは、ベルトＬが図３のように 水平に走行する個所で測定Ｍ１，Ｍ２を測定を行う場合である。 これに対し、慣性質量体ＫがセンサユニットＳ，Ｅ／Ｔ内部で、それらが固定 されているベルト表面に対し斜めないし垂直にしか振れない場合には、測定ステ ーションＭ１，Ｍ２を、それらの測定ステーションのところをベルトＬが水平で はなく斜めないし垂直に通過しながら走行するよう配置する方がいっそうよく、 最も好適であるのは、両方の測定ステーションＭ１，Ｍ２のところで慣性質量体 が地球の中心へ向かう方向で振れ動くことができるようにした場合である。した がって、慣性質量体Ｋが第２の測定ステーションＭ２のところでは重力ｇにより 、第１の測定ステーションＭ１における方向とは逆の方向へ向かわされるように した場合である。 大量生産にとって殊に好適であるのは、測定Ｍ１，Ｍ２に必要な電子ユニット Ｅ／Ｔの端子Ｐと加速度センサＳの端子Ｐとの電気的な接続をたとえばボンディ ングによって形成してから、第１の測定Ｍ１を実行す ることである。まずはじめにこの接続だけが行われ、センサユニットのそのほか の接続端子との（図示されていない）他のいかなる接続もまだ行われないことで 、第１の測定Ｍ１中、目下測定されている該当するセンサユニットと（たとえば ベルトＬ上に取り付けられている）他のセンサユニットとが相互間で障害を及ぼ し合うおそれはない。また、たとえばセンサユニットＳ，Ｅ／Ｔがいわゆるリー ドフレーム上に取り付けられている場合、つまり、光学投影ないし映画のフィル ムストリップ上の画像フレームのように、個々のセンサユニットＳ，Ｅ／Ｔが（ ベルトＬにいっしよに取り付けられている）格子状で帯状の導電性金属層の上に 相前後して取り付けられている場合でも、測定Ｍ１，Ｍ２中のセンサユニットＳ ，Ｅ／Ｔにおける各端子間の不所望な短絡が回避される。 さらに大量生産にとってきわめて好適であるのは、各センサユニットを１つの リードフレーム上に取り付け、そのリードフレームによって各センサユニットを ベルトＬ上に取り付けることである。この場合、第２の測定Ｍ２後（作業ステー ションＢ２参照）、第２の測定ステーションＭ２の後で、加速度センサＳおよび ／または電子ユニットＥ／Ｔの各電気端子とリードフレームの部材とが最終的に 互いに接続され、たとえばボンディングされる。つまりこのことで著しく容易に 、各センサユニットを電圧パルスを用いて較正ないし 調整し続いてそれらを互いに分離することができる。この場合、作業ステーショ ンＢ２（図３参照）をベルトＬの一番上の水平区間に取り付けることもでき、た とえばこのことによって以下のことが可能になる。すなわち、各ケーシング部材 Ｇが各センサユニットを下方が開放された状態で担持している図３中の位置Ｂ２ とは異なり、各ケーシング部材Ｇが各センサユニットを上方が開放された状態で 担持していれば、それらのセンサユニットを外部の端子とボンディングすること ができるようになる。 大量生産にとりわけ適するようにして、調整されたセンサユニットを最終的に 周囲環境の影響から保護できるようにする目的で、第２の測定Ｍ２後（およびケ ーシング内部で必要とされるあらゆる電気接続がＢ２において最終的に形成され た後）、センサユニットは気密に封止ないしカプセル化されてから（作業ステー ションＶ参照）、最終的にベルトＬから分離される。 このように、本発明による方法によって製造されたセンサユニットによって殊 に、感度に関してもともとはよくない許容偏差とは無関係にすべてのセンサユニ ットに対して一様に、各センサユニットにおいて狭い許容範囲が得られるように なる。このことはとりわけ、加速度センサの出力信号が重力の場に関してセンサ の２つの異なる位置で測定されること、およびセンサユニットが電圧パルスによ ってあとから調整されるこ とによって達成される。 センサユニットに関して著しくスペースの節約された構造が得られるようにす る目的で、加速度センサＳが電子ユニットＥ／Ｔといっしょになって１つのモノ リシック体を形成するように構成できる。 また、きわめて許容偏差の少ないセンサユニットが得られるようにする目的で 、それらの電子ユニットＥ／Ｔが付加的に、電子ユニットＥ／Ｔの各回路点間の 動作電圧の少なくとも１つを所定の値になるよう安定化するコントロールユニッ トを含むようにするか、またはそのようなコントロールユニットと接続しておく ことができる。

【手続補正書】 【提出日】１９９６年８月９日 【補正内容】 (1)請求の範囲を別紙の通り補正する (2)明細書第３頁第９行〜第１０行を削除する。 請求の範囲 １．センサユニット（Ｓ，Ｅ／Ｔ）に、慣性質量体（Ｋ）を有する加速度センサ （Ｓ）と、該加速度センサ（Ｓ）の出力信号（ｂ）を評価し加速度信号（Ｃ）を 供給するために用いられる電子ユニット（Ｅ／Ｔ）が設けられている、 大量生産においてオートメーション化された製造装置により較正されたセン サユニット（Ｓ，Ｅ／Ｔ）を製造する方法において、 センサユニット（Ｓ，Ｅ／Ｔ）を出力信号（ｂ）の第１の測定（Ｍ１）中、 製造装置により第１の姿勢に保持し、該第１の姿勢では、重力（ｇ）により慣性 質量体（Ｋ）が第１の方向へ向かわされ、 次に、前記センサユニットを出力信号（ｂ）の第２の測定（Ｍ２）中、製造 装置により第２の姿勢に保持し、該第２の姿勢は前記第１の姿勢に対し、重力（ ｇ）により慣性質量体（Ｋ）が前記第１の方向とは明確に異なる第２の方向へ向 かうよう傾けられており、 次に、前記の両方の測定（Ｍ１，Ｍ２）において測定された各出力信号（ｂ ）を比較し、該比較の結果から、前記出力信号（ｂ）に対して及ぼされる重力（ ｇ）の作用を表す較正値を導出し、 次に、該較正値に応じて前記電子ユニット（Ｅ／Ｔ）を、該電子ユニット（ Ｅ／Ｔ）が後で出力信号（ｂ）を較正された加速度信号（Ｃ）に変えることがで きるよう、電気的なパルスの印加により調整（Ｚ）することを特徴とする、 大量生産においてオートメーション化された製造装置により較正されたセン サユニットを製造する方法。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ホルスト プンツマン ドイツ連邦共和国 Ｄ−93053 レーゲン スブルク オットー−ハーン−シュトラー セ 11

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．センサユニット（Ｓ，Ｅ／Ｔ）に、慣性質量体（Ｋ）を有する加速度センサ （Ｓ）と、該加速度センサ（Ｓ）の出力信号（ｂ）を評価し加速度信号（Ｃ）を 供給するために用いられる電子ユニット（Ｅ／Ｔ）が設けられている、 大量生産においてオートメーション化された製造装置により較正されたセン サユニット（Ｓ，Ｅ／Ｔ）を製造する方法において、 センサユニット（Ｓ，Ｅ／Ｔ）を出力信号（ｂ）の第１の測定（Ｍ１）中、 製造装置により第１の姿勢に保持し、該第１の姿勢では、重力（ｇ）により慣性 質量体（Ｋ）が第１の方向へ向かわされ、 次に、前記センサユニットを出力信号（ｂ）の第２の測定（Ｍ２）中、製造 装置により第２の姿勢に保持し、該第２の姿勢は前記第１の姿勢に対し、重力（ ｇ）により慣性質量体（Ｋ）が前記第１の方向とは明確に異なる第２の方向へ向 かうよう傾けられており、 次に、前記の両方の測定（Ｍ１，Ｍ２）において測定された各出力信号（ｂ ）を比較し、該比較の結果から、前記出力信号（ｂ）に対して及ぼされる重力（ ｇ）の作用を表す較正値を導出し、 次に、該較正値に応じて前記電子ユニット（Ｅ／ Ｔ）を、該電子ユニット（Ｅ／Ｔ）が後で出力信号（ｂ）を較正された加速度信 号（Ｃ）に変えることができるよう、電気的なパルスの印加により調整（Ｚ）す ることを特徴とする、 大量生産においてオートメーション化された製造装置により較正されたセン サユニットを製造する方法。 ２．前記電子ユニット（Ｅ／Ｔ）は少なくとも１つの分圧器を有しており、該分 圧器を比較の結果に応じて、前記電子ユニット（Ｅ／Ｔ）が後で出力信号（ｂ） を較正された加速度信号（Ｃ）へ変えることができるよう（Ａを介して）調整す る、請求項１記載の方法。 ３．前記分圧器は複数の部分から成り、該複数の部分のうち少なくとも一部分は ツェナダイオード（Ｚ）により橋絡されており、較正値に応じて前記分圧器を調 整するため複数のツェナダイオード（Ｚ）のうち一部を（Ａを介して）電圧パル スにより短絡状態へ変える、請求項２記載の方法。 ４．前記分圧器は複数の部分から成り、該分圧器のうち少なくとも一部分は低抵 抗の半導体経路により橋絡されており、較正値に応じて分圧器を調整するため複 数の半導体経路のうち一部分を（Ａを介して）電圧パルスにより遮断する、請求 項２記載の方法。 ５．前記電圧パルスを製造装置における自動装置によ り（Ａを介して）電子ユニット（Ｅ／Ｔ）へ導くか、または該電子ユニット（Ｅ ／Ｔ）内の自動装置により発生させる、請求項３または４記載の方法。 ６．前記測定（Ｍ１，Ｍ２）のため、少なくとも１つの触手を装備したロボット アームを介して前記電子ユニット（Ｅ／Ｔ）へ電圧を供給して該電子ユニット（ Ｅ／Ｔ）を作動させる、請求項１〜５のいずれか１項記載の方法。 ７．前記製造装置によりベルト（Ｌ）を動かし、 該ベルト（Ｌ）の前進運動で、自動的な第１の測定のため前記センサユニッ トが製造装置の第１の測定ステーション（Ｍ１）のところを第１の姿勢で順次連 続して通過するよう、前記ベルト（Ｌ）の上へ複数のセンサユニット（Ｓ，Ｅ／ Ｔ；Ｇ）を相前後して一列に取り付け、 前記ベルト（Ｌ）はその後、上または下へ向かって湾曲部を走行して、自動 的な第２の測定のため各センサユニット（Ｓ，Ｅ／Ｔ；Ｇ）が前記第１の姿勢に 対し傾斜された第２の姿勢で第２の測定ステーション（Ｍ２）のところを通過す る、 請求項１〜６のいずれか１項記載の方法。 ８．第１の姿勢の方向が第２の姿勢の方向に対し約１８０度旋回されるよう前記 ベルトを案内し、前記加速度センサ（Ｓ）の慣性質量体（Ｋ）が重力（ｇ）の影 響下でできるかぎり強く運動し、両方の測定の 比較は前記慣性質量体（Ｋ）に対して及ぼされる２倍の重力加速度（２ｇ）の作 用に対応する、請求項７記載の方法。 ９．第１の測定（Ｍ１）を実行する前に、測定に必要とされる電子ユニット（Ｅ ／Ｔ）と加速度センサ（Ｓ）の各端子（Ｐ）だけを（Ｂ１において）互いに接続 する、請求項７または８記載の方法。 10．前記センサユニット（Ｓ，Ｅ／Ｔ）を、前記ベルト（Ｌ）に固定されている リードフレームに取り付け、第２の測定（Ｍ２）後（Ｂ２のところで）、加速度 センサ（Ｓ）、電子ユニット（Ｅ／Ｔ）およびリードフレームの各部分を互いに 接続する、請求項７〜９のいずれか１項記載の方法。 11．第２の測定（Ｍ２）後、センサユニット（Ｓ，Ｅ／Ｔ）を外部の影響から保 護するため（Ｖにおいて）気密に封止してから、該センサユニットを前記ベルト （Ｌ）から分離する、請求項７〜１０のいずれか１項記載の方法。 12．請求項１〜１１のいずれか１項記載の方法により製造されたセンサユニット において、 加速度センサ（Ｓ）は電子ユニット（Ｅ／Ｔ）とともに１つのモノリシック 体を形成することを特徴とするセンサユニット。 13．前記電子ユニット（Ｅ／Ｔ）はコントロールユニットを有しているかまたは コントロールユニットと 接続されており、該コントロールユニットは、前記電子ユニット（Ｅ／Ｔ）の各 回路点間の動作電圧のうち少なくとも１つを所定の値になるよう安定化する、請 求項１２記載のセンサユニット。